JPH06349026A - 薄膜磁気ヘッド - Google Patents
薄膜磁気ヘッドInfo
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- JPH06349026A JPH06349026A JP13702993A JP13702993A JPH06349026A JP H06349026 A JPH06349026 A JP H06349026A JP 13702993 A JP13702993 A JP 13702993A JP 13702993 A JP13702993 A JP 13702993A JP H06349026 A JPH06349026 A JP H06349026A
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- magnetic pole
- head
- recording
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- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/33—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only
- G11B5/39—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects
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- G11B5/3967—Composite structural arrangements of transducers, e.g. inductive write and magnetoresistive read
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- G—PHYSICS
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- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3176—Structure of heads comprising at least in the transducing gap regions two magnetic thin films disposed respectively at both sides of the gaps
- G11B5/3179—Structure of heads comprising at least in the transducing gap regions two magnetic thin films disposed respectively at both sides of the gaps the films being mainly disposed in parallel planes
-
- G—PHYSICS
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- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/488—Disposition of heads
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 簡単な工程管理で記録磁界の書きにじみ、ノ
イズ発生を低減する。 【構成】 基体上に磁気抵抗効果型再生ヘッド、誘導型
記録ヘッドの順に積層した分離型ヘッドにおいて、上記
磁気抵抗効果型再生ヘッドの上部シールド部材を誘導型
記録ヘッドの下部磁極とし、下部磁極にはそのトラック
幅を、上部磁極のトラック幅と実質的に同一寸法に規制
する切り欠け部を設ける。
イズ発生を低減する。 【構成】 基体上に磁気抵抗効果型再生ヘッド、誘導型
記録ヘッドの順に積層した分離型ヘッドにおいて、上記
磁気抵抗効果型再生ヘッドの上部シールド部材を誘導型
記録ヘッドの下部磁極とし、下部磁極にはそのトラック
幅を、上部磁極のトラック幅と実質的に同一寸法に規制
する切り欠け部を設ける。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はハードディスク装置等に
使用する薄膜磁気ヘッドに関する。特に記録と再生とを
分離し、再生を磁気抵抗効果型ヘッドで行なう記録再生
分離型ヘッドの磁気シールドを十分なものとし、かつ、
オフトラックに起因する出力低下やノイズを低減したも
のである。
使用する薄膜磁気ヘッドに関する。特に記録と再生とを
分離し、再生を磁気抵抗効果型ヘッドで行なう記録再生
分離型ヘッドの磁気シールドを十分なものとし、かつ、
オフトラックに起因する出力低下やノイズを低減したも
のである。
【０００２】
【従来の技術】薄膜磁気ヘッドを適用した浮上型磁気ヘ
ッドとして、図３にその断面図を示すように、基体３１
上に磁気抵抗効果型再生ヘッド、誘導型記録ヘッドの順
に積層した記録再生分離型薄膜磁気ヘッドがある。図３
においては記録ヘッドのパターン形成した下部磁極３６
は、再生ヘッドの上部シールド部材３３を兼用してお
り、記録ヘッドの中心は、アジマス効果を出すために再
生ヘッドの中心とはオフセンターｆの分だけずらして構
成してある。
ッドとして、図３にその断面図を示すように、基体３１
上に磁気抵抗効果型再生ヘッド、誘導型記録ヘッドの順
に積層した記録再生分離型薄膜磁気ヘッドがある。図３
においては記録ヘッドのパターン形成した下部磁極３６
は、再生ヘッドの上部シールド部材３３を兼用してお
り、記録ヘッドの中心は、アジマス効果を出すために再
生ヘッドの中心とはオフセンターｆの分だけずらして構
成してある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、オフセ
ンターｆの値は設計するドライブ毎に替えることが必要
であり、マスクの準備等生産コストの増加と、複雑な工
程管理が必要となる。又、図３の録再分離型薄膜ヘッド
に見られるように、オフセンターｆに対して許容性をも
たすために、再生ヘッドの下部シールド部材３２と記録
ヘッドの下部磁極３６は幅を同一にしてある。このため
に、記録ヘッドとして見れば、上部磁極３７の幅と下部
磁極３６の幅とがその大きさが著しく異なる為に、記録
時に記録磁界の書きにじみなどトラック幅方向磁界の乱
れが大きくなりノイズ発生要因となる。
ンターｆの値は設計するドライブ毎に替えることが必要
であり、マスクの準備等生産コストの増加と、複雑な工
程管理が必要となる。又、図３の録再分離型薄膜ヘッド
に見られるように、オフセンターｆに対して許容性をも
たすために、再生ヘッドの下部シールド部材３２と記録
ヘッドの下部磁極３６は幅を同一にしてある。このため
に、記録ヘッドとして見れば、上部磁極３７の幅と下部
磁極３６の幅とがその大きさが著しく異なる為に、記録
時に記録磁界の書きにじみなどトラック幅方向磁界の乱
れが大きくなりノイズ発生要因となる。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明は、記録ヘッドの下部磁極に再生ヘッドの上部
シールド材を兼ねさせると共に、上部磁極のトラック幅
と実質的に同一寸法に下部磁極のトラック幅を規制する
切り欠け部を設けた薄膜磁気ヘッドである。前記下部磁
極の切り欠け部は、例えばオフセンターｆを出すために
パターン形成した上部磁極をトリミングする際に、作成
することができる。この場合に、上部磁極の除去する位
置をトラック幅方向左右にずらすことにより、オフセン
ターｆを調整し、除去する部分を調整することによっ
て、トラック幅（Ｔｗ）を変えることができる。上部磁
極の除去する位置をトラック幅方向にずらす事により、
上部磁極及び下部磁極は僅か左右非対象形となるが、記
録特性には何等支障はないものである。
に本発明は、記録ヘッドの下部磁極に再生ヘッドの上部
シールド材を兼ねさせると共に、上部磁極のトラック幅
と実質的に同一寸法に下部磁極のトラック幅を規制する
切り欠け部を設けた薄膜磁気ヘッドである。前記下部磁
極の切り欠け部は、例えばオフセンターｆを出すために
パターン形成した上部磁極をトリミングする際に、作成
することができる。この場合に、上部磁極の除去する位
置をトラック幅方向左右にずらすことにより、オフセン
ターｆを調整し、除去する部分を調整することによっ
て、トラック幅（Ｔｗ）を変えることができる。上部磁
極の除去する位置をトラック幅方向にずらす事により、
上部磁極及び下部磁極は僅か左右非対象形となるが、記
録特性には何等支障はないものである。
【０００５】
【作用】下部磁極は、再生ヘッドの磁気シールド材を兼
ねているが、上部磁極の幅と実質的に同一寸法のトラッ
ク幅を切り欠けによって形成することができる。切り欠
き部のトラック方向幅Ｗは、記録時の書きにじみを少な
くする為に、記録ヘッドのギャップ長さ（Ｇl）と同じ
か、それよりも長いものとすることが好ましい。切り欠
き部の膜厚方向深さｄは磁気シールド効果を減じない程
度まで深くすることは可能である。この深さｄは、好ま
しくは、下部磁極膜厚Ｇの１／４０〜１／２程度であ
る。
ねているが、上部磁極の幅と実質的に同一寸法のトラッ
ク幅を切り欠けによって形成することができる。切り欠
き部のトラック方向幅Ｗは、記録時の書きにじみを少な
くする為に、記録ヘッドのギャップ長さ（Ｇl）と同じ
か、それよりも長いものとすることが好ましい。切り欠
き部の膜厚方向深さｄは磁気シールド効果を減じない程
度まで深くすることは可能である。この深さｄは、好ま
しくは、下部磁極膜厚Ｇの１／４０〜１／２程度であ
る。
【０００６】
【実施例】図１は、第１の実施例を説明するための薄膜
磁気ヘッドの斜視部分断面図である。スライダーとなる
基体１上に磁気抵抗効果型再生ヘッド、その上に誘導型
記録ヘッドを積層してある。磁気抵抗効果型ヘッドは磁
気シールド層２及び３（３は、記録ヘッドの下部磁極を
兼ねる）の間に磁気抵抗効果膜４を積層し、両端を電極
５で接続して、電極の間隔を再生ヘッドのトラック幅と
している。この上に記録ヘッドの下部磁極６、上部磁極
７およびこれらの間にギャップ層８とコイル９を設け
る。ここでシールド層および記録磁極はパーマロイなど
の軟磁性膜であればよく、他のＣｏ系や、Ｆｅ系の軟磁
性膜であってもかまわない。また磁気抵抗効果膜にはパ
ーマロイを用い、膜厚は２０ｎｍとした。また、記録ト
ラック幅は４μｍとし、再生トラック幅は２μｍであ
る。再生ヘッドのトラック幅は記録トラック幅の１／２
以下であるため、高再生出力化を計る必要がある。磁気
抵抗効果型ヘッドの出力はパーマロイの膜厚を薄くする
ほど高くできるので、薄膜化による磁気特性や電気特性
の劣化が顕著になる限界まで薄くすることが好ましい。
さらに、浮上面から見たときの磁気抵抗効果膜の奥行き
は、狭いほど高出力化を図ることができる。
磁気ヘッドの斜視部分断面図である。スライダーとなる
基体１上に磁気抵抗効果型再生ヘッド、その上に誘導型
記録ヘッドを積層してある。磁気抵抗効果型ヘッドは磁
気シールド層２及び３（３は、記録ヘッドの下部磁極を
兼ねる）の間に磁気抵抗効果膜４を積層し、両端を電極
５で接続して、電極の間隔を再生ヘッドのトラック幅と
している。この上に記録ヘッドの下部磁極６、上部磁極
７およびこれらの間にギャップ層８とコイル９を設け
る。ここでシールド層および記録磁極はパーマロイなど
の軟磁性膜であればよく、他のＣｏ系や、Ｆｅ系の軟磁
性膜であってもかまわない。また磁気抵抗効果膜にはパ
ーマロイを用い、膜厚は２０ｎｍとした。また、記録ト
ラック幅は４μｍとし、再生トラック幅は２μｍであ
る。再生ヘッドのトラック幅は記録トラック幅の１／２
以下であるため、高再生出力化を計る必要がある。磁気
抵抗効果型ヘッドの出力はパーマロイの膜厚を薄くする
ほど高くできるので、薄膜化による磁気特性や電気特性
の劣化が顕著になる限界まで薄くすることが好ましい。
さらに、浮上面から見たときの磁気抵抗効果膜の奥行き
は、狭いほど高出力化を図ることができる。
【０００７】なお上記の図中では省略して記載しなかっ
たが、通常磁気抵抗効果型ヘッドでは出力の線形性を向
上するために、バイアス磁界を印加する手段が必要であ
る。この方法としてはシャントバイアス、ソトトバイア
ス、永久磁石バイアスなど従来から知られており、これ
らのバイアス手段を用いることができる。記録ヘッドと
再生ヘッドの中心位置は一般にはずれている。ヘッドが
ディスクの半径方向にシークすることによって媒体との
相対速度が変化するので、浮上量も変化する。磁気抵抗
効果型ヘッドの場合、出力は媒体の速度に依存しないた
め、浮上量の大きい外周側の特性が内周側の特性よりも
劣る。これを補うためには、特性劣化のある外周側で最
もトラック幅が増大するように、媒体とヘッド間のアジ
マス角をゼロにすることが好ましい。このため、内周側
にシークしていくほど記録ヘッドと再生ヘッドのずれは
単調に増加する。したがって、本図に示したようにあら
かじめシークによるヘッド間のずれ分だけ記録ヘッドと
再生ヘッドの中心をずらしておくことによって、内周側
においても常に記録トラックの内側に再生ヘッドがくる
ようにできるので良好なオフトラック特性を持つ磁気記
録装置を提供できる。
たが、通常磁気抵抗効果型ヘッドでは出力の線形性を向
上するために、バイアス磁界を印加する手段が必要であ
る。この方法としてはシャントバイアス、ソトトバイア
ス、永久磁石バイアスなど従来から知られており、これ
らのバイアス手段を用いることができる。記録ヘッドと
再生ヘッドの中心位置は一般にはずれている。ヘッドが
ディスクの半径方向にシークすることによって媒体との
相対速度が変化するので、浮上量も変化する。磁気抵抗
効果型ヘッドの場合、出力は媒体の速度に依存しないた
め、浮上量の大きい外周側の特性が内周側の特性よりも
劣る。これを補うためには、特性劣化のある外周側で最
もトラック幅が増大するように、媒体とヘッド間のアジ
マス角をゼロにすることが好ましい。このため、内周側
にシークしていくほど記録ヘッドと再生ヘッドのずれは
単調に増加する。したがって、本図に示したようにあら
かじめシークによるヘッド間のずれ分だけ記録ヘッドと
再生ヘッドの中心をずらしておくことによって、内周側
においても常に記録トラックの内側に再生ヘッドがくる
ようにできるので良好なオフトラック特性を持つ磁気記
録装置を提供できる。
【０００８】また外周側の浮上量を増加させない方法と
して、媒体との相対速度に関係なく浮上量が一定になる
定浮上ヘッドが提案されている（米国特許4,673,996号
Mr.James White）ヘッドと媒体の進入角度（ｓｋｅｗ
角）を付与する事により浮上量の変化を得、周速による
浮上量変化量とｓｋｅｗ角による浮上量変化量を相殺さ
せ定浮上ヘッドを供給するものである。しかしこの場合
においても、シークによるヘッド間のずれ分だけ記録ヘ
ッドと再生ヘッドの中心をずらしておく事によりより良
好なオフトラック特性が得られる事は言うまでもない。
して、媒体との相対速度に関係なく浮上量が一定になる
定浮上ヘッドが提案されている（米国特許4,673,996号
Mr.James White）ヘッドと媒体の進入角度（ｓｋｅｗ
角）を付与する事により浮上量の変化を得、周速による
浮上量変化量とｓｋｅｗ角による浮上量変化量を相殺さ
せ定浮上ヘッドを供給するものである。しかしこの場合
においても、シークによるヘッド間のずれ分だけ記録ヘ
ッドと再生ヘッドの中心をずらしておく事によりより良
好なオフトラック特性が得られる事は言うまでもない。
【０００９】上部磁極のトリミングは、レジストマスク
を利用して、ＩＢＥ（ｉｏｎ ｂｅａｍ ｅｔｃｈｉｎ
ｇ）やＦＩＢ（ｆｏｕｓｅｄ ｉｏｎ ｂｅａｍ）等を
用いて行い、同時に上部シールド板を兼ねる下部磁極に
切り欠けを設けるエッチングを行う。図２には別の実施
例の上部磁極２７、下部磁極２８の断面図を示して有
る。同図は、磁気ディスク面から見たヘッドの断面図で
ある。下部磁極は、再生ヘッドの磁気シールド材を兼ね
ているが、上部磁極の幅と実質的に同一寸法のトラック
幅を切り欠けによって形成することができる。切り欠き
部のトラック方向幅Ｗは、記録時の書きにじみを少なく
する為に、記録ヘッドのギャップ長さ（Ｇl）と同じ
か、それよりも長いものとすることが好ましい。切り欠
き部の膜厚方向深さｄは磁気シールド効果を減じない程
度まで深くすることは可能である。この深さｄは、好ま
しくは、下部磁極膜厚Ｇの１／４０〜１／２程度であ
る。
を利用して、ＩＢＥ（ｉｏｎ ｂｅａｍ ｅｔｃｈｉｎ
ｇ）やＦＩＢ（ｆｏｕｓｅｄ ｉｏｎ ｂｅａｍ）等を
用いて行い、同時に上部シールド板を兼ねる下部磁極に
切り欠けを設けるエッチングを行う。図２には別の実施
例の上部磁極２７、下部磁極２８の断面図を示して有
る。同図は、磁気ディスク面から見たヘッドの断面図で
ある。下部磁極は、再生ヘッドの磁気シールド材を兼ね
ているが、上部磁極の幅と実質的に同一寸法のトラック
幅を切り欠けによって形成することができる。切り欠き
部のトラック方向幅Ｗは、記録時の書きにじみを少なく
する為に、記録ヘッドのギャップ長さ（Ｇl）と同じ
か、それよりも長いものとすることが好ましい。切り欠
き部の膜厚方向深さｄは磁気シールド効果を減じない程
度まで深くすることは可能である。この深さｄは、好ま
しくは、下部磁極膜厚Ｇの１／４０〜１／２程度であ
る。
【００１０】
【発明の効果】本発明により、工程を複雑にすることな
く、上部磁極のトリミングに依って上部磁極の中心線と
再生ヘッドの中心線のズレ量（オフセンターｆ）を上部
磁極形成後に、精度良く得ることができる。また、記録
用上下磁極幅がほぼ同一になる事により記録時の書きに
じみによる実質的な書き込みトラック幅の増加をおさえ
る事ができる。本発明により、上部磁極を形成した後、
オフセンターｆと記録トラック幅を前述方法により得る
為、オフセンターｆと記録トラック幅の組合せ自由度が
飛躍的に増大する。
く、上部磁極のトリミングに依って上部磁極の中心線と
再生ヘッドの中心線のズレ量（オフセンターｆ）を上部
磁極形成後に、精度良く得ることができる。また、記録
用上下磁極幅がほぼ同一になる事により記録時の書きに
じみによる実質的な書き込みトラック幅の増加をおさえ
る事ができる。本発明により、上部磁極を形成した後、
オフセンターｆと記録トラック幅を前述方法により得る
為、オフセンターｆと記録トラック幅の組合せ自由度が
飛躍的に増大する。
【図１】実施例の薄膜磁気ヘッドの斜視部分断面図であ
る。
る。
【図２】本発明の別の実施例の断面図である。
【図３】従来の薄膜磁気ヘッドの断面図である。
１ 基板 ２ 下部磁気シールド層 ３ 上部磁気シールド層 ４ 磁気抵抗効果膜 ５ 電極 ６ 下部磁極 ７ 上部磁極
Claims (2)
- 【請求項１】 基体上に磁気抵抗効果型再生ヘッド、誘
導型記録ヘッドの順に積層した分離型ヘッドにおいて、
上記磁気抵抗効果型再生ヘッドの上部シール部材を誘導
型記録ヘッドの下部磁極とし、下部磁極にはそのトラッ
ク幅を、上部磁極のトラック幅と実質的に同一寸法に規
制する切り欠け部を設けたことを特徴とする薄膜磁気ヘ
ッド。 - 【請求項２】 請求項１においては、下部磁極のトラッ
ク幅を規制する切り欠け部は上部磁極のトラック幅トリ
ミングと同時に形成したものである薄膜磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13702993A JP3578471B2 (ja) | 1993-06-08 | 1993-06-08 | 薄膜磁気ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13702993A JP3578471B2 (ja) | 1993-06-08 | 1993-06-08 | 薄膜磁気ヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06349026A true JPH06349026A (ja) | 1994-12-22 |
| JP3578471B2 JP3578471B2 (ja) | 2004-10-20 |
Family
ID=15189187
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13702993A Expired - Fee Related JP3578471B2 (ja) | 1993-06-08 | 1993-06-08 | 薄膜磁気ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3578471B2 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998039770A1 (en) * | 1997-03-04 | 1998-09-11 | Micrion Corporation | Thin-film magnetic recording head manufacture |
| US5966277A (en) * | 1997-04-25 | 1999-10-12 | Fujitsu Limited | Magnetic head and method for production thereof |
| KR100228479B1 (ko) * | 1996-05-08 | 1999-11-01 | 윤종용 | 하드디스크 드라이브의 자기저항 헤드장치 |
| US5995343A (en) * | 1997-02-14 | 1999-11-30 | Fujitsu Limited | Magnetic headwith specified tapered pole tip width ratio |
| US6004437A (en) * | 1996-04-19 | 1999-12-21 | Micrion Corporation | Thin-film magnetic recording head manufacturing method |
| US6332962B1 (en) | 1997-06-13 | 2001-12-25 | Micrion Corporation | Thin-film magnetic recording head manufacture using selective imaging |
| WO2003083837A1 (fr) * | 2002-04-01 | 2003-10-09 | Fujitsu Limited | Tete magnetique a couche mince et procede de production de cette derniere |
-
1993
- 1993-06-08 JP JP13702993A patent/JP3578471B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7045275B2 (en) | 1996-04-19 | 2006-05-16 | Fei Company | Thin-film magnetic recording head manufacture |
| US6004437A (en) * | 1996-04-19 | 1999-12-21 | Micrion Corporation | Thin-film magnetic recording head manufacturing method |
| US6354438B1 (en) | 1996-04-19 | 2002-03-12 | Micrion Corporation | Focused ion beam apparatus for forming thin-film magnetic recording heads |
| US6579665B2 (en) | 1996-04-19 | 2003-06-17 | Fei Company | Thin-film magnetic recording head manufacture |
| KR100228479B1 (ko) * | 1996-05-08 | 1999-11-01 | 윤종용 | 하드디스크 드라이브의 자기저항 헤드장치 |
| US5995343A (en) * | 1997-02-14 | 1999-11-30 | Fujitsu Limited | Magnetic headwith specified tapered pole tip width ratio |
| WO1998039770A1 (en) * | 1997-03-04 | 1998-09-11 | Micrion Corporation | Thin-film magnetic recording head manufacture |
| US5966277A (en) * | 1997-04-25 | 1999-10-12 | Fujitsu Limited | Magnetic head and method for production thereof |
| US6199267B1 (en) | 1997-04-25 | 2001-03-13 | Fujitsu, Limited | Method for the production of a magnetic head |
| US6332962B1 (en) | 1997-06-13 | 2001-12-25 | Micrion Corporation | Thin-film magnetic recording head manufacture using selective imaging |
| US6824644B2 (en) | 1997-06-13 | 2004-11-30 | Fei Company | Thin-film magnetic recording head manufacture using selective imaging |
| WO2003083837A1 (fr) * | 2002-04-01 | 2003-10-09 | Fujitsu Limited | Tete magnetique a couche mince et procede de production de cette derniere |
| US7369359B2 (en) | 2002-04-01 | 2008-05-06 | Fujitsu Limited | Thin film magnetic head having sectional shape of write magnetic pole formed as a trapezoid |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3578471B2 (ja) | 2004-10-20 |
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