JPH0636322A - ピックアップ検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 光ピックアップの組み立て工程における対物
レンズアクチュエータの傾き調整において、スポット検
査工程が自動的に行えるようにして、作業者の負担を軽
減すると共に、品質のバラつきを防止する。 【構成】 点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を通り、かつ撮像素子上
の複数の直線Ｌｎの上における強度分布Ｉ（ｘ，ｙ）を
求め、各強度分布Ｉの１次リングのピークを検出し、直
線Ｌｎの内、１次リングのピークが１個しか検出されな
かった直線の本数をｍとし、値ｍまたは値（ｍ／ｎ）が
所定値Ｈを超えたとき、異常スポットと判断する。 【効果】 簡単な計算で、異常なスポットを正確に検知
することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、光ピックアップの組
み立て工程における対物レンズアクチュエータの傾き調
整で使用する光ピックアップのスポット検査装置に係
り、特に、スポット検査工程が自動的に行えるようにし
て、作業者の負担を軽減すると共に、品質のバラつきを
防止した光ピックアップのスポット検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】光ピックアップの組み立て工程では、対
物レンズアクチュエータの傾き調整が必要である。従来
から、対物レンズアクチュエータの傾きの調整方法とし
ては、顕微鏡とカメラ、モニターを使用し、光ディスク
の代りに、同じ厚さを有するカバーガラスを基準面と平
行に設置して、対物レンズのスポットを顕微鏡で拡大し
て観察する光学ヘッド調整方法が用いられている（特開
昭６３−２５３５３８号公報）。

【０００３】図１５は、従来の光学ヘッド調整工程を行
う調整装置について、その要部構成の一例を示す図であ
る。図において、１は光ピックアップのハウジング、２
は偏向プリズム、３はアクチュエータ、４はネジ、５は
対物レンズ、６はカバーガラス、７は顕微鏡、８はカメ
ラコントローラ、９はＴＶモニター、ＬＢはレーザ光を
示す。

【０００４】この図１５に示すように、光ピックアップ
のハウジング１には、偏向プリズム２が設けられてい
る。また、ハウジング１の上部に、アクチュエータ３が
あり、その中に、対物レンズ５が設けられている。

【０００５】アクチュエータ３は、ネジ４によってハウ
ジング１に固定されているが、ネジ４の締め方を調整す
ることにより、アクチュエータ３の傾きを調整すること
ができる。また、光ディスクと同じ厚みを有するカバー
ガラス６が、アクチュエータ３の上部に、光ピックアッ
プのハウジング１と平行に設置されている。

【０００６】従来の対物レンズアクチュエータの傾きの
調整工程は、次のように行う。偏向プリズム２に、レー
ザ光ＬＢを入射し、対物レンズ５によって形成されるス
ポットを顕微鏡７で観察する。顕微鏡７には、図示され
ないカメラが接続されており、カメラコントローラ８を
通して、ＴＶモニター９の画面上にスポットが表示され
る。

【０００７】作業者は、このスポットの表示を見なが
ら、１次のサイドローブが対称となるように、アクチュ
エータ３の傾きを調整する。以上のような工程によっ
て、対物レンズアクチュエータの傾きの調整が行われ
る。

【０００８】この調整工程は、アクチュエータに組み込
まれている対物レンズの傾きを光ディスクと並行に調整
することにより、スポット形状を良好にする目的で行わ
れるものである。そのために、図１５に関連して説明し
たように、スポット像をＴＶモニターで観察しながら行
うが、この工程は、スポット形状を良好にすると同時
に、異常な形状のスポットを除去する工程（換言すれ
ば、スポットの形状を検査する工程）も兼ねている場合
が多い。

【０００９】このスポット検査工程は、通常、経験的な
許容限度見本を用いて、作業者の目視によって行われ
る。そのため、作業者の負担が大きいばかりでなく、そ
の主観が入りやすいので、品質にバラつきが生じる要因
にもなる、という不都合があった。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】この発明では、従来の
光学的情報記録再生装置のスポット検査時に生じるこの
ような不都合を解決し、スポット検査工程が自動的に行
えるようにして、作業者の負担を軽減すると共に、品質
のバラつきを防止したピックアップ検査装置を提供する
ことを目的とする。具体的にいえば、同時に出願した他
のピックアップ検査装置をさらに改良し、一層簡易にス
ポット検査が行えるようにしたピックアップ検査装置を
提供することを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】この発明では、第１に、
レンズからの出射光を撮像素子上に結像させ、該素子上
の点（ｘ，ｙ）における強度Ｉ（ｘ，ｙ）を用いて演算
処理を行うピックアップ検査装置において、処理手段と
して、前記強度Ｉ（ｘ，ｙ）がピークとなる点Ｐ（ｘ
ｐ，ｙｐ）を求める手段と、前記点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を
通り、かつ、前記撮像素子上の複数の直線Ｌｎ（Ｌ１，
Ｌ２，……，Ｌｎ）の上における強度分布Ｉ（ｘ，ｙ）
を求める手段と、前記各強度分布Ｉ（ｘ，ｙ）における
１次リングのピークを検出する手段と、前記直線Ｌｎの
内、１次リングのピークが１個しか検出されなかったも
のの本数をｍとしたとき、値ｍまたは値（ｍ／ｎ）と、
所定の値Ｈとの大小を比較する手段、とを備えた備えた
構成である。

【００１２】第２に、レンズからの出射光を撮像素子上
に結像させ、該素子上の点（ｘ，ｙ）における強度Ｉ
（ｘ，ｙ）を用いて演算処理を行うピックアップ検査装
置において、処理手段として、前記強度Ｉ（ｘ，ｙ）が
ピークとなる点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を求める手段と、前記
点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を通り、かつ、前記撮像素子上の複
数の直線Ｌｎ（Ｌ１，Ｌ２，……，Ｌｎ）の上における
強度分布Ｉ（ｘ，ｙ）を求める手段と、前記各強度分布
Ｉ（ｘ，ｙ）における１次リングのピークを検出する手
段と、前記直線Ｌｎの内、１次リングのピークが１個し
か検出されなかったものについて、検出された１次リン
グのピークの強度をＩｒとし、点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）にお
ける強度をＩｐとしたとき、値Ｉｒまたは値（Ｉｒ／Ｉ
ｐ）と、所定の値Ｊとの大小を比較する手段、とを備え
た構成である。

【００１３】第３に、上記第１または第２の検査装置に
おいて、点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）および強度Ｉｐの代りに、
強度Ｉ（ｘ，ｙ）がしきい値Ｉth以上である点の強度分
布の重心Ｇ（ｘｇ，ｙｇ）および点Ｇにおける強度Ｉｇ
を用いて演算処理を行う手段を備えた構成である。

【００１４】

【作用】この発明では、カメラコントローラからのスポ
ット画像を一旦フレームメモリに取り込み、この画像に
演算処理を行うことによって、スポットの良否が自動的
に判定できるようにしている。具体的にいえば、撮像素
子上のスポット画像がフレームメモリ上に投影されるた
め、撮像素子上の想定したｘ，ｙ座標を、フレームメモ
リのｘ，ｙ座標として取り扱うことが可能となり、スポ
ットの各部分の強度Ｉは、フレームメモリの座標（ｘ，
ｙ）の関数Ｉ（ｘ，ｙ）として処理することができる。

【００１５】スポットの正常異常の判断に際して、正常
なスポットの場合、リング端部を通過する直線上以外で
は、１次リングのピークは必ずペアで現われるか、全く
現われないか、のいずれかであり、１次リングのピーク
が１つだけあるような直線が存在するスポットは異常で
ある確率が高い、という点に注目し、このような直線の
本数ｍ、あるいは（ｍ／ｎ）が、ある所定値Ｈを超えた
ときは、スポットを異常と判断する（請求項１の発
明）。また、１次リングのピークが１つだけあるような
直線が存在するとき、１次リングのピークの値の関係
は、正常なスポットより異常スポットの方が大きいこと
に着目し、その検出された１次リングのピークの強度Ｉ
ｒと、点Ｐ（ｘ，ｙ）における強度Ｉｐとから、値Ｉｒ
または値（Ｉｒ／Ｉｐ）が、ある所定値Ｈを超えたとき
は、スポットを異常と判断する（請求項２の発明）。

【００１６】さらに、スポットの強度が全体的に強く
て、ピーク付近で飽和している場合には、強度Ｉ（ｘ，
ｙ）および強度Ｉｐの代りに、強度Ｉ（ｘ，ｙ）がしき
い値Ｉth以上である点の強度分布の重心Ｇ（ｘｇ，ｙ
ｇ）および点Ｇにおける強度Ｉｇによって、スポットの
正常／異常を判断する（請求項３の発明）。

【００１７】

【実施例１】次に、この発明のピックアップ検査装置に
ついて、図面を参照しながら、その実施例を詳細に説明
する。この実施例は、主として、請求項１の発明に関連
しているが、ハード構成やスポットの正常異常の判断の
基本原理は、請求項２と請求項３の発明とも関連してい
る。

【００１８】図１は、この発明のピックアップ検査装置
について、その要部構成の一実施例を示す機能ブロック
図である。図における符号は図１５と同様であり、ま
た、１１はフレームメモリ、１２は９と同様なＴＶモニ
ター、１３はコンピュータ、１４はディスプレイを示
す。

【００１９】この図１で、光ピックアップのハウジング
１からカメラコントローラ８までの構成と動作は、先の
図１５と同様である。この図１に示すこの発明では、ス
ポットの像を、コンピュータ１３からのコマンドによっ
て、顕微鏡７，カメラコントローラ８を通して、フレー
ムメモリ１１に取り込み、その生画像をＴＶモニター１
２の画面上に表示する。

【００２０】一方、コンピュータ１３は、コマンドを出
力した後、フレームメモリ１１に蓄積された画像に、請
求項１から請求項３の処理を加え、その結果をディスプ
レイ１４に表示する。次に、アクチュエータに組み込ま
れている対物レンズの傾きが良好に調整された場合のス
ポットの強度分布について説明する。

【００２１】図２は、対物レンズの傾きが良好に調整さ
れ、かつ、歪みがない場合のスポットの強度分布の一例
を示す図である。図で、ｘ，ｙはそれぞれｘ軸とｙ軸、
Ｉはスポットの強度、Ｐは強度がピークとなる点、２１
はスポットの強度分布曲線、２２は直線を示す。

【００２２】この図２に示すように、対物レンズの傾き
が良好に調整され、かつ、歪みがない場合、スポットの
強度分布は釣鐘状の形状２１になる。ここで、このスポ
ットの像が結ばれる撮像素子の面（一般に撮像素子は平
面状である）を想定して、この面上に、ｘ軸およびｙ軸
を取る。

【００２３】そして、撮像素子上の点（ｘ，ｙ）におけ
るスポットの強度をＩ（ｘ，ｙ），強度がピークとなる
点をＰ（ｘｐ，ｙｐ）とする。なお、この図２では、理
解を容易にするために、点Ｐと座標原点とを一致させて
図示している。次に、点Ｐを通り、ｘ軸と角度θ１をな
す直線２２上でのスポットの強度分布を考察すると、次
の図３に示すようになる。

【００２４】図３は、図２で、点Ｐを通り、ｘ軸と角度
θ１をなす直線２２上でのスポットの強度分布の一例を
示す図である。図で、２３はスポットの強度分布曲線、
２４はその１次リング、２５と２６は１次リングのピー
ク、２７はメインローブを示す。

【００２５】先の図２のスポットの強度分布曲線２１
で、点Ｐを通り、ｘ軸と角度θ１をなす直線２２上での
スポットの強度分布は、この図３に２３で示すような曲
線になる。すなわち、メインローブ２７の両側に、それ
ぞれ、そのピーク２５，２６をもつ１次リング２４が生
じる。また、ＴＶモニター１２の画面上には、図２のス
ポットの生画像が次の図４のように表示される。

【００２６】図４は、ＴＶモニター１２の画面上に表示
されるスポットの生画像の一例を示す図である。図にお
ける符号は図３と同様であり、また、２８〜３０はそれ
ぞれある直線を示す。

【００２７】この図４に示すＴＶモニター１２の画面上
のスポットの生画像は、図２をＩ軸の正方向から眺めた
場合の画像例である。対物レンズの傾きが良好に調整さ
れ、かつ、歪みがない場合のスポット（正常なスポッ
ト）は、この図４に示すように、１次リング２４が、あ
る軸（この図４ではｘ軸）に対してほぼ対称な形状をな
している。

【００２８】したがって、２点鎖線で示す直線２８上で
の強度分布は、先の図３と同様になり、１次リング２４
のピークは、必ずペアで現われる。他方、別の２点鎖線
で示す直線２９上での強度分布は、次の図５に示すよう
になる。

【００２９】図５は、図４に２点鎖線で示した直線２９
上での強度分布について、その一例を示す図である。図
の横軸は図４の直線２９であり、縦軸はスポットの強度
を示す。

【００３０】この図５に示すように、図４に２点鎖線で
示した直線２９上では、１次リングのピークは、１つも
現われない。なお、２点鎖線の選択の仕方によっては、
この図５と異なる場合があり、例えば、図４の直線３０
の場合には、ピークは１つしか現われない。

【００３１】この図４の直線３０においては、その強度
分布は、次の図６のようになる。図６は、図４に２点鎖
線で示した直線３０上での強度分布について、その一例
を示す図である。図の横軸は図４の直線３０であり、縦
軸はスポットの強度Ｉ１を示す。

【００３２】この発明では、図４に示したような点Ｐを
通る直線を複数本（Ｌ１，Ｌ２，……，Ｌｎ）想定し、
各直線上での強度分布に現われる１次リングのピークを
考察する。この考察の結果によれば、正常なスポットの
場合、図４の直線３０のようなリング端部を通過する直
線上以外の直線では、１次リングのピークは必ずペアで
現われるか、全く現われないか、のいずれかであること
が分る。

【００３３】他方、傾き調整が不十分だったり、歪みが
生じていたりするスポット（異常なスポット）において
は、非対称あるいは不規則な形状の１次リングが生じ
る。図７は、異常なスポットの一例であり、１次リング
が非対称の場合を示す図である。図における符号は図４
と同様であり、また、３１と３２は１次リング、３３と
３４はそれぞれある直線を示す。

【００３４】図８は、同じく異常なスポットの一例であ
り、１次リングが不規則の場合を示す図である。図にお
ける符号は図７と同様であり、３５〜３７は１次リン
グ、３８〜３９はそれぞれある直線を示す。

【００３５】図７の場合には、３４で示すような直線の
上での強度分布を考えると、次の図９に示すようにな
る。図９は、図７に２点鎖線で示した直線３４上での強
度分布について、その一例を示す図である。図の横軸は
図７の直線３４であり、縦軸はスポットの強度Ｉ２を示
す。

【００３６】この図９に示すように、図７の直線３４上
での強度分布では、１次リングのピークは１つだけ存在
することになる。すなわち、図７の直線３３のような場
合を除外すれば、１次リングのピークが１つだけ存在す
るような直線（強度分布の断面）が存在するスポット
は、異常である確率が高い、ということができる。

【００３７】この点は、図８の直線３８，３９について
も、同様である。そこで、強度Ｉ（ｘ，ｙ）がピークと
なる点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を通り、かつ、撮像素子上の複
数の直線Ｌｎ（Ｌ１，Ｌ２，……，Ｌｎ）において、１
次リングのピークが１つだけ存在するような直線（強度
分布の断面）の本数をｍとしたとき、値ｍまたは値（ｍ
／ｎ）が、所定の値Ｈを超えた場合に、異常なスポット
である、と判断する。なお、ｎはピークを検出する直線
Ｌｎの総本数を示す。

【００３８】このような判断は、次の〜の手順で行
う。 図１のフレームメモリ１１上にスポット画像を取り
込む。 強度Ｉ（ｘ，ｙ）がピークとなる点Ｐ（ｘｐ，ｙ
ｐ）を求める。

【００３９】 点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を通る複数の直線
Ｌｎを設定し、各直線Ｌｎ上での強度分布Ｉｎ（ｘ，
ｙ）を求める。ここで、直線Ｌｎは、ｙ＝（tan θｎ）
×（ｘ−ｘｐ）＋ｙｐで表わすことができ、θｎは直線
Ｌｎとｘ軸とのなす角である。

【００４０】 先ので求めた強度分布Ｉｎ（ｘ，
ｙ）における１次リングのピークを検出する。 ｍ＞Ｈ１、または（ｍ／ｎ）＞Ｈ２のとき、スポッ
トを異常と判断する。

【００４１】 先の以外のスポットは、正常と判断
する。 以上の手順〜の内、〜は、請求項１から請求項
３の発明と基本的に共通する手順であり、手順とが
異なる。

【００４２】図１０は、この発明のピックアップ検査装
置において、スポット検査時の基本的な処理の流れを示
すフローチャートである。図において、＃１〜＃４はス
テップを示す。

【００４３】ステップ＃１で、図１のフレームメモリ１
１上にスポット画像を取り込む。次のステップ＃２で、
強度Ｉ（ｘ，ｙ）がピークとなる点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を
求める。

【００４４】ステップ＃３で、点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を通
る複数の直線Ｌｎを設定し、各直線Ｌｎ上での強度分布
Ｉｎ（ｘ，ｙ）を求める。ステップ＃４へ進み、先のス
テップ＃３で求めた強度分布Ｉｎ（ｘ，ｙ）における１
次リングのピークを検出する。

【００４５】以上のステップ＃１〜＃４の処理は、先に
述べた手順〜の処理であり、この発明のピックアッ
プ検査装置に共通の処理であるが、ステップ＃４におけ
る１次リングのピークの検出の処理は、請求項１の発明
と、請求項２から請求項３の発明とで、多少異なる。以
下の説明では、ステップ＃１〜＃４の処理を、基本的な
処理と呼ぶ。

【００４６】この実施例（請求項１の発明）では、その
後、先に述べた手順との処理を行う。図１１は、こ
の発明のピックアップ検査装置において、スポット検査
時の主要な処理の流れを示すフローチャートである。図
において、＃１１〜＃１４はステップを示す。

【００４７】ステップ＃１１で、先の図８のフローの処
理を行い、強度分布Ｉｎ（ｘ，ｙ）における１次リング
のピークを検出する。ステップ＃１２で、ｍ＞Ｈ１、ま
たは（ｍ／ｎ）＞Ｈ２であるかどうかチェックする。

【００４８】もし、ｍ＞Ｈ１、または（ｍ／ｎ）＞Ｈ２
であれば、次のステップ＃１３で、スポットを異常と判
断して、この図１１のフローを終了する。また、ｍ＞Ｈ
１、または（ｍ／ｎ）＞Ｈ２でなければ、ステップ＃１
４で、スポットは正常と判断して、この図１１のフロー
を終了する。

【００４９】なお、先の図１０のフローのステップ＃４
で行う処理、すなわち、強度分布Ｉｎ（ｘ，ｙ）におけ
る１次リングのピークを検出する処理は、従来から公知
であるが、ここで、そのフローを示す。図１２は、１次
リングのピーク検出時の主要な処理の流れを示すフロー
チャートである。図において、＃２１〜＃２３はステッ
プを示す。

【００５０】ステップ＃２１で、直線Ｌ上での強度分布
Ｉｎ（ｘ，ｙ）を平滑化する。ステップ＃２２で、点Ｐ
（ｘｐ，ｙｐ）からｘ座標の正の方向の極値を求め、最
大極値を与える点を１次リングのピークとする。

【００５１】ステップ＃２３で、点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）か
らｘ座標の負の方向の極値を求め、最大極値を与える点
を１次リングのピークとする。以上のステップ＃２１〜
＃２３の処理によって、強度分布Ｉｎ（ｘ，ｙ）におけ
る１次リングのピークが検出される。

【００５２】

【実施例２】次に、第２の実施例を説明する。この実施
例は、請求項２の発明に対応している。先の第１の実施
例では、強度Ｉ（ｘ，ｙ）がピークとなる点Ｐ（ｘｐ，
ｙｐ）を通り、かつ、撮像素子上の複数の直線Ｌｎ（Ｌ
１，Ｌ２，……，Ｌｎ）において、１次リングのピーク
が１つだけ存在するような直線（強度分布の断面）の本
数ｍに注目し、ｍ＞Ｈ１、または（ｍ／ｎ）＞Ｈ２であ
れば、スポットを異常と判断した。

【００５３】しかし、この判断では、直線Ｌｎの選択に
よって異なる場合がある。例えば、図４の直線３０のよ
うに、リング端部を通過する直線上では、リングの形状
が完全に対称でない限りは、ピークが１つとなることが
ある。

【００５４】しかし、先の図６と図９を比較すれば明ら
かなように、リング端部を通過する直線上では、リング
のピークは低い値Ｉ１をとる。これに対して、異常なス
ポット（異常なリング）の場合、リングのピークは通常
もしくはそれ以上の値Ｉ２をとり、かつ、ピークは１つ
しか現われない。

【００５５】この第２の実施例では、このような点に着
目して、リングのピークが１つしかない断面に関して、
それが、リング端部を通過しているためであるか、ある
いはリングが異常であることによるのか、ピークの値に
よって判断する。このように、１次リングのピークが１
つしか検出されなかったものについて、検出された１次
リングのピークの強度をＩｒとし、点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）
における強度をＩｐとしたとき、値Ｉｒまたは値（Ｉｒ
／Ｉｐ）が、所定の値Ｊを超えたときは、その断面は異
常であると、判断することによって、先のような誤った
判断を行う恐れが少なくなる（請求項２の発明）。

【００５６】この場合に、先の請求項１の発明と同様
に、異常な断面が所定数以上存在するスポットは、異常
と判断すればよい。このように、この第２の実施例で
は、１次リングのピークの強度Ｉｒ、さらに点Ｐ（ｘ
ｐ，ｙｐ）における強度Ｉｐとを用いて、スポットの異
常／正常の判断を行うので、より正確な判断結果が得ら
れる。

【００５７】図１３は、この発明の第２の実施例につい
て、スポット検査時の主要な処理の流れを示すフローチ
ャートである。図において、＃３１〜＃３５はステップ
を示す。

【００５８】ステップ＃３１で、先の図１０のフローの
処理を行って、強度分布Ｉｎ（ｘ，ｙ）における１次リ
ングのピークを検出する。次のステップ＃３２で、Ｉｒ
≦Ｈとなる直線Ｌの本数ｍを計算する。

【００５９】ステップ＃３３で、ｍ＞Ｈ１、または（ｍ
／ｎ）＞Ｈ２であるかどうかチェックする。もし、ｍ＞
Ｈ１、または（ｍ／ｎ）＞Ｈ２でなければ、ステップ＃
３４で、スポットは正常と判断して、この図１３のフロ
ーを終了する。

【００６０】また、ｍ＞Ｈ１、または（ｍ／ｎ）＞Ｈ２
であれば、ステップ＃３５で、スポットを異常と判断し
て、この図１３のフローを終了する。以上のステップ＃
３１〜＃３５の処理によって、スポットの異常／正常が
判断される。

【００６１】この図１３のフローで、ステップ＃３２で
は、１次リングのピークが１つしかない断面の数ｍを求
める際に、Ｉｒ≦Ｊ１、または（Ｉｒ／Ｉｐ）≦Ｊ２、
を加味して計数している。したがって、先の第１の実施
例に比べて、判断の精度が向上される。

【００６２】

【実施例３】次に、第３の実施例を説明する。この実施
例は、請求項３の発明に対応しているが、請求項１と請
求項２の発明にも関連する。以上に説明した第１と第２
の実施例は、常に、スポットの強度がピークとなる点Ｐ
を中心にして検査する場合である。

【００６３】しかし、スポットの強度が全体的に強く、
カメラからの出力がピーク付近で飽和している場合に
は、強度がピークとなる点Ｐを検知することができな
い。図１４は、カメラからの出力がピーク付近で飽和し
ている場合のスポットの強度分布の一例を示す図であ
る。図の４０は飽和部分を示す。

【００６４】この図１４に示すように、スポットの強度
が全体的に強く、カメラからの出力がピーク付近で飽和
している場合には、点Ｐにおける強度Ｉ（ｘ，ｙ）は、
しきい値Ｉth以上である点の強度分布の重心Ｇ（ｘｇ，
ｙｇ）で代用する。この場合の強度分布Ｉ（ｘ，ｙ）の
重心Ｇ（ｘｇ，ｙｇ）は、次に示す式(1)と(2) で定義
される。

【００６５】

【数１】

【００６６】ここで、総和は、Ｉ（ｉ，ｊ）≧Ｉth以上
である全ての（ｉ，ｊ）について演算する。このような
演算によって得られるの重心Ｇ（ｘｇ，ｙｇ）を用いれ
ば、ピーク付近の飽和を気にする必要なしに、スポット
の強度を上げて、その正常／異常の判断を行うことがで
きる。

【００６７】また、このように、全体の強度を上げた場
合には、リング部分の強度も上がるので、１次リングの
ピークが検出し易くなる、という利点も生じる。この第
３の実施例では、先の説明した各実施例で、点Ｐ（ｘ，
ｙ）を、先の式(1) と(2) に示した点Ｇ（ｘｇ，ｙｇ）
に置き換えればよい。したがって、請求項１と請求項２
の各発明に適用することができる。

【００６８】

【発明の効果】請求項１の発明では、強度Ｉ（ｘ，ｙ）
がピークとなる点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を求める手段と、前
記点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を通り、かつ、撮像素子上の複数
の直線Ｌｎ（Ｌ１，Ｌ２，……，Ｌｎ）の上における強
度分布Ｉ（ｘ，ｙ）を求める手段と、前記各強度分布Ｉ
（ｘ，ｙ）における１次リングのピークを検出する手段
と、前記直線Ｌｎの内、１次リングのピークが１個しか
検出されなかったものの本数をｍとしたとき、値ｍまた
は値（ｍ／ｎ）と、所定の値Ｈとの大小を比較する手
段、とを有している。したがって、簡単な計算で、異常
なスポットを検知することができる。

【００６９】請求項２の発明は、強度Ｉ（ｘ，ｙ）がピ
ークとなる点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を求める手段と、前記点
Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を通り、かつ、前記撮像素子上の複数
の直線Ｌｎ（Ｌ１，Ｌ２，……，Ｌｎ）の上における強
度分布Ｉ（ｘ，ｙ）を求める手段と、前記各強度分布Ｉ
（ｘ，ｙ）における１次リングのピークを検出する手段
と、前記直線Ｌｎの内、１次リングのピークが１個しか
検出されなかったものについて、検出された１次リング
のピークの強度をＩｒとし、点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）におけ
る強度をＩｐとしたとき、値Ｉｒまたは値（Ｉｒ／Ｉ
ｐ）と、所定の値Ｊとの大小を比較する手段、とを有し
ている。したがって、簡単な計算で、より正確に異常な
スポットを検知することができる。

【００７０】請求項３の発明では、点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）
および強度Ｉｐの代りに、強度Ｉ（ｘ，ｙ）がしきい値
Ｉth以上である点の強度分布の重心Ｇ（ｘｇ，ｙｇ）お
よび点Ｇにおける強度Ｉｇを用いて演算処理を行う手
段、を有している。したがって、ピーク付近の飽和を気
にする必要なしに、スポットの強度を上げて、その正常
／異常の判断を行うことができる。また、全体の強度を
上げた場合には、リング部分の強度も上がるので、１次
リングのピークが検出し易くなる、という利点も有す
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明のピックアップ検査装置について、そ
の要部構成の一実施例を示す機能ブロック図である。

【図２】対物レンズの傾きが良好に調整され、かつ、歪
みがない場合のスポットの強度分布の一例を示す図であ
る。

【図３】図２で、点Ｐを通り、ｘ軸と角度θ１をなす直
線２２上でのスポットの強度分布の一例を示す図であ
る。

【図４】ＴＶモニター１２の画面上に表示されるスポッ
トの生画像の一例を示す図である。

【図５】図４に２点鎖線で示した直線２９上での強度分
布について、その一例を示す図である。

【図６】図４に２点鎖線で示した直線３０上での強度分
布について、その一例を示す図である。

【図７】異常なスポットの一例であり、１次リングが非
対称の場合を示す図である。

【図８】同じく異常なスポットの一例であり、１次リン
グが不規則の場合を示す図である。

【図９】図７に２点鎖線で示した直線３４上での強度分
布について、その一例を示す図である。

【図１０】この発明のピックアップ検査装置において、
スポット検査時の基本的な処理の流れを示すフローチャ
ートである。

【図１１】この発明のピックアップ検査装置において、
スポット検査時の主要な処理の流れを示すフローチャー
トである。

【図１２】１次リングのピーク検出時の主要な処理の流
れを示すフローチャートである。

【図１３】この発明の第２の実施例について、スポット
検査時の主要な処理の流れを示すフローチャートであ
る。

【図１４】カメラからの出力がピーク付近で飽和してい
る場合のスポットの強度分布の一例を示す図である。

【図１５】従来の光学ヘッド調整工程を行う調整装置に
ついて、その要部構成の一例を示す図である。

【符号の説明】

１ 光ピックアップのハウジング ２ 偏向プリズム ３ アクチュエータ ４ ネジ ５ 対物レンズ ６ カバーガラス ７ 顕微鏡 １１ フレームメモリ １２ ＴＶモニター １３ コンピュータ １４ ディスプレイ

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 レンズからの出射光を撮像素子上に結像
   させ、該素子上の点（ｘ，ｙ）における強度Ｉ（ｘ，
   ｙ）を用いて演算処理を行うピックアップ検査装置にお
   いて、 処理手段として、 前記強度Ｉ（ｘ，ｙ）がピークとなる点Ｐ（ｘｐ，ｙ
   ｐ）を求める手段と、 前記点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を通り、かつ、前記撮像素子上
   の複数の直線Ｌｎ（Ｌ１，Ｌ２，……，Ｌｎ）の上にお
   ける強度分布Ｉ（ｘ，ｙ）を求める手段と、 前記各強度分布Ｉ（ｘ，ｙ）における１次リングのピー
   クを検出する手段と、 前記直線Ｌｎの内、１次リングのピークが１個しか検出
   されなかったものの本数をｍとしたとき、 値ｍまたは値（ｍ／ｎ）と、所定の値Ｈとの大小を比較
   する手段、とを備えたことを特徴とする光ピックアップ
   のスポット検査装置。
2. 【請求項２】 レンズからの出射光を撮像素子上に結像
   させ、該素子上の点（ｘ，ｙ）における強度Ｉ（ｘ，
   ｙ）を用いて演算処理を行うピックアップ検査装置にお
   いて、 処理手段として、 前記強度Ｉ（ｘ，ｙ）がピークとなる点Ｐ（ｘｐ，ｙ
   ｐ）を求める手段と、 前記点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を通り、かつ、前記撮像素子上
   の複数の直線Ｌｎ（Ｌ１，Ｌ２，……，Ｌｎ）の上にお
   ける強度分布Ｉ（ｘ，ｙ）を求める手段と、 前記各強度分布Ｉ（ｘ，ｙ）における１次リングのピー
   クを検出する手段と、 前記直線Ｌｎの内、１次リングのピークが１個しか検出
   されなかったものについて、検出された１次リングのピ
   ークの強度をＩｒとし、 点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）における強度をＩｐとしたとき、 値Ｉｒまたは値（Ｉｒ／Ｉｐ）と、所定の値Ｊとの大小
   を比較する手段、とを備えたことを特徴とする光ピック
   アップのスポット検査装置。
3. 【請求項３】 請求項１または請求項２の検査装置にお
   いて、 点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）および強度Ｉｐの代りに、強度Ｉ
   （ｘ，ｙ）がしきい値Ｉth以上である点の強度分布の重
   心Ｇ（ｘｇ，ｙｇ）および点Ｇにおける強度Ｉｇを用い
   て演算処理を行う手段を備えたことを特徴とする光ピッ
   クアップのスポット検査装置。