JPH0644591Y2 - Mobile platen type polishing machine - Google Patents

Mobile platen type polishing machine

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JPH0644591Y2
JPH0644591Y2 JP3893090U JP3893090U JPH0644591Y2 JP H0644591 Y2 JPH0644591 Y2 JP H0644591Y2 JP 3893090 U JP3893090 U JP 3893090U JP 3893090 U JP3893090 U JP 3893090U JP H0644591 Y2 JPH0644591 Y2 JP H0644591Y2
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JP
Japan
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polishing
film
polishing film
work
platen
Prior art date
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JP3893090U
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Japanese (ja)
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JPH03130355U (en
Inventor
利夫 菊地
雅弘 山口
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Kyosan Electric Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Kyosan Electric Manufacturing Co Ltd
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【考案の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 本考案は、研磨フィルムを研磨ヘッド部の移動プラテン
に巻き掛け、該研磨ヘッド部を振動させながら研磨フィ
ルムにワークを接触させて研磨するようにした移動プラ
テン式研磨装置に関する。
[Detailed Description of the Invention] "Industrial field of application" The present invention wraps a polishing film around a moving platen of a polishing head, and vibrates the polishing head to bring a workpiece into contact with the polishing film for polishing. The present invention relates to a moving platen type polishing apparatus.

「従来の技術」 薄いポリエステルに十分管理された砥粒を塗布した研磨
フィルムを研磨工具に使用して超仕上をする研磨装置が
あり、そのような研磨装置における従来の研磨ヘッド部
の構成としては第9図または第10図に示すようなものが
ある。
"Prior art" There is a polishing device that uses a polishing film, which is a thin polyester coated with well-controlled abrasive grains, as a polishing tool for superfinishing. As a configuration of a conventional polishing head in such a polishing device, Some are shown in FIG. 9 or FIG.

すなわち、第9図に示すものは、弾性材コンタクトロー
ラ1に研磨フィルムFを巻き掛け、弾性材コンタクトロ
ーラ1の前面に位置する研磨フィルムFにワークW1を接
触させて研磨するものである。
That is, as shown in FIG. 9, the polishing film F is wound around the elastic material contact roller 1 and the work W1 is brought into contact with the polishing film F located on the front surface of the elastic material contact roller 1 for polishing.

また、第10図に示すものは、案内ローラ2a,2bの間にプ
ラテン3を配設し、案内ローラ2a,2bに案内させてプラ
テン3に研磨フィルムFを巻き掛け、研磨フィルムFの
前面に位置する研磨フィルムFにワークW1を接触させて
研磨するものである。
Further, in the structure shown in FIG. 10, the platen 3 is disposed between the guide rollers 2a and 2b, and the polishing film F is wound around the platen 3 while being guided by the guide rollers 2a and 2b. The work W1 is brought into contact with the positioned polishing film F for polishing.

「考案が解決しようとする課題」 しかしながら、このような従来の技術では、第9図に示
すものは、ワークW1にキー溝があったような場合、弾性
材コンタクトローラ1は半径が小さくて、弾性があるの
で、キー溝に弾性材コンタクトローラ1の表面部分が入
り込み、コーナa,bが強く研磨フィルムFに当って砥粒
を剥離させたり、甚だしい場合は切断に至ることになる
という問題点があった。
[Problems to be solved by the invention] However, in such a conventional technique, as shown in FIG. 9, when the work W1 has a key groove, the elastic material contact roller 1 has a small radius, Since it has elasticity, the surface portion of the elastic material contact roller 1 enters into the key groove, the corners a and b are strongly contacted with the polishing film F to cause the abrasive grains to be peeled off, and in the extreme case, the cutting is caused. was there.

また、第10図に示すものは、ワークW1がプラテン3の同
一の場所にいつも接触し、その結果、研磨フィルムFの
背面とプラテン3の接触面との間で研磨フィルムFの微
速度送りによりスリップが起り、第10図(b)に示すよ
うに、プラテン3の表面が摩耗して形状が変化し、特に
小径のワークであると形状の変化が著しく、頻繁にプラ
テン3を交換あるいは形状修正しなければならないとい
う問題点があった。
Further, as shown in FIG. 10, the work W1 is always in contact with the same place on the platen 3, and as a result, the fine film is fed between the back surface of the polishing film F and the contact surface of the platen 3 at a small speed. As a result of slippage, as shown in FIG. 10 (b), the surface of the platen 3 is worn and its shape changes. Especially, if the work has a small diameter, the shape changes remarkably and the platen 3 is frequently replaced or the shape is corrected. There was a problem that I had to do it.

本考案は、このような従来の問題点に着目してなされた
もので、研磨ヘッド部をプラテン方式とし、かつプラテ
ンの偏摩耗が生じないようにした移動プラテン式研磨装
置を提供することを目的としている。
The present invention has been made in view of such conventional problems, and an object thereof is to provide a moving platen type polishing apparatus in which a polishing head portion is of a platen type and prevents uneven wear of the platen. I am trying.

「課題を解決するための手段」 かかる目的を達成するための本考案の要旨とするところ
は、 研磨フィルムを研磨ヘッド部の移動プラテンに巻き掛
け、該研磨ヘッド部を振動させながら研磨フィルムにワ
ークを接触させて研磨するようにした移動プラテン式研
磨装置であって、 引張力を与えて研磨フィルムを保持しながら繰り出す供
給部と、前記研磨ヘッド部を経た研磨フィルムを低速度
で引き込む繰込部とを設け、 前記研磨ヘッド部に、研磨フィルムの背面に当接してワ
ークに圧接させる移動プラテンを設け、研磨フィルムの
送り方向に沿って移動可能に該移動プラテンを支持する
とともに、研磨フィルムの送りの逆方向に位置するよう
付勢保持したことを特徴とする移動プラテン式研磨装置
に存する。
[Means for Solving the Problems] The gist of the present invention for achieving the above-mentioned object is to wrap a polishing film around a moving platen of the polishing head, and vibrate the polishing head to work on the polishing film. Is a moving platen type polishing apparatus which is configured to bring the polishing film into contact with each other, and to feed the polishing film while holding the polishing film by applying a tensile force, and a feeding unit that draws the polishing film through the polishing head unit at a low speed. Is provided, the polishing head portion is provided with a moving platen that abuts against the back surface of the polishing film and presses the workpiece, and supports the moving platen movably along the feed direction of the polishing film, and feeds the polishing film. The moving platen type polishing apparatus is characterized in that it is biased and held so as to be positioned in the opposite direction.

「作用」 研磨フィルムは供給部から延びて研磨ヘッド部に巻き掛
かかってから繰込部に引き込まれる。研磨ヘッド部は振
動していて、振動している研磨フィルムにワークを接触
させて研磨がなされる。研磨がなされている間、研磨フ
ィルムは所定の張力で張り、供給部から繰り出され、繰
込部に低速度で引き込まれ、ワークには新しい砥粒が次
々に接触する。
"Operation" The polishing film extends from the supply unit, is wound around the polishing head unit, and is then drawn into the feeding unit. The polishing head is vibrating, and the work is brought into contact with the vibrating polishing film to perform polishing. While the polishing is being performed, the polishing film is stretched with a predetermined tension, is fed from the supply unit, is drawn into the feeding unit at a low speed, and new abrasive grains are brought into contact with the workpiece one after another.

研磨開始時には移動プラテンは研磨フィルムの送りの逆
方向の端である移動ストロークの始端に位置している。
ワークが移動プラテンの表面の研磨フィルムの接触して
研磨が始まり、研磨フィルムが送られると、移動プラテ
ンは研磨フィルムの送りに従って共に移動する。
At the start of polishing, the moving platen is located at the beginning of the moving stroke, which is the end of the polishing film in the direction opposite to the feed.
When the work comes into contact with the polishing film on the surface of the moving platen to start polishing and the polishing film is fed, the moving platen moves together with the feeding of the polishing film.

研磨が行なわれている間、ワークと移動プラテンとは相
対的位置が変化し、ワークは移動プラテンの同じ位置に
圧接することがないので、一部が変形する不具合が生じ
ない。
During polishing, the relative positions of the work and the moving platen change, and the work does not come into pressure contact with the same position of the moving platen, so there is no problem of partial deformation.

研磨が終了し、ワークが離れると、移動プラテンは移動
ストロークの始端に復帰して次のワークの研磨に備え
る。
When the polishing is completed and the work is separated, the moving platen returns to the start end of the moving stroke to prepare for the next work polishing.

「実施例」 以下、図面に基づき本考案の一実施例を説明する。[Embodiment] An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.

第1図〜第6図は本考案の一実施例を示している。1 to 6 show an embodiment of the present invention.

第1図〜第3図に示すように、移動プラテン式研磨装置
10は、ベースフレーム20に各部品を支持して成る。すな
わち、ベースフレーム20の端から突出するよう研磨ヘッ
ド部30が配設され、ベースフレーム20の上部の端に供給
部40が配設され、下部に繰込部50と与張送り部60が配設
されている。
As shown in FIGS. 1 to 3, a moving platen type polishing apparatus
Reference numeral 10 is formed by supporting each component on a base frame 20. That is, the polishing head portion 30 is arranged so as to project from the end of the base frame 20, the supply portion 40 is arranged at the upper end of the base frame 20, and the feeding portion 50 and the tension feeding portion 60 are arranged at the lower portion. It is set up.

ベースフレーム20の上向面部21に振動駆動用のモータM1
が装着され、振動駆動用のモータM1には継手22を介して
クランク軸23が接続され、クランク軸23と研磨ヘッド部
30とが連結ロッド24により連結されている。
A motor M1 for driving vibration on the upper surface portion 21 of the base frame 20.
The crank shaft 23 is connected to the vibration driving motor M1 through the joint 22, and the crank shaft 23 and the polishing head portion are mounted.
30 and 30 are connected by a connecting rod 24.

研磨ヘッド部30は、研磨フィルムFの背面に当接してワ
ークWに圧接させる移動プラテン32を設け、研磨フィル
ムFの送り方向に沿って進退移動可能に移動プラテン32
を支持するとともに、研磨フィルムFの送りの逆方向に
位置するよう付勢保持して成る。
The polishing head unit 30 is provided with a movable platen 32 that comes into contact with the back surface of the polishing film F and presses the workpiece W, and the movable platen 32 is capable of moving back and forth along the feed direction of the polishing film F.
And is biased and held so as to be positioned in the direction opposite to the feed of the polishing film F.

研磨ヘッド部30の本体ブロック31は2本の平行ロッド31
a,31bによって水平方向に変位可能にベースフレーム20
に支持されるとともに、連結ロッド24が連結され、クラ
ンク軸23の回転により連結ロッド24が進退し、研磨ヘッ
ド部30に振動が与えられるよう構成されている。
The body block 31 of the polishing head unit 30 includes two parallel rods 31.
Base frame 20 that can be displaced horizontally by a and 31b
The connecting rod 24 is connected, and the connecting rod 24 is moved forward and backward by the rotation of the crankshaft 23, so that the polishing head portion 30 is vibrated.

第1図,第4図〜第6図に示すように、研磨ヘッド部30
の移動プラテン32はワークWとの接触面に弾性材32aが
用いられた平板で、その上下にローラ33a,33bが装着さ
れ、本体ブロック31には移動プラテン32を間にして案内
ローラ34a,34bが設けられている。
As shown in FIGS. 1 and 4 to 6, the polishing head portion 30
Of the movable platen 32 is a flat plate in which an elastic material 32a is used for the contact surface with the work W, and rollers 33a and 33b are mounted on the upper and lower sides thereof, and guide rollers 34a and 34b are provided on the main body block 31 with the movable platen 32 interposed therebetween. Is provided.

移動プラテン32の後にはレールブロック35が配設されて
いる。レールブロック35は4隅に配設した進退用ローラ
35a〜35dにより進退可能に本体ブロック31に嵌合して保
持され、レールブロック35を水平方向に押し出すように
操作する空圧シリンダ37が設けられている。
A rail block 35 is arranged after the moving platen 32. Rail block 35 is a roller for advancing / retreating arranged at four corners.
A pneumatic cylinder 37 is provided which is fitted and held by the main body block 31 so as to be able to advance and retreat by 35a to 35d and which is operated to push out the rail block 35 in the horizontal direction.

レールブロック35の前端にはレール部36が設けられ、移
動プラテン32の4隅に装着した案内移動ローラ37a〜37d
がレール部36に嵌合している。これにより移動プラテン
32は研磨フィルムFの送り方向に沿って移動可能に支持
されており、コイルばね38により移動ストロークの始端
に付勢され、ストッパピン39により止まっている。
A rail portion 36 is provided at the front end of the rail block 35, and guide moving rollers 37a to 37d mounted on the four corners of the moving platen 32.
Are fitted to the rail portion 36. This allows the moving platen
32 is movably supported along the feed direction of the polishing film F, is urged by the coil spring 38 to the start end of the moving stroke, and is stopped by the stopper pin 39.

第1図〜第3図に示すように、供給部40は、研磨フィル
ムFを繰り出す供給側リール41と、供給側リール41の回
転軸42に直結されたブレーキ43によって構成されてい
る。ブレーキ43は制動力を供給リール41に与え、研磨フ
ィルムFが所定の張力になる程度の制動力が生ずるよう
構成されている。
As shown in FIGS. 1 to 3, the supply unit 40 includes a supply-side reel 41 for feeding the polishing film F and a brake 43 directly connected to a rotation shaft 42 of the supply-side reel 41. The brake 43 is configured to apply a braking force to the supply reel 41 so that the polishing film F has a predetermined tension.

繰込部50は、巻取側リール51を有し、巻取側リール51の
回転軸52の端には摩擦カップリング53を介して駆動用ベ
ルトプーリ54が装着され、送り用モータM2の駆動軸によ
り回転駆動される図示省略したベルトプーリとの間に歯
付ベルト55が巻き掛けられている。
The take-up unit 50 has a take-up reel 51, and a drive belt pulley 54 is attached to an end of a rotary shaft 52 of the take-up reel 51 via a friction coupling 53 to drive a feed motor M2. A toothed belt 55 is wound around a belt pulley (not shown) that is rotationally driven by a shaft.

与張送り部60は、研磨フィルムFを定速度で移動させる
送り駆動ローラ61と加圧補助ローラ65とを有して構成さ
れている。
The tension feeding unit 60 includes a feed driving roller 61 that moves the polishing film F at a constant speed and a pressure assisting roller 65.

送り駆動ローラ61と加圧補助ローラ65とは、それぞれの
枢軸62および66によりベースフレーム20に支持されてい
る。
The feed drive roller 61 and the pressure assisting roller 65 are supported on the base frame 20 by respective pivots 62 and 66.

送り駆動ローラ61の枢軸62は送り用モータM2に直結し、
加圧補助ローラ65は枢軸66に空転可能に枢支され、枢軸
66の両端がベースフレーム20の側板に設けたスライド用
長穴25a,25bに摺動可能に嵌合して支持されている。
The pivot shaft 62 of the feed drive roller 61 is directly connected to the feed motor M2,
The pressure assisting roller 65 is pivotally supported on the pivot 66 so that it can rotate freely.
Both ends of 66 are slidably fitted in and supported by elongated slide holes 25a, 25b provided in the side plates of the base frame 20.

枢軸66の両端とベースフレーム20との間には引張バネ67
a,67bが張設され、加圧補助ローラ65が送り駆動ローラ6
1に常時接触している状態になるよう付勢されている。
A tension spring 67 is provided between both ends of the pivot 66 and the base frame 20.
a and 67b are stretched, and the pressure assisting roller 65 is the feed drive roller 6
Energized to be in constant contact with 1.

研磨フィルムFは、供給側リール41の近傍に配設された
案内ローラ29で屈曲され、案内ローラ34a,移動プラテン
32,案内ローラ34bを経て送り駆動ローラ61に巻き掛け、
該送り駆動ローラ61と加圧補助ローラ65との間を通して
から加圧補助ローラ65に巻き掛るようS字状に通し、巻
取側リール51に巻き付けられている。
The polishing film F is bent by a guide roller 29 arranged near the supply-side reel 41, and is guided by the guide roller 34a and the moving platen.
32, wound around the feed drive roller 61 via the guide roller 34b,
It is wound around the take-up reel 51 by passing between the feed drive roller 61 and the pressure assisting roller 65 and then passing through the pressure assisting roller 65 in an S-shape.

次に作用を説明する。Next, the operation will be described.

研磨フィルムFは供給部40から延びて研磨ヘッド部30に
巻き掛かり、与張送り部60を経て繰込部50に引き込まれ
る。研磨ヘッド部30は振動していて、その先端で振動し
ている研磨フィルムFにワークWを接触させて研磨がな
される。
The polishing film F extends from the supply section 40, is wound around the polishing head section 30, and is drawn into the feeding section 50 via the tension feeding section 60. The polishing head unit 30 is vibrating, and the work W is brought into contact with the vibrating polishing film F at the tip thereof for polishing.

供給部40の研磨フィルムFの供給側リール41の回転軸42
にブレーキ43によって常に一定の制動力が与えられてお
り、研磨フィルムFは所定の張力で繰り出される。
The rotating shaft 42 of the reel 41 on the supply side of the polishing film F of the supply section 40
A constant braking force is constantly applied by the brake 43, and the polishing film F is fed out with a predetermined tension.

研磨フィルムFは案内ローラ29で屈曲して研磨ヘッド部
30の案内ローラ34aに巻き掛り、移動プラテン32の前面
を通って案内ローラ34bに巻き掛り、与張送り部60に延
びるよう移送される。
The polishing film F is bent by the guide roller 29 and is bent by the polishing head portion.
The roller 30 is wound around the guide roller 34a, passes through the front surface of the movable platen 32, is wound around the guide roller 34b, and is transferred so as to extend to the tension feeding unit 60.

研磨ヘッド部30では、振動駆動用のモータM1によりクラ
ンク軸23が回動され、連結ロッド24により進退運動が伝
達されて平行ロッド31a,31bに沿って全体が振動し、研
磨フィルムFは空圧シリンダ37に押された移動プラテン
32が前方に突出した状態で本体ブロック31全体が振動
し、移動プラテン32の先端位置の研磨フィルムFにワー
クWが当接して研磨がなされる。
In the polishing head portion 30, the vibration driving motor M1 rotates the crankshaft 23, and the connecting rod 24 transmits the forward / backward movement to vibrate the parallel rods 31a and 31b, whereby the polishing film F is pneumatically driven. Moving platen pushed by cylinder 37
The entire main body block 31 vibrates in a state where 32 projects forward, and the work W abuts on the polishing film F at the tip position of the moving platen 32 to perform polishing.

送り用モータM2により回転する与張送り部60の送り駆動
ローラ61は、引張バネ67a,67bにより付勢された加圧補
助ローラ65との間に研磨フィルムFを挟んで等速度でフ
ィルムFを巻取側リール51へ送り出す。研磨フィルムF
は送り駆動ローラ61と加圧補助ローラ65とはS字状に巻
き掛けてあるので、スリップすることがなく安定して送
られる。
The feed drive roller 61 of the tension feed unit 60 rotated by the feed motor M2 sandwiches the polishing film F with the pressure assisting roller 65 biased by the tension springs 67a and 67b, and moves the film F at a constant speed. It is sent to the winding side reel 51. Polishing film F
Since the feed drive roller 61 and the pressurizing auxiliary roller 65 are wound in an S shape, they can be fed stably without slipping.

巻取側リール51の巻取速度は、与張送り部60の引込速度
より早くしてあり、巻取中は摩擦カップリング53のスリ
ップによって、研磨フィルムFはスリップ力を受けつつ
与張送り部60から繰り出された分だけの巻取量で研磨フ
ィルムFが供給部40の供給側リール41に巻き取られる。
The winding speed of the winding-side reel 51 is faster than the drawing speed of the tension feeding unit 60, and the polishing film F receives a slip force due to the slip of the friction coupling 53 during winding and the tension feeding unit. The polishing film F is wound around the supply-side reel 41 of the supply unit 40 by the winding amount corresponding to the amount unrolled from 60.

研磨フィルムFは供給部40の供給側リール41から延びて
研磨ヘッド部30に巻き掛かかってから繰込部50の巻取側
リール51に引き込まれる。研磨がなされている間、研磨
フィルムFは所定の張力で張り、供給部40から繰り出さ
れ、繰込部50に低速度で引き込まれ、ワークWには新し
い砥粒が次々に接触する。
The polishing film F extends from the supply-side reel 41 of the supply unit 40, is wound around the polishing head unit 30, and is then drawn by the winding-side reel 51 of the feeding unit 50. While the polishing is being performed, the polishing film F is stretched with a predetermined tension, fed out from the supply section 40, drawn into the feeding section 50 at a low speed, and new abrasive grains come into contact with the work W one after another.

研磨開始時には、第7図に示すように、移動プラテン32
は研磨フィルムFの送りの逆方向の端である移動ストロ
ークの始端に位置している。ワークWが移動プラテン32
の表面の研磨フィルムFの接触して研磨が始まり、研磨
フィルムFが送られると、移動プラテン32は研磨フィル
ムFの送りに従い、研磨フィルムFと移動プラテン32の
表面の弾性材32aとの摩擦計数が大きいので、移動プラ
テン32はコイルばね38の付勢力に抗して研磨フィルムF
と共に移動する。
At the start of polishing, as shown in FIG.
Is located at the beginning of the movement stroke, which is the opposite end of the feed of the polishing film F. Work W moves Platen 32
When the polishing film F is brought into contact with the surface of the polishing plate and polishing is started, and the polishing film F is sent, the moving platen 32 follows the feeding of the polishing film F and counts the friction between the polishing film F and the elastic material 32a on the surface of the moving platen 32. Therefore, the moving platen 32 resists the biasing force of the coil spring 38 and the polishing film F
Move with.

研磨が行なわれている間、ワークWと移動プラテン32と
は相対的位置が変化し、ワークWは移動プラテン32の同
じ位置に圧接することがないので、一部が変形する不具
合が生じない。移動プラテン32の移動方向の長さはワー
クWを仕上げるために必要な研磨フィルムFの長さより
も長くしておき、ワークWの研磨が終了したとき、第8
図に示すように、移動プラテン32はその移動ストローク
の終端近くにある。
While the polishing is being performed, the relative positions of the work W and the moving platen 32 change, and the work W does not come into pressure contact with the same position of the moving platen 32, so that the problem of partial deformation does not occur. The length of the moving platen 32 in the moving direction is set longer than the length of the polishing film F required to finish the work W, and when the polishing of the work W is finished,
As shown, the moving platen 32 is near the end of its moving stroke.

研磨が終了し、ワークWが離れると、移動プラテン32は
コイルばね38の付勢力により移動ストロークの始端に復
帰して次のワークWの研磨に備える。
When the polishing is completed and the work W is separated, the moving platen 32 returns to the start end of the moving stroke by the urging force of the coil spring 38 to prepare for the next work W polishing.

研磨フィルムFは移動プラテン32に安定した定速度で供
給され、ワークWの研磨面はむらのない均一な仕上がり
面が確保される。
The polishing film F is supplied to the moving platen 32 at a stable constant speed, and the polishing surface of the work W is ensured to have a uniform and finished surface.

「考案の効果」 本考案に係る移動プラテン式研磨装置によれば、ワーク
に研磨フィルムを移動プラテンで押してワークを接触さ
せ、ワークが移動プラテンの全体に当るようにしたか
ら、キー溝があるワークであっても食い込むことがな
く、かつ、移動プラテンが極所的に摩耗したり変形する
こともなく、安定した研磨をすることができ、品質管理
も容易になり、性能の優れた研磨装置となる。
[Advantage of Invention] According to the moving platen type polishing apparatus according to the present invention, since the work is brought into contact with the work by pressing the polishing film against the work by the moving platen, the work having the key groove is provided. Even if it is, it does not bite, and the moving platen does not wear or deform locally, it can perform stable polishing, quality control is easy, and a polishing device with excellent performance is provided. Become.

【図面の簡単な説明】 第1図〜第8図は本考案の第1実施例を示しており、第
1図は移動プラテン式研磨装置の正面図、第2図は同じ
く側面図、第3図は同じく平面図、第4図は第1図IV−
IV線断面図、第5図は第3図V−V線断面図、第6図は
第3図VI−VI線断面図、第7図は研磨開始時の研磨ヘッ
ドの模式図、第8図は研磨終了時の研磨ヘッドの模式
図、第9図および第10図は従来例を示しており、第9図
は弾性材コンタクトローラ1による研磨の模式図、第10
図(a),(b)は固定プラテンによる研磨を示す模式
図である。 W…ワーク、F…研磨フィルム 10…移動プラテン式研磨装置 20…ベースフレーム、21…上向面部 22…継手、23…クランク軸 24…連結ロッド、M1…振動駆動用のモータ 30…研磨ヘッド部、31…本体ブロック 32…移動プラテン 34a,34b…案内ローラ 35…レールブロック、38…コイルばね 40…供給部、41…供給側リール 43…ブレーキ、50…繰込部 51…巻取側リール、53…摩擦カップリング 60…与張送り部、61…送り駆動ローラ 65…加圧補助ローラ、M2…送り用モータ
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIGS. 1 to 8 show a first embodiment of the present invention. FIG. 1 is a front view of a moving platen type polishing apparatus, FIG. 2 is a side view of the same, and FIG. The figure is also a plan view and FIG. 4 is FIG. 1 IV-
IV line sectional view, FIG. 5 is a sectional view taken along line VV of FIG. 3, FIG. 6 is a sectional view taken along line VI-VI of FIG. 3, and FIG. 7 is a schematic view of a polishing head at the start of polishing, and FIG. Is a schematic view of a polishing head at the end of polishing, FIGS. 9 and 10 show a conventional example, and FIG. 9 is a schematic view of polishing by an elastic material contact roller 1, FIG.
(A), (b) is a schematic diagram which shows polishing by a fixed platen. W ... Work, F ... Polishing film 10 ... Moving platen type polishing device 20 ... Base frame, 21 ... Upward surface part 22 ... Joint, 23 ... Crank shaft 24 ... Connecting rod, M1 ... Vibration driving motor 30 ... Polishing head part , 31 ... Main body block 32 ... Moving platen 34a, 34b ... Guide roller 35 ... Rail block, 38 ... Coil spring 40 ... Supply section, 41 ... Supply side reel 43 ... Brake, 50 ... Take-up section 51 ... Winding side reel, 53 ... Friction coupling 60 ... Tension feed section, 61 ... Feed drive roller 65 ... Pressurization auxiliary roller, M2 ... Feed motor

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] 【請求項1】研磨フィルムを研磨ヘッド部の移動プラテ
ンに巻き掛け、該研磨ヘッド部を振動させながら研磨フ
ィルムにワークを接触させて研磨するようにした移動プ
ラテン式研磨装置であって、 引張力を与えて研磨フィルムを保持しながら繰り出す供
給部と、前記研磨ヘッド部を経た研磨フィルムを低速度
で引き込む繰込部とを設け、 前記研磨ヘッド部に、研磨フィルムの背面に当接してワ
ークに圧接させる移動プラテンを設け、研磨フィルムの
送り方向に沿って移動可能に該移動プラテンを支持する
とともに、研磨フィルムの送りの逆方向に位置するよう
付勢保持したことを特徴とする移動プラテン式研磨装
置。
1. A moving platen-type polishing apparatus in which a polishing film is wound around a moving platen of a polishing head portion, and a work is brought into contact with the polishing film while vibrating the polishing head portion to perform polishing. Provided with a feeding unit that feeds while holding the polishing film, and a drawing-in unit that draws the polishing film that has passed through the polishing head unit at a low speed, and the polishing head unit contacts the back surface of the polishing film to the work. A movable platen-type polishing characterized in that a movable platen for press contact is provided, the movable platen is supported so as to be movable along the feed direction of the polishing film, and is biased and held so as to be positioned in the opposite direction of the feed of the polishing film. apparatus.
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