JPH0634659Y2

JPH0634659Y2 - 真空型分光分析装置

Info

Publication number: JPH0634659Y2
Application number: JP1988153744U
Authority: JP
Inventors: 治男水上
Original assignee: Shimadzu Corp
Current assignee: Shimadzu Corp
Priority date: 1988-11-26
Filing date: 1988-11-26
Publication date: 1994-09-07
Anticipated expiration: 2003-11-26
Also published as: JPH0275533U

Description

【考案の詳細な説明】（イ）産業上の利用分野本考案は、発光分光分析装置等において使用される真空
型分光分析装置に関する。

（ロ）従来の技術従来のこの種の真空型分光分析装置には、第２図に示す
ものがある。この装置は、Ｃ、Ｐ、Ｓ等のスペクトル線
が空気中の酸素で吸収されるのを避けるために、ツェル
ニターナ型等の波長走査形のモノクロメータ２と光電子
増倍管等の光検出器４とが共に真空室６内に配置されて
いる。モノクロメータ２は、回折格子８、凹面鏡からな
る２つのコリメータ10a、10b、入口スリット14および出
口スリット16で構成される。そして、微少な波長送りを
可能とするため、光検出器４と出口スリット16は共に移
動台18上に配置され、また、光検出器４は、その光検出
効率を高めるために出口スリット16に近接した対向位置
に設けられている。さらに、光検出器４の接続ピン4aと
これが挿着されるソケット20からなるピンコンタクト部
22には高電圧印加用のケーブル24の一端が接続され、ケ
ーブル24の他端は真空室６を構成する隔壁26に設けたシ
ールド端子28に接続され、シールド端子28には高電圧発
生装置30が接続されている。なお、32はICP等の光源、3
4は入口側集光レンズである。

したがって、この装置では、光源32からの光が入口側集
光レンズ34を介して真空室内に導かれ、入口スリット14
を通過した光がコリメータ10aで反射されて平行光とな
った後、回折格子８に照射される。回折格子８で単色化
された光はコリメータ10bで反射された後、出口スリッ
ト16に向けて集光され、出口スリット16を通過した光が
光検出器４で検出される。

（ハ）考案が解決しようとする課題従来の構造のものでは、上述したように、Ｃ、Ｐ、Ｓ等
のスペクトル線が空気中の酸素で吸収されるのを避ける
上で、光検出器４を真空室６内に配置しているが、この
ように光検出器４を真空室６内に配置すると、光検出器
４のピンコンタクト部22で放電を起こすことがある。す
なわち、分析にあたっては、真空室６内を真空引きする
ことが必要となるが、その際、所定の真空度（10^-3torr
程度）に達するまでに導体間に高電圧が加わると放電を
起こす。このような放電がピンコンタクト部22で起こる
と、その部分が破壊して光検出器４が使用できなくなる
という不具合がある。

これを防止するには、光検出器４のピンコンタクト部22
からケーブル24、シールド電極28に至る経路を樹脂等で
封止することが考えられるが、このようにすると、ケー
ブル部分24の可とう性が損なわれて、光検出器４を載置
した移動台18の移動が不可能となる。そのため、従来技
術では、たとえば真空計を設け、真空室内が所定の真空
度に達してはじめて光検出器に電圧を印加したり、ある
いは、所定の真空度に達するまでは光検出器に電圧が印
加されないように自動制御する放電防止装置36を設けて
いる。

しかしながら、前者の場合には、操作者が誤って高電圧
を印加してしまうことがあるため防止対策としては十分
でなく、また、後者の場合には、高価な放電防止装置36
が必要なため、分析装置全体がコストアップとなる等の
問題がある。

本考案は、このような事情に鑑みてなされたものであっ
て、従来のような高価な放電防止装置を使用しなくて
も、光検出器のピンコンタクト部における放電破壊を確
実に防止できるようにすることを目的とする。

（ニ）課題を解決するための手段本考案は、上記の目的を達成するために、真空室内に、
波長走査形のモノクロメータが配置されるとともに、こ
のモノクロメータの出口スリットに対向して光検出器が
設けられた真空型分光分析装置において、次の構成を採
る。

すなわち、本考案の真空型分光分析装置では、出口スリ
ットはモノクロメータの波長走査に同期して移動可能に
設けられ、また、出口スリットと光検出器との間に、こ
の光検出器の位置に焦点が設定された出口側集光レンズ
が設けられる一方、光検出器のピンコンタクト部が樹脂
等の封止材料で封止され、その封止部分が真空室の隔壁
に形成された貫通孔に嵌着されている。

（ホ）作用上記構成によれば、出口スリットの位置が移動する場合
でも出口スリットを通過した光は、出口側集光レンズに
よって光検出器に確実に集光される。このため、その集
光位置は殆ど変動しないので、光検出器を固定した状態
でも検出感度は変わらない。したがって、光検出器を出
口スリットから引き離した位置に固定することができ
る。しかも、光検出器のピンコンタクト部は樹脂等で封
止されているので、所定の真空度に達する前に高電圧が
印加された場合でも真空室内に位置するピンコンタクト
部で放電が起こることはない。

（ヘ）実施例第１図はこの実施例に係る真空型分光分析装置の構成図
であり、第２図に示す従来例に対応する部分には同一の
符号を付す。

第１図において、１は真空型分光分析装置の全体を示
し、２は波長走査形のモノクロメータ、４は光電子増倍
管等の光検出器、６は真空室、８は回折格子、10a、10b
は凹面鏡からなる２つのコリメータ、14は入口スリッ
ト、16は出口スリット、18は移動台、22はピンコンタク
ト部、26は隔壁、30は高電圧発生装置、32は光源、34は
入口側集光レンズであり、これらの構成は従来例の場合
と同様である。

この実施例では、上記の出口スリット16と光検出器４と
の間に、光検出器４の位置に焦点ｆが設定された出口側
集光レンズ40が配置される一方、光検出器４は真空室６
の一部を膨出させた検出器取付部42内に配置されてい
る。この検出器取付部42は、真空室６と構造的に連通し
ており、真空室６と同じ真空度に保持されている。ま
た、光検出器４の電気的接続部であるピンコンタクト部
22は樹脂等の封止材料44で封止され、その封止部分が検
出器取付部42に形成された貫通孔46に嵌着されている。
そして、検出器取付部42の外部に位置するピンコンタク
ト部22に高電圧印加用のケーブル48が接続されており、
これによって。高電圧発生装置30からの高電圧がケーブ
ル48、ピンコンタクト部22を介して光検出器４に印加さ
れる。

次に、上記構成における真空型分光分析装置１の作用に
ついて説明する。

この装置１では、ある波長の光（単色光）が出口スリッ
ト16に向かうが、この光を確実に捕まえるために回折格
子８の回転に応じて移動台18が図中上下方向に移動され
るので、これに伴って出口スリット16の位置も移動す
る。しかし、その場合でも出口スリット16を通過した光
は、出口側集光レンズ40によって光検出器４に向けて集
光されるので、その集光位置は殆ど変動しない。したが
って、従来のように光検出器４を出口スリット16と共に
一体的に移動させる必要はなく、光検出器４を固定した
状態でも検出感度は変わらない。また、光検出器４のピ
ンコンタクト部22は樹脂等の封止部材44で封止されてい
るので、真空室６が10^-3torr以下の真空度に達していな
いのに高電圧が印加されたような場合でも、ピンコンタ
クト部22で放電が起こることはない。

（ト）効果本考案によれば、従来のような高価な放電防止装置を使
用しなくても、光検出器との電気的接続部であるピンコ
ンタクト部における放電破壊の発生が確実に防止できる
ようになる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の実施例に係る真空型分光分析装置の構
成図、第２図は従来の真空型分光分析装置の構成図であ
る。１……真空型分光分析装置、２……モノクロメータ、４
……光検出器、６……真空室、８……回折格子、16……
出口スリット、22……ピンコンタクト部、40……出口側
集光レンズ、44……封止材料、46……貫通孔。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】真空室内に、波長走査形のモノクロメータ
が配置されるとともに、このモノクロメータの出口スリ
ットに対向して光検出器が設けられた真空型分光分析装
置において、前記出口スリットは前記モノクロメータの波長走査に同
期して移動可能に設けられ、また、前記出口スリットと
光検出器との間には、この光検出器の位置に焦点が設定
された出口側集光レンズが設けられる一方、前記光検出
器のピンコンタクト部が樹脂等の封止材料で封止され、
この封止部分が前記真空室の隔壁に形成された貫通孔に
嵌着されていることを特徴とする真空型分光分析装置。