JPH0643032B2 - Direct drive articulated robot - Google Patents
Direct drive articulated robotInfo
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- JPH0643032B2 JPH0643032B2 JP63207239A JP20723988A JPH0643032B2 JP H0643032 B2 JPH0643032 B2 JP H0643032B2 JP 63207239 A JP63207239 A JP 63207239A JP 20723988 A JP20723988 A JP 20723988A JP H0643032 B2 JPH0643032 B2 JP H0643032B2
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- arm
- direct drive
- fixed
- coil
- stator
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Description
【発明の詳細な説明】 発明の技術分野 本発明は、ダイレクトドライブ（直接駆動）式の多関節
ロボットに関する。Description: TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION The present invention relates to a direct drive type articulated robot.
従来技術 特開昭６１−１７３８７５号の発明は、ダイレクトドラ
イブ式の多関節ロボットを開示している。そのロボット
に於いて、２つのダイレクトモータは、ロボットの本体
部分内で上下に配置されており、その回転力は、２つの
同心的な支柱によって第１アームまたは第２アームに伝
達される。このような構造の場合に、支柱部分が二重と
なっているため、モータ部分が構造的に複雑となる。2. Description of the Related Art The invention of Japanese Patent Laid-Open No. 61-173875 discloses a direct drive type articulated robot. In the robot, two direct motors are arranged vertically in the main body of the robot, and the rotational force is transmitted to the first arm or the second arm by the two concentric columns. In the case of such a structure, since the pillar portion is doubled, the motor portion is structurally complicated.
発明の目的 したがって、本発明の目的は、第１アーム、第２アーム
駆動用のダイレクトドライブモータを上下に配置するに
当たり、回転力伝達部分の構造を簡略化することであ
る。SUMMARY OF THE INVENTION Therefore, an object of the present invention is to simplify the structure of the rotational force transmitting portion when vertically arranging the direct drive motors for driving the first arm and the second arm.
発明の解決手段 上記目的の下に、本発明は、第１アーム駆動用のダイレ
クトドライブモータと第２アーム駆動用のダイレクトド
ライブモータとを基台上で上下に配置するに当たり、第
１アーム駆動用のダイレクトドライブモータをアウター
ロータ型とし、また第２アーム駆動用のダイレクトドラ
イブモータをインナーロータ型として構成している。こ
れによって、上下のダイレクトドライブモータの構成が
簡略化でき、それらの回転力が効率よくアームに伝達で
きる。Means for Solving the Problems Under the above-mentioned object, the present invention provides a direct drive motor for driving a first arm and a direct drive motor for driving a second arm in a vertical arrangement on a base. The direct drive motor of No. 2 is an outer rotor type, and the direct drive motor for driving the second arm is an inner rotor type. As a result, the configuration of the upper and lower direct drive motors can be simplified, and their rotational force can be efficiently transmitted to the arm.
発明の構成 図は本発明のダイレクトドライブ多関節ロボット１を示
している。Configuration of the Invention The figure shows a direct drive articulated robot 1 of the present invention.
このダイレクトドライブ多関節ロボット１は、水平２関
節型であり、第１アーム１０を駆動するためのダイレク
トドライブモータ１１、および第２アーム２０を駆動す
るためのダイレクトドライブモータ２１を備えている。
これらのダイレクトドライブ１１、２１は、上下に積み
重ねられた状態で、ロボット本体部分を構成している。The direct drive articulated robot 1 is a horizontal two-joint type and includes a direct drive motor 11 for driving the first arm 10 and a direct drive motor 21 for driving the second arm 20.
These direct drives 11 and 21 form a robot main body in a state of being vertically stacked.
まず、ダイレクトドライブモータ２１は、インナーロー
タ型であり、基台２を兼用する固定側の筒状ステータ２
２と、この筒状ステータ２２の内部に固定された環状の
磁石２３と、この磁石２３内でその内周面と離間対向す
る第２のコイル２４と、この第２のコイル２４を固定
し、上記筒状ステータ２２に対し軸受け２６によって回
転自在に支持された第２の中空ロータ２５によって構成
されている。なお、第２の中空ロータ２５は、上方に延
び、第１アーム１０の内部に達している。First, the direct drive motor 21 is an inner rotor type, and the fixed side cylindrical stator 2 that also serves as the base 2 is used.
2, an annular magnet 23 fixed inside the tubular stator 22, a second coil 24 facing the inner peripheral surface of the magnet 23 away from the magnet 23, and the second coil 24 fixed. A second hollow rotor 25 is rotatably supported by a bearing 26 on the cylindrical stator 22. The second hollow rotor 25 extends upward and reaches the inside of the first arm 10.
また、第１アーム１０駆動用のダイレクトドライブモー
タ１１は、アウターロータ型であり、筒状ステータ２２
の上部に固定された筒状の第１のステータ１２と、この
第１のステータ１２の外側に固定された第１のコイル１
３と、この第１のコイル１３の外側でその外周面と離間
対向する環状の磁石１４と、第１のステータ１２に対し
軸受け１５によって回転自在に支持され、磁石１４を固
定する第１のロータ１６とによって構成されている。The direct drive motor 11 for driving the first arm 10 is an outer rotor type and has a tubular stator 22.
Cylindrical first stator 12 fixed to the upper part of the first coil 1 and first coil 1 fixed to the outside of the first stator 12
3, an annular magnet 14 that faces the outer peripheral surface of the first coil 13 while being spaced apart from the outer surface of the first coil 13, and a first rotor that is rotatably supported by a bearing 15 and fixed to the first stator 12. 16 and 16.
上記第１のアーム１０は、その基端部分で、第１のロー
タ１６の上部に直接固定されている。また、第２のアー
ム２０は、基端部分で、垂直方向の軸２７によって、第
１アーム１０の先端部分に回転自在に固定されている。
なお、この第２アーム２０は、先端部分で上下動自在
で、かつ回転自在の作業軸２８を備え、その下端部分で
作業内容に適切なチヤック２９を備えている。The first arm 10 is directly fixed to the upper portion of the first rotor 16 at its base end portion. Further, the second arm 20 is rotatably fixed to the tip end portion of the first arm 10 by a vertical shaft 27 at the base end portion.
The second arm 20 is provided with a work shaft 28 which is vertically movable and rotatable at a tip portion thereof, and is provided with a chuck 29 which is suitable for a work content at a lower end portion thereof.
そして、上記中空ロータ２５の回転力は、第１アーム１
０の内部の駆動伝達手段３０によって、第２アーム２０
に伝達される。この実施例の場合、駆動伝達手段３０
は、第２の中空ロータ２５の上部に固定したプーリ３
１、軸２７の上端に固定したプーリ３２、これらのプー
リ３１、３２の外周に平行掛けまたは十字掛けの状態で
巻き付けて各端部で固定された２本のベルト３３、３４
によって構成されている。Then, the rotational force of the hollow rotor 25 is equal to that of the first arm 1
Drive transmission means 30 inside the second arm 20
Be transmitted to. In the case of this embodiment, the drive transmission means 30
Is the pulley 3 fixed to the upper part of the second hollow rotor 25.
1. A pulley 32 fixed to the upper end of the shaft 27, and two belts 33 and 34 fixed at each end by being wound around the outer circumferences of these pulleys 31 and 32 in parallel or in a cross shape.
It is composed by.
発明の作用 第１アーム１０は、ダイレクトドライブモータ１１によ
って駆動され、第２の中空ロータ２５を回転中心として
回動する。また、第２アーム２０は、ダイレクトドライ
ブモータ２１によって、駆動伝達手段３０を介して駆動
され、軸２７を中心として回動する。Action of the Invention The first arm 10 is driven by the direct drive motor 11 and rotates about the second hollow rotor 25. Further, the second arm 20 is driven by the direct drive motor 21 via the drive transmission means 30, and rotates about the shaft 27.
すなわち、第１のコイル１３が通電状態となると、第１
のロータ１６が回るため、これによって第１アーム１０
は、所定の方向に回動する。また、ダイレクトドライブ
モータ２１の第２コイル２４が通電状態になると、第２
の中空ロータ２５が回転し、この回転力が駆動伝達手段
３０を介し第２アーム２０に伝達されるため、第２アー
ム２０は、第１アーム１０の先端部分で軸２７を中心と
して所定の方向に必要な角度だけ回動する。なお、これ
らの第１のロータ１６および第２の中空ロータ２５の回
転量は、それぞれ対応の固定側の第１のステータ１２お
よび筒状ステータ２２との間に設けられた回転検出手段
によって検出される。これらの回転検出手段は、例えば
ダイレクトドライブモータ１１、２１の中間部分に配置
される。That is, when the first coil 13 is energized, the first coil 13
Since the rotor 16 of the first arm 10 rotates,
Rotates in a predetermined direction. When the second coil 24 of the direct drive motor 21 is energized, the second
The hollow rotor 25 rotates, and this rotational force is transmitted to the second arm 20 via the drive transmission means 30, so that the second arm 20 has a tip portion of the first arm 10 about the shaft 27 in a predetermined direction. Rotate only the required angle. The rotation amounts of the first rotor 16 and the second hollow rotor 25 are detected by rotation detection means provided between the corresponding fixed first stator 12 and tubular stator 22, respectively. It These rotation detecting means are arranged, for example, in an intermediate portion between the direct drive motors 11 and 21.
このようにして、第１アーム１０および第２アーム２０
は、必要な角度だけ回動し、作業軸２８を所定の方向に
移動させ、その回転および上下運動によって、チヤック
２９で必要な作業を行う。In this way, the first arm 10 and the second arm 20
Rotates a required angle to move the work shaft 28 in a predetermined direction, and the rotation and vertical movement of the work shaft 28 perform a necessary work with the chuck 29.
発明の効果 本発明では、次の効果が得られる。Effects of the Invention According to the present invention, the following effects can be obtained.
上下のダイレクトドライブモータがアウターロータ、イ
ンナーロータとして構成され、上下に配置されているた
め、ロボット本体部分がこれらのモータ自体によって構
成でき、それらの外径が小さくできる。また、これらの
モータ自体がロボット本体を構成しているため、ロボッ
トの本体部分の構成が従来のものに比較して簡略化でき
る。Since the upper and lower direct drive motors are configured as an outer rotor and an inner rotor and are arranged above and below, the robot body can be configured by these motors themselves, and their outer diameters can be reduced. Further, since these motors themselves constitute the robot main body, the configuration of the robot main body can be simplified as compared with the conventional one.
そして、第１アーム駆動用のダイレクトドライブモータ
が回転するとき、第２アーム駆動用のダイレクトドライ
ブモータの回転部分が負荷とならないため、モータの回
転力が有効に利用でき、また第１アームの駆動時に、第
２アームについて回転方向の補正が必要とされない。Then, when the direct drive motor for driving the first arm rotates, the rotating portion of the direct drive motor for driving the second arm does not become a load, so that the rotational force of the motor can be effectively utilized and the driving force of the first arm At times, no rotational direction correction is required for the second arm.
図は本発明のダイレクトドライブ多関節ロボットの垂直
断面図である。 １……ダイレクトドライブ多関節ロボット、２……基
台、１０……第１アーム、１１……ダイレクトドライブ
モータ、１２……第１のステータ、１３……第１のコイ
ル、１４……磁石、１６……第１のロータ、２０……第
２アーム、２１……ダイレクトドライブモータ、２２…
…筒状ステータ、２３……磁石、２４……第２コイル、
２５……第２の中空ロータ、２７……軸、３０……駆動
伝達手段。The figure is a vertical sectional view of a direct drive articulated robot of the present invention. 1 ... Direct drive articulated robot, 2 ... Base, 10 ... First arm, 11 ... Direct drive motor, 12 ... First stator, 13 ... First coil, 14 ... Magnet, 16 ... First rotor, 20 ... Second arm, 21 ... Direct drive motor, 22 ...
... Cylindrical stator, 23 ... Magnet, 24 ... Second coil,
25 ... second hollow rotor, 27 ... shaft, 30 ... drive transmission means.
Claims (1)
トドライブモータを上下に配置したロボットに於いて、
固定の筒状ステータ、この筒状ステータ内に固定された
環状の磁石、この磁石内で磁石と離間対向する第２のコ
イル、この第２のコイルを固定し、上記筒状ステータに
回転自在に支持された第２の中空ロータと、この中空ロ
ータを上下に延ばした上端に設けた第２アームへの駆動
伝達手段、この駆動伝達手段を収納した第１アーム、上
記筒状ステータの上部を上記ロータの延長部の外側に延
ばした第１のステータと、この第１のステータの外周に
固定した第１のコイルと、この第１のコイルの外側で第
１のコイルと離間対向する環状の磁石と、この磁石を固
定し上部に第１アームを固定した第１のロータとからな
ることを特徴とするダイレクトドライブ多関節ロボッ
ト。1. A robot in which a direct drive motor for driving a first arm and a second arm is arranged vertically,
Fixed tubular stator, annular magnet fixed in the tubular stator, second coil in the magnet facing away from the magnet, second coil fixed, rotatably in the tubular stator The second hollow rotor supported, the drive transmission means to the second arm provided at the upper end of the hollow rotor extending vertically, the first arm accommodating the drive transmission means, and the upper portion of the tubular stator are described above. A first stator extending outside the extended portion of the rotor, a first coil fixed to the outer periphery of the first stator, and an annular magnet that faces the first coil outside the first coil. And a first rotor having the magnet fixed and the first arm fixed to the upper portion of the direct drive articulated robot.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63207239A JPH0643032B2 (en) | 1988-08-23 | 1988-08-23 | Direct drive articulated robot |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63207239A JPH0643032B2 (en) | 1988-08-23 | 1988-08-23 | Direct drive articulated robot |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0259289A JPH0259289A (en) | 1990-02-28 |
| JPH0643032B2 true JPH0643032B2 (en) | 1994-06-08 |
Family
ID=16536526
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63207239A Expired - Lifetime JPH0643032B2 (en) | 1988-08-23 | 1988-08-23 | Direct drive articulated robot |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0643032B2 (en) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4766274B2 (en) * | 2007-07-18 | 2011-09-07 | 株式会社安川電機 | Substrate transfer robot and semiconductor manufacturing apparatus having the same |
| JP7374683B2 (en) * | 2019-09-19 | 2023-11-07 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | Substrate transfer device and hand position correction method for the substrate transfer device |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0632913B2 (en) * | 1985-04-30 | 1994-05-02 | ぺんてる株式会社 | Rotating device for articulated robot using direct drive motor |
| JPS63191584A (en) * | 1987-01-30 | 1988-08-09 | 株式会社日立製作所 | Industrial robot |
-
1988
- 1988-08-23 JP JP63207239A patent/JPH0643032B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0259289A (en) | 1990-02-28 |
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