JPH06349093A - ミラー式光路偏向装置 - Google Patents
ミラー式光路偏向装置Info
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- JPH06349093A JPH06349093A JP16411993A JP16411993A JPH06349093A JP H06349093 A JPH06349093 A JP H06349093A JP 16411993 A JP16411993 A JP 16411993A JP 16411993 A JP16411993 A JP 16411993A JP H06349093 A JPH06349093 A JP H06349093A
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- Japan
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- mirror
- mirror type
- optical path
- flexible substrate
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Abstract
(57)【要約】
【目的】部品点数を削減することができ、かつ高精度の
光学走査を行うことができるミラー式光路偏向装置を提
供すること。 【構成】可動部１０のミラー１０ａは、その背面にて、
フレキシブル基板２０、２０により適宜な両静止部材
ｓ、ｓに鉛直状に支持されている。各フレキシブル基板
２０は、導電性ばね材料からなる帯状ばね板２１の表面
に被覆層２２、２３を形成して構成されている。
光学走査を行うことができるミラー式光路偏向装置を提
供すること。 【構成】可動部１０のミラー１０ａは、その背面にて、
フレキシブル基板２０、２０により適宜な両静止部材
ｓ、ｓに鉛直状に支持されている。各フレキシブル基板
２０は、導電性ばね材料からなる帯状ばね板２１の表面
に被覆層２２、２３を形成して構成されている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば、ＣＤ，ＭＤ等
の光学系に設けられて、光源からの光の方向の制御を行
うミラー式光路偏向装置に関するものである。
の光学系に設けられて、光源からの光の方向の制御を行
うミラー式光路偏向装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種のミラー式光路偏向装置に
おいては、ガルバノミラーを、軸及び軸受により支持す
るように構成したものや、図４にて示すごとく、ガルバ
ノミラー１を、板ばねやゴム等の弾性部材２により弾性
的に支持するように構成したものがある。
おいては、ガルバノミラーを、軸及び軸受により支持す
るように構成したものや、図４にて示すごとく、ガルバ
ノミラー１を、板ばねやゴム等の弾性部材２により弾性
的に支持するように構成したものがある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た軸及び軸受により支持する構成のものでは、軸と軸受
の間の接触摩擦から微小角の安定した光学走査が困難で
あること、及び精度の高い部品が必要なこと等の問題が
あった。また、上述した板ばねやゴム等の弾性材料によ
り弾性的に支持する構成のものの場合、アンバランス等
が生ずると、副共振が発生し安定した光学走査ができな
いという欠点がある。
た軸及び軸受により支持する構成のものでは、軸と軸受
の間の接触摩擦から微小角の安定した光学走査が困難で
あること、及び精度の高い部品が必要なこと等の問題が
あった。また、上述した板ばねやゴム等の弾性材料によ
り弾性的に支持する構成のものの場合、アンバランス等
が生ずると、副共振が発生し安定した光学走査ができな
いという欠点がある。
【０００４】特に、ムービングコイル型（可動部にコイ
ルを配置したタイプ）（ＭＣ型）のものである場合、給
電のために配線３等を具備する必要があるが、これがア
ンバランスの原因になる。また、このように給電用の部
品を支持部材と別に設けなければならず、部品点数がそ
の分多くなり、製造コストの上昇につながり、設計にお
いても制約が大きくなる等の問題がある。
ルを配置したタイプ）（ＭＣ型）のものである場合、給
電のために配線３等を具備する必要があるが、これがア
ンバランスの原因になる。また、このように給電用の部
品を支持部材と別に設けなければならず、部品点数がそ
の分多くなり、製造コストの上昇につながり、設計にお
いても制約が大きくなる等の問題がある。
【０００５】本発明は、上記課題を解決するためになさ
れたもので、部品点数を削減することができ、かつ高精
度の光学走査を行うことができるミラー式光路偏向装置
を提供することを目的としている。
れたもので、部品点数を削減することができ、かつ高精
度の光学走査を行うことができるミラー式光路偏向装置
を提供することを目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的は、本発明にあ
っては、コイルを装着したミラーを電磁力により回転可
能に支持するミラー式光路偏向装置において、上記ミラ
ーを、弾性及び導電性を兼ね備えたフレキシブル基板に
より、回転可能に支持するように構成したミラー式光路
偏向装置により、達成される。
っては、コイルを装着したミラーを電磁力により回転可
能に支持するミラー式光路偏向装置において、上記ミラ
ーを、弾性及び導電性を兼ね備えたフレキシブル基板に
より、回転可能に支持するように構成したミラー式光路
偏向装置により、達成される。
【０００７】好ましくは、前記フレキシブル基板の導電
性弾性体を、リン青銅やベリリウム銅等の導電性ばね部
材で構成する。
性弾性体を、リン青銅やベリリウム銅等の導電性ばね部
材で構成する。
【０００８】また、好ましくは、前記フレキシブル基板
の変形する部分に対応する被覆層部分のカバー材あるい
はベース材もしくはカバー材とベース材との両方を取り
除く。
の変形する部分に対応する被覆層部分のカバー材あるい
はベース材もしくはカバー材とベース材との両方を取り
除く。
【０００９】
【作用】上記構成によれば、上記フレキシブル基板を通
して上記コイルに電流を流し電磁力を発生させると、上
記ミラーが上記フレキシブル基板による支持のもとにそ
の弾力に抗して回動し、同ミラーからの出射光が偏向す
る。
して上記コイルに電流を流し電磁力を発生させると、上
記ミラーが上記フレキシブル基板による支持のもとにそ
の弾力に抗して回動し、同ミラーからの出射光が偏向す
る。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の好適な実施例を添付図面に基
づいて詳細に説明する。尚、以下に述べる実施例は、本
発明の好適な具体例であるから、技術的に好ましい種々
の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明
において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、こ
れらの態様に限られるものではない。
づいて詳細に説明する。尚、以下に述べる実施例は、本
発明の好適な具体例であるから、技術的に好ましい種々
の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明
において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、こ
れらの態様に限られるものではない。
【００１１】図１は、本発明の一実施例に係るミラー式
光路偏向装置を示しており、この光路偏向装置は、図１
及び図２にて示すように、可動部１０と、両フレキシブ
ル基板２０、２０と、両マグネット３０、３０とにより
構成されている。
光路偏向装置を示しており、この光路偏向装置は、図１
及び図２にて示すように、可動部１０と、両フレキシブ
ル基板２０、２０と、両マグネット３０、３０とにより
構成されている。
【００１２】可動部１０は、ミラー１０ａと、このミラ
ー１０ａに取り付けられたアクチュエータコイル１０ｂ
とにより構成されており、この可動部１０は、図１及び
図２にて示すごとく、ミラー１０ａの背面１１にて、両
フレキシブル基板２０、２０により適宜な固定部（静止
部材）ｓ、ｓに支持されている。
ー１０ａに取り付けられたアクチュエータコイル１０ｂ
とにより構成されており、この可動部１０は、図１及び
図２にて示すごとく、ミラー１０ａの背面１１にて、両
フレキシブル基板２０、２０により適宜な固定部（静止
部材）ｓ、ｓに支持されている。
【００１３】ここで、フレキシブル基板２０、２０は、
それぞれ、帯状ばね板２１の両表面に、カバー材及びベ
ース材からなる被覆層２２、２３を層状に形成してなる
ものである。各ばね板２１は、リン青銅やベリリウム銅
等の導電性ばね材料により形成されている。これによ
り、両フレキシブル基板２０、２０は、各ばね板２１に
より、ミラー１０ａを、図１にて水平軸ｃーｃを中心と
して前後方向に回動させるように、両静止部材ｓ、ｓに
支持する。
それぞれ、帯状ばね板２１の両表面に、カバー材及びベ
ース材からなる被覆層２２、２３を層状に形成してなる
ものである。各ばね板２１は、リン青銅やベリリウム銅
等の導電性ばね材料により形成されている。これによ
り、両フレキシブル基板２０、２０は、各ばね板２１に
より、ミラー１０ａを、図１にて水平軸ｃーｃを中心と
して前後方向に回動させるように、両静止部材ｓ、ｓに
支持する。
【００１４】また、両フレキシブル基板２０、２０は、
図１にて例えば図示ｉ方向に電流（以下、電流ｉとい
う）を流すように、各静止部材ｓ、ｓ側から各ばね板２
１を通しアクチュエータコイル１０ｂに給電する。
図１にて例えば図示ｉ方向に電流（以下、電流ｉとい
う）を流すように、各静止部材ｓ、ｓ側から各ばね板２
１を通しアクチュエータコイル１０ｂに給電する。
【００１５】各マグネット３０、３０は、アクチュエー
タコイル１０ｂに対向するように、それぞれ、図におい
て、可動部１０ａの上下に位置して固定されている。こ
れら各マグネット３０、３０は、電流ｉとの間の電磁誘
導作用により、図１にて図示ａ、ｂの矢印方向に電磁力
を発生する。
タコイル１０ｂに対向するように、それぞれ、図におい
て、可動部１０ａの上下に位置して固定されている。こ
れら各マグネット３０、３０は、電流ｉとの間の電磁誘
導作用により、図１にて図示ａ、ｂの矢印方向に電磁力
を発生する。
【００１６】これにより、各板ばね２１の捻り弾力に抗
し可動部１０ａが水平軸ｃーｃを中心として回動する方
向が特定される。具体的には、各マグネット３０、３０
の着磁方向は、それぞれ、図１にて図示矢印ｄ方向にな
っている。また、図２にて、各符号２０ａは、正側給電
端子を表し、また、各符号２０ｂは、負側給電端子を示
す。
し可動部１０ａが水平軸ｃーｃを中心として回動する方
向が特定される。具体的には、各マグネット３０、３０
の着磁方向は、それぞれ、図１にて図示矢印ｄ方向にな
っている。また、図２にて、各符号２０ａは、正側給電
端子を表し、また、各符号２０ｂは、負側給電端子を示
す。
【００１７】本実施例は以上のように構成されており、
両フレキシブル基板２０、２０の各ばね板２１、２１を
通してアクチュエータコイル１０ｂに給電すると、この
アクチュエータコイル１０ｂに例えば矢印に示す電流ｉ
が流れる。
両フレキシブル基板２０、２０の各ばね板２１、２１を
通してアクチュエータコイル１０ｂに給電すると、この
アクチュエータコイル１０ｂに例えば矢印に示す電流ｉ
が流れる。
【００１８】すると、各マグネット３０、３０が、電流
ｉとの間の電磁誘導作用により、図１にて図示ａ、ｂの
矢印方向に電磁力を発生する。このため、可動部１０
が、両フレキシブル基板２０、２０の各ばね板２１の捻
り弾力に抗して、ミラー１０ａを、図１にて水平軸ｃー
ｃを中心としてａ、ｂの各矢印方向に回動させる。
ｉとの間の電磁誘導作用により、図１にて図示ａ、ｂの
矢印方向に電磁力を発生する。このため、可動部１０
が、両フレキシブル基板２０、２０の各ばね板２１の捻
り弾力に抗して、ミラー１０ａを、図１にて水平軸ｃー
ｃを中心としてａ、ｂの各矢印方向に回動させる。
【００１９】これにより、ミラー１０ａへの入射光が同
ミラー１０ａにより反射されて出射する方向が、ミラー
１０ａの回動角度に応じて偏向される。この場合、両フ
レキシブル基板２０、２０自体が、ミラー１０ａに対す
る支持素子及びアクチュエータコイル１０ｂへの給電素
子の双方を共通化した素子としての役割を果たす。この
ため、給電素子として独立の素子を採用する必要がなく
なり、部品点数が減少するとともに可動部１０の回動の
アンバランスも確実に防止される。
ミラー１０ａにより反射されて出射する方向が、ミラー
１０ａの回動角度に応じて偏向される。この場合、両フ
レキシブル基板２０、２０自体が、ミラー１０ａに対す
る支持素子及びアクチュエータコイル１０ｂへの給電素
子の双方を共通化した素子としての役割を果たす。この
ため、給電素子として独立の素子を採用する必要がなく
なり、部品点数が減少するとともに可動部１０の回動の
アンバランスも確実に防止される。
【００２０】また、両フレキシブル基板２０、２０の各
被覆層２２、２３の減衰特性を利用することにより、ミ
ラー１０ａの回動を共振減衰させ得る。また、両フレキ
シブル基板２０、２０のパターンやパターン厚みを変更
することで、可動部１０と両フレキシブル基板２０、２
０との間の総合的な基本周波数や副共振周波数を変化さ
せて設定することができる。
被覆層２２、２３の減衰特性を利用することにより、ミ
ラー１０ａの回動を共振減衰させ得る。また、両フレキ
シブル基板２０、２０のパターンやパターン厚みを変更
することで、可動部１０と両フレキシブル基板２０、２
０との間の総合的な基本周波数や副共振周波数を変化さ
せて設定することができる。
【００２１】図３は上述の実施例の変形例を示してい
る。この変形例においては、図１および図２で述べた両
フレキシブル基板２０、２０の各被覆層２２、２３にお
けるアクチュエータコイル１０ｂと各静止部材ｓ、ｓと
間の各部分を除去している。
る。この変形例においては、図１および図２で述べた両
フレキシブル基板２０、２０の各被覆層２２、２３にお
けるアクチュエータコイル１０ｂと各静止部材ｓ、ｓと
間の各部分を除去している。
【００２２】そして、この各除去部分に対応するばね板
２１の各部分２１ａ（すなわち、捻り変形部分２１ａ）
を裸にするようにしている。これにより、各ばね板２１
の本来の捻り弾力特性をより一層適正に得るようにでき
る。
２１の各部分２１ａ（すなわち、捻り変形部分２１ａ）
を裸にするようにしている。これにより、各ばね板２１
の本来の捻り弾力特性をより一層適正に得るようにでき
る。
【００２３】以上説明したように、本実施例によれば、
フレキシブル基板自体が、ミラーに対する支持素子及び
前記コイルへの給電素子の双方を共通化した素子として
の役割を果たす。このため、給電素子として独立の素子
を採用する必要がなくなり、部品点数が減少するととも
にミラーの回動のアンバランスも確実に防止され得る。
フレキシブル基板自体が、ミラーに対する支持素子及び
前記コイルへの給電素子の双方を共通化した素子として
の役割を果たす。このため、給電素子として独立の素子
を採用する必要がなくなり、部品点数が減少するととも
にミラーの回動のアンバランスも確実に防止され得る。
【００２４】また、フレキシブル基板の各被覆層の減衰
特性を利用することにより、ミラーの回動を共振減衰さ
せ得る。また、フレキシブル基板のパターンやパターン
厚みを変更することで、コイルとフレキシブル基板との
間の総合的な基本周波数や副共振周波数を変化させるこ
とができる。
特性を利用することにより、ミラーの回動を共振減衰さ
せ得る。また、フレキシブル基板のパターンやパターン
厚みを変更することで、コイルとフレキシブル基板との
間の総合的な基本周波数や副共振周波数を変化させるこ
とができる。
【００２５】さらに、フレキシブル基板の導電性弾性体
を、リン青銅やベリリウム銅等の導電性ばね部材で構成
するようにした場合には、フレキシブル基板の弾力性及
び導電性の双方を良好に確保できる。また、フレキシブ
ル基板の変形する部分に対応する被覆層部分のカバー材
あるいはベース材あるいは両方を取り除いた場合には、
フレキシブル基板における弾性的機能をより一層適正に
発揮させ得る。
を、リン青銅やベリリウム銅等の導電性ばね部材で構成
するようにした場合には、フレキシブル基板の弾力性及
び導電性の双方を良好に確保できる。また、フレキシブ
ル基板の変形する部分に対応する被覆層部分のカバー材
あるいはベース材あるいは両方を取り除いた場合には、
フレキシブル基板における弾性的機能をより一層適正に
発揮させ得る。
【００２６】なお、本発明は上述の実施例に限定されな
い。例えば図３の変形例における各被覆層２２、２３の
除去部分の構成材のうち、ベース材あるいはカバー材の
みを除去するように変更して実施してもよい。
い。例えば図３の変形例における各被覆層２２、２３の
除去部分の構成材のうち、ベース材あるいはカバー材の
みを除去するように変更して実施してもよい。
【００２７】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、部
品点数を削減することにより、構成が簡単で、しかも高
い精度で光学走査を行うことができるミラー式光路偏向
装置を提供することができる。
品点数を削減することにより、構成が簡単で、しかも高
い精度で光学走査を行うことができるミラー式光路偏向
装置を提供することができる。
【図１】図１は本発明の一実施例を示すミラー式光路偏
向装置の概略斜視図である。
向装置の概略斜視図である。
【図２】図１のミラー式光路偏向装置の背面図である。
【図３】図１の実施例の変形例を示す背面図である。
【図４】従来のミラー式光路偏向装置の一例を示す概略
斜視図である。
斜視図である。
１０ 可動部 １０ａ ミラー １０ｂ アクチュエータコイル ２０ フレキシブル基板 ２１ ばね板 ２２、２３ 被覆層 ３０ マグネット
Claims (3)
- 【請求項１】 コイルを装着したミラーを電磁力により
回転可能に支持するミラー式光路偏向装置において、 上記ミラーを、弾性及び導電性を兼ね備えたフレキシブ
ル基板により、回転可能に支持するように構成したこと
を特徴とする、ミラー式光路偏向装置。 - 【請求項２】 前記フレキシブル基板の導電性弾性体
を、リン青銅やベリリウム銅等の導電性ばね部材で構成
するようにしたことを特徴とする、請求項１に記載のミ
ラー式光路偏向装置。 - 【請求項３】 前記フレキシブル基板の変形する部分に
対応する被覆層部分のカバー材あるいはベース材もしく
はベース材およびカバー材の両方を取り除くようにした
ことを特徴とする、請求項１もしくは２のいずれかに記
載のミラー式光路偏向装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16411993A JPH06349093A (ja) | 1993-06-08 | 1993-06-08 | ミラー式光路偏向装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16411993A JPH06349093A (ja) | 1993-06-08 | 1993-06-08 | ミラー式光路偏向装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06349093A true JPH06349093A (ja) | 1994-12-22 |
Family
ID=15787115
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16411993A Pending JPH06349093A (ja) | 1993-06-08 | 1993-06-08 | ミラー式光路偏向装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06349093A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002311375A (ja) * | 2001-04-17 | 2002-10-23 | Olympus Optical Co Ltd | ガルバノミラー |
| EP1887407A2 (en) * | 2006-08-08 | 2008-02-13 | Micro Precision Co. & Ltd. | Electromagnetically actuating optical deflecting element |
| JP2012123364A (ja) * | 2010-11-16 | 2012-06-28 | Ricoh Co Ltd | アクチュエータ装置、このアクチュエータ装置用の保護カバー、このアクチュエータの製造方法、このアクチュエータ装置を用いた光偏向装置、二次元光走査装置及びこれを用いた画像投影装置 |
| JP2018124589A (ja) * | 2018-05-08 | 2018-08-09 | 北陽電機株式会社 | 金属弾性部材及び微小機械装置 |
-
1993
- 1993-06-08 JP JP16411993A patent/JPH06349093A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002311375A (ja) * | 2001-04-17 | 2002-10-23 | Olympus Optical Co Ltd | ガルバノミラー |
| JP4724308B2 (ja) * | 2001-04-17 | 2011-07-13 | オリンパス株式会社 | ガルバノミラー |
| EP1887407A2 (en) * | 2006-08-08 | 2008-02-13 | Micro Precision Co. & Ltd. | Electromagnetically actuating optical deflecting element |
| EP1887407A3 (en) * | 2006-08-08 | 2009-11-04 | Micro Precision Co. & Ltd. | Electromagnetically actuating optical deflecting element |
| JP2012123364A (ja) * | 2010-11-16 | 2012-06-28 | Ricoh Co Ltd | アクチュエータ装置、このアクチュエータ装置用の保護カバー、このアクチュエータの製造方法、このアクチュエータ装置を用いた光偏向装置、二次元光走査装置及びこれを用いた画像投影装置 |
| JP2018124589A (ja) * | 2018-05-08 | 2018-08-09 | 北陽電機株式会社 | 金属弾性部材及び微小機械装置 |
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