JPH06347362A - Method and apparatus for airtightness inspection - Google Patents
Method and apparatus for airtightness inspectionInfo
- Publication number
- JPH06347362A JPH06347362A JP14026693A JP14026693A JPH06347362A JP H06347362 A JPH06347362 A JP H06347362A JP 14026693 A JP14026693 A JP 14026693A JP 14026693 A JP14026693 A JP 14026693A JP H06347362 A JPH06347362 A JP H06347362A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- chamber
- charge tank
- subject
- sample gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は、特にヘリウムガス等
の漏洩検査媒体を用いて、各種テストワークの気密検査
を行うための方法及び装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method and an apparatus for performing an airtight inspection of various test works by using a leak inspection medium such as helium gas.
【０００２】[0002]
【従来の技術】ダイキャスト製品をはじめとする種々の
工業製品に対して、この種の気密検査が行われる。従
来、例えばガス式気密検査装置では、漏洩検査媒体とし
てフロンガスを用い、またチャージタンク方式のリーク
ディテクタが使用されている。検査媒体としてはフロン
ガスの代わりにヘリウムガスを使用することができる。
しかし、これらの場合、環境問題や、検査時間が長くか
かってしまう等の問題がある。そこで本出願人は、この
ような問題を解消するとともに、装置構成が比較的簡単
で、且つ検査精度を向上し得る気密検査方法及び装置に
ついて、特願平５−５５２８６号にて既に提案してい
る。2. Description of the Related Art Various industrial products such as die-cast products are subjected to this type of airtightness inspection. Conventionally, for example, in a gas type airtightness inspection apparatus, a Freon gas is used as a leakage inspection medium, and a charge tank type leak detector is used. As a test medium, helium gas may be used instead of CFC gas.
However, in these cases, there are problems such as environmental problems and long inspection time. Therefore, the applicant of the present application has already proposed in Japanese Patent Application No. 5-55286 a method and a device for solving the above problems and having a relatively simple device configuration and capable of improving the inspection accuracy. There is.
【０００３】次に、本出願人が提案した上記気密検査装
置について概略説明する。図２は、この気密検査装置の
全体構成を示しており、図において、１は装置本体、２
は後述する被検体３を収容するチャンバである。チャン
バ２には掃気用の排気管２ａが接続されている。４はＯ
リング等のシール部材、５はチャンバ２を装置本体１に
対して進退させる空圧もしくは油圧シリンダ等で成る駆
動装置である。上記被検体３として、例えば車両用のア
ルミホイールとする。この被検体３は、図示のようにチ
ャンバ２内の所定位置に収納・セットされるが、その
際、クランプシール６を介して、シール圧プレート７に
よりその両側から弾圧される。このシール圧プレート７
は、空圧もしくは油圧シリンダ等で成る駆動装置８によ
って進退する。Next, the airtightness inspection apparatus proposed by the present applicant will be briefly described. FIG. 2 shows the overall structure of this airtightness inspection apparatus.
Is a chamber for accommodating a subject 3 described later. An exhaust pipe 2a for scavenging is connected to the chamber 2. 4 is O
A seal member 5 such as a ring is a driving device including a pneumatic or hydraulic cylinder for moving the chamber 2 forward and backward with respect to the apparatus main body 1. The subject 3 is, for example, an aluminum wheel for a vehicle. The subject 3 is stored and set in a predetermined position in the chamber 2 as shown in the figure, but at this time, it is elastically pressed from both sides by the seal pressure plate 7 via the clamp seal 6. This sealing pressure plate 7
Moves forwards and backwards by a drive device 8 formed of a pneumatic or hydraulic cylinder or the like.
【０００４】また９，１０及び１１はそれぞれ空気圧源
であり、このうち空気圧源９はチャンバ２内に空気を供
給し、また空気圧源１０，１１は被検体３の内部に空気
を供給する。空気圧源１１には、差圧ゲージ１２が付設
されている。１３は被検体３の内部にヘリウムガスを供
給するヘリウムガス圧源である。１４は被検体３の内部
に通じる排出用管路である。さらに、１５はチャンバ２
内に設置された攪拌用のファンであり、駆動モータ１６
により回転駆動される。Reference numerals 9, 10 and 11 are air pressure sources, of which the air pressure source 9 supplies air into the chamber 2, and the air pressure sources 10 and 11 supply air into the subject 3. A differential pressure gauge 12 is attached to the air pressure source 11. A helium gas pressure source 13 supplies helium gas into the subject 3. Reference numeral 14 is a discharge conduit that communicates with the inside of the subject 3. Further, 15 is a chamber 2
The drive motor 16 is a stirring fan installed inside
Is driven to rotate.
【０００５】１７は検査に供する試料ガスを採取するた
めのチャージタンクであり、このチャージタンク１７
は、開閉バルブ１８を介してチャンバ２と接続されてい
る。１９は開閉バルブ２０を介してチャージタンク１７
と接続された真空ポンプ、２１はチャージタンク１７か
ら試料ガスを導入されるヘリウム・リークディテクタで
あり、このヘリウム・リークディテクタ２１は、開閉バ
ルブ２２を介してチャージタンク１７と接続されてい
る。Reference numeral 17 is a charge tank for collecting a sample gas for inspection.
Is connected to the chamber 2 via an opening / closing valve 18. 19 is a charge tank 17 via an opening / closing valve 20.
Is a vacuum pump connected to the charge tank 17, and 21 is a helium leak detector into which the sample gas is introduced from the charge tank 17. The helium leak detector 21 is connected to the charge tank 17 via an opening / closing valve 22.
【０００６】上記の場合、排気管２ａの適所に、開閉バ
ルブ２３を付設してもよく、この開閉バルブ２３を適宜
開閉制御してチャンバ２を掃排気することができる。な
お、上記開閉バルブ１８，２０，２２、駆動装置５，８
及び駆動モータ１６等は、図示しない制御回路により動
作制御されるようになっている。In the above case, an opening / closing valve 23 may be attached at an appropriate position of the exhaust pipe 2a, and the opening / closing valve 23 may be appropriately controlled to open / close to sweep and exhaust the chamber 2. The open / close valves 18, 20, 22 and the drive devices 5, 8
The operation of the drive motor 16 and the like is controlled by a control circuit (not shown).
【０００７】上記気密検査装置による気密検査方法は、
前記特願平５−５５２８６号に記載された通りである
が、ここで、その方法を概略的に説明する。被検体３
は、チャンバ２内の所定位置にセットされ、クランプシ
ール６によって両側からシールされる。そしてチャンバ
２は外気から大気圧で遮断され、密閉される。次に、空
気圧源９からチャンバ２内に空気を供給すると共に、そ
の空気を排気管２ａから排出し、チャンバ２内をクリー
ニングする。The airtightness inspection method using the airtightness inspection apparatus is as follows:
As described in Japanese Patent Application No. 5-55286, the method will be briefly described here. Subject 3
Is set at a predetermined position in the chamber 2 and is sealed from both sides by the clamp seals 6. Then, the chamber 2 is shut off from the outside air at atmospheric pressure and sealed. Next, air is supplied from the air pressure source 9 into the chamber 2, and the air is discharged from the exhaust pipe 2a to clean the inside of the chamber 2.
【０００８】チャンバ２内のクリーニング後、空気圧源
１１から上記被検体３内に気体、例えば空気（４ｋｇ／
ｃｍ2 Ｇ程度）を封入して、差圧漏れ検査（グロスリー
ク）を行う。この差圧漏れ検査は、被検体３に比較的大
きな穴等が存在するか否かを予め検査する予備検査であ
り、この差圧漏れ検査の終了後、封入された空気は排出
用管路１４を介して再び排気される。気体として、空気
の他、例えば窒素ガスと空気の混合ガスを用いてもよ
い。After cleaning the inside of the chamber 2, a gas such as air (4 kg /
(cm 2 G) is sealed and a differential pressure leak test (gross leak) is performed. This differential pressure leak test is a preliminary test for checking in advance whether or not there is a relatively large hole or the like in the subject 3, and after the differential pressure leak test is completed, the enclosed air is discharged through the exhaust pipe line 14. Is exhausted again via. As the gas, other than air, for example, a mixed gas of nitrogen gas and air may be used.
【０００９】予備検査終了後、ヘリウムガス圧源１３か
ら被検体３内にヘリウムガスが封入される。更に空気圧
源１０から被検体３内に空気が供給され、一定圧力まで
加圧し、被検体３内でヘリウムガス及び空気が混合され
る。この後、駆動モータ１６によりファン１５を回転駆
動させ、チャンバ３内の試料ガスを一定時間、拡散・攪
拌する。After completion of the preliminary inspection, helium gas is sealed in the subject 3 from the helium gas pressure source 13. Further, air is supplied from the air pressure source 10 into the subject 3 and pressurized to a constant pressure, and helium gas and air are mixed in the subject 3. After that, the fan 15 is rotationally driven by the drive motor 16 to diffuse and stir the sample gas in the chamber 3 for a certain period of time.
【００１０】次に、チャンバ２内で拡散・攪拌された試
料ガスをチャージタンク１７へチャージする際、チャー
ジタンク１７は、真空ポンプ１９によって真空引きされ
る。即ち、開閉バルブ１８及び２０を開弁させ、一方、
開閉バルブ２２は閉弁させ、この状態で真空ポンプ１９
を作動させることにより、チャージタンク１７内へ試料
ガスが採取される。Next, when the sample gas diffused and stirred in the chamber 2 is charged into the charge tank 17, the charge tank 17 is evacuated by the vacuum pump 19. That is, the opening / closing valves 18 and 20 are opened, while
The on-off valve 22 is closed, and in this state the vacuum pump 19
The sample gas is collected in the charge tank 17 by operating the.
【００１１】このように、試料ガスをチャンバ２からチ
ャージタンク１７へチャージし、更にチャージタンク１
７からヘリウム・リークディテクタ２１に採取・導入す
るにあたり、開閉バルブ１８，２０又は２２の開・閉状
態を上記のように設定して適宜真空引きを行う。これに
よりチャージタンク１７内へ、そしてその後ヘリウム・
リークディテクタ２１内へ効率良く、迅速に試料ガスを
採取することができ、この結果高い測定精度を得ること
ができる。In this way, the sample gas is charged from the chamber 2 into the charge tank 17, and the charge tank 1 is further charged.
When collecting and introducing the helium leak detector 21 from 7, the open / close state of the opening / closing valve 18, 20 or 22 is set as described above, and vacuuming is appropriately performed. This puts it into the charge tank 17, and then helium
The sample gas can be sampled into the leak detector 21 efficiently and quickly, and as a result, high measurement accuracy can be obtained.
【００１２】上記のように、被検体３に対して予備検査
を行い、これにより予め被検体３のグロスリークの検査
・判断を行うことができる。ヘリウム漏れ検査では、検
査媒体として使用するヘリウムガスは環境問題等の心配
がない。また特に差圧漏れ検査に際して、被検体３を収
容するチャンバ２内を大気圧状態にして行うことがで
き、真空工程等の必要がなく、これにより真空設備及び
その制御等のための装置構成を簡略化することができ
る。一方、ガスをチャンバ２からチャージタンク１７へ
採取してヘリウム漏れ検査を行う際、該チャージタンク
１７を真空引きすることにより、チャージタンク１７内
へ、そしてその後ヘリウム・リークディテクタ２１内へ
効率良く、迅速に試料ガスを採取することができる。As described above, the preliminary inspection is performed on the subject 3, whereby the inspection and determination of the gross leak of the subject 3 can be performed in advance. In the helium leak inspection, the helium gas used as the inspection medium does not have an environmental problem. Further, particularly in the differential pressure leak inspection, the inside of the chamber 2 accommodating the subject 3 can be brought to the atmospheric pressure state, and there is no need for a vacuum process or the like, whereby a device configuration for vacuum equipment and its control can be provided. It can be simplified. On the other hand, when the gas is collected from the chamber 2 into the charge tank 17 and a helium leak test is performed, the charge tank 17 is evacuated into the charge tank 17 and then into the helium leak detector 21 efficiently. The sample gas can be quickly collected.
【００１３】[0013]
【発明が解決しようとする課題】上記のように、本出願
人の提案した検査方法及び装置では、特に差圧漏れ検査
に際して、被検体３を収容するチャンバ２内を大気圧状
態にして行うことができる。ところが、大気中には検知
ガス（検査媒体）と同一のヘリウムガスが微量ながら含
まれている。このため、上述のように大気を利用して行
う場合には、特にＰＰＭオーダーの検知精度に誤差が生
じ得るという問題がある。As described above, in the inspection method and apparatus proposed by the applicant of the present invention, particularly in the differential pressure leak inspection, the inside of the chamber 2 for accommodating the subject 3 is set to the atmospheric pressure state. You can However, the atmosphere contains a small amount of the same helium gas as the detection gas (inspection medium). Therefore, when using the atmosphere as described above, there is a problem that an error may occur particularly in the detection accuracy of the PPM order.
【００１４】またチャージタンク１７は、真空ポンプ１
９によって減圧して開閉バルブ１８を開弁することによ
り、試料ガスを取り込む所謂、真空方式であり、基本的
に真空状態で使用されるヘリウム・リークディテクタ２
１と同程度の真空度を有するので、両者の整合性を図り
得る真空方式が望ましい。ところが、実際の検査装置で
は検査効率を向上するために、１つのヘリウム・リーク
ディテクタ２１に対して複数のチャンバ２が取り付けら
れる場合がある。これに対応してチャージタンク１７を
増設すると、真空ポンプ１９も増やす必要があり、その
ままでは装置が著しく複雑化するという問題が生じる。The charge tank 17 is a vacuum pump 1.
The helium leak detector 2 is a so-called vacuum system in which the sample gas is taken in by decompressing by 9 and opening the open / close valve 18, which is basically used in a vacuum state.
Since it has the same degree of vacuum as that of No. 1, it is desirable to use a vacuum system capable of achieving compatibility between the two. However, in an actual inspection device, a plurality of chambers 2 may be attached to one helium leak detector 21 in order to improve the inspection efficiency. If the charge tank 17 is additionally installed in response to this, it is necessary to increase the number of vacuum pumps 19 as well, which causes a problem that the apparatus is significantly complicated as it is.
【００１５】本発明は上記の点に鑑み、従来装置の利点
を生かしつつ、検知精度及び検査効率を更に向上し得る
気密検査方法及び装置を提供することを目的とする。In view of the above points, it is an object of the present invention to provide an airtightness inspection method and apparatus which can further improve the detection accuracy and inspection efficiency while taking advantage of the advantages of the conventional apparatus.
【００１６】[0016]
【課題を解決するための手段】本発明方法は、被検体を
シーリング状態でチャンバ内の所定位置にセットして、
上記チャンバ内をクリーニングした後、窒素ガス又は炭
酸ガスを供給して空気と置換する工程と、上記被検体内
に気体を封入して、差圧漏れ検査を行い、この封入気体
を再び排気する工程と、上記被検体内にヘリウムガス及
び空気を所定圧力で封入・混合し、上記チャンバ内の試
料ガスを一定時間、拡散・攪拌する工程と、その試料ガ
スを上記チャンバから第１チャージタンクへ採取する工
程と、試料ガスがチャージされた上記第１チャージタン
クから、その試料ガスを第２チャージタンクへ供給する
工程と、第２チャージタンクからヘリウム・リークディ
テクタへ試料ガスを導入する工程と、を備えている。According to the method of the present invention, an object is set in a predetermined position in a chamber in a sealing state,
After cleaning the inside of the chamber, supplying nitrogen gas or carbon dioxide gas to replace with air, and enclosing a gas in the subject, performing a differential pressure leak test, and exhausting the enclosed gas again And a step of sealing and mixing helium gas and air in the subject at a predetermined pressure and diffusing and stirring the sample gas in the chamber for a certain time, and collecting the sample gas from the chamber to the first charge tank And a step of supplying the sample gas to the second charge tank from the first charge tank charged with the sample gas, and a step of introducing the sample gas from the second charge tank to the helium leak detector. I have it.
【００１７】また本発明装置は、特に前記チャンバ内に
窒素ガス又は炭酸ガスを供給し得る窒素ガス又は炭酸ガ
ス圧源、及び／又は前記第１チャージタンク及び前記第
２チャージタンクが直列に接続されて成る試料ガス採取
手段を有している。Further, in the apparatus of the present invention, in particular, a nitrogen gas or carbon dioxide gas pressure source capable of supplying nitrogen gas or carbon dioxide gas, and / or the first charge tank and the second charge tank are connected in series. And a sample gas sampling means.
【００１８】[0018]
【作用】本発明によれば、検査装置の基本作動は従来装
置の場合と基本的には同様に行われ、検査媒体としてヘ
リウムガスを使用することにより、環境問題等の心配を
払拭することができる。また、気密検査に際して、被検
体を収容するチャンバ内は大気圧状態にして行うことが
でき、真空工程等の必要がなくなる。従って、真空設備
及びその制御等のための装置構成を簡略化することがで
きる。According to the present invention, the basic operation of the inspection device is basically the same as that of the conventional device, and the use of helium gas as the inspection medium can eliminate the concern about environmental problems and the like. it can. Further, at the time of the airtightness test, the inside of the chamber accommodating the subject can be performed under the atmospheric pressure condition, and the vacuum process or the like is not necessary. Therefore, it is possible to simplify the apparatus configuration for the vacuum equipment and its control.
【００１９】特に、本発明ではヘリウム漏れ検査を行う
に際して、チャンバ内をクリーニングした後、窒素ガス
もしくは炭酸ガスを供給して空気と置換する。なお、こ
れは窒素ガス又は炭酸ガス圧源により、チャンバ内に窒
素ガスもしくは炭酸ガスを供給することにより行われる
が、このように検査時に、チャンバ内を窒素ガスもしく
は炭酸ガスにて置換することにより、大気圧状態で更に
検査精度を向上することができる。In particular, in the present invention, when performing a helium leak inspection, after cleaning the inside of the chamber, nitrogen gas or carbon dioxide gas is supplied to replace air. This is done by supplying nitrogen gas or carbon dioxide gas into the chamber with a nitrogen gas or carbon dioxide pressure source, but by replacing the inside of the chamber with nitrogen gas or carbon dioxide gas at the time of inspection as described above. The inspection accuracy can be further improved under atmospheric pressure.
【００２０】また、試料ガスをチャンバから採取して、
その試料ガスをヘリウム・リークディテクタへ導入する
ための試料ガス採取手段を有しているが、その場合、大
気圧吸引式の第１チャージタンクと、真空式の第２チャ
ージタンクとによって行われる。特に、複数のチャンバ
が取り付けられる場合、真空ポンプは１つとして第１チ
ャージタンクを増設することにより、複数チャンバに有
効に対応することができ、且つ第２チャージタンクにお
いて真空方式によって適正な検査を行うことが可能にな
り、検査効率を向上させることができる。Further, a sample gas is sampled from the chamber,
It has a sample gas sampling means for introducing the sample gas into the helium leak detector, but in that case, it is performed by an atmospheric pressure suction type first charge tank and a vacuum type second charge tank. In particular, when a plurality of chambers are attached, it is possible to effectively deal with a plurality of chambers by adding the first charge tank as one vacuum pump, and to perform an appropriate inspection by the vacuum system in the second charge tank. Therefore, the inspection efficiency can be improved.
【００２１】[0021]
【実施例】以下、図１に基づき、従来例と実質的に同一
部材には同一符号を用いて、本発明による気密検査方法
及び装置の好適な実施例を説明する。図１は本発明装置
の全体構成を示しているが、図２に示した従来装置との
対応部材の構成及び作用等は、既に述べたように従来の
ものと基本的に同様であるため、その詳細な説明はここ
では省略する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A preferred embodiment of an airtightness inspection method and apparatus according to the present invention will be described below with reference to FIG. Although FIG. 1 shows the overall configuration of the device of the present invention, the configuration and operation of the corresponding members to the conventional device shown in FIG. 2 are basically the same as those of the conventional device, as already described. Detailed description thereof will be omitted here.
【００２２】本発明装置では、特にチャンバ２内に窒素
ガスもしくは炭酸ガスを供給し得る窒素ガス又は炭酸ガ
ス圧源２４を備えている。この窒素ガス又は炭酸ガス圧
源２４は、図示のように開閉バルブ２５を介してチャン
バ２内の適所に窒素ガスもしくは炭酸ガスを供給し、後
述するようにチャンバ２内の空気を窒素ガスもしくは炭
酸ガスにて置換するようになっている。The apparatus of the present invention is provided with a nitrogen gas or carbon dioxide gas pressure source 24 capable of supplying nitrogen gas or carbon dioxide gas, particularly in the chamber 2. This nitrogen gas or carbon dioxide gas pressure source 24 supplies nitrogen gas or carbon dioxide gas to appropriate places in the chamber 2 through an opening / closing valve 25 as shown in the figure, and as described later, the air in the chamber 2 is supplied with nitrogen gas or carbon dioxide. It is designed to be replaced by gas.
【００２３】また図１において、２６は第１チャージタ
ンクであり、開閉バルブ２７を介してチャンバ２と接続
されている。この第１チャージタンク２６は、大気圧吸
引式であり、そのピストンロッド２６ａを進退動作させ
ることにより、チャンバ２内の試料ガスを採取する。第
１チャージタンク２６及びチャージタンク１７（第２チ
ャージタンク）は、開閉バルブ１８を介して直列に接続
されている。Further, in FIG. 1, reference numeral 26 is a first charge tank, which is connected to the chamber 2 via an opening / closing valve 27. This first charge tank 26 is an atmospheric pressure suction type, and the sample gas in the chamber 2 is sampled by moving the piston rod 26a forward and backward. The first charge tank 26 and the charge tank 17 (second charge tank) are connected in series via an opening / closing valve 18.
【００２４】本発明によれば、ヘリウム漏れ検査を精度
良く行うために、チャンバ２内をクリーニングした後、
開閉バルブ２５を開弁して、窒素ガス又は炭酸ガス圧源
２４から窒素ガスもしくは炭酸ガスを供給する。これに
よりチャンバ２内の空気が、窒素ガスもしくは炭酸ガス
によって置換される。そして空気圧源１１から被検体３
内に気体（空気）が封入されて、差圧漏れ検査が行われ
る。差圧漏れ検査が完了し、更に被検体３内にヘリウム
ガス及び空気を所定圧力で封入・混合し、上記チャンバ
２内の試料ガスが一定時間、拡散・攪拌される。According to the present invention, in order to perform the helium leak inspection with high accuracy, after cleaning the inside of the chamber 2,
The open / close valve 25 is opened to supply nitrogen gas or carbon dioxide gas from the nitrogen gas or carbon dioxide gas pressure source 24. As a result, the air in the chamber 2 is replaced with nitrogen gas or carbon dioxide gas. Then, from the air pressure source 11 to the subject 3
Gas (air) is sealed inside, and a differential pressure leak test is performed. After the differential pressure leak test is completed, helium gas and air are sealed and mixed in the subject 3 at a predetermined pressure, and the sample gas in the chamber 2 is diffused and stirred for a certain period of time.
【００２５】このように検査時に、チャンバ２内を窒素
ガスもしくは炭酸ガスにて置換することにより、大気中
に含まれる特にヘリウムガスの影響をなくすることがで
き、ＰＰＭオーダーの検知精度に有効に対応することが
できる。By replacing the inside of the chamber 2 with nitrogen gas or carbon dioxide gas at the time of inspection in this way, it is possible to eliminate the effect of helium gas contained in the atmosphere, which is effective for PPM order detection accuracy. Can respond.
【００２６】次に、その試料ガスを第１チャージタンク
２４によって採取するが、この場合開閉バルブ２７が開
弁すると共に、開閉バルブ１８は閉弁し、これにより試
料ガスは大気圧で採取される。Next, the sample gas is sampled by the first charge tank 24. In this case, the opening / closing valve 27 is opened and the opening / closing valve 18 is closed, so that the sample gas is sampled at the atmospheric pressure. .
【００２７】試料ガスを更に第２チャージタンク１７へ
チャージする際、第２チャージタンク１７は、真空ポン
プ１９によって真空引きされるが、この場合、開閉バル
ブ１８及び２０が開弁すると共に、開閉バルブ２２及び
２７が閉弁する。この状態で真空ポンプ１９を作動させ
ることにより、第２チャージタンク１７内へ試料ガスが
採取される。When the sample gas is further charged into the second charge tank 17, the second charge tank 17 is evacuated by the vacuum pump 19. In this case, the opening / closing valves 18 and 20 are opened and the opening / closing valve is opened. 22 and 27 close. By operating the vacuum pump 19 in this state, the sample gas is collected in the second charge tank 17.
【００２８】このように試料ガスは、チャンバ２から第
１チャージタンク２４及び第２チャージタンク１７を経
て、ヘリウム・リークディテクタ２１に効率的に採取・
導入される。大気圧吸引式の第１チャージタンク２４
と、真空式の第２チャージタンク１７とによって行うこ
とにより、例えば複数のチャンバ２を取り付る場合で
も、真空ポンプ１９を増やすことなく単一の真空ポンプ
１９のままで、第１チャージタンク２４を増設すること
により、装置全体の構造又は構成を複雑化せず、且つま
た、コストアップにならずに検査効率を格段に向上する
ことができる。As described above, the sample gas is efficiently collected from the chamber 2 to the helium leak detector 21 through the first charge tank 24 and the second charge tank 17.
be introduced. Atmospheric pressure suction type first charge tank 24
And the second charge tank 17 of the vacuum type, for example, even when a plurality of chambers 2 are mounted, the first charge tank 24 can be used without changing the number of vacuum pumps 19 as a single vacuum pump 19. By increasing the number, it is possible to significantly improve the inspection efficiency without complicating the structure or configuration of the entire apparatus and without increasing the cost.
【００２９】[0029]
【発明の効果】上述のように本発明によれば、環境問題
を生じさせる危険がないばかりか、装置を簡素化し、効
率良く試料ガスを採取することができるが、更に従来装
置の利点を生かしつつ、検知精度及び検査効率をより一
層向上し得る等の利点を有している。As described above, according to the present invention, not only there is no danger of causing an environmental problem, but also the apparatus can be simplified and the sample gas can be sampled efficiently, but the advantages of the conventional apparatus can be further utilized. At the same time, it has an advantage that the detection accuracy and the inspection efficiency can be further improved.
【図１】本発明の気密検査装置の一実施例による全体構
成を示す概略断面図である。FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing an overall configuration according to an embodiment of an airtightness inspection device of the present invention.
【図２】従来の気密検査装置の全体構成を示す概略断面
図である。FIG. 2 is a schematic cross-sectional view showing the overall configuration of a conventional airtightness inspection device.
１ 装置本体 ２ チャンバ ２ａ 排気管 ３ 被検体 ５ 駆動装置 ６ クランプシール ７ シール圧プレート ８ 駆動装置 ９ 空気圧源 １０ 空気圧源 １１ 空気圧源 １３ ヘリウムガス圧源 １５ ファン １７ 第２チャージタンク １８，２０，２２，２３，２５，２７ 開閉バルブ １９ 真空ポンプ ２１ ヘリウム・リークディテクタ ２４ 窒素ガス又は炭酸ガス圧源 ２６ 第１チャージタンク 1 Device Main Body 2 Chamber 2a Exhaust Pipe 3 Subject 5 Driving Device 6 Clamp Seal 7 Seal Pressure Plate 8 Driving Device 9 Air Pressure Source 10 Air Pressure Source 11 Air Pressure Source 13 Helium Gas Pressure Source 15 Fan 17 Second Charge Tank 18, 20, 22 , 23, 25, 27 Open / close valve 19 Vacuum pump 21 Helium leak detector 24 Nitrogen gas or carbon dioxide pressure source 26 First charge tank
Claims (2)
所定位置にセットして、上記チャンバ内をクリーニング
した後、窒素ガス又は炭酸ガスを供給して空気と置換す
る工程と、 上記被検体内に気体を封入して、差圧漏れ検査を行い、
この封入気体を再び排気する工程と、 上記被検体内にヘリウムガス及び空気を所定圧力で封入
・混合し、上記チャンバ内の試料ガスを一定時間、拡散
・攪拌する工程と、 その試料ガスを上記チャンバから第１チャージタンクへ
採取する工程と、 試料ガスがチャージされた上記第１チャージタンクか
ら、その試料ガスを第２チャージタンクへ供給する工程
と、 第２チャージタンクからヘリウム・リークディテクタへ
試料ガスを導入する工程と、を備えていることを特徴と
する気密検査方法。1. A step of setting a subject in a sealed state at a predetermined position in a chamber, cleaning the inside of the chamber, and then supplying nitrogen gas or carbon dioxide gas to replace the air, and the inside of the subject. Enclose gas and perform differential pressure leak inspection,
The step of exhausting the enclosed gas again, the step of sealing and mixing helium gas and air in the subject at a predetermined pressure, and diffusing and stirring the sample gas in the chamber for a certain time, Collecting the sample gas from the chamber to the first charge tank, supplying the sample gas from the first charge tank charged with the sample gas to the second charge tank, and collecting the sample gas from the second charge tank to the helium leak detector An airtightness inspection method comprising: a step of introducing gas.
ンバに収容された上記被検体をシールするシール手段
と、差圧漏れ検査手段と、上記チャンバに対する空気給
・排気手段と、上記被検体に対するヘリウムガス給・排
気手段と、上記チャンバ内の試料ガス拡散・攪拌手段
と、採取した試料ガスをリークディテクタへ導入する手
段とを備えた、請求項１に記載の方法に使用する装置に
おいて、上記チャンバ内に窒素ガス又は炭酸ガスを供給
し得る窒素ガス又は炭酸ガス圧源、及び／又は前記第１
チャージタンク及び前記第２チャージタンクが直列に接
続されて成る試料ガス採取手段を有していることを特徴
とする気密検査装置。2. A chamber for accommodating a subject, a sealing means for sealing the subject accommodated in the chamber, a differential pressure leak inspection means, an air supply / exhaust means for the chamber, and a means for the subject. The apparatus for use in the method according to claim 1, further comprising: a helium gas supply / exhaust means, a sample gas diffusing / stirring means in the chamber, and a means for introducing a sample gas sampled into a leak detector. A nitrogen gas or carbon dioxide pressure source capable of supplying nitrogen gas or carbon dioxide into the chamber, and / or the first
An airtightness inspection device, comprising: a sample gas sampling means in which a charge tank and the second charge tank are connected in series.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14026693A JP3238242B2 (en) | 1993-06-11 | 1993-06-11 | Airtightness inspection method and device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14026693A JP3238242B2 (en) | 1993-06-11 | 1993-06-11 | Airtightness inspection method and device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06347362A true JPH06347362A (en) | 1994-12-22 |
| JP3238242B2 JP3238242B2 (en) | 2001-12-10 |
Family
ID=15264780
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14026693A Expired - Fee Related JP3238242B2 (en) | 1993-06-11 | 1993-06-11 | Airtightness inspection method and device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3238242B2 (en) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2019021822A1 (en) * | 2017-07-28 | 2019-01-31 | ヤマハファインテック株式会社 | Tire inspection device and tire inspection method |
| JP2019027902A (en) * | 2017-07-28 | 2019-02-21 | ヤマハファインテック株式会社 | Tire inspection device and method for inspecting tire |
| JP2019027901A (en) * | 2017-07-28 | 2019-02-21 | ヤマハファインテック株式会社 | Gas leakage inspection device |
| CN110044551A (en) * | 2019-05-20 | 2019-07-23 | 无锡富泰盛精模科技有限公司 | Fuel injection pump pump housing axis hole and bushing joint face air-tightness detection device |
| US11358571B2 (en) | 2017-07-28 | 2022-06-14 | Yamaha Fine Technologies Co., Ltd. | Wheeled tire, and method for producing wheeled tire |
-
1993
- 1993-06-11 JP JP14026693A patent/JP3238242B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2019021822A1 (en) * | 2017-07-28 | 2019-01-31 | ヤマハファインテック株式会社 | Tire inspection device and tire inspection method |
| JP2019027902A (en) * | 2017-07-28 | 2019-02-21 | ヤマハファインテック株式会社 | Tire inspection device and method for inspecting tire |
| JP2019027901A (en) * | 2017-07-28 | 2019-02-21 | ヤマハファインテック株式会社 | Gas leakage inspection device |
| KR20200016972A (en) * | 2017-07-28 | 2020-02-17 | 야마하 파인 테크 가부시키가이샤 | Tire inspection device and tire inspection method |
| US11358571B2 (en) | 2017-07-28 | 2022-06-14 | Yamaha Fine Technologies Co., Ltd. | Wheeled tire, and method for producing wheeled tire |
| US11366037B2 (en) | 2017-07-28 | 2022-06-21 | Yamaha Fine Technologies Co., Ltd. | Tire inspection device with gas sensor leak detection and tire inspection method with gas sensor leak detection |
| US11874198B2 (en) | 2017-07-28 | 2024-01-16 | Yamaha Fine Technologies Co., Ltd. | Tire inspection device with gas sensor leak detection and tire inspection method with gas sensor leak detection |
| CN110044551A (en) * | 2019-05-20 | 2019-07-23 | 无锡富泰盛精模科技有限公司 | Fuel injection pump pump housing axis hole and bushing joint face air-tightness detection device |
| CN110044551B (en) * | 2019-05-20 | 2024-03-08 | 无锡富泰盛精模科技有限公司 | Gas tightness detection device for joint surface of pump body shaft hole and bush of fuel injection pump |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3238242B2 (en) | 2001-12-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3203528B2 (en) | Airtightness inspection method and device | |
| JP5386319B2 (en) | Leak detection system | |
| JP4475224B2 (en) | Airtight leak inspection device | |
| CN103119413B (en) | Leak detection appliance | |
| US4294106A (en) | Leak detector | |
| JPH05223681A (en) | Helium leak detector | |
| CN1720432A (en) | Methods and apparatus for detection of large leaks in sealed articles | |
| JP3698108B2 (en) | Airtight leak inspection method and apparatus | |
| JP2500488B2 (en) | Leak test method and leak test device | |
| JPH06347362A (en) | Method and apparatus for airtightness inspection | |
| RU1809919C (en) | Device for detecting leaks using indicator gas | |
| US5767391A (en) | Leakage detect tool for vacuum bellows | |
| JP3430979B2 (en) | Leak test method and leak test device | |
| JP3568667B2 (en) | Leak inspection device | |
| JP3203526B2 (en) | Airtightness inspection method and device | |
| JPH07187152A (en) | Method for testing leakage of sealed bag | |
| JP2000055769A (en) | Leakage-testing device | |
| JP3675983B2 (en) | Helium leak detector | |
| JPH04268430A (en) | Leakage detecting apparatus | |
| JPH0915082A (en) | Helium leak detector | |
| CN1415946A (en) | Leakage detection method for whole machine pipeline system | |
| JPS6093936A (en) | Leak detector | |
| CN215931217U (en) | Auxiliary leakage detection device | |
| JP2000002615A (en) | Method for inspecting airtightness of high-pressure gas container and its device | |
| JPH11281515A (en) | Helium leak testing device |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081005 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 8 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091005 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |