JPH0634108B2 - 全反射鏡装置 - Google Patents
全反射鏡装置Info
- Publication number
- JPH0634108B2 JPH0634108B2 JP60088502A JP8850285A JPH0634108B2 JP H0634108 B2 JPH0634108 B2 JP H0634108B2 JP 60088502 A JP60088502 A JP 60088502A JP 8850285 A JP8850285 A JP 8850285A JP H0634108 B2 JPH0634108 B2 JP H0634108B2
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- JP
- Japan
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- total reflection
- reflection mirror
- sor
- mirror
- light
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- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
- Particle Accelerators (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明はシンクロトロン軌道放射光（以下、ＳＯＲと略
称する）を実験装置に導くビームライン中で使用する偏
向・集光・拡大鏡に係り、特に、ビームライン下流域の
装置間の干渉をさけたり、実験装置にＳＯＲを集光、偏
向させたりするために好適な全反射鏡装置の改良に関す
る。
称する）を実験装置に導くビームライン中で使用する偏
向・集光・拡大鏡に係り、特に、ビームライン下流域の
装置間の干渉をさけたり、実験装置にＳＯＲを集光、偏
向させたりするために好適な全反射鏡装置の改良に関す
る。
シンクロトロン軌道放射光（ＳＯＲ）を利用した各種実
験を行うためには、超高真空に保つた電子蓄積リングに
ビームラインを接続してＳＯＲを実験装置まで導く必要
がある。ＳＯＲは実験装置に達するまでに偏向，集光，
拡大する事が必要であり、このための光学素子として全
反射鏡を使用する（ＳＯＲの短波長域では、ガラス等の
屈折率が１より小さいためレンズ等は使えない）。
験を行うためには、超高真空に保つた電子蓄積リングに
ビームラインを接続してＳＯＲを実験装置まで導く必要
がある。ＳＯＲは実験装置に達するまでに偏向，集光，
拡大する事が必要であり、このための光学素子として全
反射鏡を使用する（ＳＯＲの短波長域では、ガラス等の
屈折率が１より小さいためレンズ等は使えない）。
ＳＯＲの照射を受けた全反射鏡は、照射部分が数ケ月以
内に劣化するため、反射率が低下する。このためたえず
超高真空を破つて全反射鏡を交換せねばならず、実験効
率と経済的な面から問題となつていた。さらに、詳述す
れば、従来の装置は、「フロント・エンド・フオー・ザ
・フオトン・フアクトリ・ビーム・ラインズ」サトウ
他；ニユークリア・インスツルメント・アンド・メソツ
ド２０８（1983）３１「Front Ends for The Photon Fac
tory Beam Lines」S.Sato et al；Nucl.Instrum.&Method
s ２０８（1983）３１の特にページ３３の第１(b)図に
記載されている全反射鏡装置の様に、鏡の位置合わせを
行うために３自由度の可動機構をもつている。しかしな
がら、ＳＯＲが直接入射して劣化した部分をズラす自由
度をもつていない。そのため、一度鏡が劣化すると真空
を破つて鏡を交換せざるを得ず、鏡面上の未劣化部分を
使用できないままになつていた。これは、真空をひんぱ
んに立ち上げなければならないこと、また高価な鏡を買
わねばならないことを意味し、実用上問題である。
内に劣化するため、反射率が低下する。このためたえず
超高真空を破つて全反射鏡を交換せねばならず、実験効
率と経済的な面から問題となつていた。さらに、詳述す
れば、従来の装置は、「フロント・エンド・フオー・ザ
・フオトン・フアクトリ・ビーム・ラインズ」サトウ
他；ニユークリア・インスツルメント・アンド・メソツ
ド２０８（1983）３１「Front Ends for The Photon Fac
tory Beam Lines」S.Sato et al；Nucl.Instrum.&Method
s ２０８（1983）３１の特にページ３３の第１(b)図に
記載されている全反射鏡装置の様に、鏡の位置合わせを
行うために３自由度の可動機構をもつている。しかしな
がら、ＳＯＲが直接入射して劣化した部分をズラす自由
度をもつていない。そのため、一度鏡が劣化すると真空
を破つて鏡を交換せざるを得ず、鏡面上の未劣化部分を
使用できないままになつていた。これは、真空をひんぱ
んに立ち上げなければならないこと、また高価な鏡を買
わねばならないことを意味し、実用上問題である。
したがつて、本発明の目的は、上記不都合点を解消した
全反射鏡装置を提供することにある。
全反射鏡装置を提供することにある。
上記目的を達成するため本発明においては、ＳＯＲ用全
反射鏡装置において鏡の位置合わせに必要な３つの自由
度に加えて、鏡の照射面積と光軸を一定に保てるスリッ
トと、鏡の照射部分をズラす１つの自由度とを付加して
４つの自由度をもたせるように構成したことを特徴とし
ている。すなわち、鏡面上でのＳＯＲ照射部分をズラせ
るためには鏡が移動できる自由度を１つ与えればよい。
但し、超高真空中で鏡を移動させるためにはベローズを
用いるのが最適である。また、ＳＯＲの鏡面上での照射
面積と光軸とを一定に保つために、水平方向と垂直方向
にそれぞれ所定の長さで、幅が一定のスリットを持つ遮
光板を２枚使用するのが良い。かかる特徴的な構成とす
ることにより、長期間真空を破らず、その上、鏡を交換
する事なく鏡を使用できる装置を提供する事ができるよ
うになつた。
反射鏡装置において鏡の位置合わせに必要な３つの自由
度に加えて、鏡の照射面積と光軸を一定に保てるスリッ
トと、鏡の照射部分をズラす１つの自由度とを付加して
４つの自由度をもたせるように構成したことを特徴とし
ている。すなわち、鏡面上でのＳＯＲ照射部分をズラせ
るためには鏡が移動できる自由度を１つ与えればよい。
但し、超高真空中で鏡を移動させるためにはベローズを
用いるのが最適である。また、ＳＯＲの鏡面上での照射
面積と光軸とを一定に保つために、水平方向と垂直方向
にそれぞれ所定の長さで、幅が一定のスリットを持つ遮
光板を２枚使用するのが良い。かかる特徴的な構成とす
ることにより、長期間真空を破らず、その上、鏡を交換
する事なく鏡を使用できる装置を提供する事ができるよ
うになつた。
本発明の実施例を第１図と第２図とにより説明する。全
反射鏡装置は、第１図，第２図に示す様に、真空容器
１、全反射鏡７の上・下移動棒（真空容器１の外側の板
１４に固定されｘ方向に移動可となつている）２、ベア
リング３，３′、上・下移動を可能にするためのベロー
ズ４、ＳＯＲを区切る垂直スリット（垂直の幅をきめ
る）５、水平の幅をきめる水平スリット（全反射鏡７に
固定）６、全反射鏡７、さらに、第１図右上に示した
θ，，Ｚ方向の回転と並進の３自由度を全反射鏡７に
与えるためのゴニオメータ９とベローズ８とから成る。
この３自由度を与える機構は従来より知られているもの
でここでは省略してある。この様な構成から成る装置は
ＳＯＲが入射したばあいの装置の動作は次の様に行う。
第１図，第２図の真空容器１の左側の発光点１０から出
射したＳＯＲが入射し、垂直スリット５と水平スリット
６とを通過した後、全反射鏡７の表面を照射する。鏡７
の表面でＳＯＲは反射され、真空容器１の右側から出射
される。このとき、出射光の光軸１１を調整するために
ゴニオメータ９を用いて３自由度（θ，，Ｚ）を変化
させる。つぎに、全反射鏡７の表面はＳＯＲの照射エネ
ルギーが強力であるため半年〜１年程度の短期間で容易
に劣化するので、ハンドル１３を回すことにより上・下
移動棒２、ベローズ４を駆動して全反射鏡７をｘ方向に
移動してＳＯＲの被照射部分１２をズラし、劣化してい
ない部分を用いる。鏡７をｘ方向にズラしたとき、実際
のＳＯＲ照射面積と、光軸とが変化しない様にするた
め、第２図で詳細に示す様な、垂直スリット５と水平ス
リット６とを用いる。垂直スリット５は真空容器１に固
定し、かつＺ方向の長穴とし、水平スリット６は全反射
鏡７に固定しｘ方向の長穴としているため、全反射鏡７
をｘ方向に移動させても、第２図の斜線で示す全反射鏡
７表面のＳＯＲ照射面積を光軸とは一定に保つことがで
きる。
反射鏡装置は、第１図，第２図に示す様に、真空容器
１、全反射鏡７の上・下移動棒（真空容器１の外側の板
１４に固定されｘ方向に移動可となつている）２、ベア
リング３，３′、上・下移動を可能にするためのベロー
ズ４、ＳＯＲを区切る垂直スリット（垂直の幅をきめ
る）５、水平の幅をきめる水平スリット（全反射鏡７に
固定）６、全反射鏡７、さらに、第１図右上に示した
θ，，Ｚ方向の回転と並進の３自由度を全反射鏡７に
与えるためのゴニオメータ９とベローズ８とから成る。
この３自由度を与える機構は従来より知られているもの
でここでは省略してある。この様な構成から成る装置は
ＳＯＲが入射したばあいの装置の動作は次の様に行う。
第１図，第２図の真空容器１の左側の発光点１０から出
射したＳＯＲが入射し、垂直スリット５と水平スリット
６とを通過した後、全反射鏡７の表面を照射する。鏡７
の表面でＳＯＲは反射され、真空容器１の右側から出射
される。このとき、出射光の光軸１１を調整するために
ゴニオメータ９を用いて３自由度（θ，，Ｚ）を変化
させる。つぎに、全反射鏡７の表面はＳＯＲの照射エネ
ルギーが強力であるため半年〜１年程度の短期間で容易
に劣化するので、ハンドル１３を回すことにより上・下
移動棒２、ベローズ４を駆動して全反射鏡７をｘ方向に
移動してＳＯＲの被照射部分１２をズラし、劣化してい
ない部分を用いる。鏡７をｘ方向にズラしたとき、実際
のＳＯＲ照射面積と、光軸とが変化しない様にするた
め、第２図で詳細に示す様な、垂直スリット５と水平ス
リット６とを用いる。垂直スリット５は真空容器１に固
定し、かつＺ方向の長穴とし、水平スリット６は全反射
鏡７に固定しｘ方向の長穴としているため、全反射鏡７
をｘ方向に移動させても、第２図の斜線で示す全反射鏡
７表面のＳＯＲ照射面積を光軸とは一定に保つことがで
きる。
以上述べた如く、本発明によれば、ＳＯＲ照射による全
反射鏡の劣化部分を大気側からズラす事ができるので、
全反射鏡を有効に使用することができる。また、その
間、真空容器を大気にさらす必要がないので、実験効率
が著しく向上する。さらに、２枚のスリットを使用して
いるため、ＳＯＲの鏡面照射面積と出射光の光軸とは、
全反射鏡をズラしても一定に保つ事が可能となり、実験
精度の向上と能率向上に効果がある。
反射鏡の劣化部分を大気側からズラす事ができるので、
全反射鏡を有効に使用することができる。また、その
間、真空容器を大気にさらす必要がないので、実験効率
が著しく向上する。さらに、２枚のスリットを使用して
いるため、ＳＯＲの鏡面照射面積と出射光の光軸とは、
全反射鏡をズラしても一定に保つ事が可能となり、実験
精度の向上と能率向上に効果がある。
第１図は本発明によるＳＯＲ用の全反射鏡装置の断面
図、第２図は２枚のスリットを通過したＳＯＲが全反射
鏡の鏡面を帯状に照射している事を示した正面図であ
る。 １……超高真空容器、２……全反射鏡の上下棒、３，
３′……上下棒の運動用ベアリング、４……上下棒の運
動用ベローズ、５……垂直スリット、６……水平スリッ
ト、７……全反射鏡、８……ベローズ、９……ゴニオメ
ータ、１０……ＳＯＲ発光点、１１……光軸、１２……
光照射領域。
図、第２図は２枚のスリットを通過したＳＯＲが全反射
鏡の鏡面を帯状に照射している事を示した正面図であ
る。 １……超高真空容器、２……全反射鏡の上下棒、３，
３′……上下棒の運動用ベアリング、４……上下棒の運
動用ベローズ、５……垂直スリット、６……水平スリッ
ト、７……全反射鏡、８……ベローズ、９……ゴニオメ
ータ、１０……ＳＯＲ発光点、１１……光軸、１２……
光照射領域。
Claims (4)
- 【請求項１】シンクロトロン軌道放射光を導くビームラ
イン中で上記軌道放射光を変更、集光、又は拡大するた
め真空容器内に設けられた全反射鏡を有する全反射装置
において、上記軌道放射光照射による上記全反射鏡の劣
化領域を上記軌道放射光の光路から変位させるため上記
真空容器の外部から真空中の上記全反射鏡を駆動する手
段を備えることを特徴とする全反射鏡装置。 - 【請求項２】特許請求の範囲第１項において、全反射鏡
に照射される放射光の照射面積を規定するためのスリッ
トを有する遮光板が前記光路中に設けられることを特徴
とする全反射鏡装置。 - 【請求項３】特許請求の範囲第２項において、スリット
を有する遮光板は２枚設けられ、それぞれのスリットが
直交していることを特徴とする全反射鏡装置。 - 【請求項４】特許請求の範囲第３項において、前記遮光
板の一つはスリットが全反射鏡の面と垂直で且つ全反射
鏡の放射光入射側に固着され、他の一つは真空容器に固
着されていることを特徴とする全反射鏡装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60088502A JPH0634108B2 (ja) | 1985-04-26 | 1985-04-26 | 全反射鏡装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60088502A JPH0634108B2 (ja) | 1985-04-26 | 1985-04-26 | 全反射鏡装置 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12999095A Division JPH07294699A (ja) | 1995-05-29 | 1995-05-29 | 全反射鏡装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61248400A JPS61248400A (ja) | 1986-11-05 |
| JPH0634108B2 true JPH0634108B2 (ja) | 1994-05-02 |
Family
ID=13944599
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60088502A Expired - Lifetime JPH0634108B2 (ja) | 1985-04-26 | 1985-04-26 | 全反射鏡装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0634108B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0225737A (ja) * | 1988-07-15 | 1990-01-29 | Hitachi Ltd | 表面分析方法および装置 |
| JPH07294699A (ja) * | 1995-05-29 | 1995-11-10 | Hitachi Ltd | 全反射鏡装置 |
-
1985
- 1985-04-26 JP JP60088502A patent/JPH0634108B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61248400A (ja) | 1986-11-05 |
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