JPH0631718Y2 - Boat carrier - Google Patents
Boat carrierInfo
- Publication number
- JPH0631718Y2 JPH0631718Y2 JP1987095718U JP9571887U JPH0631718Y2 JP H0631718 Y2 JPH0631718 Y2 JP H0631718Y2 JP 1987095718 U JP1987095718 U JP 1987095718U JP 9571887 U JP9571887 U JP 9571887U JP H0631718 Y2 JPH0631718 Y2 JP H0631718Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- boat
- tube
- wafer
- seal plate
- notch
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
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Description
【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 この考案は、半導体製造に用いるボート搬送装置に関す
るものであり、特に、チューブの長手方向切欠部にウエ
ハを載置したボートを出し入れするボート搬送装置に関
するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a boat transfer device used for semiconductor manufacturing, and more particularly to a boat transfer device for loading and unloading a boat on which a wafer is placed in a longitudinal cutout portion of a tube. It is a thing.
従来の技術 ウエハを熱処理する場合には、拡散炉にウエハを載置し
たボートを挿入して行うが、この方法では、熱処理後ボ
ートを引き出すと、ウエハが空気中の酸素に接触し、酸
化してしまうことがある上、炉を加熱するヒータからの
不純物が石英管を透過して管内に入り込み、ウエハを汚
染してしまうおそれがある。Conventional technology When heat-treating a wafer, the boat with the wafer placed is inserted into a diffusion furnace.In this method, when the boat is pulled out after the heat-treatment, the wafer comes into contact with oxygen in the air and is oxidized. In addition, the impurities from the heater for heating the furnace may pass through the quartz tube and enter the tube to contaminate the wafer.
そこで、近年、第４図、第５図に示す様に、拡散炉のチ
ューブ１内にウエハ２を収容したチューブ（アトモスキ
ャンチューブともいう）３を挿入して該ウエハ２の熱処
理を行い、その後チューブ３内に窒素Ｎ２を注入し、ウ
エハ２を冷却しながらチューブ３を引き出している。
（アメリカ特許第4,543,059号参照） また、チューブの長手方向切欠部にボートを載置し、炉
内に挿入する装置としては、実開昭６０−７８１３７が
ある。Therefore, in recent years, as shown in FIG. 4 and FIG. 5, a tube (also referred to as an atomoskan tube) 3 accommodating a wafer 2 is inserted into a tube 1 of a diffusion furnace to heat-treat the wafer 2, and then, Nitrogen N 2 is injected into the tube 3, and the tube 3 is pulled out while cooling the wafer 2.
(See U.S. Pat. No. 4,543,059) As a device for placing a boat in the notch in the longitudinal direction of the tube and inserting the boat into the furnace, there is Shoukai 60-78137.
考案が解決しようとする問題点 従来例のボート搬送装置では、ウエハ２は、断面円弧状
ボート４に載置され、又、このボート４はチューブ３の
長手方向切欠部５にセットされるが、このセット作業を
作業者の手により行う場合には、ボート４の先端部４ａ
と切欠部の奥端面５ａとが気密に接触するように調整す
る事ができる。Problems to be Solved by the Invention In the conventional boat transfer apparatus, the wafer 2 is placed on the boat 4 having an arcuate cross section, and the boat 4 is set in the longitudinal notch 5 of the tube 3. When this setting work is performed by the operator's hand, the tip portion 4a of the boat 4 is
It is possible to adjust so that the rear end surface 5a of the notch and the notch contact airtightly.
しかし、このセット作業には、多くの時間と労力を必要
とするので、該装置の稼働率が良くない上、人間はウエ
ハの嫌うゴミの発生源であるので、人間の手でセット作
業を行うのは、好ましいことではない。However, since this set work requires a lot of time and labor, the operating rate of the device is not good, and the set work is performed by human hands because it is a source of dust that humans dislike. Is not preferred.
そこで、ボートを自動的にセットするシステムが開発さ
れている。Therefore, a system for automatically setting the boat has been developed.
しかし、このシステムでは、ボート４の位置合わせが困
難で、なかなかボート４の先端面４ａと切欠部の奥端面
５ａとを気密に接触させることは難しい。However, in this system, it is difficult to align the boat 4, and it is difficult to make the tip end surface 4a of the boat 4 and the rear end surface 5a of the cutout contact airtight.
即ち、ボートの先端が、切欠部のボート５ａを越えてチ
ューブ３の内周面上に乗り上げたり又は、ボート４の先
端が、切欠部の奥壁と離れた位置で停止したりして、ボ
ート４と切欠部５との間に隙間が生じることがある。That is, the tip of the boat rides over the inner peripheral surface of the tube 3 beyond the boat 5a in the cutout portion, or the tip of the boat 4 stops at a position separated from the inner wall of the cutout portion, There may be a gap between the notch 4 and the notch 5.
そのため、この隙間から空気がチューブ３内に巻き込ま
れ、加熱されたウエハと接触して、ウエハを酸化させて
しまう。Therefore, air is drawn into the tube 3 through this gap and comes into contact with the heated wafer to oxidize the wafer.
この考案は、上記事情に鑑み、チューブ内に空気が巻き
込まれるのを防止することを目的とする。In view of the above circumstances, the present invention aims to prevent air from being caught in the tube.
なお、第４図において、６は蓋、矢印は、ガスの流れ方
向を示す。In FIG. 4, 6 indicates a lid and arrows indicate the gas flow direction.
問題点を解決するための手段 この考案は、チューブの長手方向切欠部により断面円弧
状のボートを出し入れするボート搬送装置において、前
記ボートの外径を該チューブの内径より小さく形成し、
該ボートの先端部に前記チューブの内径と等しい外径の
円弧状シール板を該ボートと該シール板との境界部に隙
間が生じないように設けたことを特徴とするボート搬送
装置、により前記目的を達成しようとするものである。Means for Solving the Problems The present invention is directed to a boat transporting device for loading and unloading a boat having an arc-shaped cross section by a longitudinal cutout portion of the tube, wherein an outer diameter of the boat is formed smaller than an inner diameter of the tube,
A boat transfer device, characterized in that an arcuate seal plate having an outer diameter equal to the inner diameter of the tube is provided at the tip of the boat so that no gap is formed at the boundary between the boat and the seal plate. It is an attempt to achieve the purpose.
作用 ボートにウエハを載置し、該ボートをチューブの長手方
向切欠部に向かって挿入すると、ボートの先端部にある
シール板の外周面は、チューブの長手方向切欠部より奥
に位置する内周面と面接触し、切欠部は、完全にシール
される。Action When a wafer is placed on the boat and the boat is inserted toward the longitudinal cutout portion of the tube, the outer peripheral surface of the seal plate at the tip of the boat has an inner periphery located deeper than the longitudinal cutout portion of the tube. With face-to-face contact, the notch is completely sealed.
実施例 この考案の実施例を添付図面により説明すると、１０
は、図示しない拡散炉に挿入されるチューブ（アトモス
キャンチューブともいう）でこのチューブ１０には、長
方形状の長手方向切欠部１１が形成されている。Embodiment An embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
Is a tube (also referred to as an atomoskan tube) to be inserted into a diffusion furnace (not shown). The tube 10 has a rectangular notch 11 formed in the longitudinal direction.
１２は、外側半径、即ち、外径ｒｂの断面円弧状ボート
で、その先端部１２ｂには、外側半径、即ち、外径ｒａ
の瓦状シール板１３が設けられている。Reference numeral 12 denotes an outer radius, that is, a boat having an arcuate cross section having an outer diameter rb.
The roof tile-shaped seal plate 13 is provided.
このシール板１３とボート１２との境界部１４は、隙間
が生じないようにシールされている。A boundary portion 14 between the seal plate 13 and the boat 12 is sealed so that no gap is created.
次に、この実施例の作動につき説明する。Next, the operation of this embodiment will be described.
ボート１２に複数枚、例えば、１００枚のウエハＷを載
置した後、ボートの外周面１２ａ及びシール板の外周面
１３ａが、切欠部１１の側壁１１ａと接触しないように
しながら、該ボート１２をチューブ１０の長手方向切欠
部１１に向かって挿入する。After mounting a plurality of wafers W, for example, 100 wafers W on the boat 12, the outer peripheral surface 12a of the boat and the outer peripheral surface 13a of the seal plate are prevented from coming into contact with the side wall 11a of the cutout portion 11 while the boat 12 is mounted on the boat 12. Insert the tube 10 towards the longitudinal notch 11.
そして、ボート１２が、切欠部１１の奥まで達した所
で、該ボート１２をチューブ１０内におろす。Then, when the boat 12 reaches the depth of the notch 11, the boat 12 is lowered into the tube 10.
この時、ボートの先端１２ｂは、切欠部の奥壁１１ｂ付
近に位置するが、シール板１３の先端部１３ｂは、切欠
部の奥壁１１ｂを越えて更に奥の方に位置しシール板の
外周面１３ａとチューブの内周面１０ａは、互いに面接
触する。At this time, the tip 12b of the boat is located near the back wall 11b of the cutout portion, but the tip end 13b of the seal plate 13 is located further back beyond the back wall 11b of the cutout portion and the outer periphery of the seal plate. The surface 13a and the inner peripheral surface 10a of the tube are in surface contact with each other.
そのため、ボートの先端１２ｂと切欠部の奥壁１１ｂと
の間に生じた隙間Ｓは、シール板１３により完全にシー
ルされる。Therefore, the gap S formed between the tip 12b of the boat and the inner wall 11b of the notch is completely sealed by the seal plate 13.
この状態で、図示しない拡散炉にチューブ１０を挿入し
てウエハＷを熱処理し、その後、該チューブ内に窒素Ｎ
２を注入し、ウエハＷを冷却しながらチューブ１０を拡
散炉から引き出すと共にボート１２をチューブ１０から
抜き出す。In this state, the tube W is heat-treated by inserting the tube 10 into a diffusion furnace (not shown), and then the nitrogen N
2 , while cooling the wafer W, the tube 10 is pulled out from the diffusion furnace and the boat 12 is pulled out from the tube 10.
考案の効果 この考案は、以上のようにボートの先端部にあるシール
板の外周面がチューブの長手方向切欠部より奥に位置す
る内周面と面接触するため、ウエハ冷却中に空気を巻き
込むことがないので、ウエハの酸化を防止する事が出来
る。Effect of the Invention According to the invention, as described above, since the outer peripheral surface of the seal plate at the tip of the boat makes surface contact with the inner peripheral surface located deeper than the longitudinal notch of the tube, air is trapped during wafer cooling. Since it does not occur, the oxidation of the wafer can be prevented.
また、この考案では、ボートとチューブとの間に隙間を
生じさせずにボートをセットできる範囲を広くできるの
で、自動でボートをセットするシステムには、好適なも
のとなる。Further, according to the present invention, the range in which the boat can be set can be widened without creating a gap between the boat and the tube, which is suitable for a system for automatically setting the boat.
第１図〜第３図は、この考案の実施例を示す図で、第１
図は、チューブとボートを示す斜視図、第２図は、チュ
ーブ内にボートをセットした状態を示す正面図、第３図
は、第２図のIII−III線断面図、第４図、第５図は従来
例を示す図で、第５図は第４図のIV−IV線断面図の一部
を示す図である。 １０……チューブ １１……長手方向切欠部 １２……ボート1 to 3 are views showing an embodiment of the present invention.
The figure is a perspective view showing a tube and a boat, FIG. 2 is a front view showing a state where the boat is set in the tube, FIG. 3 is a sectional view taken along line III-III of FIG. 2, FIG. FIG. 5 is a diagram showing a conventional example, and FIG. 5 is a diagram showing a part of a sectional view taken along line IV-IV in FIG. 10 ... Tube 11 ... Longitudinal notch 12 ... Boat
Claims (1)
状のボートを出し入れするボート搬送装置において、前
記ボートの外径を該チューブの内径より小さく形成し、
該ボートの先端部に前記チューブの内径と等しい外径の
円弧状シール板を該ボートと該シール板との境界部に隙
間が生じないように設けたことを特徴とするボート搬送
装置。1. A boat transporting device for loading and unloading a boat having an arcuate cross section by a longitudinal notch of the tube, wherein the boat has an outer diameter smaller than an inner diameter of the tube.
A boat transporting device, wherein an arcuate seal plate having an outer diameter equal to the inner diameter of the tube is provided at the tip of the boat so that no gap is formed at the boundary between the boat and the seal plate.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987095718U JPH0631718Y2 (en) | 1987-06-22 | 1987-06-22 | Boat carrier |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987095718U JPH0631718Y2 (en) | 1987-06-22 | 1987-06-22 | Boat carrier |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS64327U JPS64327U (en) | 1989-01-05 |
| JPH0631718Y2 true JPH0631718Y2 (en) | 1994-08-22 |
Family
ID=30960599
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987095718U Expired - Lifetime JPH0631718Y2 (en) | 1987-06-22 | 1987-06-22 | Boat carrier |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0631718Y2 (en) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4543059A (en) * | 1984-07-18 | 1985-09-24 | Quartz Engineering & Materials, Inc. | Slotted cantilever diffusion tube system and method and apparatus for loading |
-
1987
- 1987-06-22 JP JP1987095718U patent/JPH0631718Y2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS64327U (en) | 1989-01-05 |
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