JPH0640845U - Temperature atmosphere generator - Google Patents

Temperature atmosphere generator

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JPH0640845U
JPH0640845U JP7657092U JP7657092U JPH0640845U JP H0640845 U JPH0640845 U JP H0640845U JP 7657092 U JP7657092 U JP 7657092U JP 7657092 U JP7657092 U JP 7657092U JP H0640845 U JPH0640845 U JP H0640845U
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JP
Japan
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temperature
chamber
gas
air
atmosphere
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JP7657092U
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Japanese (ja)
Inventor
昭 大槻
Original Assignee
タバイエスペック株式会社
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  • Testing Resistance To Weather, Investigating Materials By Mechanical Methods (AREA)

Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【目的】 チャンバ内に発熱体や吸熱体が置かれたり、
冷却器表面温度分布が変化するようなことがあっても、
被制御チャンバ内雰囲気の温度分布を均一化することが
でき、或いは所望の温度分布状態にすることもできる温
度雰囲気発生装置を提供する。 【構成】 チャンバ1内を気体循環方向Xを横切る方向
において複数ゾーンL、Rに仮想分割し、空調部2で温
度調整された気体をチャンバ1を吹き出す各分割ゾーン
上流側の吹出し口21の部分又はその近傍にそれぞれ温
度センサ261、262を配置するとともに、空調部2
内における各温度センサより上流側の位置にヒータ24
1、242をそれぞれ配置し、さらにその上流側に冷却
器23を配置し、チャンバ内気体を吸込み口22から空
調部2へ吸い込むように循環させる。
(57) [Summary] (Modified) [Purpose] A heating element or heat absorbing element is placed in the chamber,
Even if the cooler surface temperature distribution changes,
Provided is a temperature atmosphere generation device which can make the temperature distribution of the atmosphere in the controlled chamber uniform or can bring it into a desired temperature distribution state. [Configuration] The inside of the chamber 1 is virtually divided into a plurality of zones L and R in a direction transverse to the gas circulation direction X, and a portion of a blowout port 21 on the upstream side of each divided zone that blows out the gas whose temperature is adjusted by the air conditioning unit 2 from the chamber 1. Or, the temperature sensors 261 and 262 are respectively arranged in the vicinity of the air conditioner 2 and
A heater 24 is provided at a position upstream of each temperature sensor in the inside.
1, 242 are respectively arranged, and further, the cooler 23 is arranged on the upstream side thereof, and the gas in the chamber is circulated so as to be sucked from the suction port 22 to the air conditioning unit 2.

Description

【考案の詳細な説明】[Detailed description of the device]

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】[Industrial applications]

本考案は、所定の温度雰囲気を発生させる温度雰囲気発生装置に関する。 The present invention relates to a temperature atmosphere generator that generates a predetermined temperature atmosphere.

【0002】[0002]

【従来の技術】[Prior art]

温度雰囲気発生装置は、各種分野において利用されている。 代表的には、各種物品や材料について、その耐熱性、耐寒性、耐熱衝撃性等を 調べたり、各種製品やその部品についてバーンイン、スクリーニング等を実施す る恒温器、恒温恒湿器、冷熱衝撃装置等の環境試験装置に組み込まれ、使用され ているものである。また、物品を加熱処理したり、加熱乾燥させる等に用いる熱 処理装置に組み込まれ、使用されるものもある。 Temperature atmosphere generators are used in various fields. Typically, incubators, thermo-hygrostats, and thermal shocks that investigate the heat resistance, cold resistance, and thermal shock resistance of various products and materials, and burn-in and screen various products and their parts. It is used by being incorporated in environmental testing equipment such as equipment. Further, there is also one that is used by being incorporated in a heat treatment device used for heat treatment of an article, heat drying, and the like.

【0003】 かかる温度雰囲気発生装置には種々のタイプのものがあるが、代表的なものと して、環境試験装置等において多用されているタイプのものを挙げることができ る。 すなわち、温度制御すべき被制御チャンバと、前記チャンバに気体吹出し口及 び気体吸込み口を臨ませた空調部とを有し、前記空調部で温度調整された気体を 前記吹出し口から前記チャンバへ吹き出し、該チャンバ内気体を前記吸込み口か ら前記空調部へ吸い込むように循環させることで前記チャンバ内に所定温度雰囲 気を得る温度雰囲気発生装置である。There are various types of such temperature atmosphere generators, and as a typical one, a type often used in environmental test devices can be mentioned. That is, it has a controlled chamber whose temperature is to be controlled, and an air conditioner having a gas outlet and a gas inlet facing the chamber. The gas whose temperature is adjusted by the air conditioner is passed from the outlet to the chamber. It is a temperature atmosphere generating device that obtains a predetermined temperature atmosphere in the chamber by blowing air and circulating the gas in the chamber so as to be sucked into the air conditioning unit from the suction port.

【0004】 このタイプの装置では、通常、空調部に気体加熱ヒータ及び(又は)冷却器が 配置され、これらにより温調された気体が送風ファン等の送気手段にて被制御チ ャンバに循環せしめられる。 被制御チャンバ内雰囲気の温度コントロールは、気体吹出し口又はその近傍に 配置した一つの温度センサによる検出温度を温度調節器へ取り込みつつ、この温 度調節器からの指示に基づいてヒータの加熱能力や冷却器の冷却能力を制御する ことで行われる。In this type of device, a gas heater and / or a cooler are usually arranged in the air-conditioning unit, and the gas whose temperature is controlled by these is circulated to the controlled chamber by an air supply means such as a blower fan. Be punished. To control the temperature of the atmosphere in the controlled chamber, the temperature detected by one temperature sensor located at or near the gas outlet is taken into the temperature controller, and the heating capacity of the heater and the heating capacity of the heater are controlled based on the instructions from this temperature controller. This is done by controlling the cooling capacity of the cooler.

【0005】[0005]

【考案が解決しようとする課題】[Problems to be solved by the device]

しかしながら、この種の温度雰囲気発生装置では、被制御チャンバ内雰囲気の 温度制御は、前記一つの温度センサ付近の気体の温度変化のみをとらえて行われ るため、次のような問題がある。 被制御チャンバ内に発熱体又は吸熱体が部分的に配置され、そのため空調部 の気体吸込み口において、その各部で温度差が発生すると、ヒータや冷却器に流 入する気体中の温度分布が不均一となり、ヒータや冷却器を通過した気体各部間 にもなお、この温度差が残存したままとなり、これがそのまま吹出し口からチャ ンバ内へ吹き出され、しかも、温度センサはかかる気体の一部の温度のみを検出 し、それに基づいて気体全体の温度制御を行うようになるから、結局のところ、 温度差は残存したままの状態が続き、気体吹出し口から吹き出される気体の温度 分布がいつまでも均一化せず、延いては被制御チャンバ内の各部温度分布に乱れ が生じるという問題がある。 また、冷却器を使用している場合、その冷却能力の変化によって冷却器表面 の温度分布が変化すると、その影響で冷却器を通過した気体各部の温度が不均一 となり、しかも、前記一つのセンサではこの不均一さが解消されず、温度分布不 均一な気体がそのまま被制御チャンバに吐出され、従って、該チャンバ内に温度 分布の乱れが発生するという問題もある。 また、被制御チャンバ内雰囲気の温度分布を、均一化することを含め、意図 的に所望の分布状態とすることができない。 However, in this type of temperature atmosphere generating device, the temperature control of the atmosphere in the controlled chamber is performed by capturing only the temperature change of the gas in the vicinity of the one temperature sensor, and therefore has the following problems. A heating element or heat absorbing element is partially arranged in the controlled chamber.Therefore, if a temperature difference occurs at each part of the gas inlet of the air conditioning unit, the temperature distribution in the gas flowing into the heater or cooler will be unsatisfactory. It becomes uniform, and this temperature difference still remains between the various parts of the gas that have passed through the heater and cooler, and this is still blown out from the outlet into the chamber. Only the temperature of the gas is detected and the temperature of the entire gas is controlled based on it.In the end, the temperature difference remains as it is, and the temperature distribution of the gas blown out from the gas outlet becomes uniform forever. However, there is a problem that the temperature distribution of each part in the controlled chamber is disturbed. Also, when a cooler is used, if the temperature distribution on the cooler surface changes due to a change in its cooling capacity, the temperature of each gas passing through the cooler becomes non-uniform due to that effect, and the one sensor However, this non-uniformity cannot be eliminated, and a gas having a non-uniform temperature distribution is discharged as it is to the controlled chamber, so that the temperature distribution is disturbed in the chamber. In addition, the temperature distribution of the atmosphere in the controlled chamber cannot be intentionally made into a desired distribution state including uniformization.

【0006】 そこで本考案は、温度制御すべき被制御チャンバと、前記チャンバに気体吹出 し口及び気体吸込み口を臨ませた空調部とを有し、前記空調部で温度調整された 気体を前記吹出し口から前記チャンバへ吹き出し、該チャンバ内気体を前記吸込 み口から前記空調部へ吸い込むように循環させることで前記チャンバ内に所定温 度雰囲気を得る温度雰囲気発生装置であって、被制御チャンバ内雰囲気の温度分 布を、従来の同タイプの装置に比べると、たとえ被制御チャンバ内に発熱体や吸 熱体が置かれたり、冷却器表面温度分布が変化するようなことがあっても、均一 化することができ、或いは意図的に均一化以外の所望の温度分布状態にすること もできる温度雰囲気発生装置を提供することを課題とする。Therefore, the present invention has a controlled chamber whose temperature is to be controlled, and an air conditioner having a gas outlet and a gas inlet facing the chamber, and the gas whose temperature is adjusted by the air conditioner is aforesaid. A controlled atmosphere chamber for generating a predetermined temperature atmosphere in the chamber by circulating the gas in the chamber from the outlet to the air conditioner so that the gas in the chamber is sucked into the air conditioner. Compared to the conventional temperature distribution system of the same type, even if a heating element or a heat absorbing element is placed in the controlled chamber or the cooler surface temperature distribution changes, It is an object of the present invention to provide a temperature atmosphere generating device that can be made uniform or can be made to have a desired temperature distribution state other than intentionally made uniform.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】[Means for Solving the Problems]

前記課題を解決する本考案の温度雰囲気発生装置は、前記チャンバ内を気体循 環方向を横切る方向において複数ゾーンに仮想分割し、該各分割ゾーン上流側の 前記吹出し口部分又はその近傍にそれぞれ温度センサを配置するとともに前記空 調部内における、該各温度センサより上流側の位置に該各温度センサによる検出 温度に基づいてそれぞれ制御される少なくとも一種の温度制御要素をそれぞれ配 置したことを特徴とする。 In the temperature atmosphere generator of the present invention for solving the above-mentioned problems, the inside of the chamber is virtually divided into a plurality of zones in a direction crossing the gas circulation direction, and the temperature is provided at or near the blowout port portion on the upstream side of each divided zone. At least one type of temperature control element, which is controlled based on the temperature detected by each temperature sensor, is arranged at a position upstream of each temperature sensor in the air conditioning unit. To do.

【0008】 前記温度制御要素としては、気体加熱ヒータ、気体冷却器(冷凍機の蒸発器等 )又はこれらの組み合わせ等を考えることができる。例えば、前記温度制御要素 として前記各温度センサに対応させて気体加熱ヒータを採用し、さらに、これら ヒータの上流側に一体形の冷却器を配置する場合が考えられる。As the temperature control element, a gas heater, a gas cooler (evaporator of refrigerator, etc.) or a combination thereof can be considered. For example, it is conceivable that a gas heating heater is adopted as the temperature control element corresponding to each of the temperature sensors, and an integrated cooler is arranged on the upstream side of these heaters.

【0009】[0009]

【作用】[Action]

本考案装置によると、空調部吹出し口から被制御チャンバへ吹き出される気体 の温度は、該チャンバの仮想分割ゾーンのそれぞれに対応して配置された複数の 温度センサにより複数個所で別々に検出でき、さらに、各センサに対応して空調 部内に配置された各温度制御手段をその検出温度に基づいて別々に制御でき、そ れによって各分割ゾーンにおける目的雰囲気温度(設定温度)を得ることができ る。 According to the device of the present invention, the temperature of the gas blown from the air outlet of the air conditioning unit to the controlled chamber can be separately detected at a plurality of locations by a plurality of temperature sensors arranged corresponding to the respective virtual division zones of the chamber. Furthermore, each temperature control unit arranged in the air conditioning unit corresponding to each sensor can be controlled separately based on the detected temperature, whereby the target atmosphere temperature (set temperature) in each divided zone can be obtained. It

【0010】 各分割ゾーンにおける設定温度が同一温度のときは、被制御チャンバ内の雰囲 気全体が均一化された温度となる。 また、分割ゾーン相互において設定温度が異なるときは、その設定温度の違い に応じた所望温度分布の雰囲気をチャンバ内に得ることができる。When the set temperature in each divided zone is the same, the temperature in the entire atmosphere in the controlled chamber becomes uniform. Further, when the set temperatures are different in the divided zones, an atmosphere having a desired temperature distribution according to the difference in the set temperatures can be obtained in the chamber.

【0011】[0011]

【実施例】【Example】

以下、本考案の実施例を図面を参照して説明する。図1は本考案の1実施例の 概略斜視図であり、図2はその一部の概略断面図である。 この温度雰囲気発生装置は、温度制御すべき被制御チャンバ1及びこれに連設 された空調部2を備えている。チャンバ1及び空調部2の外壁はいずれも断熱壁 であり、チャンバ1は断熱扉11により開閉でき、その中に物品を出し入れでき る。空調部2はその上端部に空気吹出し口21を、下端部に空気吸込み口22を 備えており、これら通気口21、22はチャンバ1に臨んでいる。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic perspective view of an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a schematic sectional view of a part thereof. This temperature atmosphere generating device includes a controlled chamber 1 whose temperature is to be controlled, and an air conditioning unit 2 connected to the controlled chamber 1. The outer walls of the chamber 1 and the air conditioning unit 2 are both heat insulating walls, and the chamber 1 can be opened and closed by a heat insulating door 11, and articles can be put in and taken out of the chamber 1. The air conditioner 2 has an air outlet 21 at its upper end and an air inlet 22 at its lower end, and these air vents 21 and 22 face the chamber 1.

【0012】 空調部2内には、幅方向Wの略全体にわたる冷却器23が配置され、その上方 に幅方向Wを2分するように二つの空気加熱ヒータ241、242が配置されて いる。 空気吹出し口21の手前には幅方向Wの略全体にわたるクロスフローファン2 5が配置され、吹出し口21には左右に一つずつ温度センサ261、262が配 置してある。Inside the air conditioning unit 2, a cooler 23 is arranged over substantially the entire width direction W, and two air heaters 241 and 242 are arranged above the cooler 23 so as to divide the width direction W into two. A cross flow fan 25 is arranged in front of the air outlet 21 over substantially the entire widthwise direction W, and temperature sensors 261 and 262 are arranged on the left and right sides of the outlet 21, respectively.

【0013】 センサ261にて検出された温度情報は温度調節器271に、センサ262に て検出された温度情報は温度調節器272に入力され、ヒータ241は調節器2 71からの指示に基づき、ヒータ242は調節器272からの指示に基づき制御 運転される。 冷却器23は全体を図示していない冷凍機における蒸発器であり、本例では、 装置運転中、冷媒が流される。The temperature information detected by the sensor 261 is input to the temperature controller 271, the temperature information detected by the sensor 262 is input to the temperature controller 272, and the heater 241 receives the instruction from the controller 271. The heater 242 is controlled and operated based on an instruction from the controller 272. The cooler 23 is an evaporator in a refrigerator (not shown) as a whole, and in this example, the refrigerant is flown during the operation of the apparatus.

【0014】 この装置では、空調部2において温調された空気がファン25の運転にて吹出 し口21全体からチャンバ1内へ吹き出され、チャンバ1内空気が吸込み口22 から空調部2内へ吸い込まれるように循環方向Xにて循環する。 チャンバ1内には、かかる空気の循環方向Xを横切る方向においてチャンバ中 央部で、実際に仕切部材等で分割するのではなく、単に仮想的に2分割して得ら れる左右のゾーンL、Rが想定され、前記センサ261、262は、それら仮想 ゾーンの各上流側部分に設置されている。すなわち、センサ261はゾーンLに 対応する上流側位置に、センサ262はゾーンRに対応する上流側位置にある。 また、ヒータ241はセンサ261に対応する上流側位置にあり、ヒータ242 はセンサ262に対応する上流側位置にある。In this device, the air whose temperature is controlled in the air conditioning unit 2 is blown out by the operation of the fan 25 from the entire outlet 21 into the chamber 1, and the air in the chamber 1 is introduced from the suction port 22 into the air conditioning unit 2. Circulate in the circulation direction X so as to be sucked. Inside the chamber 1, in the center of the chamber in the direction crossing the air circulation direction X, the left and right zones L obtained by simply dividing the air into two, instead of being actually divided by a partition member or the like, R is assumed, and the sensors 261 and 262 are installed at respective upstream portions of the virtual zones. That is, the sensor 261 is at the upstream position corresponding to the zone L, and the sensor 262 is at the upstream position corresponding to the zone R. The heater 241 is at the upstream position corresponding to the sensor 261, and the heater 242 is at the upstream position corresponding to the sensor 262.

【0015】 チャンバ1内の仮想分割ゾーンLの設定温度は温度調節器271にセットされ 、仮想分割ゾーンRの設定温度は温度調節器272にセットされる。 以上説明した温度雰囲気発生装置によると、ヒータ241、242及び冷却器 23により温調された空気は、ファン25の運転によりチャンバ1内に循環せし められる。The set temperature of the virtual division zone L in the chamber 1 is set in the temperature controller 271, and the set temperature of the virtual division zone R is set in the temperature controller 272. According to the temperature atmosphere generator described above, the air whose temperature is controlled by the heaters 241, 242 and the cooler 23 is circulated in the chamber 1 by the operation of the fan 25.

【0016】 空調部空気吹出し口21のうち、仮想ゾーンLに対応する部分から吹き出され る空気温度はセンサ261にて検出され、調節器271へ入力される。調節器2 71はゾーンLの設定温度とこの入力温度に基づき、ゾーンLを設定温度雰囲気 とする方向へヒータ241の運転を制御する。また、仮想ゾーンRに対応する部 分から吹き出される空気温度はセンサ262にて検出され、調節器272へ入力 される。調節器272はゾーンRの設定温度とこの入力温度に基づいて、ゾーン Rを設定温度雰囲気とする方向へヒータ242の運転を制御する。The temperature of the air blown from the portion of the air conditioning unit air outlet 21 corresponding to the virtual zone L is detected by the sensor 261 and input to the controller 271. Based on the set temperature of the zone L and the input temperature thereof, the controller 271 controls the operation of the heater 241 in the direction in which the zone L has the set temperature atmosphere. Further, the temperature of the air blown out from the portion corresponding to the virtual zone R is detected by the sensor 262 and input to the controller 272. The controller 272 controls the operation of the heater 242 in the direction of setting the temperature in the zone R based on the temperature set in the zone R and the input temperature.

【0017】 いま、調節器271及び272のそれぞれにおける設定温度が同一とすると、 チャンバ1内雰囲気はその全体が該設定温度に均一化される。 この場合、図3に示すように、例えば調節器271、272における設定温度 がいずれも20℃であり、チャンバ1内の仮想ゾーンRに図示しない発熱体が配 置されていて、空調部吸込み口22から吸い込まれる空気のうち仮想ゾーンLに 対応するものの温度が21℃、仮想ゾーンRに対応するものの温度が25℃とし 、冷却器23においてこれら空気の温度がいずれも5℃ずつ下げられたとすると 、ヒータ241は調節器271からの指示によりこれを通過する空気の温度を4 ℃上昇させて20℃とし、ヒータ242は調節器272からの指示によりこれを 通過する空気の温度を上昇させることなく20℃のままとする。かくして吹出し 口21から吹き出される空気全体の温度が20℃とされ、チャンバ内雰囲気温度 が均一化される。Now, assuming that the set temperatures in the regulators 271 and 272 are the same, the atmosphere in the chamber 1 is entirely made uniform to the set temperature. In this case, as shown in FIG. 3, for example, the set temperatures in the regulators 271 and 272 are both 20 ° C., the heating element (not shown) is arranged in the virtual zone R in the chamber 1, and the air conditioner intake port is set. Suppose that the temperature of the air sucked from 22 corresponding to the virtual zone L is 21 ° C., the temperature of the air corresponding to the virtual zone R is 25 ° C., and the temperature of each of these air is lowered by 5 ° C. in the cooler 23. The heater 241 raises the temperature of the air passing through it by 4 ° C. to 20 ° C. according to the instruction from the controller 271, and the heater 242 does not raise the temperature of the air passing through it according to the instruction from the controller 272. Leave at 20 ° C. Thus, the temperature of the entire air blown from the blowout port 21 is set to 20 ° C., and the atmospheric temperature in the chamber is made uniform.

【0018】 また、図4に示すように、例えば調節器271、272における設定温度がい ずれも20℃であり、空調部吸込み口22から吸い込まれる空気温度が全体に2 1℃であるが、冷却器23の冷却能力が不均一で、これを通過する空気のうち、 ゾーンLに対応する空気は5℃下げられ、ゾーンRに対応する空気は2℃下げら れたとすると、ヒータ241は調節器271からの指示によりこれを通過する空 気の温度を4℃上昇させて20℃とし、ヒータ242は調節器272からの指示 によりこれを通過する空気の温度を1℃上昇させて20℃とする。かくして吹出 し口21から吹き出される空気全体の温度が20℃とされ、チャンバ内雰囲気温 度が均一化される。Further, as shown in FIG. 4, for example, the set temperatures in the regulators 271 and 272 are both 20 ° C., and the temperature of the air sucked from the air inlet 22 of the air conditioning unit is 21 ° C. Assuming that the cooling capacity of the vessel 23 is non-uniform and, of the air passing through it, the air corresponding to the zone L is lowered by 5 ° C and the air corresponding to the zone R is lowered by 2 ° C, the heater 241 is adjusted by the controller. According to the instruction from 271, the temperature of the air passing therethrough is increased by 4 ° C to 20 ° C, and the heater 242 raises the temperature of the air passing through it by 1 ° C to 20 ° C according to the instruction from the controller 272. . Thus, the temperature of the entire air blown from the blowout port 21 is set to 20 ° C., and the temperature of the atmosphere in the chamber is made uniform.

【0019】 また、調節器271における設定温度を例えばT℃とし、調節器272におけ る設定温度をこれと異なる例えばT℃+5℃とすると、センサ261、262が それぞれ独立して温度検出を行い、調節器271、272がそれぞれ独立してヒ ータ241、242を制御するから、仮想ゾーンLの雰囲気はT℃に向けられ、 仮想ゾーンRの雰囲気はT℃+5℃に向けられ、かくしてチャンバ1内に所望の 異なる温度分布が得られる。Further, if the set temperature in the controller 271 is T ° C. and the set temperature in the controller 272 is different from this, for example, T ° C. + 5 ° C., the sensors 261 and 262 respectively detect the temperature independently. Since the regulators 271 and 272 control the heaters 241 and 242 independently of each other, the atmosphere of the virtual zone L is directed to T ° C., the atmosphere of the virtual zone R is directed to T ° C. + 5 ° C., and thus the chamber Within 1, the desired different temperature distribution is obtained.

【0020】 以上説明した温度雰囲気発生装置はそのまま恒温器として採用することができ 、また、空調部2において冷却器23の下方に加湿器を備えるなどして、恒温恒 湿器として利用することも可能である。 なお、本考案は前記実施例に限定されるものではなく、他にも種々の態様で実 施することができる。例えば、温度検出センサの位置と数、それに対応する空気 加熱ヒータの位置と数、温度調節器の数は前記実施例のものに限定されない。よ り多くのセンサ、ヒータ及び温度調節器を採用してよい。また、必要に応じ、隣 合うヒータ等の温度制御要素の間、その上側、その下側等に空気流れを整流する ような仕切部材を配置することも考えられる。さらに、冷却器も仮想ゾーンに対 応させて分割配置したり、各冷却器の冷却能力を仮想ゾーンの設定温度及び温度 センサの検出温度に基づいて制御できるようにすることも考えられる。The temperature atmosphere generator described above can be directly used as a thermostat, or can be used as a thermostat by providing a humidifier below the cooler 23 in the air conditioning unit 2. It is possible. It should be noted that the present invention is not limited to the above-mentioned embodiment, but can be implemented in various modes other than the above. For example, the position and number of temperature detection sensors, the position and number of air heaters corresponding thereto, and the number of temperature controllers are not limited to those in the above-described embodiment. More sensors, heaters and temperature controllers may be employed. If necessary, partition members for rectifying the air flow may be arranged between the temperature control elements such as adjacent heaters, above and below the temperature control elements. Furthermore, it is possible to arrange the coolers separately in correspondence with the virtual zones, or to make it possible to control the cooling capacity of each cooler based on the set temperature of the virtual zone and the temperature detected by the temperature sensor.

【0021】[0021]

【考案の効果】[Effect of device]

以上説明したように本考案によると、温度制御すべき被制御チャンバと、前記 チャンバに気体吹出し口及び気体吸込み口を臨ませた空調部とを有し、前記空調 部で温度調整された気体を前記吹出し口から前記チャンバへ吹き出し、該チャン バ内気体を前記吸込み口から前記空調部へ吸い込むように循環させることで前記 チャンバ内に所定温度雰囲気を得る温度雰囲気発生装置であって、被制御チャン バ内雰囲気の温度分布を、従来の同タイプの装置に比べると、たとえ被制御チャ ンバ内に発熱体や吸熱体が置かれたり、冷却器表面温度分布が変化するようなこ とがあっても、均一化することができ、或いは意図的に均一化以外の所望の温度 分布状態にすることもできる温度雰囲気発生装置を提供できる。 As described above, according to the present invention, the controlled chamber whose temperature is to be controlled and the air-conditioning unit having the gas outlet and the gas inlet facing the chamber are provided, and the temperature-controlled gas is controlled by the air-conditioning unit. A temperature atmosphere generating device for obtaining a predetermined temperature atmosphere in the chamber by circulating the gas in the chamber from the outlet to the air conditioner so that the gas in the chamber is circulated so as to be sucked into the air conditioner. Compared to the conventional device of the same type, the temperature distribution of the atmosphere inside the bar may be different even if a heating element or a heat absorbing element is placed in the controlled chamber or the temperature distribution of the cooler surface changes. It is possible to provide a temperature atmosphere generation device that can be made uniform or can be made to have a desired temperature distribution state other than intentionally made uniform.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本考案の1実施例の概略斜視図である。FIG. 1 is a schematic perspective view of an embodiment of the present invention.

【図2】図1の実施例の一部の断面図である。2 is a partial cross-sectional view of the embodiment of FIG.

【図3】空調部吸込み温度にばらつきがある場合の温度
均一化の様子を示す説明図である。
FIG. 3 is an explanatory diagram showing a manner of temperature uniformity when there is a variation in air-conditioner suction temperature.

【図4】空調部冷却器の冷却能力にばらつきがある場合
の温度均一化の様子を示す説明図である。
FIG. 4 is an explanatory diagram showing a manner of temperature uniformity when the cooling capacity of the air conditioner cooler varies.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 被制御チャンバ L、R チャンバ1内の仮想分割ゾーン 2 空調部 21 空気吹出し口 22 空気吸込み口 23 冷却器 241、242 空気加熱ヒータ 25 クロスフローファン 261、262 温度センサ 271、272 温度調節器 1 Controlled Chambers L, R Virtually Divided Zones in Chamber 1 2 Air Conditioner 21 Air Outlet 22 Air Intake 23 Cooler 241, 242 Air Heater 25 Cross Flow Fans 261, 262 Temperature Sensor 271, 272 Temperature Controller

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] 【請求項1】 温度制御すべき被制御チャンバと、前記
チャンバに気体吹出し口及び気体吸込み口を臨ませた空
調部とを有し、前記空調部で温度調整された気体を前記
吹出し口から前記チャンバへ吹き出し、該チャンバ内気
体を前記吸込み口から前記空調部へ吸い込むように循環
させることで前記チャンバ内に所定温度雰囲気を得る温
度雰囲気発生装置であり、前記チャンバ内を気体循環方
向を横切る方向において複数ゾーンに仮想分割し、該各
分割ゾーン上流側の前記吹出し口部分又はその近傍にそ
れぞれ温度センサを配置するとともに前記空調部内にお
ける、該各温度センサより上流側の位置に該各温度セン
サによる検出温度に基づいてそれぞれ制御される少なく
とも一種の温度制御要素をそれぞれ配置したことを特徴
とする温度雰囲気発生装置。
1. A controlled chamber to be temperature-controlled, and an air conditioner having a gas outlet and a gas inlet facing the chamber, and the gas whose temperature is adjusted by the air conditioner is discharged from the outlet. A temperature atmosphere generating device that obtains a predetermined temperature atmosphere in the chamber by circulating the gas in the chamber so that the gas in the chamber is sucked from the suction port to the air conditioner, and a direction that crosses the gas circulation direction in the chamber. In a virtual division into a plurality of zones, temperature sensors are arranged at or near the outlet on the upstream side of each divided zone, and the temperature sensors are provided at positions upstream of the temperature sensors in the air conditioning unit. At least one type of temperature control element, which is controlled based on the detected temperature, is arranged in each temperature atmosphere. Raw equipment.
【請求項2】 前記温度制御要素として前記各温度セン
サに対応させて気体加熱ヒータが採用され、さらに、こ
れらヒータの上流側に一体形の冷却器が配置されている
請求項1記載の温度雰囲気発生装置。
2. The temperature atmosphere according to claim 1, wherein a gas heating heater is employed as the temperature control element corresponding to each of the temperature sensors, and an integrated cooler is arranged on the upstream side of these heaters. Generator.
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