JPH06324004A - 画像処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 装置全体の小型化およびコストダウンを図り
得る画像処理装置を提供する。 【構成】 テーブル１２は、上面に検体２４を保持可能
な保持部２０が設けられている。保持部２０には、検体
２４の特定部分と対応する位置に孔３４が形成されてい
る。検体２４の特定部分を照射するための照明手段は、
孔３４内に配設された発光ダイオード３６である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は画像処理装置に関し、一
層詳細には上面に検体を保持可能な保持部が設けられた
テーブルと、検体の特定部分を照射するための照明手段
とを具備する画像処理装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の画像処理装置について図５および
図６と共に説明する。図５の画像処理装置は、基台部１
００上に１対のリニアガイド１０２ａ、１０２ｂが平行
に配設されている。テーブル１０４はリニアガイド１０
２ａ、１０２ｂに沿ってリニアガイド１０２ａ、１０２
ｂの長さ方向へ移動可能になっている。テーブル１０４
の上部は右方へ延設された保持部１０６に形成され、上
面に検体１０８を保持可能になっている。保持部１０６
には上下方向の貫通孔１１０が穿設されている。

【０００３】駆動手段である螺竿１１２がテーブル１０
４と螺合しており、螺竿１１２を回転することにより、
テーブル１０４をリニアガイド１０２ａ、１０２ｂの長
さ方向へ移動させることができる。照明手段であるハロ
ゲン照明装置１１４は保持部１０６の貫通孔１１０と対
応可能な位置に配設されている。ハロゲン照明装置１１
４から照射された照射光１１６は貫通孔１１０を経由し
て検体１０８を照射する。照射光１１６はハロゲン照明
装置１１４の直上に配設されているＣＣＤカメラ（不図
示）で受光され、検体１０８の形状等の検査に必要なデ
ータが生成される。

【０００４】図６の画像処理装置については、図５と同
一の構成部材は図６と同一の符合を付し説明は省略す
る。図６の画像処理装置は、テーブル１０４の中央に貫
通孔１１０が穿設され、テーブル１０４の上面が検体１
０８の保持部１０６になっている。ハロゲン照明装置１
１４は、リニアガイド１０２ａと１０２ｂの中間に配設
されているので螺竿１１２はリニアガイド１０２ａ寄り
の位置に配設されている。画像処理装置の動作について
も図５の例と同一であり、説明は省略する。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来の画像処理装置には次のような課題がある。まず、
図５および図６の画像処理装置では、照明装置１１４に
対して検体１０８の位置が離れているため大光度の得ら
れる大型のハロゲン照明装置１１４が必要となる。特
に、検体１０８の特定部分を検査する部分検査であって
も照明装置１１４と検体１０８の距離が大きいため、大
型のハロゲン照明装置１１４が必要となり、コストアッ
プと装置の大型化が不可避であるという課題がある。

【０００６】また、図５の画像処理装置では、照明手段
として大型のハロゲン照明装置１１４を設置するため
に、テーブル１０４の保持部１０６が右方へ延設されて
いる。そのため、例えば螺竿１１２とテーブル１０４の
螺合部分に発生するバックラッシュによってテーブル１
０４に僅かながたつきが発生しても、その振れは検体１
０８を保持している保持部１０６の先端近傍では増幅さ
れ、大きな振れとなる。その結果、螺竿１１２の駆動量
と検体１０８の駆動量に差異が発生し、検体１０８の移
動制御が難しいという課題がある。また、高精度の寸法
測定を行う場合、リニアガイド１１２ａまたは１１２ｂ
の移動量と検体１０８の移動量の差異によ、固定リニア
スケール１１５を介して検体１０８の位置を正確に読み
取れず、測定値に誤差が発生してしまうという課題もあ
る。

【０００７】一方、図６の画像処理装置では、保持部１
０６の振れが増幅されるという課題は生じないが、やは
り大型のハロゲン照明装置１１４を設置するために、螺
竿１１２がリニアガイド１０２ａ寄りに配設される。そ
のため、テーブル１０４を移動させる際に、テーブル１
０４のリニアガイド１０２ａ寄りの端部１１８ａが、リ
ニアガイド１０２ａ寄りの端部１１８ｂより若干先に移
動するため検体１０８が平面内で傾いてしまう。この傾
きが高精度の寸法測定を行う場合等には位置ずれとな
り、やはり測定誤差が発生するという課題がある。従っ
て、本発明は第１に装置全体の小型化およびコストダウ
ンを図り得る画像処理装置を提供することを目的とし、
第２に検体の移動制御を高精度に行い得る画像処理装置
を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明は次の構成を備える。第１の構成は、上面に
検体を保持可能な保持部が設けられたテーブルと、前記
検体の特定部分を照射するための照明手段とを具備する
画像処理装置において、前記保持部には、前記特定部分
と対応する位置に孔が形成され、前記照明手段は、該孔
内に配設された発光ダイオードであることを特徴とす
る。また、第１の構成において、前記テーブル内に空間
部を設け、該空間部内に前記発光ダイオードの発光駆動
回路を配設したり、前記保持部を前記テーブルに対して
着脱可能にしてもよい。

【０００９】第２の構成は、上面に検体を保持可能な保
持部が設けられたテーブルと、前記検体の特定部分を照
射するための照明手段とを具備する画像処理装置におい
て、前記テーブルの内部に空間部が形成され、前記保持
部には、前記特定部分と対応する位置に透孔が形成さ
れ、前記照明手段は、前記空間部内であって該透孔と対
応する位置に配設されると共に、少なくとも発光部分が
前記透孔内に進入して配設された発光ダイオードである
ことを特徴とする。また、第２の構成において、前記発
光ダイオードの発光駆動回路を前記空間部内に配設した
り、前記保持部を前記テーブルに対して着脱可能にした
り、前記透孔を透明部材により閉塞したり、前記保持部
には前記空間部と連通する貫通孔を設けると共に、前記
テーブルには前記空間部内の空気を導出するための空気
導出路を設けるようにしてもよい。

【００１０】第３の構成は、基台部と、該基台部に対し
て所定の方向へ移動可能な第１の構成または第２の構成
のテーブルと、前記基台部上において該テーブルの移動
方向へ平行、かつテーブルに対して線対称の位置に配設
され、テーブルの移動を案内する１対のリニアガイド
と、一方の前記リニアガイドからの距離と他方のリニア
ガイドからの距離とが等しい位置に配設され、前記テー
ブルを前記移動方向へ移動させるための駆動手段とを具
備することを特徴とする。

【００１１】

【作用】作用について説明する。第１の構成では、保持
部に形成された孔内に配設された発光ダイオードが保持
部に保持されている検体の特定部分を照射可能となる。
第２の構成では、空間部内であって透孔と対応する位置
に配設されると共に、少なくとも発光部分が前記透孔内
に進入して配設された発光ダイオードが保持部に保持さ
れている検体の特定部分を照射可能となる。第３の構成
では、１対のリニアガイドがテーブルに対して線対称の
位置に配設され、駆動手段は、一方のリニアガイドから
の距離と他方のリニアガイドからの距離とが等しい位置
に配設されている。従って、駆動手段がテーブルを移動
させる際、テーブルは一方のリニアガイド側と他方のリ
ニアガイド側が同時に同量移動可能となる。

【００１２】

【実施例】以下、本発明の好適な実施例について添付図
面と共に詳述する。なお、本実施例の画像処理装置は半
導体装置用リードフレーム（検体の一例）の特定部分
（例えば特定のエッジ部分）を画像処理技術を用いて検
査、または検出するための装置である。 （第１実施例）第１実施例について図１および図２と共
に説明する。図１には第１実施例の画像処理装置１０の
要部側面図を示し、図２にはテーブル１２の側面断面図
を示す。まず、図１において、１４は基台部であり、設
置場所に固定されている。１６は１対のリニアガイドで
あり、長尺のレール状に形成されている。リニアガイド
１６は、基台部１４の上面であって、図１紙面に垂直な
方向へ互いに平行に配設されている。なお、基台部１４
（またはリニアガイド１６でもよい）にはリニアスケー
ル１７がリニアガイド１６と平行に固定されている。

【００１３】テーブル１２は、テーブル本体部１８と保
持部２０から成る。テーブル１２は、底面に設けた１対
の嵌合部２２で各リニアガイド１６と嵌合している。従
って、テーブル１２はリニアガイド１６に沿ってリニア
ガイド１６の長さ方向へスライド可能になっている。な
お、両リニアガイド１６は、平面的に見てテーブル１２
の移動方向（リニアガイド１６の長さ方向）の中心線に
対して線対称の位置に配設されている。なお、左側の嵌
合部２２の外側側面にはリニアエンコーダ２３が配設さ
れ、リニアスケール１９と協動してテーブル１２等の移
動量を計測可能になっている。保持部２０は、上面に検
体の一例であるリードフレーム２４を保持可能になって
いる。２６は位置決めピンであり、保持部２０上面に立
設されている。位置決めピン２６は、リードフレーム２
４に透設されている位置決め孔（不図示）へ嵌入可能で
あり、リードフレーム２４の位置決め孔へ嵌入すること
で保持部２０上のリードフレーム２４の位置を所定位置
にすることが可能になっている。

【００１４】２８は駆動手段の一例である螺竿であり、
基台部１４へ軸線を中心に回転可能に配設されている。
螺竿２８は、リニアガイド１６と平行に配されると共
に、一方のリニアガイド１６からの距離と他方のリニア
ガイド１６からの距離とが等しい位置に配設されてい
る。螺竿２８は、テーブル１２の下面であってテーブル
１２の移動方向の中心線上に固定されている固定ナット
３０と螺合しており、螺竿２８が適宜な手段（例えばス
テッピングモータ）で回転されるとテーブル１２をリニ
アガイド１６に沿ってスライドさせる。本実施例では、
１対のリニアガイド１６がテーブル１２に対して前記線
対称の位置に配設され、螺竿２８は、一方のリニアガイ
ド１６からの距離と他方のリニアガイド１６からの距離
とが等しい位置に配設されているので、螺竿２８がテー
ブル１２を移動させる際、テーブル１２は一方のリニア
ガイド１６側と他方のリニアガイド１６側が同時に同量
移動可能となる。従ってどちらか一方の側が先行した
り、遅延することがなく、移動の際にリードフレーム２
４が傾くのを防止することができる。

【００１５】次に図２と共にテーブル１２の構造につい
て説明する。保持部２０は、テーブル本体部１８の上面
に適宜な手段（例えばボルト）で着脱可能に固定されて
いる。保持部２０は内部に空間部３２が形成されてい
る。また、保持部２０の所定位置、すなわち検査しよう
とするリードフレーム２４の特定のエッジ部分と対応す
る位置には透孔３４が所定個数透設されている。透孔３
４内にはそれぞれ照明手段である発光ダイオード３６が
配設されている。３８は発光駆動回路部であり、発光ダ
イオード３６へ所定の電圧を印加する。発光駆動回路部
３８は空間部３２内であって、保持部２０の内上面に固
定されている。

【００１６】リードフレーム２４は保持部２０の上面に
載置されるので、発光ダイオード３６をリードフレーム
２４へ接近させることができる。換言すると、照明手段
と検体が接近して配置可能なので照明手段として発光ダ
イオード３６を採用可能になっている。照明手段が発光
ダイオード３６で済むため、発光駆動回路部３８も小さ
なモジュールで済む。本実施例では照明手段を発光ダイ
オード３６とし、発光駆動回路部３８を小型のモジュー
ルとして空間部３２内へ配設した結果、上述のように螺
竿２８を平面的に見てテーブル１２の移動方向の中心線
に沿って配置すると共に、リニアガイド１６と平行かつ
一方のリニアガイド１６からの距離と他方のリニアガイ
ド１６からの距離とが等しい位置に配設することが可能
になっている。なお、リードフレーム２４が変わると検
査部分も変わるが、その場合は保持部２０を変わったリ
ードフレーム２４用に発光ダイオード３６を配置した保
持部２０と交換して行う。

【００１７】上記構成を有する画像処理装置では、発光
ダイオード３６から照射された照射光（透過光）が透孔
３４から上方へ進み、リードフレーム２４の特定エッジ
部分を照射する。照射光はリードフレーム２４の上方に
配設されているＣＣＤカメラ（不図示）で受光され、当
該エッジ部分の画像データが生成される。その画像デー
タを基に、例えば多値画像を用いたサブピクセル処理の
手法を用いてリードフレーム２４の特定部分のエッジの
位置検出を行う。

【００１８】（第２実施例）第２実施例について図３と
共に説明する。第２実施例は第１実施例において、テー
ブル１２の構造を変えた実施例であり、第１実施例と同
一の構成部材については第１実施例と同一の符号を付
し、説明は省略する。図３（テーブル１２の側面断面
図）に示すように、空間部３２は、テーブル本体部１８
を、上面が開放した箱状に形成し、平板状の保持部２０
で当該上面を閉塞することにより形成されている。

【００１９】保持部２０は、テーブル本体部１８の上面
に適宜な手段（例えばボルト）で着脱可能に固定されて
いる。第１実施例と同様、保持部２０の所定位置、すな
わち検査しようとするリードフレーム２４の特定のエッ
ジ部分と対応する位置には透孔３４が所定個数透設さ
れ、内部にはそれぞれ発光ダイオード３６が配設されて
いる。発光駆動回路部３８は、保持部２０に埋設されて
いる。第２実施例の構造を採用すると、第１実施例と比
較してテーブル１２全体の厚さを薄くすることができ
る。第２実施例でも検査するリードフレーム２４が変わ
れば、保持部２０を専用の保持部２０と交換して行う。

【００２０】（第３実施例）第３実施例について図４と
共に説明する。第３実施例は先行実施例において、テー
ブル１２の構造を変えた実施例であり、先行実施例と同
一の構成部材については先行実施例と同一の符号を付
し、説明は省略する。テーブル本体部１８は、上面が開
放した箱状に形成され、平板状の保持部２０で当該上面
が閉塞されている。保持部２０は、テーブル本体部１８
の上面に適宜な手段（例えばボルト）で着脱可能に固定
されている。空間部３２の内底面、すなわちテーブル本
体部１８の内底面には複数の発光ダイオード３６が列設
されている。発光ダイオード３６の配置位置と個数は、
複数種類のリードフレーム２４の検査箇所に対応可能に
設定されている。

【００２１】保持部２０には発光ダイオード３６が設け
られておらず、検査しようとするリードフレーム２４毎
に透孔３４の位置が設定される。すなわち、検査しよう
とするリードフレーム２４毎に保持部２０を選択して使
用する。選択された保持部２０には当該リードフレーム
２４の検査箇所に対応した透孔３４が透設されている。
従って、全ての発光ダイオード３６または特定の発光ダ
イオード３６を発光させることにより、透孔３４からリ
ードフレーム２４を照射可能になっている。第３実施例
の場合、保持部２０には発光ダイオード３６等が設けら
れていないので保持部２０の構造を簡略化することがで
きる。

【００２２】第３実施例では更に透孔３４には透明部材
（例えばガラス）４０が気密に嵌着され、保持部２０の
検査箇所と対応しない部位には貫通孔４２が穿設されて
いる。透明部材４０を設けることにより発光ダイオード
３６の保護が可能となる。また、テーブル本体部１８の
底部には空間部３２と連絡する空気導出路４４が貫設さ
れている。空気導出路４４は真空発生装置（不図示）へ
接続され、空気導出路４４から空間部３２内の空気を抜
くと、空間部３２内が負圧になり、リードフレーム２４
が貫通孔４２へ吸着される。この吸着によりリードフレ
ーム２４を保持部２０上面へより確実に保持可能とな
る。

【００２３】さらに、第３実施例では、発光ダイオード
３６の発光部分である上端部が保持部２０の透孔３４内
および保持部２０底面に凹設された凹部４６内へ進入し
ているので、透孔３４に対応している発光ダイオード３
６とリードフレーム２４とを接近させることが可能にな
る。以上、本発明の好適な実施例について種々述べてき
たが本発明は上述の実施例に限定されるものではなく、
発明の精神を逸脱しない範囲で多くの改変を施し得るの
はもちろんである。

【００２４】

【発明の効果】本発明に係る画像処理装置を用いると、
請求項１の構成では、保持部に形成された孔内に配設さ
れた発光ダイオードが保持部に保持されている検体の特
定部分を照射可能となるので、照明手段が小型化でき、
画像処理装置全体の小型化および製造コストを下げるこ
とが可能となる。請求項２の構成では、テーブル内の空
間部内に発光ダイオードの発光駆動回路を配設するの
で、画像処理装置の小型化に資することができる。請求
項３の構成では、保持部がテーブルに対して着脱可能な
ので、多種類の検体に対応する保持部を選択的に取付で
き、汎用性が有る。

【００２５】請求項４の構成では、テーブル内に形成さ
れた空間部内であって透孔と対応する位置に配設される
と共に、少なくとも発光部分が前記透孔内に進入して配
設された発光ダイオードが保持部に保持されている検体
の特定部分を照射可能となるので、照明手段が小型化で
き、画像処理装置全体の小型化および製造コストを下げ
ることが可能となる。請求項５の構成では、テーブル内
の空間部内に発光ダイオードの発光駆動回路を配設する
ので、画像処理装置の小型化に資することができる。請
求項６の構成では、保持部がテーブルに対して着脱可能
なので、多種類の検体に対応する保持部を選択的に取付
でき、汎用性が有る。請求項７の構成では、透孔は透明
部材により閉塞されているので、発光ダイオードを保護
可能となる。

【００２６】請求項８の構成では、空気導出路から空間
部内の空気を抜くことにより空間部内を負圧にし、検体
を保持部へ吸着して保持可能となるので、検体の保持を
より一層確実に行うことが可能となる。請求項９の構成
では、上記各請求項に係るテーブルを用いるため、基台
部に大型の照明手段を配置する必要がない。そのため、
１対のリニアガイをテーブルに対して線対称の位置に配
設すると共に、駆動手段を、一方のリニアガイドからの
距離と他方のリニアガイドからの距離とが等しい位置に
配設可能になっている。従って、駆動手段がテーブルを
移動させる際、テーブルは一方のリニアガイド側と他方
のリニアガイド側が同時に同量移動可能となるので、取
り込んだ画像が所定の位置に対してのずれが発生せず、
高精度の測定を行うことができる等の著効を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る画像処理装置の第１実施例につい
て示した要部側面図。

【図２】第１実施例のテーブルの側面断面図。

【図３】第２実施例のテーブルの側面断面図。

【図４】第３実施例のテーブルの側面断面図。

【図５】従来の画像処理装置を示した要部側面図。

【図６】従来の画像処理装置を示した要部側面図。

【符号の説明】

１０ 画像処理装置 １２ テーブル １４ 基台部 １６ リニアガイド ２０ 保持部 ２４ リードフレーム ２８ 螺竿 ３２ 空間部 ３４ 透孔 ３６ 発光ダイオード ３８ 発光回路部 ４０ 透明部材 ４２ 貫通孔 ４４ 空気導出路

フロントページの続き (72)発明者 山田 敏司 静岡県浜松市大島町348番地 ジャパン・ イー・エム株式会社内 (72)発明者 桑折 知幸 静岡県浜松市大島町348番地 ジャパン・ イー・エム株式会社内

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 上面に検体を保持可能な保持部が設けら
   れたテーブルと、 前記検体の特定部分を照射するための照明手段とを具備
   する画像処理装置において、 前記保持部には、前記特定部分と対応する位置に孔が形
   成され、 前記照明手段は、該孔内に配設された発光ダイオードで
   あることを特徴とする画像処理装置。
2. 【請求項２】 前記テーブル内に空間部を設け、該空間
   部内に前記発光ダイオードの発光駆動回路を配設したこ
   とを特徴とする請求項１記載の画像処理装置。
3. 【請求項３】 前記保持部が前記テーブルに対して着脱
   可能であることを特徴とする請求項１または２記載の画
   像処理装置。
4. 【請求項４】 上面に検体を保持可能な保持部が設けら
   れたテーブルと、 前記検体の特定部分を照射するための照明手段とを具備
   する画像処理装置において、 前記テーブルの内部に空間部が形成され、 前記保持部には、前記特定部分と対応する位置に透孔が
   形成され、 前記照明手段は、前記空間部内であって該透孔と対応す
   る位置に配設されると共に、少なくとも発光部分が前記
   透孔内に進入して配設された発光ダイオードであること
   を特徴とする画像処理装置。
5. 【請求項５】 前記発光ダイオードの発光駆動回路を前
   記空間部内に配設したことを特徴とする請求項４記載の
   画像処理装置。
6. 【請求項６】 前記保持部が前記テーブルに対して着脱
   可能であることを特徴とする請求項４または５記載の画
   像処理装置。
7. 【請求項７】 前記透孔は透明部材により閉塞されてい
   ることを特徴とする請求項４、５または６記載の画像処
   理装置。
8. 【請求項８】 前記保持部には前記空間部と連通する貫
   通孔が設けられ、 前記テーブルには前記空間部内の空気を導出するための
   空気導出路が設けられていることを特徴とする請求項７
   記載の画像処理装置。
9. 【請求項９】 基台部と、 該基台部に対して所定の方向へ移動可能な請求項１、
   ２、３、４、５、６、７または８記載のテーブルと、 前記基台部上において該テーブルの移動方向へ平行、か
   つテーブルに対して線対称の位置に配設され、テーブル
   の移動を案内する１対のリニアガイドと、 一方の前記リニアガイドからの距離と他方のリニアガイ
   ドからの距離とが等しい位置に配設され、前記テーブル
   を前記移動方向へ移動させるための駆動手段とを具備す
   ることを特徴とする画像処理装置。