JPH06326025A - 気相成長装置 - Google Patents
気相成長装置Info
- Publication number
- JPH06326025A JPH06326025A JP11276693A JP11276693A JPH06326025A JP H06326025 A JPH06326025 A JP H06326025A JP 11276693 A JP11276693 A JP 11276693A JP 11276693 A JP11276693 A JP 11276693A JP H06326025 A JPH06326025 A JP H06326025A
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- tray
- gear
- susceptor
- pin
- tooth
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 高温下でも歯車を円滑に回転させることがで
き、また歯が欠けても低コストで補修でき、しかも歯車
が気相成長に悪影響を及ぼすのを回避できる気相成長装
置を提供する。 【構成】 リアクタ2内にサセプタ3を配置し、サセプ
タ3の表面にトレー5を回転自在に配置する。トレー5
は、トレー回転遊星歯車9と、このトレー回転遊星歯車
9を噛み合わせて自転・公転駆動させる太陽歯車12を
含むトレー回転機構18で回転駆動させる。太陽歯車1
2は、歯車フレーム30の周方向に複数のカーボン製の
ピン状歯31を所定ピッチで交換可能に植設した構造と
する。
き、また歯が欠けても低コストで補修でき、しかも歯車
が気相成長に悪影響を及ぼすのを回避できる気相成長装
置を提供する。 【構成】 リアクタ2内にサセプタ3を配置し、サセプ
タ3の表面にトレー5を回転自在に配置する。トレー5
は、トレー回転遊星歯車9と、このトレー回転遊星歯車
9を噛み合わせて自転・公転駆動させる太陽歯車12を
含むトレー回転機構18で回転駆動させる。太陽歯車1
2は、歯車フレーム30の周方向に複数のカーボン製の
ピン状歯31を所定ピッチで交換可能に植設した構造と
する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、リアクタ内のサセプタ
の表面にウエハを配置し、リアクタ内に原料ガスを供給
して該ウエハの表面に気相成長を行わせる気相成長装置
に関するものである。
の表面にウエハを配置し、リアクタ内に原料ガスを供給
して該ウエハの表面に気相成長を行わせる気相成長装置
に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来のこの種の気相成長装置は、ガラス
製のリアクタ内にサセプタを配置し、該サセプタの表面
にウエハを配置し、該サセプタを例えば600 〜800 ℃に
加熱した状態で、リアクタ内に原料ガスを供給して化合
物半導体ウエハの表面にエピタキシャル成長を行わせる
構造となっていた。
製のリアクタ内にサセプタを配置し、該サセプタの表面
にウエハを配置し、該サセプタを例えば600 〜800 ℃に
加熱した状態で、リアクタ内に原料ガスを供給して化合
物半導体ウエハの表面にエピタキシャル成長を行わせる
構造となっていた。
【0003】このようにして気相成長を行なう気相成長
方法は、MOCVD法と呼ばれ、得られるエピタキシャ
ルウエハは、衛星放送用や携帯電話用の基本素子である
HEMT,FET等の素材として使われている。
方法は、MOCVD法と呼ばれ、得られるエピタキシャ
ルウエハは、衛星放送用や携帯電話用の基本素子である
HEMT,FET等の素材として使われている。
【0004】この場合、原料ガスとしては、AsH
3 (アルシン)、TMGa(トリメチルガリウム)、T
MAl(トリメチルアルミニウム)等が用いられてい
る。このような原料ガスの搬送用キャリアガスとしては
H2 が使われる。
3 (アルシン)、TMGa(トリメチルガリウム)、T
MAl(トリメチルアルミニウム)等が用いられてい
る。このような原料ガスの搬送用キャリアガスとしては
H2 が使われる。
【0005】得られるエピタキシャルウエハの膜厚のば
らつきは、低い程良いが、通常装置では±5%位であっ
た。
らつきは、低い程良いが、通常装置では±5%位であっ
た。
【0006】最近になって、後工程での歩留まり向上及
び高品質化の要求から、エピタキシャルウエハの膜厚の
ばらつきは±2%或いはそれ以下が要求されている。こ
のため、種々の工夫がなされている。
び高品質化の要求から、エピタキシャルウエハの膜厚の
ばらつきは±2%或いはそれ以下が要求されている。こ
のため、種々の工夫がなされている。
【0007】特開平1−216521号公報には、膜厚
のばらつきを低下させるために、図6に示すような気相
成長装置が提案されている。この気相成長装置は、基板
1の上にリアクタ2を載置し、該リアクタ2内にサセプ
タ3を回転自在に配置し、サセプタ3の表面の凹部4に
はトレー5を回転自在に配置し、該トレー5の表面には
ウエハ6を支持させている。サセプタ3内には、歯車室
7を設け、この歯車室7内にはトレー5と一体のトレー
回転軸8を回転自在に突出させ、歯車室7内でトレー回
転軸8の先端にはベベル歯車よりなるトレー回転遊星歯
車9を支持させている。
のばらつきを低下させるために、図6に示すような気相
成長装置が提案されている。この気相成長装置は、基板
1の上にリアクタ2を載置し、該リアクタ2内にサセプ
タ3を回転自在に配置し、サセプタ3の表面の凹部4に
はトレー5を回転自在に配置し、該トレー5の表面には
ウエハ6を支持させている。サセプタ3内には、歯車室
7を設け、この歯車室7内にはトレー5と一体のトレー
回転軸8を回転自在に突出させ、歯車室7内でトレー回
転軸8の先端にはベベル歯車よりなるトレー回転遊星歯
車9を支持させている。
【0008】サセプタ3の下の基板1には同軸構造の外
部軸10と内部軸11とを、外部軸10が基板1に対し
て回転自在となるようにして貫通させている。外部軸1
0はその上端にサセプタ3を支持させ、内部軸11はそ
の上端にリング状のベベル歯車よりなる太陽歯車12を
支持させている。この太陽歯車12には、トレー回転遊
星歯車9が噛み合わされ、自転・公転駆動されるように
なっている。
部軸10と内部軸11とを、外部軸10が基板1に対し
て回転自在となるようにして貫通させている。外部軸1
0はその上端にサセプタ3を支持させ、内部軸11はそ
の上端にリング状のベベル歯車よりなる太陽歯車12を
支持させている。この太陽歯車12には、トレー回転遊
星歯車9が噛み合わされ、自転・公転駆動されるように
なっている。
【0009】基板1の下には、外部軸10と内部軸11
の下端を包囲するようにしてケース13が設けられて該
基板1の下面に取り付けられている。内部軸11の下端
は、該内部軸11が回転しないように該ケース13に固
定されている。外部軸10の下端を気密に閉塞するよう
に内部軸11の下部外周には大径のシール部14が設け
られている。ケース13内で基板1の下面にはモータ1
5が取り付けられ、該モータ15で回転駆動される歯車
16が外部軸10の外周の歯車17に噛み合わされ、こ
れにより外部軸10が回転され、サセプタ3が該外部軸
10と共に該外部軸10の軸心を回転中心として回転駆
動されるようになっている。
の下端を包囲するようにしてケース13が設けられて該
基板1の下面に取り付けられている。内部軸11の下端
は、該内部軸11が回転しないように該ケース13に固
定されている。外部軸10の下端を気密に閉塞するよう
に内部軸11の下部外周には大径のシール部14が設け
られている。ケース13内で基板1の下面にはモータ1
5が取り付けられ、該モータ15で回転駆動される歯車
16が外部軸10の外周の歯車17に噛み合わされ、こ
れにより外部軸10が回転され、サセプタ3が該外部軸
10と共に該外部軸10の軸心を回転中心として回転駆
動されるようになっている。
【0010】この場合、内部軸11,太陽歯車12,ト
レー回転遊星歯車9,トレー回転軸8にて、サセプタ3
の回転を利用したトレー回転機構18が構成されてい
る。
レー回転遊星歯車9,トレー回転軸8にて、サセプタ3
の回転を利用したトレー回転機構18が構成されてい
る。
【0011】リアクタ2内に開口するようにして、基板
1にはリアクタ2からの排気ガスを排出させる排気口1
9が設けられている。
1にはリアクタ2からの排気ガスを排出させる排気口1
9が設けられている。
【0012】リアクタ2の外周には、サセプタ3を高周
波加熱することによりウエハ6を加熱する高周波加熱コ
イル20が配置されている。また、リアクタ2の頂部に
は、該リアクタ2内に原料ガスを供給する原料ガス供給
口21が設けられている。
波加熱することによりウエハ6を加熱する高周波加熱コ
イル20が配置されている。また、リアクタ2の頂部に
は、該リアクタ2内に原料ガスを供給する原料ガス供給
口21が設けられている。
【0013】このような気相成長装置は、モータ15で
外部軸10を回転させると、サセプタ3が該外部軸10
の軸心を回転中心として回転駆動され、該サセプタ3表
面のウエハ6が公転される。サセプタ3が回転すると、
その回転につれてトレー回転遊星歯車9が太陽歯車12
に噛み合いつつ自公転する。トレー回転遊星歯車9の回
転によりトレー5を介してウエハ6が回転駆動される。
即ち、ウエハ6はサセプタ3の回転につれて自公転駆動
される。
外部軸10を回転させると、サセプタ3が該外部軸10
の軸心を回転中心として回転駆動され、該サセプタ3表
面のウエハ6が公転される。サセプタ3が回転すると、
その回転につれてトレー回転遊星歯車9が太陽歯車12
に噛み合いつつ自公転する。トレー回転遊星歯車9の回
転によりトレー5を介してウエハ6が回転駆動される。
即ち、ウエハ6はサセプタ3の回転につれて自公転駆動
される。
【0014】このようにウエハ6をサセプタ3の表面で
自公転させてエピタキシャルウエハを製造すると、自転
のみの気相成長装置に比べて、原料ガスの流れの中でウ
エハ6が自公転することによって、該ウエハ6の表面で
は上流,下流がなくなるので、エピタキシャルウエハの
膜厚のばらつきを低下させることができる。
自公転させてエピタキシャルウエハを製造すると、自転
のみの気相成長装置に比べて、原料ガスの流れの中でウ
エハ6が自公転することによって、該ウエハ6の表面で
は上流,下流がなくなるので、エピタキシャルウエハの
膜厚のばらつきを低下させることができる。
【0015】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の気相成長装置では、ベベル歯車よりなるトレ
ー回転遊星歯車9及び太陽歯車12を、加熱時に不純物
を出さず気相成長に悪影響がでないように両方ともガラ
ス製とすると、これら歯車9,12が気相成長時に加熱
されて熱膨脹した際に、これら歯車9,12の回転を円
滑に行わせることができず、また歯が欠けたりする問題
点があった。歯車9,12の歯が欠けると、その歯車を
交換しなければならず、ランニングコストが上昇する問
題点があった。更に、この場合、最悪時には歯車だけで
なく、サセプタ周辺のかなりの部分が破壊されることも
ある問題点があった。
うな従来の気相成長装置では、ベベル歯車よりなるトレ
ー回転遊星歯車9及び太陽歯車12を、加熱時に不純物
を出さず気相成長に悪影響がでないように両方ともガラ
ス製とすると、これら歯車9,12が気相成長時に加熱
されて熱膨脹した際に、これら歯車9,12の回転を円
滑に行わせることができず、また歯が欠けたりする問題
点があった。歯車9,12の歯が欠けると、その歯車を
交換しなければならず、ランニングコストが上昇する問
題点があった。更に、この場合、最悪時には歯車だけで
なく、サセプタ周辺のかなりの部分が破壊されることも
ある問題点があった。
【0016】また、これらベベル歯車よりなるトレー回
転遊星歯車9及び太陽歯車12が、カーボンを切削する
ことにより製造されている場合には、歯車フレームと各
歯が一体になった構造のものを切削して製造する関係
上、切削時に切削油を使う必要があるため、該切削油が
含浸され、この切削油が高温の使用下で蒸発して製造さ
れるエピタキシャルウエハに付着し、高純度のエピタキ
シャルウエハを製造できない問題点がある。
転遊星歯車9及び太陽歯車12が、カーボンを切削する
ことにより製造されている場合には、歯車フレームと各
歯が一体になった構造のものを切削して製造する関係
上、切削時に切削油を使う必要があるため、該切削油が
含浸され、この切削油が高温の使用下で蒸発して製造さ
れるエピタキシャルウエハに付着し、高純度のエピタキ
シャルウエハを製造できない問題点がある。
【0017】本発明の目的は、高温下でも歯車を円滑に
回転させることができ、また歯が欠けても低コストで補
修でき、しかも歯車が気相成長に悪影響を及ぼすのを回
避できる気相成長装置を提供することにある。
回転させることができ、また歯が欠けても低コストで補
修でき、しかも歯車が気相成長に悪影響を及ぼすのを回
避できる気相成長装置を提供することにある。
【0018】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成する本
発明の構成を説明すると、本発明はリアクタ内にサセプ
タが配置され、前記サセプタの表面にトレーが回転自在
に配置され、前記トレーは該トレーに支持されたトレー
回転遊星歯車と該トレー回転遊星歯車を噛み合わせて自
転・公転駆動させる太陽歯車を含むトレー回転機構で回
転駆動されるようになっている気相成長装置において、
前記トレー回転従動ギアと前記太陽歯車とのいずれか一
方は、歯車フレームの周方向に複数のカーボン製のピン
状歯が所定ピッチで交換可能に植設された構造になって
いることを特徴とする。
発明の構成を説明すると、本発明はリアクタ内にサセプ
タが配置され、前記サセプタの表面にトレーが回転自在
に配置され、前記トレーは該トレーに支持されたトレー
回転遊星歯車と該トレー回転遊星歯車を噛み合わせて自
転・公転駆動させる太陽歯車を含むトレー回転機構で回
転駆動されるようになっている気相成長装置において、
前記トレー回転従動ギアと前記太陽歯車とのいずれか一
方は、歯車フレームの周方向に複数のカーボン製のピン
状歯が所定ピッチで交換可能に植設された構造になって
いることを特徴とする。
【0019】
【作用】このように、トレー回転機構のトレー回転従動
ギアと太陽歯車とのいずれか一方が、歯車フレームの周
方向に複数のカーボン製のピン状歯が所定ピッチで交換
可能に植設された構造になっていると、カーボン製のピ
ン状歯が潤滑作用を有するので、高温下でも歯車を円滑
に回転させることができる。また、このピン状歯が欠け
ても、その欠けたピン状歯を正常なピン状歯に交換する
ことにより、低コストで補修でき、ランニングコストの
上昇を抑制することができる。更に、この場合、無理な
力が作用したときには、ピン状歯が欠けてその時の応力
を吸収できるので、サセプタ周辺のかなりの部分が破壊
される事故の発生を防止することができる。このような
ピン状歯は、型ダイス等を用いて簡単に製造でき、切削
油を使用しないでよいため、歯車から潤滑油が蒸発して
気相成長に悪影響を及ぼすのを回避することができる。
ギアと太陽歯車とのいずれか一方が、歯車フレームの周
方向に複数のカーボン製のピン状歯が所定ピッチで交換
可能に植設された構造になっていると、カーボン製のピ
ン状歯が潤滑作用を有するので、高温下でも歯車を円滑
に回転させることができる。また、このピン状歯が欠け
ても、その欠けたピン状歯を正常なピン状歯に交換する
ことにより、低コストで補修でき、ランニングコストの
上昇を抑制することができる。更に、この場合、無理な
力が作用したときには、ピン状歯が欠けてその時の応力
を吸収できるので、サセプタ周辺のかなりの部分が破壊
される事故の発生を防止することができる。このような
ピン状歯は、型ダイス等を用いて簡単に製造でき、切削
油を使用しないでよいため、歯車から潤滑油が蒸発して
気相成長に悪影響を及ぼすのを回避することができる。
【0020】
【実施例】図1及び図2は、本発明に係る気相成長装置
の一実施例を示したものである。なお、前述した図6と
対応する部分には、同一符号を付けて示している。
の一実施例を示したものである。なお、前述した図6と
対応する部分には、同一符号を付けて示している。
【0021】図示のように本実施例の気相成長装置で
は、リアクタ2内に回転自在に且つ昇降自在に挿入され
ている回転軸22として、大径部22aの上部に段部2
2bを介して小径部22cが設けられた構造のものが用
いられている。小径部22cは大径部22aと一体に連
結されていて、大径部22aの回転につれて一緒に回転
するようになっている。この場合、大径部22aはステ
ンレススチールで形成され、小径部22cは石英ガラス
で形成されている。
は、リアクタ2内に回転自在に且つ昇降自在に挿入され
ている回転軸22として、大径部22aの上部に段部2
2bを介して小径部22cが設けられた構造のものが用
いられている。小径部22cは大径部22aと一体に連
結されていて、大径部22aの回転につれて一緒に回転
するようになっている。この場合、大径部22aはステ
ンレススチールで形成され、小径部22cは石英ガラス
で形成されている。
【0022】このような回転軸22の小径部22cの頂
部でカーボン製のサセプタ3が支持され、該回転軸22
の回転でサセプタ3が一緒に回転駆動されるように、小
径部22cの係止突起23がサセプタ3の係止凹部24
に係合されている。該サセプタ3の上部にキャップが被
さる場合、該キャップは例えばガラス製となる。
部でカーボン製のサセプタ3が支持され、該回転軸22
の回転でサセプタ3が一緒に回転駆動されるように、小
径部22cの係止突起23がサセプタ3の係止凹部24
に係合されている。該サセプタ3の上部にキャップが被
さる場合、該キャップは例えばガラス製となる。
【0023】回転軸22の小径部22cの外周には、ガ
ラス製の筒状の歯車スタンド25が軸受26を介して支
持されている。該歯車スタンド25はガラス等の無理な
応力の作用で破断可能な連結子27により反応炉壁28
に固定されている。該反応炉壁28は、排気部29を介
してリアクタ2を支持する構造になっている。
ラス製の筒状の歯車スタンド25が軸受26を介して支
持されている。該歯車スタンド25はガラス等の無理な
応力の作用で破断可能な連結子27により反応炉壁28
に固定されている。該反応炉壁28は、排気部29を介
してリアクタ2を支持する構造になっている。
【0024】筒状の歯車スタンド25の上部には、太陽
歯車12が支持されている。該太陽歯車12は、環状の
ステンレススチール等よりなる歯車フレーム30を備
え、該歯車フレーム30の上面には周方向に複数のカー
ボン製のピン状歯31が所定ピッチで交換可能に植設さ
れた構造になっている。ピン状歯31は、インボリュー
ト形状に近い形状(例えば、円弧の一部を利用した形
状)をした歯頭部31aと、その下面に一体に形成され
ている円柱状の歯脚部31bとで構成されている。この
ようなピン状歯31は、型ダイス等を用いて容易に製造
できる。歯車フレーム30の上面には、周方向に所定ピ
ッチで歯植設穴32が設けられ、これら歯植設穴32に
各ピン状歯31の歯脚部31bが挿入され、ビス33で
抜け止めされている。この場合、歯植設穴32に挿入さ
れた歯脚部31bと該歯植設穴32との間には、1/100
〜2/10mm程のクリアランスが設けられ、これによって回
転時に加わる力を逃がすようになっている。
歯車12が支持されている。該太陽歯車12は、環状の
ステンレススチール等よりなる歯車フレーム30を備
え、該歯車フレーム30の上面には周方向に複数のカー
ボン製のピン状歯31が所定ピッチで交換可能に植設さ
れた構造になっている。ピン状歯31は、インボリュー
ト形状に近い形状(例えば、円弧の一部を利用した形
状)をした歯頭部31aと、その下面に一体に形成され
ている円柱状の歯脚部31bとで構成されている。この
ようなピン状歯31は、型ダイス等を用いて容易に製造
できる。歯車フレーム30の上面には、周方向に所定ピ
ッチで歯植設穴32が設けられ、これら歯植設穴32に
各ピン状歯31の歯脚部31bが挿入され、ビス33で
抜け止めされている。この場合、歯植設穴32に挿入さ
れた歯脚部31bと該歯植設穴32との間には、1/100
〜2/10mm程のクリアランスが設けられ、これによって回
転時に加わる力を逃がすようになっている。
【0025】このような太陽歯車12に噛み合って自転
・公転するトレー回転遊星歯車9は、ガラスで形成され
ている。
・公転するトレー回転遊星歯車9は、ガラスで形成され
ている。
【0026】トレー回転軸8の外周とサセプタ3との間
には、カーボン製のブッシュ34が介在されている。
には、カーボン製のブッシュ34が介在されている。
【0027】歯車スタンド25の外周には、サセプタ3
の下端外周を流れるガスの流れを乱さないようにするス
カート部25aが設けられている。
の下端外周を流れるガスの流れを乱さないようにするス
カート部25aが設けられている。
【0028】この場合には、歯車スタンド25,太陽歯
車12,トレー回転遊星歯車9,トレー回転軸8にて、
サセプタ3の回転を利用したトレー回転機構18が構成
されている。
車12,トレー回転遊星歯車9,トレー回転軸8にて、
サセプタ3の回転を利用したトレー回転機構18が構成
されている。
【0029】このような気相成長装置では、一方のトレ
ー回転遊星歯車9が図3に示すように通常の歯35を有
する歯車、他方の太陽歯車12がピン状歯31を有する
特殊歯車となっているので、図示のようなxy平面に沿
っての移動を考えた場合、y方向の動きがあっても円形
断面のピン状歯31が通常の歯35の直線状面に当接す
るためx方向(回転方向)のピッチPが変わらずに駆動
できる。
ー回転遊星歯車9が図3に示すように通常の歯35を有
する歯車、他方の太陽歯車12がピン状歯31を有する
特殊歯車となっているので、図示のようなxy平面に沿
っての移動を考えた場合、y方向の動きがあっても円形
断面のピン状歯31が通常の歯35の直線状面に当接す
るためx方向(回転方向)のピッチPが変わらずに駆動
できる。
【0030】これに対し、両方の歯車の歯A,Bが共に
図4に示すようにピン状歯の場合、y方向の動きがある
と、ピン状歯A,Bのx方向の当接位置C1 ,C2 ,C
3 が変り、x方向(回転方向)のピッチP1 ,P2 が変
ってしまう問題点があり、両方の歯車の歯A,Bが共に
ピン状歯のものは使用できない。
図4に示すようにピン状歯の場合、y方向の動きがある
と、ピン状歯A,Bのx方向の当接位置C1 ,C2 ,C
3 が変り、x方向(回転方向)のピッチP1 ,P2 が変
ってしまう問題点があり、両方の歯車の歯A,Bが共に
ピン状歯のものは使用できない。
【0031】また、この気相成長装置では、太陽歯車1
2が、歯車フレーム30の周方向に複数のカーボン製の
ピン状歯31を所定ピッチで交換可能に植設した構造に
なっているので、カーボン製の該ピン状歯31が潤滑作
用を有し、このため高温下でもトレー回転従動ギア9と
太陽歯車12を円滑に回転させることができる。また、
このピン状歯31が欠けても、その欠けたピン状歯31
を正常なピン状歯31に交換することにより、低コスト
で補修でき、ランニングコストの上昇を抑制することが
できる。更に、この場合、無理な力が作用したときに
は、該ピン状歯31が欠けてその時の応力を吸収できる
ので、サセプタ3周辺のかなりの部分が破壊される事故
の発生を防止することができる。また、該ピン状歯31
は、型ダイス等を用いて簡単に製造でき、切削油を使用
しないでよいため、歯車から潤滑油が蒸発して気相成長
に悪影響を及ぼすのを回避することができる。なお、ピ
ン状歯31の製造はカーボン製の単純な形状をした歯単
体の製造のため、切削油を用いない切削加工でも容易に
製造できる。
2が、歯車フレーム30の周方向に複数のカーボン製の
ピン状歯31を所定ピッチで交換可能に植設した構造に
なっているので、カーボン製の該ピン状歯31が潤滑作
用を有し、このため高温下でもトレー回転従動ギア9と
太陽歯車12を円滑に回転させることができる。また、
このピン状歯31が欠けても、その欠けたピン状歯31
を正常なピン状歯31に交換することにより、低コスト
で補修でき、ランニングコストの上昇を抑制することが
できる。更に、この場合、無理な力が作用したときに
は、該ピン状歯31が欠けてその時の応力を吸収できる
ので、サセプタ3周辺のかなりの部分が破壊される事故
の発生を防止することができる。また、該ピン状歯31
は、型ダイス等を用いて簡単に製造でき、切削油を使用
しないでよいため、歯車から潤滑油が蒸発して気相成長
に悪影響を及ぼすのを回避することができる。なお、ピ
ン状歯31の製造はカーボン製の単純な形状をした歯単
体の製造のため、切削油を用いない切削加工でも容易に
製造できる。
【0032】特に、本実施例のように、歯車スタンド2
5が、ガラス等の無理な応力の作用で破断可能な連結子
27により反応炉壁28に固定されていると、トレー回
転機構18に大きな力が作用した場合、連結子27が破
断されて歯車スタンド25がフリーになり、トレー5が
自転しなくなり、その大きな力を逃がすことができ、ト
レー回転機構18やサセプタ3の破損を防止できる。
5が、ガラス等の無理な応力の作用で破断可能な連結子
27により反応炉壁28に固定されていると、トレー回
転機構18に大きな力が作用した場合、連結子27が破
断されて歯車スタンド25がフリーになり、トレー5が
自転しなくなり、その大きな力を逃がすことができ、ト
レー回転機構18やサセプタ3の破損を防止できる。
【0033】図5は、カーボン製のピン状歯31の他の
実施例を示したものである。本実施例のピン状歯31
は、円柱状の歯脚部31bの歯頭部31aに隣接した部
分に小径となって破断をより容易にする弱強度部31c
が設けられている。この場合も、歯頭部31aの形状は
前述したと同様にインボリュート形状に近い形状に形成
されている。
実施例を示したものである。本実施例のピン状歯31
は、円柱状の歯脚部31bの歯頭部31aに隣接した部
分に小径となって破断をより容易にする弱強度部31c
が設けられている。この場合も、歯頭部31aの形状は
前述したと同様にインボリュート形状に近い形状に形成
されている。
【0034】このようなピン状歯31を用いると、無理
な力が作用した場合、更に容易に該ピン状歯31が破断
されるようになり、トレー回転機構18やサセプタ3の
破損を最小限に止めることができる。
な力が作用した場合、更に容易に該ピン状歯31が破断
されるようになり、トレー回転機構18やサセプタ3の
破損を最小限に止めることができる。
【0035】上記実施例では、太陽歯車12をピン状歯
を用いたもので構成し、トレー回転従動ギア9を通常の
歯車で構成したが、その代わりに、トレー回転従動ギア
9をピン状歯を用いたもので構成し、太陽歯車12を通
常の歯車で構成してもよい。また、上記実施例では、太
陽歯車12を固定とし、サセプタ3の回転を利用してト
レー5を自転させるようにしたが、歯車スタンド25を
フリーとし、該歯車スタンド25を介して太陽歯車12
を別の回転駆動手段で独自の回転数にて回転させること
もできる。このようなトレー回転機構18によれば、ト
レー5を最適な回転数で回転することができる。
を用いたもので構成し、トレー回転従動ギア9を通常の
歯車で構成したが、その代わりに、トレー回転従動ギア
9をピン状歯を用いたもので構成し、太陽歯車12を通
常の歯車で構成してもよい。また、上記実施例では、太
陽歯車12を固定とし、サセプタ3の回転を利用してト
レー5を自転させるようにしたが、歯車スタンド25を
フリーとし、該歯車スタンド25を介して太陽歯車12
を別の回転駆動手段で独自の回転数にて回転させること
もできる。このようなトレー回転機構18によれば、ト
レー5を最適な回転数で回転することができる。
【0036】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係る気相成
長装置によれば、下記のような効果を得ることができ
る。
長装置によれば、下記のような効果を得ることができ
る。
【0037】(A)トレー回転機構のトレー回転従動ギ
アと太陽歯車とのいずれか一方が、歯車フレームの周方
向に複数のカーボン製のピン状歯が所定ピッチで交換可
能に植設された構造になっているので、カーボン製のピ
ン状歯が潤滑作用により、高温下でも歯車を円滑に回転
させることができる。
アと太陽歯車とのいずれか一方が、歯車フレームの周方
向に複数のカーボン製のピン状歯が所定ピッチで交換可
能に植設された構造になっているので、カーボン製のピ
ン状歯が潤滑作用により、高温下でも歯車を円滑に回転
させることができる。
【0038】(B)このピン状歯が欠けても、その欠け
たピン状歯を正常なピン状歯に交換することにより、低
コストで補修でき、ランニングコストの上昇を抑制する
ことができる。
たピン状歯を正常なピン状歯に交換することにより、低
コストで補修でき、ランニングコストの上昇を抑制する
ことができる。
【0039】(C)トレー回転機構に無理な力が作用し
たときには、ピン状歯が欠けてその時の応力を吸収でき
るので、サセプタ周辺のかなりの部分が破壊される事故
の発生を防止することができる。
たときには、ピン状歯が欠けてその時の応力を吸収でき
るので、サセプタ周辺のかなりの部分が破壊される事故
の発生を防止することができる。
【0040】(D)ピン状歯は、型ダイス等を用いて簡
単に製造でき、切削油を使用しないでよいため、歯車か
ら潤滑油が蒸発して気相成長に悪影響を及ぼすのを回避
することができる。
単に製造でき、切削油を使用しないでよいため、歯車か
ら潤滑油が蒸発して気相成長に悪影響を及ぼすのを回避
することができる。
【図1】本発明に係る気相成長装置の一実施例を示す縦
断端面図である。
断端面図である。
【図2】図1のA部の拡大図である。
【図3】本実施例におけるトレー回転機構の通常の歯を
もつトレー回転遊星歯車と、ピン状歯をもつ太陽歯車の
各歯の噛合わせ状態を示す説明図である。
もつトレー回転遊星歯車と、ピン状歯をもつ太陽歯車の
各歯の噛合わせ状態を示す説明図である。
【図4】両方ともピン状歯をもつ歯車の場合の各歯の噛
合わせ状態を示す説明図である。
合わせ状態を示す説明図である。
【図5】ピン状歯の他の実施例を示す側面図である。
【図6】従来の気相成長装置の縦断面図である。
2 リアクタ 3 サセプタ 4 凹部 5 トレー 6 ウエハ 7 歯車室 8 トレー回転軸 9 トレー回転遊星歯車 12 太陽歯車 18 トレー回転機構 19 排気口 20 高周波加熱コイル 21 原料ガス供給口 22 回転軸 22a 大径部 22b 段部 22c 小径部 25 歯車スタンド 26 軸受 27 連結子 28 反応炉壁 29 排気部 30 歯車フレーム 31 ピン状歯 31a 歯頭部 31b 歯脚部 31c 弱強度部 32 歯植設穴 33 ビス 34 ブッシュ 35 通常の歯
Claims (1)
- 【請求項1】 リアクタ内にサセプタが配置され、前記
サセプタの表面にトレーが回転自在に配置され、前記ト
レーは該トレーに支持されたトレー回転遊星歯車と該ト
レー回転遊星歯車を噛み合わせて自転・公転駆動させる
太陽歯車を含むトレー回転機構で回転駆動されるように
なっている気相成長装置において、 前記トレー回転従動ギアと前記太陽歯車とのいずれか一
方は、歯車フレームの周方向に複数のカーボン製のピン
状歯が所定ピッチで交換可能に植設された構造になって
いることを特徴とする気相成長装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11276693A JP3268687B2 (ja) | 1993-05-14 | 1993-05-14 | 気相成長装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11276693A JP3268687B2 (ja) | 1993-05-14 | 1993-05-14 | 気相成長装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06326025A true JPH06326025A (ja) | 1994-11-25 |
JP3268687B2 JP3268687B2 (ja) | 2002-03-25 |
Family
ID=14594984
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11276693A Expired - Fee Related JP3268687B2 (ja) | 1993-05-14 | 1993-05-14 | 気相成長装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3268687B2 (ja) |
-
1993
- 1993-05-14 JP JP11276693A patent/JP3268687B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3268687B2 (ja) | 2002-03-25 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |