JPH0631738B2 - 流体式ｘｙテーブル - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、油圧、空圧等の流体圧（以下、「油圧」とい
う）を用いて作業テーブルをＸ軸、Ｙ軸方向に位置決め
する流体式ＸＹテーブルに関する。

〔従来の技術〕

一般に、工作機械、プレス成形機、トランスファマシ
ン、産業用ロボット等においては、Ｘ軸、Ｙ軸方向にワ
ークを位置決めするため、油圧式ＸＹテーブルが広く用
いられている。

ここで、従来のＸＹテーブルとして油圧式ＸＹテーブル
を例に挙げ、第７図に基づいて説明する。

即ち、従来の油圧式ＸＹテーブルは、上面側にＸ軸方向
に伸長する一対のガイドレール１０１，１０１が形成さ
れた固定台１０２と、該固定台１０２上をＸ軸方向に可
動に設けられ、下面側に該固定台１０２の各ガイドレー
ル１０１に案内される一対のガイド部１０３，１０３、
上面側にＹ軸方向に伸長する一対のガイドレール１０
４，１０４がそれぞれ形成されたＸ軸テーブル１０５
と、該Ｘ軸テーブル１０５畳にＹ軸方向に可動に設けら
れ、下面側に該Ｘ軸テーブル１０５の各ガイドレール１
０４に案内される一対のガイド部１０６，１０６が形成
されたＹ軸テーブル１０７と、前記固定台１０２のＸ軸
側面に設けられ、Ｘ軸テーブル１０５をＸ軸方向に摺動
変位せしめる油圧シリンダからなるＸ軸アクチュエータ
１０８と、Ｘ軸テーブル１０５のＹ軸側面に設けられ、
Ｙ軸テーブル１０７をＹ軸方向に摺動変位せしめるＹ軸
アクチュエータ１０９とから大略構成されている。

また、前記Ｘ軸アクチュエータ１０８には圧油を給排す
る配管１１０，１１１が接続され、Ｙ軸アクチュエータ
１０９には圧油を給排する配管１１２，１１３が接続さ
れている。そして、該各配管１１２，１１３は可撓性部
材によって形成されている。

なお、従来技術ではＸ軸アクチュエータ１０８，Ｙ軸ア
クチュエータ１０９を、油圧シリンダを用いた往復動ア
クチュエータとしたが、これらの代わりに油圧モータと
ボールねじとを組合せたロータリ式アクチュエータを用
いてもよい。

このように構成される従来技術の油圧式ＸＹテーブル
は、Ｘ軸アクチュエータ１０８を作動することによっ
て、Ｘ軸テーブル１０５，Ｙ軸テーブル１０７をＸ軸方
向に一体に動かし、Ｙ軸アクチュエータ１０９を作動す
ることによって、Ｙ軸テーブル１０７をＹ軸方向に動か
し、所望の位置に位置決めするようになっている。そし
て、油圧式ＸＹテーブルは駆動、制御媒体として圧油を
用いるものであるから、油圧源、油圧アクチュエータを
適宜に選択することにより、大型なＸＹテーブルにあっ
ても円滑に作動することができる。

また、昨今の油圧サーボ弁の進歩によって、５〜１０μ
ｍ程度の高精度な位置決めも可能となってきている。

〔発明が解決しようとする課題〕

ところが、従来技術によるＸＹテーブルは次のような欠
点がある。

第１に、固定台１０２と、該固定台１０２の上にＸ軸方
向に可動に設けられたＸ軸テーブル１０５と、該Ｘ軸テ
ーブル１０５上をＹ軸方向に可動に設けられたＹ軸テー
ブル１０７とを高さ方向に３段に重ねる構成となってお
り、その形状が複雑で、高さ寸法ｈも大となってしまう
という欠点がある。なお、この欠点は電動式ＸＹテーブ
ルについても同様である。

第２図に、Ｘ軸アクチュエータ１０８，Ｙ軸アクチュエ
ータ１０９として、油圧シリンダのピストンロッドを用
いてＸ軸テーブル１０５，Ｙ軸テーブル１０７を動かす
ものであり、しかも第１の欠点として述べたように固定
台１０２からＹ軸テーブル１０７までの高さ寸法ｈが大
となるから、該Ｙ軸テーブル１０７に回転モーメントが
発生し易く、横方向荷重（Ｘ方向，Ｙ方向の荷重）が加
わった場合に、位置決め精度が低下するという欠点があ
る。

第３に、Ｘ軸アクチュエータ１０８は固定台１０２の側
面に、Ｙ軸アクチュエータ１０９はＸ軸テーブル１０５
の側面にそれぞれ外付けで取付けられるものであるか
ら、これらのアクチュエータ１０８，１０９を取付ける
分だけ形状が大型化してしまう。しかも、Ｙ軸アクチュ
エータ１０９はＸ軸テーブル１０５に設けられるから、
油圧管路となる配管１１２，１１３はＸ軸テーブル１０
５の移動に追従させるために、可撓性の配管を使用しな
くてはならないという欠点がある。

さらに、アクチュエータとして油圧シリンダの代わり
に、油圧モータとボールねじからなるものを用いた場合
には、ボールとナツトとの間の遊びや、ボールねじの捩
ればね性で、位置制御誤差が生じ易いという欠点があ
る。

本発明はこのような従来技術の欠点に鑑みなされたもの
で、単一のシリンダブロック内にＸ軸，Ｙ軸アクチュエ
ータを組込むことによって、その形状を著しく小型，簡
略化し、回転モーメントの発生を防止し得ると共に、可
撓性の配管を廃止し得るようにした流体式ＸＹテーブル
を提供することを目的としている。

〔課題を解決するための手段〕 上述した課題を解決するために、本発明が採用する流体
式ＸＹテーブルは、ベースとなる固定台と、該固定台の
Ｘ軸方向に両端が固着され、軸方向にＹ軸用流体を給排
させる流体通路がそれぞれ穿設された少なくとも２本の
給排ロッドと、該各給排ロッドと並行に前記固定台のＸ
軸方向に両端が固着され、軸方向にＸ軸用流体を給排さ
せる流体通路がそれぞれ穿設されると共に、軸方向中間
にピストンを有する少なくとも２本のＸ軸ピストンロッ
ドと、前記固定台上に前記給排ロッド，Ｘ軸ピストンロ
ッドによってＸ軸方向に可動に配設されたシリンダブロ
ックと、該シリンダブロックのＸ軸方向に穿設され、前
記各給排ロッドをそれぞれ摺動案内する給排ロッド摺動
穴と、該各給排ロッド摺動穴と同軸に前記シリンダブロ
ックに形成され、前記各給排ロッドを介してＹ軸用流体
が給排される流体室と、前記シリンダブロックのＸ軸方
向に穿設され、前記各Ｘ軸ピストンロッドをそれぞれ摺
動案内するＸ軸ピストンロッド摺動穴と、該各Ｘ軸ピス
トンロッド摺動穴と同軸に前記シリンダブロック内に形
成され、前記各Ｘ軸ピストンロッドのピストンがそれぞ
れ挿嵌され、該各Ｘ軸ピストンロッドを介してＸ軸用流
体が給排されることにより、該各ピストンに対して該シ
リンダブロックをＸ軸方向に移動せしめるＸ軸シリンダ
と、前記シリンダブロック上にＹ軸方向に可動に配設さ
れた作業テーブルと、該作業テーブルのＹ軸方向に両端
が固着され、軸方向中間にピストンを有する少なくとも
１本のＹ軸ピストンロッドと、前記シリンダブロックの
Ｙ軸方向に穿設され、該Ｙ軸ピストンロッドを摺動案内
するＹ軸ピストンロッド摺動穴と、該Ｙ軸ピストンロッ
ド摺動穴と同軸に前記シリンダブロック内に形成され、
前記Ｙ軸ピストンロッドのピストンが挿嵌され、前記各
流体室を介してＹ軸用流体が給排されることにより、該
Ｙ軸ピストンロッドと一体に前記作業テーブルをＹ軸方
向に移動せしめるＹ軸シリンダとから構成したことにあ
る。

〔作 用〕

このように構成することにより、各Ｘ軸ピストンロッド
の流体通路からＸ軸シリンダにＸ軸用流体を給排する
と、Ｘ軸ピストンロッドのピストンに対してＸ軸シリン
ダが相対的に摺動し、該Ｘ軸シリンダを形成するシリン
ダブロックはＸ軸方向に変位する。また、各給排ロッド
の流体通路、シリンダブロックの流体室を介して、Ｙ軸
シリンダにＹ軸用流体を給排すると、該シリンダブロッ
クに対してＹ軸ピストンロッドがＹ軸方向に摺動し、該
Ｙ軸ピストンロッドと一体の作業テーブルはＹ軸方向に
変位し、該作業テーブル全体としてＸ軸、Ｙ軸方向に位
置決めされる。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を添付図面を参照しつつ、詳細に
説明する。

図面において、１はベースとなる固定台で、該固定台１
は基板部１Ａと、該基板部１ＡのＸ軸方向前，後端に上
側に折曲げるように形成されたエンドプレート１Ｂ，１
Ｃとから構成されている。そして、前側のエンドプレー
ト１Ｂにはその幅方向の両側にＹ軸右行用供給ポート
２、Ｙ軸左行用供給ポート３が設けられると共に、これ
らの間にはＸ軸前進用供給ポート４、Ｘ軸後退用供給ポ
ート５が設けられている。

６，７は固定台１の幅方向両側に位置して両端がエンド
プレート１Ｂ，１Ｃ間にＸ軸と並行となるように固着さ
れた２本の給排ロッドで、一方の給排ロッド６には軸方
向に油通路６Ａが穿設され、該油通路６Ａの一端はＹ軸
右行用供給ポート２と連通し、その軸方向中間には半径
方向の油穴６Ｂが穿設されている。また、他方の給排ロ
ッド７も軸方向に油通路７Ａが穿設され、該油通路７Ａ
の一端はＹ軸左行用供給ポート３と連通し、その軸方向
中間には半径方向に油穴7Bが穿設されている。

８，９は前記給排ロッド６，７に挟まれるように並列に
配設され、両端がエンドプレート１Ｂ，１Ｃ間に固着さ
れた２本のＸ軸ピストンロッドで、一方のＸ軸ピストン
ロッド８には軸方向中間にピストン８Ａが形成され、ま
たその軸方向には油通路８Ｂが穿設されて一端側がＸ軸
前進用供給ポート４と連通し、ピストン８Ａには後述の
油室17Ａに開口する油穴８Ｃが設けられている。また、
他方のＸ軸ピストンロッド９も軸方向中間にピストン９
Ａが形成され、軸方向には油通路９Ｂが穿設されて一端
側がＸ軸後退用供給ポート５と連通し、ピストン９Ａに
は後述の油室１８Ｂに開口油穴９Ｃが設けられている。

１０は直方体状に形成されたシリンダブロックで、該シ
リンダブロック１０は固定台１の基板部１Ａ上面側に配
設された、給排ロッド６，７とＸ軸ピストンロッド８，
９とによってＸ軸方向に案内されるようになっており、
また後述のＹ軸ピストンロッド２２を介して作業テーブ
ル２１をＹ軸方向に案内するようになっている。

ここで、１１，１１、１２，１２は前記シリンダブロッ
ク１０の下面側で、Ｘ軸方向両側に位置して給排ロッド
６，７と同一軸線となるようにそれぞれ穿設された給排
ロッド摺動穴で、該各摺動穴１１，１２は給排ロッド
６，７が摺動可能に挿通される。１３，１４は前記給排
ロッド摺動穴１１，１１、１２，１２との間に位置して
これらと同軸にシリンダブロック１０内に形成された油
圧室で、該各油圧室１３，１４は給排ロッド摺動穴１
１，１２よりも大径穴として穿設され、給排ロッド６，
７が挿嵌された状態では円環状油室として画成され、油
穴６Ｂ，７Ｂをそれぞれ介してＹ軸用圧油が給排され
る。

１５，１５、１６，１６は前記給排ロッド摺動穴１１，
１２と同一平面で、かつＸ軸ピストンロッド８，９と同
一軸線となるようにシリンダブロック１０に穿設された
Ｘ軸ピストンロッド摺動穴で、該各摺動穴１５，１６に
はＸ軸ピストンロッド８，９が摺動可能に挿通される。
１７，１８は前記Ｘ軸ピストンロッド摺動穴１５，１
５、１６，１６との間に位置してこれらと同軸にシリン
ダブロック１０内に形成されたＸ軸シリンダで、該各Ｘ
軸シリンダ１７，１８はピストン８Ａ，９Ａとほぼ同径
に形成され、該ピストン８Ａ，９Ａが摺動可能に挿嵌さ
れ、その内部を２つの油室１７Ａ，１７Ｂ、１８Ａ，１
８Ｂがそれぞれ画成している。ここで、これら油室１７
Ａと１８Ａはシリンダブロック１０に穿設した油路１９
を介して互いに連通すると共に、油室１７Ｂと１８Ｂと
は他の油路２０を介して互いに連通している。そして、
油室１７Ａは油穴８Ｃを介してＸ軸前進用供給ポート４
と連通し、油室１８Ｂは油穴９Ｃを介してＸ軸後退用供
給ポート５と連通している。

次に、２１は長板状に形成された作業テーブルで、該作
業テーブル２１はワーク取付板部２１Ａと、該ワーク取
付板部２１ＡのＹ軸方向前，後端に下側に折曲げるよう
に形成されたエンドプレート２１Ｂ，２１Ｃとから構成
されている。

２２，２２，２２は作業テーブル２１のエンドプレート
２１Ｂ，２１Ｃ間に位置してＹ軸と並行となるように固
着された３本のＹ軸ピストンロッドで、該各Ｙ軸ピスト
ンロッド２２の軸方向中間にピストン２２Ａが形成され
ている。

２３，２３，…はシリンダブロック１０の上面側で、Ｙ
軸方向両側に位置して各Ｙ軸ピストンロッド２２と同一
軸線となるように該シリンダブロック１０に穿設された
Ｙ軸ピストンロッド摺動穴で、該各摺動穴２３にはそれ
ぞれＹ軸ピストンロッド２２が摺動可能に挿通されてい
る。

２４，２４，２４は前記Ｙ軸ピストンロッド摺動穴２
３，２３間に位置してこれらと同軸にシリンダブロック
１０内に形成された３個のＹ軸シリンダで、該各Ｙ軸シ
リンダ２４はピストン２２Ａとほぼ同径に形成され、該
各ピストン２２Ａが摺動可能に挿嵌され、その内部を２
つの油室２４Ａ，２４Ｂにそれぞれ画成している。ここ
で、一方の油室２４Ａ，２４Ａ，２４Ａは油圧室１３と
対応する位置においてシリンダブロック１０内に穿設さ
れた上，下方向の油路２５，２５，２５をそれぞれ介し
て該油圧室１３と連通している。また、他方の油室２４
Ｂ，２４Ｂ，２４Ｂは同じく油圧室１４と対応する位置
においてシリンダブロック１０内に穿設された上，下方
向の油路２６，２６，２６を介して該油圧室１４と連通
している。

さらに、第６図において、２７は４ポート３位置のＸ軸
用電磁サーボ弁、２８は４ポート３位置のＹ軸用電磁サ
ーボ弁を示し、これら各サーボ弁２７，２８の一側は油
圧源２９、タンク３０と接続されている。また、Ｘ軸用
電磁サーボ弁２７の他側はＸ軸前進用供給ポート４、Ｘ
軸後退用供給ポート５と選択的に切換接続されるように
なっている。さらに、Ｙ軸用電磁サーボ弁２８の他側も
Ｙ軸右行用供給ポート２、Ｙ軸左行用供給ポート３と選
択的に切換接続される。なお、Ｘ軸用電磁サーボ弁２７
について、Ｘ軸前進切換位置を （イ）、Ｘ軸進退切換位置を（ロ）とし、Ｙ軸用電磁サ
ーボ弁２８について、Ｙ軸右行切換位置を （ハ）、Ｙ軸左行切換位置を（ニ）とする。

本実施例はこのように構成されるが、次にその作動につ
いて述べる。

いま、Ｘ軸用電磁サーボ弁２７を切換位置（イ）とする
と、Ｘ軸前進用供給ポート４に油圧源２９からの圧油が
供給され、Ｘ軸後退用供給ポート５はタンク３０と接続
される。この結果、Ｘ軸ピストンロッド８の油通路８
Ｂ、油穴８Ｃを介してＸ軸シリンダ１７の油室１７Ａに
圧油が供給されると共に、油路１９を介して他のＸ軸シ
リンダ１８の油室１８Ａにも圧油が供給される。一方、
Ｘ軸シリンダ１７，１８の油室１７Ｂ，１８Ｂは油路２
０を介して連通して、油室１８ＢはＸ軸ピストンロッド
９の油穴９Ｃ、油通路９Ｂを介してタンク３０と連通す
る。かくして、油室１７Ａ，18Ａと、油室１７Ｂ，１８
Ｂとの間の差圧により、シリンダブロック１０は給排ロ
ッド６，７、Ｘ軸ピストンロッド８，９に案内されつ
つ、Ｘ軸に沿って第３図中の右方向に前進し、所望位置
に位置決めされる。

また、Ｙ軸用電磁サーボ弁２８を切換位置（ハ）とする
と、Ｙ軸右行用供給ポート２に油圧源２９からの圧油が
供給され、Ｙ軸左行用供給ポート３はタンク３０と接続
される。この結果、給排ロッド６の油通路６Ａ、油穴６
Ｂ、油圧室１３、油路２５を介して各Ｙ軸シリンダ２４
の油室２４Ａに圧油が供給されると共に、他の各油室２
４Ｂは油路２６、油圧室１４、給排ロッド７の油穴７
Ｂ、油通路７Ａを介してタンク３０と連通する。かくし
て、油室２４Ａと２４Ｂとの間の差圧により、Ｙ軸ピス
トンロッド２２、作業テーブル２１は第５図中の右側に
右行し、所望位置に位置決めされる。

さらに、Ｘ軸用電磁サーボ弁２７を切換位置（ロ）とし
た場合には、前述と同様にシリンダブロック１０は後退
し、またＹ軸用電磁サーボ弁２８を切換位置（ニ）とし
た場合には、Ｙ軸ピストンロッド２２、作業テーブル２
１は左行する。

然るに、本実施例による流体式ＸＹテーブルにおいて
は、シリンダブロック１０内にＸ軸シリンダ１７，１８
とＹ軸シリンダ２４を形成する構成としたから、従来技
術のようにＸ軸アクチュエータ１０８およびＹ軸アクチ
ュエータ１０９を外側に取付ける必要がなくなり、外形
寸法を著しく小さくできる。また、固定台１に対する可
動部分は当該シリンダブロック１０と作業テーブル２１
の２部材となり、結果として２段重ねの構成とすること
ができると共に、従来技術で必要であったガイドレール
１０１，１０４およびガイド部１０３，１０６を廃止す
ることも可能となる。これにより、構成を簡単にできる
ばかりでなく、可動部分を少なくすることができ、従来
技術のＸＹテーブルに比べて高さ寸法を小さくすること
ができ、横方向荷重が作用しても固定台１と作業テーブ
ル２１間の回転モーメントの発生を防止することができ
る。

また、シリンダブロック１０は給排ロッド６，７とＸ軸
ピストンロッド８，９との４本のロッドでＸ軸方向に摺
動案内され、作業テーブル２１も３本のＹ軸ピストンロ
ッド２２でＹ軸方向に摺動案内されるものであるから、
動きを円滑としうる。

さらに、Ｘ軸シリンダ１７，１８、Ｙ軸シリンダ２４は
いずれもシリンダブロック１０内に形成され、Ｘ軸ピス
トンロッド８，９とＹ軸ピストンロッド２２はそれぞれ
シリンダブロック１０、作業テーブル２１の可動範囲の
みの長さとすることができるから、全体として極めてコ
ンパクトに構成することができる。

さらにまた、給排ロッド６，７、Ｘ軸ピストンロッド
８，９を介して圧油の給排を行なうものであるから、可
撓性の配管を使用する必要がなく、しかも各電磁ターボ
弁２７，２８を固定台１に直接取付けることも可能とな
り、配管レスのＸＹステージとすることができる。

なお、実施例ではＸ軸ピストンロッド８，９を２本とし
たが、右行または左行ピストンロッドのみを２本として
合計３本としてもよく、またダブルピストンロッドとし
て合計４本としてもよい。また、Ｙ軸ピストンロッド２
２は３本としたが、これを１本以上であれば何本として
もよい。

一方、各ピストンロッド８，９，２２と一体にピストン
８Ａ，９Ａ，２２Ａを形成する構成としたが、別体のピ
ストンをねじ、ナット等の手段で取付ける構成としても
よい。

一方、実施例では固定台１の基板部１Ａ上面にシリンダ
ブロック１０の下面を当接させ、該シリンダブロック１
０の上面に作業テーブル２１のワーク取付板部２１Ａ下
面を当接させるように図示したが、このように構成する
ことにより、互いの動きが安定するという利点がある。
しかし、本発明においては必ずしもこのように構成する
必要はなく、固定台１とシリンダブロック１０との間、
該シリンダブロック１０と作業テーブル２１との間を離
間させてもよい。

さらに、シリンダブロック１０にＸ軸シリンダ１７，１
８とＹ軸シリンダ２４とを直交させて設けるものとして
述べたが、Ｘ軸シリンダ１７，１８とＹ軸シリンダ２４
とを任意の角度で交叉させてもよいものである。また、
設置姿勢は図示の状態に限らず、例えばＹ軸ピストンロ
ッド２２が上，下に移動するように設置してもよいこと
は勿論である。

〔発明の効果〕

本発明に係る流体式ＸＹテーブルは以上詳細に述べた如
くであって、給排ロッドとＸ軸ピストンロッドを用いて
固定台に対してシリンダブロックをＸ軸方向に摺動案内
し、Ｙ軸ピストンロッドを用いてシリンダブロックに対
して作業テーブルをＹ軸方向に摺動案内する構成とした
から、単一のシリンダブロックにＸ軸シリンダとＹ軸シ
リンダを形成するのみでよく、可動部分の部品点数を少
なくでき、かつＸ軸、Ｙ軸のアクチュエータはシリンダ
ブロック内に実現されるものであるから、構成が極めて
簡略化され、さらに高さ寸法が小さく、給排ロッドとＸ
軸ピストンロッドでシリンダブロックを摺動案内するも
のであるから、回転モーメントの発生を防止し、位置決
め精度を高めることができる等の効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本実施例による油圧式ＸＹテーブルの外観斜視
図、第２図は第１図および第３図中のII−II矢示方向縦
断面図、第３図は第２図中のIII−III矢示方向横断面
図、第４図は第１図および第３図中のIV−IV矢示方向縦
断面図、第５図は第４図中のＶ−Ｖ矢示方向横断面図、
第６図は油圧回路図、第７図は従来技術による油圧式Ｘ
Ｙテーブルを示す斜視図である。 １……固定台、２，３，４，５……供給ポート、６，７
……給排ロッド、６Ａ，７Ａ……油通路、８，９……Ｘ
軸ピストンロッド、８Ａ，９Ａ……ピストン、８Ｂ，９
Ｂ……油通路、１０……シリンダブロック、１１，１２
……給排ロッド摺動穴、１３，14……油圧室（流体
室）、１５，１６……Ｘ軸ピストンロッド摺動穴、１
７，１８……Ｘ軸シリンダ、１９，２０……油路、２１
……作業テーブル、２２……Ｙ軸ピストンロッド、２３
……Ｙ軸ピストンロッド摺動穴、２４……Ｙ軸シリン
ダ、２５，２６……油路。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ベースとなる固定台と、 該固定台のＸ軸方向に両端が固着され、軸方向にＹ軸用
   流体を給排させる流体通路がそれぞれ穿設された少なく
   とも２本の給排ロッドと、 該各給排ロッドと平行に前記固定台のＸ軸方向に両端が
   固着され、軸方向にＸ軸用流体を給排させる流体通路が
   それぞれ穿設されると共に、軸方向中間にピストンを有
   する少なくとも２本のＸ軸ピストンロッドと、 前記固定台上に前記給排ロッド，Ｘ軸ピストンロッドに
   よってＸ軸方向に可動に配設されたシリンダブロック
   と、 該シリンダブロックのＸ軸方向に穿設され、前記各給排
   ロッドをそれぞれ摺動案内する給排ロッド摺動穴と、 該各給排ロッド摺動穴と同軸に前記シリンダブロックに
   形成され、前記各給排ロッドを介してＹ軸用流体が給排
   される流体室と、 前記シリンダブロックのＸ軸方向に穿設され、前記各Ｘ
   軸ピストンロッドをそれぞれ摺動案内するＸ軸ピストン
   ロッド摺動穴と、 該各Ｘ軸ピストンロッド摺動穴と同軸に前記シリンダブ
   ロック内に形成され、前記各Ｘ軸ピストンロッドのピス
   トンがそれぞれ挿嵌され、該各Ｘ軸ピストンロッドを介
   してＸ軸用流体が給排されることにより、該各ピストン
   に対して該シリンダブロックをＸ軸方向に移動せしめる
   Ｘ軸シリンダと、 前記シリンダブロック上にＹ軸方向に可動に配設された
   作業テーブルと、 該作業テーブルのＹ軸方向に両端が固着され、軸方向中
   間にピストンを有する少なくとも１本のＹ軸ピストンロ
   ッドと、 前記シリンダブロックのＹ軸方向に穿設され、該Ｙ軸ピ
   ストンロッドを摺動案内するＹ軸ピストンロッド摺動穴
   と、 該Ｙ軸ピストンロッド摺動穴と同軸に前記シリンダブロ
   ック内に形成され、前記Ｙ軸ピストンロッドのピストン
   が挿嵌され、前記各流体室を介してＹ軸用流体が給排さ
   れることにより、該Ｙ軸ピストンロッドと一体に前記作
   業テーブルをＹ軸方向に移動せしめるＹ軸シリンダと、
   から構成してなる流体式ＸＹテーブル。