JPS63312034A

JPS63312034A - スライド・テ−ブル装置

Info

Publication number: JPS63312034A
Application number: JP14979587A
Authority: JP
Inventors: Takeshi Kuroda; 武黒田; Tatsue Sawaguchi; 沢口　達栄
Original assignee: Kitagawa Iron Works Co Ltd
Current assignee: Kitagawa Iron Works Co Ltd
Priority date: 1987-06-15
Filing date: 1987-06-15
Publication date: 1988-12-20

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、主として工場の自動化の分野で利用されるス
ライド・テーブル装置に関する。

〔従来の技（ネｉ〕

スライド・テーブルが案内体に案内された状態で基台上
を駆動機構により摺動変位させられる構成のスライド・
テーブル装置は従来から在る。

ところが、この種のスライド・テーブル装置において、
スライド・テーブルの変位をロックするためのブレーキ
手段、及び（又は）同テーブルの変位位置を検出するた
めの位置検出手段が装置本体に対し有効且つコンパクト
に組み込まれているものは存在していなかったのである
。

〔発明が解決しようとする問題点〕

したがって、従来のスライド・テーブル装置では、ブレ
ーキ手段及び（又は）位置検出手段を必要とする場合、
別途にこれらの手段を付加しなければならないことが多
く、煩に耐えなかったのである。また従来、これらの手
段を、スライド・テーブル装置本体に対しコンパクトに
装設し且つ性能の良いものとすることは、非常に困難な
ことであったのである。

本発明は上記の問題点を解消させるためになされたもの
であり、スライド・テーブルのブレーキ手段及び（又は
）位置検出手段を装置本体にコンパクトに組み込んだも
のであってスライド・テーブルの位置固定を正確且つ強
力に行えると共にその位置検出を高精度に行えるスライ
ド・テーブル装置を提供することを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

前記問題点を解決するための手段を、実施例に対応する
第１図により説明する。

すなわち、第一の発明は、スライド・テーブル１０５が
案内体１０４．１０４に案内された状態で基台１０１上
を駆動機構１０６により摺動変位させられるスライド・
テーブル装置において、前記スライド・テーブル１０５
にナツト体１２８を固定すると共に、該ナツト体１２８
にはスライド、テーブル１０５の変位方向に並行し且つ
基台上０１に回動変位のみ自在に担持された螺子軸１２
９をボール螺子構造に螺合押通させ、さらに該螺子軸１
２９の回動を阻止するためのブレーキ装置１３０及び（
又は）同軸１２９の回転変位量を把握するための回転変
位検出装置１３８を設けたことを特徴とする。

第二の発明は、スライド・テーブル１０５が案内体１０
４．１０４に案内された状態で基台１０１上を駆動機構
１０６により摺動変位させられるスライド・テーブル装
置において、前記スライド・テーブル１０５にナット体
１２８を固定すると共に、該ナツト体１２８にはスライ
ド・テーブル１０５の変位方向に並行し且つ基台１０１
に回動変位のみ自在に担持された螺子軸１２９をボール
螺子構造に係合挿通させ、さらに該螺子軸１２９の回動
を阻止するためのブレーキ装置１３０及び（又は）同軸
の回転変位量を把握するための回転変位検出袋Ｗ１３８
を設けて成り、且つ前記駆動機構１０６が、複数の伸縮
駆動装置（流体圧シリンダ装置１０７．１０８）を並列
配置すると共に前記スライド・テーブル１０５のストロ
ークが各伸縮駆動装置（流体圧シリンダ装Ｗ１０７．１
０８）のストロークを加算したものとなるように前記複
数の伸縮駆動装置（流体圧シリンダ装置１０７．１０８
）を直列に連結した構成であることを特徴とする。

〔作用〕

スライド・テーブル１０５のブレーキ手段はナツト体１
２８、螺子軸１２９及びブレーキ装置１３０から成って
おり、スライド・テーブル１０５の変位に連動して回転
変位する螺子軸１２９がブレーキ装置１３０によりその
回転変位を阻止されることによって、スライド・テーブ
ル１０５はその変位をロックされる。

また同テーブル１０５の位置検出手段はナノ１〜体１２
８、螺子軸１２９及び回転変位検出装置１３８から成り
、スライド・テーブル１０５の変位に連動して回転変位
する螺子軸１２９がその回転変位量を回転変位検出装置
１３８により検出されることによって、スライド・テー
ブル１０５はその変位位置を検出される。

この場合、何れの手段にあっても、スライド・テーブル
１０５の変位を一旦、定位置で回転する螺子軸１２９の
回転に転換して、その回転をロックし或いはその回転の
変位量を検出するようにしたことから、両手段はスライ
ド・テーブル装置本体にコンパクトに装設することがで
きたのであるまた、ナツト体１２８と螺子軸１２９とは
ボール螺子構造であることから、螺子軸１２９のピッチ
を相当に小さく設定でき、そのためにスライド・テーブ
ル１０５の変位を大きな螺子軸１２９回転変位に転換す
ることが可能となり、スライド・テーブル１０５のロッ
クを正確且つ強力に行えると共にスライド・テーブル１
０５の位置検出を高精度に行えるのである。

以上の作用は第−及び第二の発明に共通する作用である
。

さらに第二の発明は、並列配置された複数の伸縮駆動装
置（流体圧シリンダ装置１０７．１０８）の伸縮変位（
ストローク）が加算されてスライド・テーブル１０５の
変位となる。したがって、装置がコンパクトになると同
時にスライド・テーブル１０５のストロークを任意な大
きさとすることが可能となる。また、各伸縮駆動装置（
流体圧シリンダ装置１０７．１０８）を選択的に或いは
同時に作動させることによりスライド・テーブル１０５
の変位速度を段階的に且つ一定速度に変更することが可
能となるのである。

〔実施例〕

以下本発明装置の具体的実施例について説明する。

第１図（ａ）（ｂ）は本発明装置の第一実施例を示す正
面図と平面図である。

図において、１０１は長方形の台板１０２と、これの両
端に起設された側Ｆｉ１０３．１０３とから成る基台で
ある。側板１０３．１０３に挟まれ、且つその比較的上
部には円柱状の案内体１０４．１０４が並行に架設され
ている。案内体１０４．１０４は、スライド・テーブル
１０５の下面に形成された図示しない案内穴に挿通され
ており、スライド・テーブル１０５を摺動変位自在に支
持する。

合板１０２上であって側板１０３．１０３の相互間には
伸縮駆動装置の一種である流体圧駆動機構１０６が配設
されている。この流体圧駆動機構１０６は複数の流体圧
シリンダ装置１０７．１０８を台板１０２上に積層配置
した構成であり、複数の流体圧シリンダ装置１０７．１
０Ｂは、前記スライド・テーブル１０５のストロークが
各流体圧シリンダ装置１０７．１０８のストロークを加
算したものとなるように直列に連結されて成る。

以下本例の流体圧駆動機構１０６についてさらに詳しく
説明する。

第一段（初段）の流体圧シリンダ装置１０７は、側板１
０３．１０３のそれぞれにロッド１１０の各端部を架設
固定し長手方向途中にピストン１０９を固設したロッド
１１０と、前記ピストンｌＯ９を包囲するシリンダ１１
１とから成っている、この装置ｆ１０７は複動式であり
ピストン１０９を境としてこれの両側には流体圧室１１
２．１１３が形成されると共に、ピストン１０９の各側
の受圧部面積を同一に設定しである。ロッド１１０には
、各流体圧室１１２．１１３に独立して開口する流体通
路１１４．１１５が各端部からピストン１０９へ向かっ
て穿孔されると共に、側板１０３．１０３にはこれら流
体通路１１４．１１５を延長するａ様に外部装置との連
絡口１１６．１１７が形成されている。この連絡口１１
６．１１７を通じて外部装置から圧力流体が給排される
ことにより、シリンダｉｌｌがピストンロッド１１０に
沿って左右に変位するのである。

第二段（最終段）の流体圧シリンダ装置１０８の固定は
、シリンダ１１１の一端面に固定された連結板１１８に
ロフト１１９の一端をボルト固定することにより形成さ
れている。この流体圧シリンダ装置１０８は前記流体圧
シリンダ装置１０７と並行で且つ上下に積層する関係に
あり、ロッド１１９と、これの中央位置に固定されたピ
ストン１２０と、このピストン１２０を包囲するシリン
ダ１２１とで構成されて成る。そして、前記流体圧シリ
ンダ装π１０７と同様に、シリンダ１２１の内方であっ
てピストン１２０の各側には流体圧室１２２．１２３が
形成され、且つピストン１２０各側の受圧部面積は同一
に設定されている。ロッド１１９の他端は、案内体１０
４．１０４及びロッド１１０により摺動変位自在に案内
されているところの支持板１２４に固定連結されており
、シリンダ１２１とロッド１１９との相対変位を抑制し
である。またロッド部分１１９ａには支持板１２４側か
らピストン１２０に向かって二つの流体通路１２５．１
２６が形成され、各流体室１２２．１２３にそれぞれ独
立して開口している。この流体通路１２５．１２６に対
し外部装置から圧力流体を給排することにより流体圧シ
リンダ装置１０Ｂのシリンダ１２１は図中左右に変位す
るのである。

以上からなる流体圧駆動機構１０６における第二段の流
体圧シリンダ装置１０８のシリンダ１２■とスライド・
テーブル１０５とが例えばボルト連結等により連結固定
されて成る。

なお本例の場合、各流体圧シリンダ装置１０７．１０８
の全ストロークを加算した数値は、スライド・テーブル
１０５が基台１０１の長手方向の略全範囲にわたって変
位し得るに足る大きさと成されている。

さらに本発明装置においては、上記構成のものに、スラ
イド・テーブル１０５の変位をロックするためのブレー
キ手段と、スライド・テーブル１０５の変位位置を検出
するための位置検出手段とが設けられている。

すなわち、ブレーキ手段はスライド・テーブル１０５に
案内体１０４．１０４に沿った態様で穿孔された貫通穴
１２７に嵌合固定されたナツト体１２８と、このナット
体１２８にボール螺子構造に係合挿通され且つ側板１０
３．１０３の相互間に渡って回動変位のみ自在に架設さ
れた螺子軸１２９と、一方の側板１０３の外方へ張り出
した前記螺子軸１２９の回転変位を阻止するブレーキ装
置１３０とから成る。前記ナツト体１２８は従来のボー
ル螺子構造のものと同様に、図示しない多数のボールと
、このボールが循環するための図示しない循環路とを具
備している。前記螺子軸１２９は前記ボールが係合する
ところの螺子溝を具備しており、この螺子溝は可及的に
ピッチの小さいものと成されている。前記ブレーキ装置
１３０は螺子軸１２９と同体回転する被動軸１３１に一
定範囲内の軸方向変位のみ自在に嵌合されたディスク１
３２と、これを吸着固定する電磁コイル１３３とで形成
されており、電磁コイル１３３は側板１０３に固定され
た軸支持ブロック１３４に中間板１３５を介してボルト
固定されている。前記軸支°持ブロック１３４の内方に
は空所が形成されてあって、この空所内に前記被動軸１
３１に形成されたカラア１３１ａを両側から挟み付ける
態様で二つの玉軸受１３６．１３７が装設されており、
この玉軸受１３６．１３７は被動軸１３１ひいては螺子
軸１２９のスラスト荷重及びラジアル荷重を負担する。

他方、位置検出手段は前記ナツト体１２８及び螺子軸１
２９に加え、さらに螺子軸１２９の回転変位量を検出す
るための回転変位検出装置１３８で主要部を構成されて
成る。回転変位検出装置１３８は本例ではロータリ・エ
ンコーダを用いており、これは前記ブレーキ装置１３０
のカバア体１３９に固定されてあって撓み継手１４０を
介して前記被動軸１３１の末端と固定されている。

上記の実施例装置の作用について説明する。二つの流体
圧シリンダ装置１０７．１０８が何れも図中左方に移動
しきった状態すなわちスライド・テーブル１０５が二点
鎖線の位置に在るとき、流体圧室１１２に流体通路１１
４等を通じて外部装置から圧力流体を供給する一方、他
方の圧力流体室１１３を、流体通路１１５を通じて排出
側に連通させるようにする。これにより、第一段の流体
圧シリンダ装置１０７のシリンダ１１１は右方に変位し
この変位が連結板１１８及び第二段の流体圧シリンダ装
置１０８を経てスライド・テーブル１０５に伝わりスラ
イド・テーブル１０５はシリンダ１２１と同一速度で変
位する。シリンダ１１１が右方に変位しきった状態では
スライド・テーブル１０５は基台１０１の略中央に位置
することになる。このスライド・テーブル１０５をさら
に右方に変位させるには、外部装置から流体圧室１２３
に圧力流体を流体通路１２６を通じて外部装置から前述
同様に供給する。この間、流体圧室１２２は流体通路１
２５を通じて排出側に連通させられている。これにより
第二段の流体圧シリンダ装置１０８のシリンダ１２１が
右方に変位し、これと同体にスライド・テーブル１０５
が変位する。シリンダ１２１が変位しきった状態ではス
ライド・テーブル１０５は図中実線の位置に停止するこ
とになる。

上述とは逆に、スライド・テーブル１０５を左方に摺動
変位させる場合には、各部を上記と逆に作動させるよう
にする。

ここにおいて、各流体圧シリンダ装置１０７．１０８の
ピストン１０９．１２０の受圧部面積が同一であること
から、流体ともて例えば油を使用するような場合、スラ
イド・テーブル１０５の全ストローク範囲中、同一流量
で油を流体圧シリンダ装置１０７．１０８に供給しつづ
けるようにすれば、スライド・テーブル１０５は全スト
ローク範囲で一定速度で変位する。また二つの流体圧シ
リンダ装置１０７及び１０８にそれぞれ同一流量で同時
に油を供給したような場合には、単一の流体圧シリンダ
装置１０７又は１０Ｂに供給した場合に対しスライド・
テーブル１０５は正確な二倍の速度で変位することにな
る。そして、このことは各流体通路１１４．１１５．１
２５．１２６の開閉のみでスライド・テーブル１０５の
変位速度を簡便かつ正確に、しかも大きく変更させ得る
ことを意味する。

また、固定状のロッド１１０に穿孔した流体通路１１４
．１１５から流体圧室１１２．１１３に対し圧力流体を
給排させることから、シリンダ１１１等の可動部分に可
撓性の圧力流体給排管を連結する必要がなくなり、この
ために前記給排管の損傷を抑制できると共に安全性を高
めることができる。

以上はスライド・テーブル１０５を変位させる場合の作
用であるが、次はスライド・テーブル１０５の位置をロ
ックする場合、及びスライド・テーブル１０５の変位位
置を検出する場合の作用を述べる。

いま、スライド・テーブル１０５が変位すると、ナツト
体１２８にボール螺子構造を介して係合する螺子軸１２
９が効率良く強制回転させられ、この回転が被動軸１３
１に伝達されることから、被動軸１３１はス、ライド・
テーブル１０５の変位に連動して強制回転させられるこ
とになる。この伏態下で図示しない外部の制御装置によ
り電磁コイル１３３を励磁すると、ディスク１３２が電
磁コイル１３３に吸着固定されて、スライド・テーブル
ｌＯ５の変位はロックされるのである。この場合、螺子
軸１２９の螺子溝のピッチが可及的に小さく設定されて
いることから、被動軸１３１はスライド・テーブル１０
５の一定変位に対して可及的に大きな回転変位に転換さ
れる。そして、この回転変位がロックされるものである
から、スライド・テーブル１０は一定位置に正確且つ強
力にロックされることになる。

また、スライド・テーブル１０５の変位に伴う螺子軸１
２９の回転は撓み継手１４０を介してロータリ・エンコ
ーダ１３８に伝達されることになり、これがためにロー
タリ・エンコーダ１３８は螺子軸１２９の回転変位量に
相当する数のパルスを発生する。このパルスは図示しな
い外部のマイクロ・コンピユータ等の演算処理装置に伝
達され　　　　。

て演算処理され、スライド・テーブル１０５の変位位置
が検出される。この場合、スライド・テーブル１０５の
変位は可及的に大きな回転変位に転換されることから、
その位置検出も精密になされるのである。前記演算処理
装置を前記制御装置と関連させた構成とすれば、前記制
御装置に適宜な入力情報を与えることにより前記制御装
置、演算処理装置及びブレーキ手段を介してスライド・
テーブル１０５を任意位置にロックすることが可能にな
るのである。

本例では各流体圧シリンダ装２１０７．１０Ｂを上下に
積層配置したものを示したが、第２図に示すように水平
配置することも可能である。同図（ａ）は平面図、同図
（ｂ）は正面図である。かかる構成とすれば、螺子軸１
２９の存在により高くなりがちな装置の高さを大幅に減
少させ得る利点がある。

なお、スライド・テーブル１０５の変位速度が変動する
ことを許容し得る場合には、第１図（ａ）において第二
段の流体圧シリンダ装置１０８のピストン１２０の右側
に位置するロッド１１９ａや、支持板１２４等を省略し
、且つ流体通路１２５．１２６に代わる流体路を別の位
置に設けた構成とすることは自由である。

第３図は本発明装置の第二実施例を示し、（ａ）はスラ
イド・テーブル１０５が最左端に変位した状態を示す図
、（ｂ）はスライド・テーブル１゜０５が最右端に変位
した状態を示す図である０図において、流体圧駆動機構
１０６は初段の流体圧シリンダ装置１０７、中段の流体
圧シリンダ装置３０１、そして最終段の流体圧シリンダ
装置１０８で構成されており、最終段の流体圧シリンダ
装置１０８にスライド・テーブル１０５が連結固定され
ている。そして前述同様に、このスライド・テーブル１
０５に貫通穴１２７が形成されると共にこの貫通穴１２
７の一端にナツト体１２８が固定され、且つ側板１０３
．１０３等により回転変位のみ自在に装設された螺子軸
１２９がナツト体１２８に対しボール螺子構造により螺
合押通されると共に一方の側板１０３に対してブレーキ
装置１３０及び回転変位検出装置１３８が固定されてい
る。前記流体圧シリンダ装置１０７．１０８．３０１は
基台１０１上にあって側板１０３．１０３間に積層配置
され、下段に位置する流体圧シリンダ装置のシリンダと
、上段に位置する流体圧シリンダ装置のピストンとを一
体連結した態様で直列に連結されており、且つ初段の流
体圧シリンダ装置１０７はそのロッド１１０を基台１０
１に固定される一方、最終段の流体圧シリンダ装置１０
８はシリンダ１２１をスライド・テーブル１０５に固定
連結されて成る。なお前記中段の流体圧シリンダ装置３
０１の数は一個に限られるものではなく、必要に応じて
任意に決定することができるこのように、流体圧シリン
ダ装置１０７．１゜８．３０１を複数設けることにより
、任意長さの基台１０１であってもほぼ基台１０１の全
長に渡ってスライド・テーブル１０５を変位させること
が可能となり、また、かかる装置であっても先の実施例
と同様にスライド・テーブル１０５を正確且つ強力にロ
ックできると共にその位置を精密に検出することができ
るのである。

また第４図は本発明の第二実施例を示し、複数の流体圧
シリンダ装置１０７．１０８．３０１の連結態様を変更
したものである。同図（ａ）はスライド・テーブル１０
５が最左端に変位した状態を示しており、同図（ｂ）は
スライド・テーブル１０５が最右端に変位した状態を示
している。本例においても第一実施例と同様に、前記し
たナツト体１２８がスライド・テーブル１０５と同体に
固定されていると共にこのナツト体１２８に対して螺子
軸１２９がボール螺子構造に螺合押通されており、且つ
螺子軸１２９は側板１０３．１０３により回転のみ自在
に支持されていると共に一方の側板１０３に対してはブ
レーキ装置１３０及び回転変位検出装置１３８が固定さ
れている。このようにすれば、スライド・テーブル１０
５と固定連結される流体圧シリンダ装置１０８が中央に
位置することから螺子軸１２９、ブレーキ装置１３０及
び回転変位検出装置１３８等を含む装置全体のバランス
に優れる。

なお、周囲の状況により複数の流体圧シリンダ装置１０
７．１０８．３０１を上記のように連結できないときは
例えば第５図のような構成としても差し支えない、同図
（ａ）はスライド・テーブル１０５が最左端に変位した
状態を示しており、同図（ｂ）はスライド・テーブル１
０５が最右端に変位した状態を示している。

第６図は本発明装置の第三実施例を示し、（ａ）は平面
図、（ｂ）は一部断面正面図である。これが第２図のも
のと相違するところは、第２図に示す流体圧駆動機構１
０６を構成する二つの流体圧シリンダ装置１０７．１０
８の配列にある。すなわち、本例のものは、ピストン１
０９とシリンダ１１１から成っている第２図に示す流体
圧シリンダ装置１０７に相当するところの一つの流体圧
シリンダ装置６０１と、ピストン１２０とシリンダ１２
１から成っている第２図に示す流体圧シリンダ装置１０
Ｂに相当するところの他の流体圧シリンダ装置６０２と
を、共通のロッド６０３により直列に連結しである。そ
して、ロッドロ０３には二つの独立した流体通路６０４
．６０５が穿孔されている。一方の流体通路６０４は流
体圧室１１２と流体圧室１２３とを連通しており、他方
の流体通路６０５は流体圧室１１３と流体圧室１２２と
を連通している。６０６は流体圧室１１２に連通する流
体供排路、６０７は流体圧室１１３に連通する流体供排
路である。ナツト体１２８、螺子軸１２９、ブレーキ装
置１３０および回転変位検出装置１３８については、第
一実施例のものと変わらない。

いま第６図において流体供排路６０６から圧力流体を供
給すると、圧力流体は流体圧室１１２内に流入してピス
トン１０９を図中右方に変位させ、且つ流体通路６０４
を経て流体圧室１２３にも流入しシリンダ１２１を図中
右方に変位させる。

ピストン１０９の変位中、流体圧室１１３内の流体は流
体供排路６０７を通じて外部に流出し、またシリンダ１
２１の変位中、流体圧室１２２内の流体は流体通路６０
５及び流体供排路６０７を通　　　　゛じて外部に流出
する。これにより、スライド・テーブル１０５は各流体
圧シリンダ装Ｗ６０１．６０２の伸長距離を加算した量
だけ図中右方に変位することになる。

他方、上記とは逆に流体供排路６０７から圧力流体を供
給すると、上記とは対称な作動によりスライド・テーブ
ル１０５は各流体圧シリンダ装置６０１．６０２の伸長
距離を加算した量だけ図中左方に変位することになる。

なお、図中二点鎖線はスライド・テーブル１０５が最左
端に変位した状態を示す。

本例によれば、各流体圧シリンダ装置６０１．６０２の
連結構成が簡易となるのである。

第７図は第四実施例を示す平面図と正面図であり、この
ものが第２図のものと相違するところは、第２図に示す
各流体圧シリンダ装置１０７．１−　０８を送り螺子式
駆動装置７０１．７０２で置換した点にある。ナツト体
１２Ｂ、螺子軸１２９、ブレーキ装置１３０および回転
変位検出装置１３８については、第一実施例のものと変
わらない。

各送り螺子式駆動装置７０１．７０２はナット体７０３
．７０４に螺合した送り螺子７０５．７０６をモータ７
０７．７０８により回転駆動され、これにより各装置７
０１，７０２の全長が伸縮するものであり、この伸縮変
位量が加算されてスライド・テーブル１０５の変位量と
なる。

なお図中、同一機能を４奏する部位には同一符号を付し
である。

〔発明の効果〕

以上から明らかなように第一の発明によれば、スライド
・テーブル１０５の変位を一旦、螺子軸１２９の回転変
位に転換し、その回転変位を阻止したり検出したりする
構成であることから、スライド・テーブル１０５の位置
をロックするためのブレーキ手段と、同テーブル１０５
の変位位置を検出するための位置検出手段とをスライド
・テーブル装置本体にコンパクトな構成で一体的に組み
込むことが可能となるのであり、またボール螺子構造を
採用したことから、スライド・テーブル１０５の正確且
つ強力なロックが可能となると共にスライド・テーブル
１０５の精密な位置検出が可能となるのである。

さらに第二の発明によれば、第一の発明の効果に加えて
、スライド・テーブル１０５のストロークに比較して装
置がコンパクト化すると共にスライド・テーブル１０５
のストロークを任意に設定することが可能となり、また
各伸縮駆動装置（流体圧シリンダ装置１０７．１０８又
は送り螺子式駆動装置７０１．７０２）を選択的に或い
は同時に作動させることによりスライド・テーブル１゜
５の変位速度を段階的に且つ一定速度に変更することが
可能となるのである。

【図面の簡単な説明】

図は本発明装置を示し、第１図（ａ）（ｂ）は第一実施
例の正面図と平面図、第２図（ａ）　　（ｂ）はそれぞ
れ第一実施例の変形例を示す平面図と正面図、第３図（
ａ）（ｂ）はそれぞれ第二実施例の正面視状態説明図、
第４図（ａ）（ｂ）はそれぞれ第二実施例の変形例を示
す正面視状態説明図、第５図（ａ）（ｂ）はそれぞれ第
二実施例の変形例を示す正面視状態説明図、第６図は第
三実施例を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は一部断面正
面図、第７図は第四実施例を示す平面図と正面図である
。（符号）１０１・・・基台１０４・・・案内体１０５・・・スライド・テーブル１０６・・・駆動機構１０７．１０８．６０１．６０２・・・流体圧シリンダ
装置１０９．１２０・・・ピストン１１１．１２１・・・シリンダ１１０・・・ロッド１１２．１１３．１２２．１２３・・・流体圧室１１４
．１１５．１２５．１２６・・・流体通路１２８・・・
ナツト体１２９・・・螺子軸１３０・・・ブレーキ装置１３８・・・回転変位検出装置

Claims

【特許請求の範囲】１　スライド・テーブルが案内体に案内された状態で基
台上を駆動機構により摺動変位させられるスライド・テ
ーブル装置において、前記スライド・テーブルにナット
体を固定すると共に、該ナット体にはスライド・テーブ
ルの変位方向に並行し且つ基台に回動変位のみ自在に担
持された螺子軸をボール螺子構造に係合挿通させ、さら
に該螺子軸の回動を阻止するためのブレーキ装置及び（
又は）同軸の回転変位量を把握するための回転変位検出
装置を設けたことを特徴とするスライド・テーブル装置
。２　スライド・テーブルが案内体に案内された状態で基
台上を駆動機構により摺動変位させられるスライド・テ
ーブル装置において、前記スライド・テーブルにナット
体を固定すると共に、該ナット体にはスライド・テーブ
ルの変位方向に並行し且つ基台に回動変位のみ自在に担
持された螺子軸をボール螺子構造に係合挿通させ、さら
に該螺子軸の回動を阻止するためのブレーキ装置及び（
又は）同軸の回転変位量を把握するための回転変位検出
装置を設けて成り、且つ前記駆動機構が、複数の伸縮駆
動装置を並列配置すると共に前記スライド・テーブルの
ストロークが各伸縮駆動装置のストロークを加算したも
のとなるように前記複数の伸縮駆動装置を直列に連結し
た構成であることを特徴とするスライド・テーブル装置
。３　前記伸縮駆動装置が流体圧シリンダ装置であること
を特徴とする特許請求の範囲第２項記載のスライド・テ
ーブル装置。４　前記伸縮駆動装置が送り螺子式駆動装置であること
を特徴とする特許請求の範囲第２項記載のスライド・テ
ーブル装置。５　前記複数の流体圧シリンダ装置のうち、初段の流体
圧シリンダ装置の各流体圧室が、ロッドに独立して穿孔
された圧力流体給排用の流体通路を有して成ることを特
徴とする特許請求の範囲第２項記載のスライド・テーブ
ル装置。