JPH0635109B2 - 電解ドレッシング装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は研削加工に用いる砥石に電解作用を与えて砥石
のドレッシングを行う電解ドレッシング装置に関する。

（従来の技術） 研削加工において、加工が進行してゆくと砥石の目つぶ
れや目づまりによって研削抵抗の増加、あるいは被削材
の焼き付き等の現象が生じる。特にメタルボンド砥石は
強固であるため切刃の自生作用がほとんどなく、セラミ
ックスなどの硬質材料を加工する場合には上記のような
現象が顕著であり、砥石の切れ味を回復、維持するため
にドレッシング作業は非常に重要である。

メタルボンド砥石のドレッシング方法としては、従来、
電解作用によるドレッシング（目立て）が有効な方法で
あり、用いられている。

第３図(a)はラップ盤などの平面研磨装置に電解ドレッ
シングを適用したもので、回転可能な砥石（１′）の表
面に砥粒層（１ａ′）が設けられ、その上方に、被削材
（４′）が設けられ、この被削材（４′）は、加圧切り
込み・回転可能な試料プレート（３′）の下面に設けら
れている。

また、電解用電源（５′）が設けられ、その陽極である
（＋）側は給電ブラシ（６′）を介し砥石（１′）側
に、また、陰極である（−）側は間隔を介し砥石
（１′）と対向配置された陰極板（７′）に接続され、
ノズル（９′）を介して加工液を供給しつつドレッシン
グを行うように構成されている。

（発明が解決しようとする課題） しかしながら、この場合、(b)図に示すように砥石
（１′）の外周部と内周部とでは周速差が生じ、周速の
低い内周部の電解溶出量が多くなるため、砥石（１′）
の半径方向の平坦度に狂いが生じる。

このため、長時間加工を続けてゆくと被削材（４′）の
平坦度が悪化してしまうという課題がある。

本発明はこのことに鑑み提案されたもので、その目的と
するところは、砥石平坦度を常に高精度に維持できる電
解ドレッシング装置を提供することにある。

（課題を解決するための手段） 本発明は上記目的を達成するために、ダイヤモンドある
いはＣＢＮなどの砥粒をメタルボンドによって保持した
砥石に電解作用を与えて砥石のドレッシングを行いなが
ら被削材の加工をする装置において、 砥石面に対向して設けた陰極板を砥石回転方向に分割
し、分割した電極それぞれで電気条件を制御し砥石半径
方向の電解溶出量を一定に保つことを特徴としている。

（作用） 本発明は上記のように構成し、砥石の内周部に対応する
陰極板の分割部分については電流値を低く、周速の速い
外周部は高くし、このように周速差に応じて電流値を制
御し、砥石半径方向の電解溶出量を略一定に保つことに
より、砥石平坦度を常に高精度に維持できるようにして
いる。

（実施例） 以下に本発明の実施例を記述する。

第１図は本発明をラッピング等に用いられる平面研磨機
に適用した一実施例である。しかして、この実施例にお
いて、研磨ディスクに相当する砥石（１）は中心軸
（２）の回りに回転し、その上面にダイヤモンドあるい
はＣＢＮなどの砥粒がメタルボンドによって結合されて
なる砥粒層（１ａ）が設けられている。そして、この砥
粒層（１ａ）の上方に被削材保持機構を備えた試料プレ
ート（３）が設けられ、回転、および加圧機構を有した
加圧装置（図示せず）によって、この試料プレート
（３）の下面に取付けた被削材（４）を砥石（１）側に
押し付け、被削材（４）の表面の加工が行われる。

一方、電解ドレッシング装置は被削材（４）の加工を行
う部分とは別に設けられており、電解用電源（５）の陽
極は（＋）側給電ブラシ（６）を砥石台金部分に接触さ
せ、砥石面全体を陽極とする。また、陰極である（−）
側は砥粒層（１ａ）と対向し、かつ一定の間隔を介し対
向配置されたＣｕまたはＧｒの材質にてなる陰極板
（７）に接続されている。この場合、第２図に示すよう
に、陰極板（７）は砥石回転方向に対しある角度を持た
せて複数の陰極片（７ａ）〜（７ｃ）に分割し、その間
に樹脂やセラミックスなどの絶縁物（８）を狭んで結合
した形として分割部分それぞれをを一つの陰極として構
成している。

そして、上記のように両極を設置した上で、砥石（１）
と陰極板（７）間、および被削材（４）の加工点に加工
液供給用のノズル（９）を介し導電性加工液を流す。な
お、この実施例では導電性加工液として水溶性研削液を
使用している。

しかして、上述のように、電解用電源（５）は加工装置
とは別に設けられてあり、直流またはパルス波を出力
し、陰極板（７）の分割数に応じた（−）側出力端子を
持ち、内部で（−）側抵抗値をそれぞれ無段階に可変、
制御できるようになっている。そして、この電源（５）
と両極とを接続し、砥石（１）の内周部は電流値を低
く、外周部は高くというように分割部分それぞれで電流
値を制御し、砥石（１）の半径方向の電解溶出量を一定
に保ち、砥石（１）の平坦度が悪化しないようにしてい
る。また、陰極板（７）の分割方向を砥石（１）の回転
方向に対して角度を持たせることにより、絶縁部分にも
電解作用が行きわたるようにしている。

なお、陰極板（７）は図示のように一体形状とせずに、
砥石面上に別々に分散配置してもよい。

本発明は以上のような構成よりなり、分割部分それぞれ
で電解電流値を変えることで、砥石平坦度が良好な状態
で維持できるようにしている。

（発明の効果） 以上のように本発明によれば、ダイヤモンドあるいはＣ
ＢＮなどの砥粒をメタルボンドによって保持した砥石に
電解作用を与えて砥石のドレッシングを行いながら被削
材の加工をする装置において、 砥石面に対向して設けた陰極板を砥石回転方向に分割
し、分割した電極それぞれで電気条件を制御し砥石半径
方向の電解溶出量を一定に保つように構成したから、 (1) 砥石の半径方向に均一な電解ドレッシング作用が
維持でき、砥石平坦度を良好に保てるために被削材の平
坦度が高精度に実現できる。

(2) 砥石のドレッシング作業に特殊技術を要さず、ま
た、加工を中断することなく簡単に砥石切れ味を維持で
きる。

等の効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例、第２図は本発明の要部説明
図、第３図は平面研磨装置に電解ドレッシングを適用し
た従来例で(a)は装置の全体構成図、(b)は陰電極部分の
説明図を示す。 １……砥石 ２……回転軸 ３……試料プレート ４……被削材 ５……電解用電源 ６……給電ブラシ ７……陰電極板 ８……絶縁物 ９……ノズル

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ダイヤモンドあるいはＣＢＮなどの砥粒を
   メタルボンドによって保持した砥石に電解作用を与えて
   砥石のドレッシングを行いながら被削材の加工をする装
   置において、 砥石面に対向して設けた陰極板を砥石回転方向に分割
   し、分割した電極それぞれで電気条件を制御し砥石半径
   方向の電解溶出量を一定に保つことを特徴とした電解ド
   レッシング装置。