JPH0641987U - Welding / fusing device - Google Patents

Welding / fusing device

Info

Publication number
JPH0641987U
JPH0641987U JP083940U JP8394092U JPH0641987U JP H0641987 U JPH0641987 U JP H0641987U JP 083940 U JP083940 U JP 083940U JP 8394092 U JP8394092 U JP 8394092U JP H0641987 U JPH0641987 U JP H0641987U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
laser beam
lens
welding
fusing
pulse
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP083940U
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
覚 刑部
実 山田
Original Assignee
石川島播磨重工業株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 石川島播磨重工業株式会社 filed Critical 石川島播磨重工業株式会社
Priority to JP083940U priority Critical patent/JPH0641987U/en
Publication of JPH0641987U publication Critical patent/JPH0641987U/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

(57)【要約】 【目的】 被加工物の溶接・溶断に伴う飛末によるレン
ズの損傷、飛末のレンズへの付着を防止して、レーザビ
ームによる安定した被加工物の加工を行う。 【構成】 パルスレーザ発振器13と、パルスレーザ発
振器13からのレーザビーム1を集光させるレンズ7を
内蔵したノズル部14とを備えた溶接・溶断装置12で
あって、レンズ7とノズル部先端11との間に、レンズ
7を通過したレーザビーム1を周縁部15aで遮断する
と共に、周縁部15aにレーザビーム1を通過させ得る
4個の穴部15bを設けた遮蔽板15を配設し、該遮蔽
板15を回転可能に支持する駆動装置16をノズル部1
4外部に配設し、前記駆動装置16とパルスレーザ発振
器13との間に、レーザビーム1のパルス間隔に同期し
て遮蔽板15の回転を制御する制御装置17を配設した
構成となっている。
(57) [Abstract] [Purpose] To prevent the damage of the lens due to the trailing edge caused by welding and fusing of the workpiece and the attachment of the trailing edge to the lens, and to perform stable machining of the workpiece with the laser beam. A welding / fusing device 12 comprising a pulse laser oscillator 13 and a nozzle portion 14 having a lens 7 for condensing the laser beam 1 from the pulse laser oscillator 13, the lens 7 and a tip portion 11 of the nozzle portion. And a shield plate 15 that blocks the laser beam 1 that has passed through the lens 7 at the peripheral edge 15a and that has four holes 15b that allow the laser beam 1 to pass through the peripheral edge 15a. The drive unit 16 for rotatably supporting the shield plate 15 is provided with the nozzle unit 1.
4 is arranged outside, and a control device 17 for controlling the rotation of the shielding plate 15 in synchronization with the pulse interval of the laser beam 1 is arranged between the driving device 16 and the pulse laser oscillator 13. There is.

Description

【考案の詳細な説明】[Detailed description of the device]

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】[Industrial applications]

本考案は、パルスレーザ発振器からのレーザビームによって被加工物の溶接・ 溶断を行う溶接・溶断装置に関するものである。 The present invention relates to a welding / fusing device for welding / fusing a workpiece by using a laser beam from a pulse laser oscillator.

【0002】[0002]

【従来の技術】[Prior art]

以下、従来の溶接・溶断装置を図4・図5を参照して説明する。 Hereinafter, a conventional welding and fusing device will be described with reference to FIGS.

【0003】 図中、1は炭酸ガスレーザ等のレーザビーム、2は該レーザビーム1を発生す るレーザ発振器であり、該レーザ発振器2から発振されたレーザビーム1は、反 射鏡3によって方向が変えられ、ノズル部4に内蔵されたレンズ7によって被加 工物8の溶接・溶断位置9に焦点が合うよう集光されて、前記被加工物8の溶接 ・溶断位置9に照射され、被加工物8の溶接・溶断を行うようになっている。In the figure, 1 is a laser beam such as a carbon dioxide gas laser, 2 is a laser oscillator for generating the laser beam 1, and the laser beam 1 oscillated from the laser oscillator 2 is directed by a reflecting mirror 3. It is changed and focused by the lens 7 built in the nozzle part 4 so that the welding / fusing position 9 of the workpiece 8 is focused, and the welding / fusing position 9 of the workpiece 8 is irradiated and irradiated. The workpiece 8 is welded and melted.

【0004】 尚、図中、5は吹込口、6はアシストガスであり、前記アシストガス6はレー ザビーム1による被加工物8の加工時にレーザビーム1の照射によって生じるプ ラズマを除去、或いは切断ガスとして用いるものである。In the figure, 5 is a blow-in port, 6 is an assist gas, and the assist gas 6 removes or cuts the plasma generated by the irradiation of the laser beam 1 when the workpiece 8 is processed by the laser beam 1. It is used as gas.

【0005】 又、金属の被加工物8をレーザビーム1によって切断する場合には一般に酸素 がアシストガス6として用いられ、レーザビーム1によって被加工物8を加熱し 被加工物8とアシストガス6との化合によって被加工物8の溶接・溶断位置9の 加熱を促進させて加工速度を高めることができるようにしている。When the metal workpiece 8 is cut by the laser beam 1, oxygen is generally used as the assist gas 6, and the workpiece 8 is heated by the laser beam 1 and the workpiece 8 and the assist gas 6 are heated. With the combination with the above, the heating of the welding / fusing position 9 of the workpiece 8 can be promoted and the processing speed can be increased.

【0006】[0006]

【考案が解決しようとする課題】[Problems to be solved by the device]

上記した従来の溶接・溶断装置によると、被加工物8のレーザビーム照射位置 からは多量の火花と共に高温の飛末(スパッタ)10が飛び散り、該飛末10が ノズル部4内に侵入してレンズ7に付着し、レンズ7を傷付ける問題を生じてい た。 According to the conventional welding and fusing apparatus described above, a large amount of sparks and a high-temperature end (spatter) 10 are scattered from the laser beam irradiation position of the workpiece 8 and the end 10 enters the nozzle portion 4. There was a problem that it adhered to the lens 7 and scratched the lens 7.

【0007】 又、上記した如く、飛末10によってレンズ7が傷付けられたり、飛末10が レンズ7に付着したりすると、レーザビーム1が散乱してレンズ7が高い熱を保 持し最悪の場合には溶けてしまったり、又レンズ7の変形によってレーザビーム 1の曲率が変ってエネルギー効率が変ってしまい、切断可能であった被加工物8 が切断不可能になってしまったり、所望の溶接深さが得られなくなる等の問題が あった。Further, as described above, when the lens 7 is scratched by the trailing end 10 or when the trailing end 10 adheres to the lens 7, the laser beam 1 is scattered and the lens 7 retains high heat, which is the worst case. In some cases, it may melt, or the curvature of the laser beam 1 may change due to the deformation of the lens 7 and the energy efficiency may change, making it impossible to cut the workpiece 8 that could be cut. There was a problem that the welding depth could not be obtained.

【0008】 本考案は、上述の実情に鑑み、被加工物の溶接・溶断に伴う飛末によってレン ズが傷付いたり、飛末がレンズに付着するのを防止して、レーザビームによる安 定した被加工物の加工を行い得るようにした溶接・溶断装置を提供することを目 的とするものである。In view of the above situation, the present invention prevents the lens from being scratched or attached to the lens by the trailing edge caused by welding or fusing of the workpiece, and stabilizes by the laser beam. It is an object of the present invention to provide a welding / fusing device capable of processing a processed workpiece.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】[Means for Solving the Problems]

本考案は、パルスレーザ発振器と、該パルスレーザ発振器からのレーザビーム を集光させるレンズを内蔵したノズル部とを備えた溶接・溶断装置であって、前 記レンズと前記ノズル部先端との間に、前記レンズを通過した前記レーザビーム を周縁部で遮断すると共に該周縁部に前記レーザビームを通過させ得る少なくと も1個の穴部を設けた遮蔽板を配設し、該遮蔽板を回転可能に支持する駆動装置 を前記ノズル部外部に配設し、前記駆動装置と前記パルスレーザ発振器との間に 、該パルスレーザ発振器によって発生する前記レーザビームのパルス間隔に同期 して前記遮蔽板の回転を制御する制御装置を配設したことを特徴とする溶接・溶 断装置に係るものである。 The present invention is a welding and fusing device comprising a pulse laser oscillator and a nozzle portion having a lens for condensing a laser beam from the pulse laser oscillator, wherein the welding and fusing device is provided between the lens and the tip of the nozzle portion. In addition, a shielding plate that blocks the laser beam that has passed through the lens at its peripheral portion and has at least one hole portion that allows the laser beam to pass through the peripheral portion is provided. A driving device that rotatably supports is disposed outside the nozzle unit, and the shielding plate is provided between the driving device and the pulse laser oscillator in synchronization with a pulse interval of the laser beam generated by the pulse laser oscillator. The present invention relates to a welding and fusing device, which is characterized in that a control device for controlling the rotation of the is installed.

【0010】[0010]

【作用】[Action]

所定のパルス間隔で発振されるレーザビームはノズル部のレンズによって集光 され、レーザビームのパルス間隔に同期して回転する遮蔽板の穴部を通過して、 ノズル部の先端からアシストガスと共に被加工物の加工位置に照射され、被加工 物の溶接・溶断を行う。このとき溶接・溶断に伴って飛末が生じ、該飛末はノズ ル部の内部にも侵入するが、レーザビームが遮蔽板の穴部を通過した後のノズル 部内部は遮蔽板がレーザビームのパルス間隔に同期して回転していることから、 遮蔽板の周縁部によって遮蔽されているので、前記飛末は遮蔽板の周縁部に付着 しレンズの位置まで到達しない。 The laser beam oscillated at a predetermined pulse interval is focused by the lens of the nozzle, passes through the hole in the shield plate that rotates in synchronization with the pulse interval of the laser beam, and is covered with the assist gas from the tip of the nozzle. The work position is irradiated and the work is welded and melted. At this time, a trailing edge occurs due to welding and fusing, and this trailing edge also penetrates into the nozzle portion, but inside the nozzle portion after the laser beam has passed through the hole in the shielding plate, the shielding plate is the laser beam. Since it rotates in synchronism with the pulse interval of, since it is shielded by the peripheral edge of the shield plate, the fly ends adhere to the peripheral edge of the shield plate and do not reach the position of the lens.

【0011】 従って、前記飛末がレンズの位置まで到達する可能性があるのは、レーザビー ムが遮蔽板の穴部を通過する際に、前記飛末が穴部を通過する場合だけとなり、 飛末によってレンズが傷付いたり、飛末がレンズに付着するのを極力防止するこ とができ、レーザビームによる安定した被加工物の加工を行うことができる。Therefore, the fly end may reach the position of the lens only when the laser beam passes through the hole of the shield plate when the fly end passes through the hole. It is possible to prevent the lens from being scratched by the dust and to prevent the fly dust from adhering to the lens as much as possible, and it is possible to perform stable machining of the workpiece with the laser beam.

【0012】[0012]

【実施例】【Example】

以下、本考案の実施例を図面に基いて説明する。 An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0013】 図1〜図3は、本考案の一実施例であり、又、図中、図4・図5に示すものと 同一の構成部分については同一の符号を付すことによって説明を省略するものと し、以下、本考案に特有の構成についてのみ説明して行く。FIGS. 1 to 3 show an embodiment of the present invention, and in the drawings, the same components as those shown in FIGS. 4 and 5 are designated by the same reference numerals and their description is omitted. However, only the configuration unique to the present invention will be described below.

【0014】 図中、12は溶接・溶断装置であって、該溶接・溶断装置12は、レーザビー ム1の経路を変更する反射鏡3と、レーザビーム1を所定のパルス間隔(例えば 1000分の1秒間隔)で発振するパルスレーザ発振器13と、該パルスレーザ 発振器13からのレーザビーム1を集光させるレンズ7を内蔵し且つアシストガ ス6(酸素)が流入する吹込口5を備えたノズル部14とを備えており、該ノズ ル部14に内蔵されたレンズ7とノズル部先端11との間に遮蔽板15を配設し ている。In the figure, reference numeral 12 is a welding / fusing device, which includes a reflecting mirror 3 for changing the path of the laser beam 1 and a laser beam 1 at a predetermined pulse interval (for example, 1000 minutes). Nozzle part having pulse laser oscillator 13 that oscillates at 1 second intervals, lens 7 that condenses laser beam 1 from pulse laser oscillator 13 and blow port 5 into which assist gas 6 (oxygen) flows 14 and a shielding plate 15 is arranged between the lens 7 built in the nozzle part 14 and the tip 11 of the nozzle part.

【0015】 該遮蔽板15は、ノズル部14の径より大きな径の円盤形状を有し、ノズル部 14におけるレンズ7とノズル部先端11との間に形成した開口18に嵌合する よう配置され、ノズル部14の外部に配置したパルスモータ等の駆動装置16に より前記ノズル部14と平行な軸15cを介して回転されるようになっている。 更に、前記遮蔽板15は、前記レンズ7を通過したレーザビーム1を遮断する周 縁部15aと、該周縁部15aにレーザビーム1を通過させ得る穴部15b(図 示の場合は4個)を設けた構成を有し、前記遮蔽板15と駆動装置16を包囲す るカバー19がノズル部14に固定されてアシストガス6の漏出が防止されるよ うになっている。The shielding plate 15 has a disk shape with a diameter larger than that of the nozzle portion 14, and is arranged so as to fit into an opening 18 formed between the lens 7 and the tip 11 of the nozzle portion 14. A driving device 16 such as a pulse motor arranged outside the nozzle portion 14 is rotated via a shaft 15c parallel to the nozzle portion 14. Further, the shielding plate 15 has a peripheral edge portion 15a that blocks the laser beam 1 that has passed through the lens 7, and a hole portion 15b (four holes in the case shown) that allows the laser beam 1 to pass through the peripheral edge portion 15a. The cover 19 surrounding the shielding plate 15 and the driving device 16 is fixed to the nozzle portion 14 to prevent the assist gas 6 from leaking.

【0016】 パルスレーザ発振器13には、該パルスレーザ発振器13によって発生するレ ーザビーム1のパルス間隔に同期して前記駆動装置16を作動させて遮蔽板15 の回転を制御するようにした制御装置17が接続している。The pulse laser oscillator 13 controls the rotation of the shield plate 15 by operating the driving device 16 in synchronization with the pulse interval of the laser beam 1 generated by the pulse laser oscillator 13. Are connected.

【0017】 尚、前記遮蔽板15の穴部15bの大きさは、レンズ7によって集光されたレ ーザビーム1が通過し得る大きさであればよく、該レーザビーム1が穴部15b を通過する際のレーザビーム1の直径から決定されればよい。又、穴部15bの 数は任意に決めることができるが、レーザビーム1のパルス間隔と駆動装置16 によって回転する遮蔽板15の回転数と、レーザビーム1が発振されていない場 合に周縁部15aがどの程度ノズル部14内を遮蔽し得るかによって決定される 。The size of the hole 15b of the shielding plate 15 may be any size that allows the laser beam 1 focused by the lens 7 to pass therethrough, and the laser beam 1 passes through the hole 15b. It may be determined from the diameter of the laser beam 1 at that time. The number of holes 15b can be arbitrarily determined, but the pulse interval of the laser beam 1, the number of rotations of the shield plate 15 rotated by the driving device 16, and the peripheral portion when the laser beam 1 is not oscillated. It is determined by how much 15a can shield the inside of the nozzle unit 14.

【0018】 例えば、レーザビーム1が発振されていない場合に周縁部15aが充分にノズ ル部14内を遮蔽していると仮定し、レーザビーム1のパルス間隔が1000分 の1秒だとすると、図3に示す場合では穴部15bは4個設けられているので遮 蔽板15は1000分の4秒で一回転するように制御すればよく、又遮蔽板15 が1000分の1秒で一回転するように制御されているならば、穴部15bは1 個設けられればよいことになる。For example, assuming that the peripheral portion 15a sufficiently shields the inside of the nozzle portion 14 when the laser beam 1 is not oscillating, and the pulse interval of the laser beam 1 is 1000 seconds, which is 1 second, In the case shown in Fig. 3, since four holes 15b are provided, the shielding plate 15 may be controlled to rotate once in 4/1000 seconds, and the shielding plate 15 rotates once in 1/1000 second. If it is controlled to do so, one hole 15b may be provided.

【0019】 上記した構成の溶接・溶断装置12の作用について以下に述べる。The operation of the welding / fusing device 12 having the above configuration will be described below.

【0020】 パルスレーザ発振器13から所定のパルス間隔(1000分の1秒間隔)のレ ーザビーム1が発振されると、制御装置17によって駆動装置16が制御されて 該駆動装置16によって遮蔽板15がレーザビーム1のパルス間隔に同期して回 転(1000分の4秒で一回転)する。前記レーザビーム1は反射鏡3によって 曲光してノズル部14のレンズ7に入り、該レンズ7によって集光され、遮蔽板 15の穴部15bを通過して、ノズル部先端11から吹込口5から吹き込められ たアシストガス6(酸素)と共に被加工物8の溶接・溶断位置9に照射され、被 加工物8の溶接・溶断を行う。When the pulse laser oscillator 13 oscillates the laser beam 1 with a predetermined pulse interval (1/1000 second interval), the control device 17 controls the drive device 16 so that the shield plate 15 is moved by the drive device 16. It rotates in synchronization with the pulse interval of the laser beam 1 (one rotation in 4/1000 seconds). The laser beam 1 is bent by the reflecting mirror 3 and enters the lens 7 of the nozzle portion 14, is condensed by the lens 7, passes through the hole portion 15b of the shielding plate 15, and is blown from the nozzle tip 11 to the blowing port 5 The welding / fusing position 9 of the work 8 is irradiated with the assist gas 6 (oxygen) blown from the work 8 to weld / fuse the work 8.

【0021】 このとき溶接・溶断に伴って飛末10が生じ、該飛末10はノズル部14の内 部にも侵入するが、レーザビーム1が遮蔽板15の穴部15bを通過した後のノ ズル部14内部は遮蔽板15がレーザビーム1のパルス間隔に同期して回転して いることから、遮蔽板15の周縁部15aによって遮蔽されているので、前記飛 末10は遮蔽板15の周縁部15aの下面に衝突して付着し、レンズ7の位置ま で到達しない。At this time, a trailing end 10 is generated due to the welding and fusing, and the trailing end 10 also penetrates into the inner portion of the nozzle portion 14, but after the laser beam 1 passes through the hole portion 15 b of the shielding plate 15, Since the shield plate 15 is rotated in synchronization with the pulse interval of the laser beam 1 inside the nozzle part 14, it is shielded by the peripheral edge portion 15a of the shield plate 15, so that the tip 10 of the shield plate 15 is covered. It collides with and adheres to the lower surface of the peripheral edge portion 15a and does not reach the position of the lens 7.

【0022】 よって、前記飛末10がレンズ7の位置まで到達する可能性があるのは、レー ザビーム1が遮蔽板15の穴部15bを通過する際に、前記飛末10が穴部15 bを通過する場合だけとなり、従って、飛末10によってレンズ7が傷付いたり 、飛末10がレンズ7に付着するのを極力防止することができ、レーザビーム1 による安定した被加工物8の溶接・溶断を行うことができる。Therefore, it is possible that the flying tip 10 reaches the position of the lens 7 when the laser beam 1 passes through the hole portion 15 b of the shield plate 15 and the flying tip 10 is in the hole portion 15 b. Therefore, it is possible to prevent the lens 7 from being damaged by the trailing end 10 and preventing the trailing end 10 from adhering to the lens 7 as much as possible, and stable welding of the workpiece 8 by the laser beam 1 is performed.・ Fusing can be performed.

【0023】 尚、本考案は、上述の実施例にのみ限定されるものではなく、本考案の要旨を 逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。It should be noted that the present invention is not limited to the above-described embodiments, and it goes without saying that various modifications can be made without departing from the gist of the present invention.

【0024】[0024]

【考案の効果】[Effect of device]

以上説明したように、本考案の溶接・溶断装置によれば、飛末によってノズル 部に内蔵したレンズが傷付いたり、飛末がレンズに付着するのを極力防止するこ とができるので、レーザビームが散乱してレンズが高い熱を保持し最悪の場合に は溶けてしまったり、レンズの変形によりレーザビームの曲率が変ってエネルギ ー効率が変ってしまい、加工可能であった被加工物が加工不可能になったり、所 望の溶接深さが得られなくなるということが無くなって、レーザビームによる安 定した被加工物の加工を行い得るという優れた効果を奏し得る。 As described above, according to the welding and fusing device of the present invention, it is possible to prevent the lens built in the nozzle part from being damaged by the trailing end and to prevent the trailing end from adhering to the lens as much as possible. The beam scatters, the lens retains high heat and melts in the worst case, or the lens deformation causes the laser beam curvature to change and the energy efficiency to change. It is possible to achieve an excellent effect that a stable work can be performed on a work piece by a laser beam, because the workability becomes impossible and a desired welding depth cannot be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本考案の一実施例の一部を切断して示した全体
概略図である。
FIG. 1 is an overall schematic diagram showing a part of an embodiment of the present invention by cutting it.

【図2】図1の溶接・溶断装置のレーザビームが発振さ
れていない状態を示す一部を切断して示した全体概略図
である。
FIG. 2 is an overall schematic view showing a state in which a laser beam of the welding and fusing apparatus of FIG. 1 is not oscillated and a part of which is cut.

【図3】図1のIII−III矢視図である。FIG. 3 is a view on arrow III-III in FIG. 1.

【図4】従来の溶接・溶断装置の概略を示す模式図であ
る。
FIG. 4 is a schematic diagram showing an outline of a conventional welding / fusing device.

【図5】飛末がレンズに付着した状態を示す模式図であ
る。
FIG. 5 is a schematic diagram showing a state in which the fly ends adhere to the lens.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 レーザビーム 7 レンズ 11 ノズル部先端 12 溶接・溶断装置 13 パルスレーザ発振器 14 ノズル部 15a 周縁部 15b 穴部 15 遮蔽板 16 駆動装置 17 制御装置 1 Laser Beam 7 Lens 11 Nozzle Tip 12 Welding / Fusing Device 13 Pulse Laser Oscillator 14 Nozzle 15a Peripheral 15b Hole 15 Shielding Plate 16 Drive 17 Control Device

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] 【請求項1】 パルスレーザ発振器と、該パルスレーザ
発振器からのレーザビームを集光させるレンズを内蔵し
たノズル部とを備えた溶接・溶断装置であって、前記レ
ンズと前記ノズル部先端との間に、前記レンズを通過し
た前記レーザビームを周縁部で遮断すると共に該周縁部
に前記レーザビームを通過させ得る少なくとも1個の穴
部を設けた遮蔽板を配設し、該遮蔽板を回転可能に支持
する駆動装置を前記ノズル部外部に配設し、前記駆動装
置と前記パルスレーザ発振器との間に、該パルスレーザ
発振器によって発生する前記レーザビームのパルス間隔
に同期して前記遮蔽板の回転を制御する制御装置を配設
したことを特徴とする溶接・溶断装置。
1. A welding and fusing device comprising a pulse laser oscillator and a nozzle portion containing a lens for condensing a laser beam from the pulse laser oscillator, wherein the welding and fusing device is provided between the lens and the tip of the nozzle portion. Is provided with a shield plate that shields the laser beam that has passed through the lens at the peripheral edge and at least one hole that allows the laser beam to pass through the peripheral edge, and the shield plate can be rotated. A drive device supported by the nozzle is disposed outside the nozzle unit, and the shield plate is rotated between the drive device and the pulse laser oscillator in synchronization with the pulse interval of the laser beam generated by the pulse laser oscillator. Welding / fusing device characterized by having a control device for controlling the welding.
JP083940U 1992-11-11 1992-11-11 Welding / fusing device Pending JPH0641987U (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP083940U JPH0641987U (en) 1992-11-11 1992-11-11 Welding / fusing device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP083940U JPH0641987U (en) 1992-11-11 1992-11-11 Welding / fusing device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0641987U true JPH0641987U (en) 1994-06-03

Family

ID=13816588

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP083940U Pending JPH0641987U (en) 1992-11-11 1992-11-11 Welding / fusing device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0641987U (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002158185A (en) * 2000-11-21 2002-05-31 Toshiba Corp Method and apparatus for laser annealing, and method and apparatus for manufacturing thin film transistor

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002158185A (en) * 2000-11-21 2002-05-31 Toshiba Corp Method and apparatus for laser annealing, and method and apparatus for manufacturing thin film transistor

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4840110B2 (en) Laser welding apparatus and laser welding method
JP2617048B2 (en) Laser processing equipment
JP6638011B2 (en) Laser processing machine and laser processing method
US3629546A (en) Air-cooled laser processing of materials
US6335507B1 (en) Laser-beam machining method, laser-beam machining device and auxiliary tool for piercing
JPH0641987U (en) Welding / fusing device
JPS5933079B2 (en) Laser cutting method and device
JP3157294B2 (en) Laser cutting method and apparatus
JPH06182570A (en) Laser beam welding method
JP7213441B2 (en) LASER WELDING METHOD AND LASER WELDING APPARATUS
JP2005177786A (en) Processing method and apparatus by high density energy beam and manufacturing method and apparatus for tube with hole
JP3761687B2 (en) Method for removing material adhering melt during piercing
JP2865543B2 (en) Laser processing head
JP2003340577A (en) Laser processing apparatus
JPH09136177A (en) Laser beam machine
JPS6163387A (en) Laser beam machine
JP3179892B2 (en) Laser processing apparatus and laser processing method
JP2875626B2 (en) Laser piercing method
JP2606014B2 (en) Laser processing equipment
JPH01104493A (en) Laser processing machine
JP4243894B2 (en) Laser processing equipment
JP7213440B2 (en) LASER WELDING METHOD AND LASER WELDING APPARATUS
JP2639055B2 (en) Laser processing machine
JPH09108877A (en) Laser beam processing head
JPH09220687A (en) Laser beam machining head