JPH06305762A - Burner for producing optical fiber preform and manufacture of the same - Google Patents

Burner for producing optical fiber preform and manufacture of the same

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JPH06305762A
JPH06305762A JP12033893A JP12033893A JPH06305762A JP H06305762 A JPH06305762 A JP H06305762A JP 12033893 A JP12033893 A JP 12033893A JP 12033893 A JP12033893 A JP 12033893A JP H06305762 A JPH06305762 A JP H06305762A
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JP
Japan
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burner
layer
optical fiber
fiber preform
seal gas
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JP12033893A
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Japanese (ja)
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Shigetoshi Yamada
成敏 山田
Shinichi Nakayama
真一 中山
Koichi Takahashi
浩一 高橋
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Fujikura Ltd
Original Assignee
Fujikura Ltd
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Publication date
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/01413Reactant delivery systems
    • C03B37/0142Reactant deposition burners
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2207/00Glass deposition burners
    • C03B2207/04Multi-nested ports
    • C03B2207/06Concentric circular ports
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2207/00Glass deposition burners
    • C03B2207/04Multi-nested ports
    • C03B2207/10Split ports
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    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2207/00Glass deposition burners
    • C03B2207/20Specific substances in specified ports, e.g. all gas flows specified
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    • C03B2207/20Specific substances in specified ports, e.g. all gas flows specified
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  • Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)

Abstract

PURPOSE:To control the refractive index distribution of the outside deposited part of the optical fiber preform by dividing the outermost layer of a multiple tubular burner into at least two sections. CONSTITUTION:The patitions 17 are provided in the inside of the ouermost layer of the concentric multiple tubular burner to divide the layer into two sections, i.e, the upper section 15 and the lower section 16. The porous glass layer consisting of fine glass particles is formed on the periphery of the rod used as the core while supplying GeC1. and SiCL. to the central part 11, Hz to the 12, a seal gas to the third layer 13, 02 to the fourth 2-14, the above seal gas to the upper section 15 of the outermost layer and a smaller amount of the seal gas than the amount supplied to the upper section 15 to the lower section 16 of the outermost layer.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、VAD法やOVD法な
どで光ファイバ母材を製造するバーナおよびそれを用い
た光ファイバ母材の製造方法に関するもので、特に、そ
の外付け部の屈折率分布の制御を可能にして所望の屈折
率プロファイルを有する母材を提供する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a burner for producing an optical fiber preform by a VAD method or an OVD method and a method for producing an optical fiber preform using the burner. (EN) Provided is a base material having a desired refractive index profile by controlling the index distribution.

【0002】[0002]

【従来の技術】典型的なVAD法の概略図を図5に、O
VD法の概略図を図6に示す。1はクラッドとなる多孔
質ガラス層で、例えば3本の同心多重管バーナ2を用い
て生成したスートをロッド3の周りに所定厚さに堆積さ
せ、光ファイバ母材とする。なお、図5のVAD法にお
いては、ロッド3はコアとなる多孔質ガラス状のもので
あり、図6のOVD法では、ロッド3はコアもしくはコ
アとクラッドの一部とからなり、かつ透明ガラス化され
たものである。
2. Description of the Related Art A schematic diagram of a typical VAD method is shown in FIG.
A schematic diagram of the VD method is shown in FIG. Reference numeral 1 denotes a porous glass layer serving as a clad. For example, soot generated by using three concentric multi-tube burners 2 is deposited around the rod 3 to a predetermined thickness to form an optical fiber preform. In the VAD method of FIG. 5, the rod 3 is a porous glass-like material that serves as a core, and in the OVD method of FIG. 6, the rod 3 is composed of a core or a core and a part of a clad, and is made of transparent glass. It has been transformed into

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、バーナ
2には必要に応じて屈折率を変化させるためのドープ材
を混入させることがある。その中でもスートが堆積させ
るロッドの表面温度によって、そのドープされうる量が
大きく変わるドープ材があり、その原料としてGeCl
4 ,BBr3 ,SnCl4 などがある。図7はこの種の
同心多重管バーナの断面図およびガス配置の例を示す。
図において、11は中心部でGeCl4 とSiCl4
12は2層目でH2 、13は3層目でシールガスとして
のAr、14は4層目でO2 が供給される。このバーナ
2を用いてガラス1にスート付けを行う場合、その堆積
状況およびその際のスート堆積部分の表面温度分布は図
8のようになり屈折率にある分布が生じる。例えば、G
eO2 をスート堆積部分の表面温度が500〜800℃
程度の範囲でデポジションを行うと図9のように中心部
の屈折率が高くなる。このため、このようなバーナを用
いて製造される光ファイバ母材の特性は自ずから制限さ
れてしまうということがあった。
However, the burner 2 may be mixed with a doping material for changing the refractive index, if necessary. Among them, there is a doping material whose amount that can be doped largely changes depending on the surface temperature of the rod on which soot is deposited.
4 , BBr 3 , SnCl 4 and the like. FIG. 7 shows an example of a cross-section and gas arrangement of a concentric multi-tube burner of this kind.
In the figure, 11 is GeCl 4 and SiCl 4 in the central part,
12 O 2 is supplied Ar, 14 as H 2, 13 is a seal gas at the third layer in the second layer in the fourth layer. When sooting the glass 1 using this burner 2, the deposition state and the surface temperature distribution of the soot deposition portion at that time are as shown in FIG. For example, G
Surface temperature of eO 2 soot deposit is 500-800 ° C
When the deposition is performed within a certain range, the refractive index of the central portion becomes high as shown in FIG. For this reason, the characteristics of the optical fiber preform manufactured using such a burner may be naturally limited.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】この発明は、以上の観点
から光ファイバの屈折率プロファイルを制御できるバー
ナおよびそれを用いた光ファイバ母材の製造方法を提供
するもので、その特徴とする発明のひとつは、光ファイ
バ母材製造用バーナが多重管構造であって、その最外層
が少なくとも2分割されてなることにある。なお、2分
割にする場合、その面積比は等しくても良いし、等しく
なくとも良い。また、この発明のもうひとつは、コア用
のロッドの周りに、ガラス微粒子からなる多孔質ガラス
層を形成させるに際して、多重管構造であって、その最
外層が少なくとも2分割されてなるバーナを用い、かつ
分割された各部分に異なる流量のシールガスを流しつつ
前記多孔質ガラス層を形成させることにある。なお、コ
ア用ロッドとしては透明ガラスロッド、多孔質ガラスロ
ッドのいずれでも良い。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides a burner capable of controlling the refractive index profile of an optical fiber and a method of manufacturing an optical fiber preform using the burner, which is characterized by the above. One of them is that the burner for producing an optical fiber preform has a multi-tube structure, and the outermost layer thereof is divided into at least two. When the area is divided into two, the area ratio may or may not be equal. Another aspect of the present invention is to use a burner having a multi-tube structure, the outermost layer of which is divided into at least two parts, when forming a porous glass layer made of fine glass particles around a core rod. In addition, the porous glass layer is formed while flowing a different flow rate of the seal gas in each of the divided portions. The core rod may be either a transparent glass rod or a porous glass rod.

【0005】[0005]

【作用】多重管バーナの最外層を分割型としたので、こ
の分割部に流すシールガスの流量を制御できる。したが
って、このバーナを用いてスートを生成させ、このスー
トをコア用ロッドの周りに堆積させるときに前記シール
ガスの流量制御により、スートの付着量を制御できる。
特に、ドーパントとして堆積部の表面温度に左右される
ものが含まれる場合、シールガスの流量を制御すること
で堆積部の表面温度が制御されるため、スート内へのド
ーパント量を調整でき、もって屈折率の調整が可能とな
る。
Since the outermost layer of the multi-tube burner is of the split type, it is possible to control the flow rate of the seal gas flowing through this split portion. Therefore, the soot adhesion amount can be controlled by controlling the flow rate of the seal gas when the soot is generated by using the burner and the soot is deposited around the core rod.
In particular, when the dopant includes one that depends on the surface temperature of the deposition part, the surface temperature of the deposition part is controlled by controlling the flow rate of the seal gas, so that the amount of dopant in the soot can be adjusted. The refractive index can be adjusted.

【0006】[0006]

【実施例】【Example】

実施例1 図1は、この発明による光ファイバプリフォーム製造用
バーナである。このバーナは同心5重管構造をしてお
り、最外層には内部を分割する仕切り17が設けられて
2分割された上部15、下部16を構成しており、それ
ぞれにシール用のArが流される。なお、他の構成は図
7と同一で中心部11にGeCl4 とSiCl4 、2層
目12にH2 、3層目13にシールガスとしてのAr、
4層目14にO2 が供給される。分割された上部15、
下部16へのガス供給量は各々独立して制御できるよう
になされており、また、仕切り17はバーナの中心軸を
結んで水平になるように形成されている。そして、上部
15に流すArガス量を下部16に流すArガス量より
も多くすると、生成されるスートの上部ではシールガス
によりスートの付着量が妨げられて付着効率が低下す
る。図2は、上部15に多くシールガスを供給したとき
のスートの堆積形状と温度分布を、図3は下部16に多
くシールガスを供給したときのスート堆積形状と温度分
布を示す。つまり、バーナ火災によって形成されるスー
ト堆積部の表面温度分布に対してスートの付着領域を移
動させてやることで屈折率プロファイルの調整を行う。
Embodiment 1 FIG. 1 is a burner for manufacturing an optical fiber preform according to the present invention. This burner has a concentric quintuple tube structure, and a partition 17 for dividing the inside is provided in the outermost layer to form an upper part 15 and a lower part 16 which are divided into two parts, and Ar for sealing flows into each of them. Be done. Other configurations are the same as those in FIG. 7, and GeCl 4 and SiCl 4 in the central portion 11, H 2 in the second layer 12, Ar as a seal gas in the third layer 13,
O 2 is supplied to the fourth layer 14. The upper part 15,
The amount of gas supplied to the lower portion 16 can be independently controlled, and the partition 17 is formed so as to be horizontal by connecting the central axes of the burners. When the amount of Ar gas flowing in the upper part 15 is larger than the amount of Ar gas flowing in the lower part 16, the amount of the soot adhered is hindered by the seal gas at the upper part of the generated soot, and the adhesion efficiency decreases. FIG. 2 shows the soot deposition shape and temperature distribution when a large amount of seal gas is supplied to the upper portion 15, and FIG. 3 shows the soot accumulation shape and temperature distribution when a large amount of seal gas is supplied to the lower portion 16. In other words, the refractive index profile is adjusted by moving the soot adhering region with respect to the surface temperature distribution of the soot deposition portion formed by the burner fire.

【0007】具体例1 外径25mmφの純粋石英ロッドの周りに図1のバーナ
を用いてスートを堆積させた。中心部11にはSiCl
4 :1.0リットル/分 GeCl4 :0.01リット
ル/分、2層目12にH2 :12リットル/分、3層目
13にシールガスAr:0.4リットル/分、4層目1
4にO2 :16リットル/分、スート堆積部の表面温度
はその最高温度が700℃であった。この条件下で、バ
ーナ最外層の上部15シールガスと、下部16のシール
ガスの流量を表1のようにa,b,cの3種類にして流
した。 この時の屈折率プロファイルを図4a,b,cに示す。
このように、シールガスの流量を変化させることで、屈
折率プロファイルの制御ができる。
Example 1 Soot was deposited around a pure quartz rod having an outer diameter of 25 mmφ using the burner shown in FIG. SiCl in the central part 11
4 : 1.0 liters / minute GeCl 4 : 0.01 liters / minute Second layer 12 has H 2 : 12 liters / minute Third layer 13 has seal gas Ar: 0.4 liters / minute Fourth layer 1
4 to O 2: 16 liters / min, the surface temperature of the soot deposition unit that the maximum temperature was 700 ° C.. Under these conditions, the flow rates of the upper 15 seal gas and the lower 16 seal gas in the outermost layer of the burner were set to three types, a, b and c, as shown in Table 1. The refractive index profile at this time is shown in FIGS.
In this way, the refractive index profile can be controlled by changing the flow rate of the seal gas.

【0008】なお、バーナの最外層の分割数は任意で良
く、分割比も等分割に限ることはなく適宜選択できる。
また、シールガスはArの他にHeやN2 を使用でき
る。
The number of divisions of the outermost layer of the burner may be arbitrary, and the division ratio is not limited to equal division and can be appropriately selected.
In addition to Ar, He or N 2 can be used as the seal gas.

【0009】[0009]

【発明の効果】この発明は、以上のようにGeO2 など
のドーパントを含むSiO2 スートをロッド上に堆積さ
せるに適したバーナを簡単に提供でき、また、このバー
ナを用いることにより所望の屈折率分布を持つ光ファイ
バ母材を作製することができる。
INDUSTRIAL APPLICABILITY As described above, the present invention can easily provide a burner suitable for depositing SiO 2 soot containing a dopant such as GeO 2 on a rod, and by using this burner, a desired refraction index can be obtained. An optical fiber preform having a rate distribution can be manufactured.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】この発明による光ファイバプリフォーム製造用
バーナの断面図。
FIG. 1 is a sectional view of a burner for manufacturing an optical fiber preform according to the present invention.

【図2】図1に示すこの発明によるバーナを用いてスー
トを堆積させたときの一例を示す説明図。
FIG. 2 is an explanatory view showing an example when soot is deposited using the burner according to the present invention shown in FIG.

【図3】図1に示すこの発明によるバーナを用いてスー
トを堆積させたときの他の例を示す説明図。
FIG. 3 is an explanatory view showing another example when soot is deposited using the burner according to the present invention shown in FIG.

【図4】図1に示すこの発明によるバーナを用い、ロッ
ドの周りにスートを堆積させたときの屈折率プロファイ
ルの各例を示す説明図。
4 is an explanatory view showing each example of a refractive index profile when soot is deposited around a rod using the burner according to the present invention shown in FIG.

【図5】典型的なVAD法の概略図。FIG. 5 is a schematic diagram of a typical VAD method.

【図6】典型的なOVD法の概略図。FIG. 6 is a schematic diagram of a typical OVD method.

【図7】図5、6の方法に用いられる従来型のバーナの
断面図。
FIG. 7 is a cross-sectional view of a conventional burner used in the method of FIGS.

【図8】図7に示すバーナによるスート堆積状態及びス
ート堆積部の温度分布図。
8 is a temperature distribution diagram of a soot accumulation state and a soot accumulation portion by the burner shown in FIG.

【図9】図7に示すバーナによるスート堆積部の屈折率
プロファイル。
9 is a refractive index profile of a soot deposited portion by the burner shown in FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 多孔質ガラス 2 バーナ 3 ロッド 11 中心部(1層目) 12 2層目 13 3層目 14 4層目 15 上部 16 下部 17 仕切り 1 Porous Glass 2 Burner 3 Rod 11 Center Part (1st Layer) 12 2nd Layer 13 3rd Layer 14 4th Layer 15 Upper 16 Lower 17 Partition

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 光ファイバ母材製造用の多重管バーナで
あって、その最外層が少なくとも2分割されてなること
を特徴とする光ファイバ母材製造用バーナ。
1. A burner for producing an optical fiber preform, which is a multi-tube burner for producing an optical fiber preform, wherein an outermost layer thereof is divided into at least two parts.
【請求項2】 光ファイバ母材製造用の多重管バーナで
あって、その最外層が2分割されてなり、その分割面積
比が等しいことを特徴とする請求項1記載の光ファイバ
母材製造用バーナ。
2. A multi-tube burner for producing an optical fiber preform, wherein the outermost layer is divided into two and the division area ratios thereof are equal to each other. For burner.
【請求項3】 光ファイバ母材製造用の多重管バーナで
あって、その最外層が2分割されてなり、その分割面積
比が異なることを特徴とする請求項1記載の光ファイバ
母材製造用バーナ。
3. A multi-tube burner for producing an optical fiber preform, wherein the outermost layer is divided into two and the division area ratios are different from each other. For burner.
【請求項4】 コア用ロッドの周りに、ガラス微粒子か
らなる多孔質ガラス層を形成させるに際して、多重管バ
ーナであって、その最外層が少なくとも2分割されてな
るバーナを用い、かつ分割された各部分に異なる流量の
シールガスを流しつつ前記多孔質ガラス層を形成させる
ことを特徴とする光ファイバ母材の製造方法。
4. A multi-tube burner, the outermost layer of which is divided into at least two, is used to form a porous glass layer composed of glass fine particles around a core rod. A method for producing an optical fiber preform, wherein the porous glass layer is formed while flowing a different flow rate of a seal gas in each part.
【請求項5】 コア用ロッドが透明ガラスロッドもしく
は多孔質ガラスロッドであることを特徴とする請求項4
記載の光ファイバ母材の製造方法。
5. The rod for core is a transparent glass rod or a porous glass rod.
A method for manufacturing the optical fiber preform described above.
JP12033893A 1993-04-26 1993-04-26 Burner for producing optical fiber preform and manufacture of the same Pending JPH06305762A (en)

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