JPH06302762A - Resin-sealed semiconductor device - Google Patents
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- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は、複数のICチップを
有する樹脂封止型半導体装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a resin-sealed semiconductor device having a plurality of IC chips.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来のこの種の半導体装置を図20に示
す半導体パッケージを参照しながら説明する。同図にお
いて、1A、1BはそれぞれICチップ、2はこれらの
ICチップ1A、1Bが両面にダイボンドされたリード
フレームのダイパッド、3、4はそれぞれダイパッド2
と同様にリードフレームを形成するインナーリード及び
アウターリード、5A、5Bはそれぞれインナーリード
3と上記各ICチップ1A、1Bの表面に形成された電
極パッド6A、6B間を電気的に接続する金ワイヤー、
7は金ワイヤー5A、5Bで接続されたICチップ1
A、1B及びインナーリード3を封止するモールド樹
脂、8はモールド樹脂7によって封止された樹脂封止型
半導体装置が実装された実装基板である。2. Description of the Related Art A conventional semiconductor device of this type will be described with reference to a semiconductor package shown in FIG. In the figure, 1A and 1B are IC chips, 2 is a die pad of a lead frame in which these IC chips 1A and 1B are die-bonded on both sides, 3 and 4 are die pads 2 respectively.
Similarly, inner leads and outer leads 5A and 5B forming a lead frame are gold wires for electrically connecting the inner lead 3 and the electrode pads 6A and 6B formed on the surfaces of the IC chips 1A and 1B, respectively. ,
7 is an IC chip 1 connected by gold wires 5A and 5B
A molding resin for sealing A, 1B and the inner leads 3, and 8 is a mounting substrate on which the resin-sealed semiconductor device sealed by the molding resin 7 is mounted.
【0003】従って、従来の樹脂封止型半導体装置は、
ダイパッド2の両面に複数個、図20では2個のICチ
ップ1A、1Bをダイボンドしてあるため、1個ずつの
ICチップを樹脂封止した半導体装置よりも実装基板8
に対してICチップを高密度で実装することができる。Therefore, the conventional resin-sealed semiconductor device is
Since a plurality of IC chips 1A and 1B are die-bonded on both sides of the die pad 2 in FIG. 20, a mounting substrate 8 is used rather than a semiconductor device in which one IC chip is resin-sealed.
On the other hand, the IC chips can be mounted at high density.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図20
に示す従来の樹脂封止型半導体装置は、アウターリード
4をモールド樹脂7の一方の面側へ折曲形成して実装基
板8に実装されているため、モールド樹脂7内の一方の
ICチップ1Aが実装基板8とは反対側にあり、他方の
ICチップ1Bが実装基板8に対向しているため、これ
ら両ICチップ1A、1Bの放熱条件が異なり、前者の
ICチップ1Aは放熱性がよく、後者のICチップ1B
は放熱が実装基板8によって阻害され放熱性が悪いとい
う課題があった。However, as shown in FIG.
In the conventional resin-encapsulated semiconductor device shown in FIG. 1, the outer leads 4 are bent and formed on one surface side of the molding resin 7 and mounted on the mounting substrate 8. Therefore, one IC chip 1A in the molding resin 7 is mounted. Is on the opposite side of the mounting board 8 and the other IC chip 1B faces the mounting board 8, so that the heat dissipation conditions of these IC chips 1A and 1B are different, and the former IC chip 1A has good heat dissipation. , The latter IC chip 1B
However, there is a problem that heat dissipation is hindered by the mounting substrate 8 and heat dissipation is poor.
【0005】この発明は、上記課題を解決するためにな
されたもので、複数のICチップが同等の放熱性を有す
る樹脂封止型半導体装置を提供することを目的としてい
る。The present invention has been made in order to solve the above problems, and an object thereof is to provide a resin-sealed semiconductor device in which a plurality of IC chips have equivalent heat dissipation.
【0006】[0006]
【課題を解決するための手段】この発明の請求項1に記
載の樹脂封止型半導体装置は、リードフレームのダイパ
ッドの両側にそれぞれICチップと、各ICチップに対
して電気的に接続された複数のインナーリード及びアウ
ターリードを有する樹脂封止型半導体装置であって、複
数のICチップがそれぞれアウターリードに対して平行
になるように樹脂封止して構成されたものである。According to a first aspect of the present invention, there is provided a resin-encapsulated semiconductor device which has an IC chip on each side of a die pad of a lead frame and is electrically connected to each IC chip. A resin-sealed semiconductor device having a plurality of inner leads and outer leads, which is configured by resin-sealing a plurality of IC chips so as to be parallel to the outer leads.
【0007】また、この発明の請求項2に記載の樹脂封
止型半導体装置は、請求項1に記載の発明において、上
記各ICチップの表面に複数の突起電極を設け、これら
の突起電極を介して上記各ICチップを上記インナーリ
ードに接合して構成されたものである。The resin-encapsulated semiconductor device according to a second aspect of the present invention is the resin-sealed semiconductor device according to the first aspect, wherein a plurality of protrusion electrodes are provided on the surface of each IC chip, and the protrusion electrodes are provided. Each of the IC chips is bonded to the inner lead via the above.
【0008】また、この発明の請求項3に記載の樹脂封
止型半導体装置は、請求項1に記載の発明において、上
記複数のインナーリードにそれぞれ突起電極を設け、こ
れらの突起電極を介して上記各ICチップを上記インナ
ーリードに接合して構成されたものである。According to a third aspect of the present invention, in the resin-encapsulated semiconductor device according to the first aspect of the present invention, the plurality of inner leads are respectively provided with protruding electrodes, and the protruding electrodes are interposed therebetween. The IC chip is formed by bonding the IC chips to the inner leads.
【0009】また、この発明の請求項4に記載の樹脂封
止型半導体装置は、請求項3に記載の発明において、上
記複数のインナーリードの両面にそれぞれ突起電極を設
け、これらの突起電極を介して上記各ICチップを上記
インナーリードに接合して構成されたものである。According to a fourth aspect of the present invention, in the resin-encapsulated semiconductor device according to the third aspect of the present invention, protruding electrodes are provided on both surfaces of the plurality of inner leads, and these protruding electrodes are provided. Each of the IC chips is bonded to the inner lead via the above.
【0010】また、この発明の請求項5に記載の樹脂封
止型半導体装置は、請求項1に記載の発明において、上
記各ICチップを両面に配線パターンが形成されたシリ
コンまたはセラミックスからなる配線基板の両面の配線
パターンに電気的に接合し且つこの配線基板に上記アウ
ターリードを接合して構成されたものである。Further, a resin-sealed semiconductor device according to a fifth aspect of the present invention is the resin-sealed semiconductor device according to the first aspect, wherein the IC chips are formed of silicon or ceramics on which wiring patterns are formed on both sides. The wiring board is electrically joined to the wiring patterns on both sides of the board and the outer leads are joined to the wiring board.
【0011】また、この発明の請求項6に記載の樹脂封
止型半導体装置は、請求項1または請求項2に記載の発
明において、上記各ICチップまたは上記各インナーリ
ードに上記突起電極と離隔させて上記突起電極を同一高
さの突起部を設けて構成されたものである。According to a sixth aspect of the present invention, in the resin-sealed semiconductor device according to the first or second aspect, the IC chips or the inner leads are separated from the protruding electrodes. Then, the protruding electrodes are formed by providing protruding portions having the same height.
【0012】また、この発明の請求項7に記載の樹脂封
止型半導体装置は、請求項1に記載の発明において、上
記ダイパッドの周縁にワイヤーボンド時に上記ダイパッ
ドを支承するための延設部を水平方向に延設して構成さ
れたものである。According to a seventh aspect of the present invention, in the resin-encapsulated semiconductor device according to the first aspect of the invention, an extended portion for supporting the die pad at the time of wire bonding is provided on the periphery of the die pad. It is configured by extending in the horizontal direction.
【0013】また、この発明の請求項8に記載の樹脂封
止型半導体装置は、請求項1に記載の発明において、別
々のリードフレームのダイパッドにそれぞれ個別にダイ
ボンドされたICチップと、各ICチップにそれぞれ電
気的に接合されたインナーリードとを備え、上記リード
フレームを貼り合わせて一体化した状態でモールド樹脂
によって封止して構成されたものである。According to an eighth aspect of the present invention, in the resin-sealed semiconductor device according to the first aspect, the IC chips individually die-bonded to the die pads of different lead frames, and the respective ICs. The chip is provided with inner leads electrically connected to each other, and is formed by sealing with a molding resin in a state where the lead frames are bonded and integrated.
【0014】また、この発明の請求項9に記載の樹脂封
止型半導体装置は、請求項1に記載の発明において、イ
ンナーリード部及びアウターリード部が配線パターンと
して貼り合わされたキャリアテープにICチップを取り
付け、このキャリアテープをリードフレームに接合して
モールド樹脂によって封止して構成されたものである。According to a ninth aspect of the present invention, in the resin-encapsulated semiconductor device according to the first aspect of the invention, an IC chip is attached to a carrier tape in which an inner lead portion and an outer lead portion are attached as a wiring pattern. The carrier tape is attached, the carrier tape is joined to a lead frame, and the carrier tape is sealed with a mold resin.
【0015】また、この発明の請求項10に記載の樹脂
封止型半導体装置は、請求項1に記載の発明において、
上記リードフレームの連続するリードを同一または異な
るICチップの複数の電極に接合して構成されたもので
ある。According to a tenth aspect of the present invention, in the resin-sealed semiconductor device according to the first aspect,
The continuous lead of the lead frame is joined to a plurality of electrodes of the same or different IC chips.
【0016】また、この発明の請求項11に記載の樹脂
封止型半導体装置は、請求項1に記載の発明において、
別々のリードフレームのダイパッドにそれぞれ個別にダ
イボンドされたICチップと、各ICチップにそれぞれ
電気的に接続されたインナーリードと、これらが上記ダ
イパッドの非取付面を露出するようにモールド樹脂によ
って個別に封止された単品とを備え、これらの単品を上
記非取付面側で貼り合わせて一体化して構成されたもの
である。The resin-encapsulated semiconductor device according to claim 11 of the present invention is the resin device according to claim 1, wherein
IC chips individually die-bonded to die pads of different lead frames, inner leads electrically connected to each IC chip, and individually molded resin so that they expose the non-attachment surface of the die pad. A sealed single product is provided, and these single products are bonded and integrated on the non-mounting surface side.
【0017】[0017]
【作用】この発明の請求項1に記載の発明によれば、樹
脂封止型半導体装置は複数のICチップがそれぞれアウ
ターリードに対して平行になっているため、樹脂封止型
半導体装置を実装基板に実装すると、複数のICチップ
がいずれも実装基板に対して垂直になって実装基板に対
向せずそれぞれの放熱性に差をなくすことができ、各I
Cチップから同様に放熱することができる。According to the invention described in claim 1 of the present invention, since the plurality of IC chips of the resin-sealed semiconductor device are parallel to the outer leads, the resin-sealed semiconductor device is mounted. When mounted on a substrate, all the IC chips are perpendicular to the mounting substrate and do not face the mounting substrate, so that there is no difference in heat dissipation between the IC chips.
The heat can be similarly radiated from the C chip.
【0018】また、この発明の請求項2に記載の発明に
よれば、請求項1に記載の発明において、樹脂封止型半
導体装置は複数のICチップがそれぞれアウターリード
に対して平行になっていると共に各ICチップをインナ
ーリードに接合してあるため、製造時にはワイヤーボン
ディング工程を省略することができ、実装基板に実装さ
れた各ICチップから同様に放熱することができる。According to a second aspect of the present invention, in the invention according to the first aspect, the resin-sealed semiconductor device has a plurality of IC chips arranged in parallel to the outer leads. In addition, since each IC chip is joined to the inner lead, the wire bonding step can be omitted at the time of manufacturing, and heat can be similarly radiated from each IC chip mounted on the mounting board.
【0019】また、この発明の請求項3及び請求項4に
記載の発明によれば、請求項1に記載の発明において、
樹脂封止型半導体装置は複数のICチップがそれぞれア
ウターリードに対して平行になっていると共に突起電極
を介して各ICチップをインナーリードに接合してある
ため、製造時にはワイヤーボンディング工程を省略する
ことができ、実装基板に実装された各ICチップから同
様に放熱することができる。Further, according to the invention described in claim 3 and claim 4 of the present invention, in the invention described in claim 1,
In the resin-encapsulated semiconductor device, a plurality of IC chips are parallel to the outer leads, and each IC chip is joined to the inner leads via the protruding electrodes, so that the wire bonding step is omitted during manufacturing. Therefore, heat can be similarly radiated from each IC chip mounted on the mounting board.
【0020】また、この発明の請求項5に記載の発明に
よれば、請求項1に記載の発明において、樹脂封止型半
導体装置は複数のICチップがそれぞれアウターリード
に対して平行になっていると共に配線基板の両側に各I
Cチップを接合してあるため、製造時にはワイヤーボン
ディング工程を省略することができ、実装基板に実装さ
れた各ICチップから同様に放熱することができる。According to a fifth aspect of the present invention, in the first aspect of the invention, the resin-sealed semiconductor device has a plurality of IC chips arranged in parallel with the outer leads. On each side of the wiring board
Since the C chips are joined, the wire bonding step can be omitted during manufacturing, and heat can be similarly radiated from each IC chip mounted on the mounting substrate.
【0021】また、この発明の請求項6に記載の発明に
よれば、請求項2または請求項3に記載の発明におい
て、樹脂封止型半導体装置は複数のICチップがそれぞ
れアウターリードに対して平行になっていると共に各I
Cチップまたは各インナーリードに突起電極と離隔させ
て突起電極を同一高さの突起部を設けてあるため、ワイ
ヤーボンディング時にICチップ1A、1Bを傷つける
ことなく樹脂封止型半導体装置を製造することができ。According to a sixth aspect of the present invention, in the second or third aspect of the invention, the resin-sealed semiconductor device has a plurality of IC chips for the outer leads. Are parallel and each I
Since the protruding portion having the same height is provided on the C chip or each inner lead so as to be separated from the protruding electrode, a resin-sealed semiconductor device can be manufactured without damaging the IC chips 1A and 1B during wire bonding. Can
【0022】また、この発明の請求項7に記載の発明に
よれば、請求項1に記載の発明において、樹脂封止型半
導体装置は複数のICチップがそれぞれアウターリード
に対して平行になっていると共にダイパッドの周縁にワ
イヤーボンド時にダイパッドを支承するための延設部を
水平方向に延設してあるため、ダイパッドの延設部をス
テージ等で支承することによりダイパッドの両側からワ
イヤーボンディングすることができる。According to a seventh aspect of the present invention, in the first aspect of the invention, the resin-sealed semiconductor device has a plurality of IC chips arranged in parallel with the outer leads. In addition, the extension part for supporting the die pad at the time of wire bonding is horizontally extended around the periphery of the die pad, so that the extension part of the die pad is supported on a stage etc. to perform wire bonding from both sides of the die pad. You can
【0023】また、この発明の請求項8に記載の発明に
よれば、請求項1に記載の発明において、樹脂封止型半
導体装置は複数のICチップがそれぞれアウターリード
に対して平行になっていると共に別々の複数のICチッ
プ等を別々に組み立てて貼り合わせてモールド樹脂によ
って封止するようにしたため、製造工程を簡単にするこ
とができる。According to an eighth aspect of the present invention, in the invention of the first aspect, the resin-sealed semiconductor device has a plurality of IC chips arranged in parallel with the outer leads. In addition, since a plurality of different IC chips and the like are separately assembled, bonded together, and sealed with the mold resin, the manufacturing process can be simplified.
【0024】また、この発明の請求項9に記載の発明に
よれば、請求項1に記載の発明において、樹脂封止型半
導体装置は複数のICチップがそれぞれアウターリード
に対して平行になっていると共にインナーリード部及び
アウターリード部が配線パターンとして貼り合わされた
キャリアテープにICチップを取り付け、このキャリア
テープをリードフレームに接合してモールド樹脂によっ
て封止するようにしたため、TAB技術を併用して簡単
に樹脂封止型半導体装置を製造することができる。According to a ninth aspect of the present invention, in the invention according to the first aspect, the resin-sealed semiconductor device has a plurality of IC chips arranged in parallel with the outer leads. At the same time, the IC chip was attached to the carrier tape in which the inner lead portion and the outer lead portion were attached as a wiring pattern, and this carrier tape was joined to the lead frame and sealed with the mold resin. The resin-sealed semiconductor device can be easily manufactured.
【0025】また、この発明の請求項10に記載の発明
によれば、請求項1に記載の発明において、樹脂封止型
半導体装置は複数のICチップがそれぞれアウターリー
ドに対して平行になっていると共にリードフレームの連
続するリードを同一または異なるICチップの複数の電
極に接合するようにしたため、各ICチップを各インナ
ーリードに連続的に効率良く接合でき、しかもインピー
ダンスを低減することができる。According to the invention of claim 10 of the present invention, in the invention of claim 1, the plurality of IC chips of the resin-sealed semiconductor device are parallel to the outer leads. In addition, since the continuous leads of the lead frame are joined to the plurality of electrodes of the same or different IC chips, each IC chip can be continuously and efficiently joined to each inner lead, and the impedance can be reduced.
【0026】また、この発明の請求項11に記載の発明
によれば、請求項1に記載の発明において、樹脂封止型
半導体装置は複数のICチップがそれぞれアウターリー
ドに対して平行になっていると共に別々のリードフレー
ムにICチップを組み立てて独立した単品を作って各単
品を貼り合わせて一体化しするようにしたため、製造工
程を簡単にすることができる。According to an eleventh aspect of the present invention, in the invention according to the first aspect, the resin-sealed semiconductor device has a plurality of IC chips arranged in parallel with the outer leads. In addition, since the IC chips are assembled on separate lead frames to form independent single products and the individual products are bonded and integrated, the manufacturing process can be simplified.
【0027】[0027]
【実施例】以下、図1〜図19に示す実施例に基づいて
従来と同一または相当部分には同一符号を付してこの発
明を説明する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below with reference to the embodiments shown in FIGS.
【0028】実施例1.この実施例の樹脂封止型半導体
装置は、図1、図2に示すように、複数個(この実施例
では2個)のICチップ1A、1Bと、これらのICチ
ップ1A、1Bが両面にダイボンドされたリードフレー
ムのダイパッド2と、このダイパッド2と同様にリード
フレームを形成するインナーリード3及びアウターリー
ド4と、それぞれのインナーリード3と上記各ICチッ
プ1A、1Bの表面に形成された電極パッド6A、6B
間を電気的に接続するワイヤー5A、5Bと、これらの
金ワイヤー5A、5Bで接続されたICチップ1A、1
B及びインナーリード3を封止するモールド樹脂7とを
備え、しかも上記各ICチップ1A、1Bがそれぞれア
ウターリード4に対して平行になるようにモールド樹脂
7によって樹脂封止されて構成されている。従って、上
記各アウターリード4は、全てモールド樹脂7の一辺の
幅方向中央からそれぞれが干渉しないように所定の隙間
を形成して外方へ延設されている。つまり、この実施例
の樹脂封止型半導体装置は、図2に示すように、図示し
ない実装基板に対してアウターリード4を介して実装す
ると、モールド樹脂7内の各ICチップ1A、1Bが実
装基板に対して垂直に配置された状態になって外部への
放熱条件が同等になるように構成されている。尚、図1
においてアウターリード4に付した記号A、Bはそれぞ
れICチップ1A、1Bに接続されたアウターリード4
を示している。Example 1. As shown in FIGS. 1 and 2, the resin-encapsulated semiconductor device of this embodiment has a plurality of (two in this embodiment) IC chips 1A and 1B and these IC chips 1A and 1B on both sides. A die pad 2 of a die-bonded lead frame, an inner lead 3 and an outer lead 4 that form a lead frame similarly to the die pad 2, each inner lead 3 and electrodes formed on the surfaces of the IC chips 1A and 1B. Pads 6A and 6B
Wires 5A and 5B that electrically connect the two, and IC chips 1A and 1A connected by these gold wires 5A and 5B.
B and a molding resin 7 for encapsulating the inner lead 3, and the IC chips 1A and 1B are resin-encapsulated so as to be parallel to the outer lead 4 respectively. . Therefore, the outer leads 4 are all extended outward from the center of one side of the molding resin 7 in the width direction so as to form a predetermined gap so as not to interfere with each other. That is, as shown in FIG. 2, when the resin-sealed semiconductor device of this embodiment is mounted on a mounting substrate (not shown) via the outer leads 4, the IC chips 1A and 1B in the molding resin 7 are mounted. It is arranged so as to be arranged vertically to the substrate so that heat radiation conditions to the outside are equal. Incidentally, FIG.
The symbols A and B attached to the outer leads 4 in FIG. 2 are the outer leads 4 connected to the IC chips 1A and 1B, respectively.
Is shown.
【0029】従ってこの実施例によれば、樹脂封止型半
導体装置を実装基板に実装すれば、モールド樹脂7内の
各ICチップ1A、1Bが実装基板に対して垂直になる
ため、各ICチップ1A、1Bで発生する熱は外部へ均
等に放熱されるため、いずれか一方のICチップでの蓄
熱を防止することができ、熱設計の自由度を高めること
ができる。Therefore, according to this embodiment, when the resin-encapsulated semiconductor device is mounted on the mounting board, the IC chips 1A and 1B in the mold resin 7 are perpendicular to the mounting board, and therefore each IC chip is mounted. Since the heat generated in 1A and 1B is evenly radiated to the outside, heat storage in either one of the IC chips can be prevented, and the degree of freedom in thermal design can be increased.
【0030】実施例2.この実施例の樹脂封止型半導体
装置は、図3〜図7に示すように、2個のICチップ1
A、1Bを有し且つこれらのICチップ1A、1Bの電
極パッド上に突起電極(以下、「バンプ」と称す。)9
A、9Bを設けると共にそれぞれのICチップ1A、1
Bに属するインナーリード3をそれぞれのバンプ9A、
9Bに直接接合して構成されたものである。そして、こ
の実施例の樹脂封止型半導体装置を製造する場合には、
例えばまず、図4、図5に示すようにICチップ1Aの
バンプ9Aとこのチップ1A用のインナーリード3とを
接合し、次いで、図6、図7に示すようにICチップ1
Aの反対側からICチップ1Bのバンプ9Bと残りのイ
ンナーリード3とを接合した後、これらをモールド樹脂
7によって封止し、更にアウターリード4を実装できる
ように所定の成形加工を施すことによって図7に示すこ
の実施例の樹脂封止型半導体装置を製造することができ
る。Example 2. The resin-encapsulated semiconductor device of this embodiment has two IC chips 1 as shown in FIGS.
Projection electrodes (hereinafter referred to as "bumps") 9 having A and 1B and on the electrode pads of these IC chips 1A and 1B.
A and 9B are provided and the IC chips 1A and 1B are provided.
The inner leads 3 belonging to B are connected to the bumps 9A,
It is constructed by directly bonding to 9B. Then, when manufacturing the resin-encapsulated semiconductor device of this embodiment,
For example, first, as shown in FIGS. 4 and 5, the bumps 9A of the IC chip 1A and the inner leads 3 for the chip 1A are joined, and then, as shown in FIGS.
By bonding the bumps 9B of the IC chip 1B and the remaining inner leads 3 from the side opposite to A, they are sealed with a molding resin 7, and a predetermined molding process is performed so that the outer leads 4 can be mounted. The resin-encapsulated semiconductor device of this embodiment shown in FIG. 7 can be manufactured.
【0031】従ってこの実施例によれば、実施例1と同
様の作用効果を期することができる他、ワイヤーボンデ
ィング工程を省略でき、製造工程を簡素化することがで
きる。Therefore, according to this embodiment, the same effect as that of the first embodiment can be expected, the wire bonding step can be omitted, and the manufacturing process can be simplified.
【0032】実施例3.この実施例の樹脂封止型半導体
装置は、バンプ9A、9BをICチップ1A、1Bの電
極パッド上に設ける代わりにインナーリード3に設けて
構成されている以外は実施例2と同様に構成されてい
る。従って、この実施例においても実施例2と同様の作
用効果を期することができる。Example 3. The resin-encapsulated semiconductor device of this embodiment has the same configuration as that of the second embodiment except that the bumps 9A and 9B are provided on the inner leads 3 instead of on the electrode pads of the IC chips 1A and 1B. ing. Therefore, also in this embodiment, the same operational effect as that of the second embodiment can be expected.
【0033】実施例4.この実施例の樹脂封止型半導体
装置は、同一インナーリード3の表裏面にバンプ9A、
9Bを設けた以外は実施例3と同様に構成されたもの
で、この実施例においても実施例3と同様に作用効果を
期することができる。Example 4. The resin-encapsulated semiconductor device of this embodiment has bumps 9A on the front and back surfaces of the same inner lead 3,
The configuration is similar to that of the third embodiment except that 9B is provided, and in this embodiment, the same operational effect can be expected as in the third embodiment.
【0034】実施例5.この実施例の樹脂封止型半導体
装置は、図8、図9に示すように、インナーリード3に
代えて表裏面にそれぞれ配線パターン10が形成された
配線基板11を用いて構成されたものである。即ち、上
記配線基板11は、例えばシリコン、セラミックス等の
絶縁性材料により形成されており、その表裏面にインナ
ーリードに相当する配線パターン10が形成され、且つ
表裏面の各配線パターン10の電極パッド上にバンプ9
A、9Bをそれぞれ設けられている。また、配線基板1
1の表裏面の各配線パターン10は、スルーホール10
Aを介して電気的に接続されている。そして、この配線
基板11のパターン10が延設された一側縁でアウター
リード4がそれぞれ接合されている。従って、各配線パ
ターン10上のバンプ9A、9Bに対して上記配線基板
11の両側からICチップ1A、1Bを接合した後、ア
ウターリード4をそれぞれの配線パターン10に接合
し、次いでモールド樹脂7でICチップ1A、1B等を
上記各実施例と同様に封止することによってこの実施例
の樹脂封止型半導体装置を製造することができる。尚、
上記バンプ9A、9BはICチップ1A、1Bに設けて
もよい。従って、この実施例においても上記各実施例に
準じた作用効果を期することができる。Example 5. As shown in FIGS. 8 and 9, the resin-sealed semiconductor device of this embodiment is configured by using a wiring substrate 11 having wiring patterns 10 formed on the front and back surfaces instead of the inner leads 3. is there. That is, the wiring board 11 is formed of an insulating material such as silicon or ceramics, the wiring patterns 10 corresponding to the inner leads are formed on the front and back surfaces thereof, and the electrode pads of the wiring patterns 10 on the front and back surfaces are formed. Bump 9 on top
A and 9B are provided respectively. Also, the wiring board 1
The wiring patterns 10 on the front and back sides of No. 1 are through holes 10
It is electrically connected via A. Then, the outer leads 4 are respectively joined at one side edge of the wiring board 11 on which the pattern 10 is extended. Therefore, after the IC chips 1A and 1B are bonded to the bumps 9A and 9B on each wiring pattern 10 from both sides of the wiring substrate 11, the outer leads 4 are bonded to the respective wiring patterns 10 and then the mold resin 7 is used. The resin-encapsulated semiconductor device of this embodiment can be manufactured by sealing the IC chips 1A, 1B and the like in the same manner as in the above-mentioned respective embodiments. still,
The bumps 9A and 9B may be provided on the IC chips 1A and 1B. Therefore, also in this embodiment, it is possible to expect the same effects as the above-mentioned embodiments.
【0035】実施例6.この実施例の樹脂封止型半導体
装置は、図10に示すように、実施例2ないし実施例6
のインナーリード3あるいは配線パターン10にバンプ
9A、9B以外にダミーダンプ12A、12Bを設けて
構成されている以外は上記各実施例に準じて構成されて
いる。これらのダミーバンプ12A、12Bは、図11
で示すようにボンディングステージ13AでICチップ
1Bを支承した状態でボンディング工具13Bを用いて
ワイヤーボンディングする際に、ICチップ1A、1B
が同図の丸で囲んだ14で示すダンプが存在しない部分
でインナーリード3がICチップ1A、1Bの各表面に
接触してICチップ1A、1Bを傷つけることを防止す
るように構成されている。従ってこの実施例の樹脂封止
型半導体装置を製造する場合には、ICチップ1A、1
Bを傷つけることなく樹脂封止型半導体装置を製造する
ことができ、その歩留りを向上させることができる。Example 6. As shown in FIG. 10, the resin-encapsulated semiconductor device of this embodiment has the second embodiment to the sixth embodiment.
In addition to the bumps 9A and 9B, dummy dumps 12A and 12B are provided on the inner lead 3 or the wiring pattern 10 in accordance with each of the above embodiments. These dummy bumps 12A and 12B are shown in FIG.
As shown in FIG. 2, when the IC chip 1B is supported by the bonding stage 13A and the wire bonding is performed using the bonding tool 13B, the IC chips 1A, 1B
Is configured so as to prevent the inner leads 3 from contacting the respective surfaces of the IC chips 1A and 1B and damaging the IC chips 1A and 1B in a portion where there is no dump indicated by circled 14 in FIG. . Therefore, when manufacturing the resin-sealed semiconductor device of this embodiment, the IC chips 1A, 1
The resin-encapsulated semiconductor device can be manufactured without damaging B, and the yield thereof can be improved.
【0036】実施例7.この実施例の樹脂封止型半導体
装置は、図12、図13に示すように、ダイパッド2の
外周に水平方向へ延びる延設部2Aを設けた以外は実施
例1と同様に構成されている。即ち、この実施例の樹脂
封止型半導体装置は、ワイヤーボンディング時に図13
に示すように上記延設部2Aでダイパッド2をステージ
15で支承できるように構成されている。即ち、実施例
1の樹脂封止型半導体装置では、ダイパッド2の両面で
ICチップ1A、1Bが取り付けられているため、ワイ
ヤーボンディング時にダイパッド2全体をステージ15
で支承することができないため、上記延設部2Aでダイ
パッド2を支承するようにしたものである。従ってこの
実施例によれば、ダイパッド2の延設部2Aをステージ
15で支承することによりダイパッド2の両側からワイ
ヤーボンディングすることができる。Example 7. As shown in FIGS. 12 and 13, the resin-encapsulated semiconductor device of this embodiment has the same configuration as that of the first embodiment except that an extension portion 2A extending in the horizontal direction is provided on the outer periphery of the die pad 2. . That is, the resin-encapsulated semiconductor device of this embodiment has a structure shown in FIG.
As shown in FIG. 5, the die pad 2 can be supported by the stage 15 by the extension portion 2A. That is, in the resin-sealed semiconductor device of the first embodiment, since the IC chips 1A and 1B are attached on both sides of the die pad 2, the entire die pad 2 is attached to the stage 15 during wire bonding.
Therefore, the die pad 2 is supported by the extending portion 2A. Therefore, according to this embodiment, by supporting the extended portion 2A of the die pad 2 on the stage 15, wire bonding can be performed from both sides of the die pad 2.
【0037】実施例8.この実施例の樹脂封止型半導体
装置は、図14、図15に示すように、別々のリードフ
レームのダイパッド2、2にそれぞれ個別にダイボンド
されたICチップ1A、1Bと、各ICチップ1A、1
Bがそれぞれのインナーリード3に電気的に接続された
金ワイヤー5A、5Bとを備え、上記リードフレームを
図15に示すように貼り合わせて2個のICチップ1
A、1Bがダイパッド2、2の両面から突起した状態で
モールド樹脂7によって封止して構成されたものであ
る。従ってこの実施例の樹脂封止型半導体装置を製造す
る場合には、まず図14に示すように個別のリードフレ
ームにICチップ1A、1B等を取り付け、金ワイヤー
5A、5Bをそれぞれワイヤーボンディングした後、こ
れらの両リードフレームを図15に示すようにICチッ
プ1A、1Bが取り付けられていない面を貼り合わせ、
次いで各ICチップ1A、1B等をモールド樹脂7で同
図に示すように封止するだけで樹脂封止型半導体装置を
製造することができ、製造工程を簡単にすることができ
る。Example 8. As shown in FIGS. 14 and 15, the resin-sealed semiconductor device of this embodiment includes IC chips 1A and 1B individually die-bonded to die pads 2 and 2 of different lead frames, and IC chips 1A and 1B, respectively. 1
B includes gold wires 5A and 5B electrically connected to the respective inner leads 3, and the lead frame is bonded as shown in FIG.
A and 1B are formed by sealing with a mold resin 7 in a state of protruding from both surfaces of the die pads 2 and 2. Therefore, when manufacturing the resin-encapsulated semiconductor device of this embodiment, first, as shown in FIG. 14, the IC chips 1A, 1B, etc. are attached to individual lead frames, and the gold wires 5A, 5B are respectively wire-bonded. , These two lead frames are bonded to each other on the surfaces on which the IC chips 1A and 1B are not attached, as shown in FIG.
Then, the resin-sealed semiconductor device can be manufactured by simply sealing the IC chips 1A, 1B, etc. with the mold resin 7 as shown in the figure, and the manufacturing process can be simplified.
【0038】実施例9.この実施例の樹脂封止型半導体
装置は、図16に示すように、銅箔等からなるインナー
リード部及びアウターリード部が配線パターン16Aと
して貼り合わされたキャリアテープ16にICチップ1
A、1Bを取り付けるTAB(Tape Automated Bonding)
技術を用いて製造する以外は上記各実施例に準じて構成
されている。即ち、TABによる樹脂封止型半導体装置
を製造する場合には、キャリアテープ16の配線パター
ン16Aの一部であるインナーリード部とICチップ1
A、1Bをダンプ9A、9Bを介して接合し、このキャ
リアテープ16の配線パターン16Aの一部であるアウ
ターリード部をリードフレーム17に接合した後、IC
チップ1A、1Bをモールド樹脂7によって封止するこ
とによって樹脂封止型半導体装置を製造することができ
る。従ってこの実施例によれば、TAB技術を併用する
ことによって簡単に樹脂封止型半導体装置を製造するこ
とができる。Example 9. In the resin-encapsulated semiconductor device of this embodiment, as shown in FIG. 16, the IC chip 1 is mounted on a carrier tape 16 in which inner lead portions and outer lead portions made of copper foil or the like are attached as a wiring pattern 16A.
TAB (Tape Automated Bonding) to attach A and 1B
It is configured according to each of the above-described examples except that it is manufactured using a technique. That is, when manufacturing a resin-sealed semiconductor device using TAB, the inner lead portion that is a part of the wiring pattern 16A of the carrier tape 16 and the IC chip 1 are used.
A and 1B are joined together via the dumps 9A and 9B, and the outer lead portion which is a part of the wiring pattern 16A of the carrier tape 16 is joined to the lead frame 17, and then the IC
By sealing the chips 1A and 1B with the mold resin 7, a resin-sealed semiconductor device can be manufactured. Therefore, according to this embodiment, the resin-sealed semiconductor device can be easily manufactured by using the TAB technique together.
【0039】実施例10.この実施例の樹脂封止型半導
体装置は、図17に示すように、リードフレームの連続
するインナーリード3、3A、3Bを例えばICチップ
1Aの信号用電極、電源用電極及びグランド用電極とし
ての複数の電極パッド6Aに接続して構成されたもので
ある。即ち、ICチップ1Aの電極パッド6Aのうち、
電源用電極及びグランド用電極をそれぞれ電源用インナ
ーリード3A及びグランド用インナーリード3Bに金ワ
イヤー5Aによって連続的に接続し、図示しないが他の
ICチップ1Bについても同様に接続され、これら以外
は実施例1と同様に構成されている。従ってこの実施例
によれば、ICチップ1A、1Bをインナーリード3、
3A、3Bに連続的に効率良く接続でき、しかもインピ
ーダンスを低減することができる。Example 10. In the resin-sealed semiconductor device of this embodiment, as shown in FIG. 17, continuous inner leads 3, 3A, 3B of the lead frame are used as signal electrodes, power source electrodes, and ground electrodes of the IC chip 1A, for example. It is configured by connecting to a plurality of electrode pads 6A. That is, of the electrode pads 6A of the IC chip 1A,
The power supply electrode and the ground electrode are continuously connected to the power supply inner lead 3A and the ground inner lead 3B by the gold wire 5A, and are similarly connected to other IC chips 1B (not shown). The configuration is the same as in Example 1. Therefore, according to this embodiment, the IC chips 1A and 1B are connected to the inner leads 3,
3A and 3B can be continuously and efficiently connected, and the impedance can be reduced.
【0040】実施例11.この実施例の樹脂封止型半導
体装置は、図18に示すように、別々のリードフレーム
のダイパッド2、2にそれぞれ個別にダイボンドされた
ICチップ1A、1Bと、各ICチップ1A、1Bにそ
れぞれ電気的に接続されたインナーリード3、3と、こ
れらが上記ダイパッド2、2の非取付面を露出するよう
にモールド樹脂7によって個別に封止された単品とを備
え、これらの単品を図19に示すように上記非取付面側
で貼り合わせて一体化して構成されたものである。従っ
てこの実施例によれば、この実施例の樹脂封止型半導体
装置を作る前段階の半割り状態の樹脂封止型半導体装置
も独立した単品として使用することができる他、実施例
8に準じた作用効果を期することができる。Example 11. As shown in FIG. 18, the resin-encapsulated semiconductor device of this embodiment has IC chips 1A and 1B individually die-bonded to die pads 2 and 2 of different lead frames, and IC chips 1A and 1B respectively. The inner leads 3 and 3 electrically connected to each other and the individual products individually sealed with the mold resin 7 so as to expose the non-attachment surfaces of the die pads 2 and 2 are shown in FIG. As shown in FIG. 5, the non-mounting surface side is bonded and integrated. Therefore, according to this embodiment, the half-divided resin-encapsulated semiconductor device at the previous stage of manufacturing the resin-encapsulated semiconductor device of this embodiment can be used as an independent single product, and according to Embodiment 8. It is possible to achieve the desired effect.
【0041】尚、この発明は上記各実施例に制限される
ものでなく、この発明の要旨を逸脱しない限りはこの発
明の包含される。The present invention is not limited to the above-mentioned embodiments, and the present invention is included unless it deviates from the gist of the present invention.
【0042】[0042]
【発明の効果】以上説明したようにこの発明の請求項1
に記載の発明によれば、樹脂封止型半導体装置は複数の
ICチップがそれぞれアウターリードに対して平行にな
っているため、樹脂封止型半導体装置を実装基板に実装
すると、複数のICチップがいずれも実装基板に対して
垂直になって実装基板に対向せずそれぞれの放熱性に差
をなくすことができ、各ICチップから同様に放熱する
ことができる。As described above, the first aspect of the present invention is provided.
According to the invention described in (1), since the plurality of IC chips of the resin-sealed semiconductor device are parallel to the outer leads, respectively, when the resin-sealed semiconductor device is mounted on the mounting substrate, the plurality of IC chips are mounted. However, both of them are perpendicular to the mounting substrate and do not face the mounting substrate, so that there is no difference in their heat radiation properties, and heat can be similarly radiated from each IC chip.
【0043】また、この発明の請求項2に記載の発明に
よれば、請求項1に記載の発明において、樹脂封止型半
導体装置は複数のICチップがそれぞれアウターリード
に対して平行になっていると共に各ICチップをインナ
ーリードに接合してあるため、製造時にはワイヤーボン
ディング工程を省略することができ、実装基板に実装さ
れた各ICチップから同様に放熱することができる。According to a second aspect of the present invention, in the invention of the first aspect, the resin-sealed semiconductor device has a plurality of IC chips arranged in parallel with the outer leads. In addition, since each IC chip is joined to the inner lead, the wire bonding step can be omitted at the time of manufacturing, and heat can be similarly radiated from each IC chip mounted on the mounting board.
【0044】また、この発明の請求項3及び請求項4に
記載の発明によれば、請求項1に記載の発明において、
樹脂封止型半導体装置は複数のICチップがそれぞれア
ウターリードに対して平行になっていると共に突起電極
を介して各ICチップをインナーリードに接合してある
ため、製造時にはワイヤーボンディング工程を省略する
ことができ、実装基板に実装された各ICチップから同
様に放熱することができる。Further, according to the invention described in claim 3 and claim 4 of the present invention, in the invention described in claim 1,
In the resin-encapsulated semiconductor device, a plurality of IC chips are parallel to the outer leads, and each IC chip is joined to the inner leads via the protruding electrodes, so that the wire bonding step is omitted during manufacturing. Therefore, heat can be similarly radiated from each IC chip mounted on the mounting board.
【0045】また、この発明の請求項5に記載の発明に
よれば、請求項1に記載の発明において、樹脂封止型半
導体装置は複数のICチップがそれぞれアウターリード
に対して平行になっていると共に配線基板の両側に各I
Cチップを接合してあるため、製造時にはワイヤーボン
ディング工程を省略することができ、実装基板に実装さ
れた各ICチップから同様に放熱することができる。According to a fifth aspect of the present invention, in the invention according to the first aspect, the resin-sealed semiconductor device has a plurality of IC chips arranged in parallel with the outer leads. On each side of the wiring board
Since the C chips are joined, the wire bonding step can be omitted during manufacturing, and heat can be similarly radiated from each IC chip mounted on the mounting substrate.
【0046】また、この発明の請求項6に記載の発明に
よれば、請求項2または請求項3に記載の発明におい
て、樹脂封止型半導体装置は複数のICチップがそれぞ
れアウターリードに対して平行になっていると共に各I
Cチップまたは各インナーリードに突起電極と離隔させ
て突起電極を同一高さの突起部を設けてあるため、ワイ
ヤーボンディング時にICチップ1A、1Bを傷つける
ことなく樹脂封止型半導体装置を製造することができ。According to the invention of claim 6 of the present invention, in the invention of claim 2 or 3, the resin-sealed semiconductor device has a plurality of IC chips for the outer leads. Are parallel and each I
Since the protruding portion having the same height is provided on the C chip or each inner lead so as to be separated from the protruding electrode, a resin-sealed semiconductor device can be manufactured without damaging the IC chips 1A and 1B during wire bonding. Can
【0047】また、この発明の請求項7に記載の発明に
よれば、請求項1に記載の発明において、樹脂封止型半
導体装置は複数のICチップがそれぞれアウターリード
に対して平行になっていると共にダイパッドの周縁にワ
イヤーボンド時にダイパッドを支承するための延設部を
水平方向に延設してあるため、ダイパッドの延設部をス
テージ等で支承することによりダイパッドの両側からワ
イヤーボンディングすることができる。According to a seventh aspect of the present invention, in the first aspect of the invention, the resin-sealed semiconductor device has a plurality of IC chips arranged in parallel with the outer leads. In addition, the extension part for supporting the die pad at the time of wire bonding is horizontally extended around the periphery of the die pad, so that the extension part of the die pad is supported on a stage etc. to perform wire bonding from both sides of the die pad. You can
【0048】また、この発明の請求項8に記載の発明に
よれば、請求項1に記載の発明において、樹脂封止型半
導体装置は複数のICチップがそれぞれアウターリード
に対して平行になっていると共に別々の複数のICチッ
プ等を別々に組み立てて貼り合わせてモールド樹脂によ
って封止するようにしたため、製造工程を簡単にするこ
とができる。According to an eighth aspect of the present invention, in the invention of the first aspect, the resin-sealed semiconductor device has a plurality of IC chips arranged in parallel with the outer leads. In addition, since a plurality of different IC chips and the like are separately assembled, bonded together, and sealed with the mold resin, the manufacturing process can be simplified.
【0049】また、この発明の請求項9に記載の発明に
よれば、請求項1に記載の発明において、樹脂封止型半
導体装置は複数のICチップがそれぞれアウターリード
に対して平行になっていると共にインナーリード部及び
アウターリード部が配線パターンとして貼り合わされた
キャリアテープにICチップを取り付け、このキャリア
テープをリードフレームに接合してモールド樹脂によっ
て封止するようにしたため、TAB技術を併用して簡単
に樹脂封止型半導体装置を製造することができる。According to a ninth aspect of the present invention, in the first aspect of the invention, the resin-sealed semiconductor device has a plurality of IC chips arranged in parallel with the outer leads. At the same time, the IC chip was attached to the carrier tape in which the inner lead portion and the outer lead portion were attached as a wiring pattern, and this carrier tape was joined to the lead frame and sealed with the mold resin. The resin-sealed semiconductor device can be easily manufactured.
【0050】また、この発明の請求項10に記載の発明
によれば、請求項1に記載の発明において、樹脂封止型
半導体装置は複数のICチップがそれぞれアウターリー
ドに対して平行になっていると共にリードフレームの連
続するリードを同一または異なるICチップの複数の電
極に接合するようにしたため、各ICチップを各インナ
ーリードに連続的に効率良く接合でき、しかもインピー
ダンスを低減することができる。According to a tenth aspect of the present invention, in the invention according to the first aspect, the resin-sealed semiconductor device has a plurality of IC chips arranged in parallel with the outer leads. In addition, since the continuous leads of the lead frame are joined to the plurality of electrodes of the same or different IC chips, each IC chip can be continuously and efficiently joined to each inner lead, and the impedance can be reduced.
【0051】また、この発明の請求項11に記載の発明
によれば、請求項1に記載の発明において、樹脂封止型
半導体装置は複数のICチップがそれぞれアウターリー
ドに対して平行になっていると共に別々のリードフレー
ムにICチップを組み立てて独立した単品を作って各単
品を貼り合わせて一体化しするようにしたため、製造工
程を簡単にすることができる。According to an eleventh aspect of the present invention, in the invention according to the first aspect, the resin-sealed semiconductor device has a plurality of IC chips arranged in parallel with the outer leads. In addition, since the IC chips are assembled on separate lead frames to form independent single products and the individual products are bonded and integrated, the manufacturing process can be simplified.
【図1】この発明の樹脂封止型半導体装置の一実施例の
配線状態を示す正面図である。FIG. 1 is a front view showing a wiring state of an embodiment of a resin-sealed semiconductor device of the present invention.
【図2】図1に示す樹脂封止型半導体装置の配線状態を
示す側面図である。FIG. 2 is a side view showing a wiring state of the resin-sealed semiconductor device shown in FIG.
【図3】この発明の樹脂封止型半導体装置の他の実施例
の一部を破断して配線状態を示す部分斜視図である。FIG. 3 is a partial perspective view showing a wiring state by breaking a part of another embodiment of the resin-encapsulated semiconductor device of the present invention.
【図4】図3に示す樹脂封止型半導体装置の配線状態を
示す正面図である。FIG. 4 is a front view showing a wiring state of the resin-sealed semiconductor device shown in FIG.
【図5】図3に示す樹脂封止型半導体装置の一方のIC
チップの配線状態を示す側面図である。5 is one IC of the resin-sealed semiconductor device shown in FIG.
It is a side view showing a wiring state of a chip.
【図6】図3に示す樹脂封止型半導体装置の配線状態を
示す図4に相当する図である。6 is a diagram corresponding to FIG. 4 showing a wiring state of the resin-sealed semiconductor device shown in FIG.
【図7】図6に示す樹脂封止型半導体装置の配線状態を
示す図5に相当する図である。7 is a diagram corresponding to FIG. 5 showing a wiring state of the resin-sealed semiconductor device shown in FIG.
【図8】この発明の樹脂封止型半導体装置の更に他の実
施例の一部を破断して配線状態を示す部分斜視図であ
る。FIG. 8 is a partial perspective view showing a wiring state by breaking a part of still another embodiment of the resin-encapsulated semiconductor device of the present invention.
【図9】図8に示す樹脂封止型半導体装置の配線状態を
示す側面図である。9 is a side view showing a wiring state of the resin-encapsulated semiconductor device shown in FIG.
【図10】この発明の樹脂封止型半導体装置の更に他の
実施例のICチップとインナーリードとの接合状態を示
す側面図である。FIG. 10 is a side view showing a joined state of an IC chip and an inner lead of still another embodiment of the resin-encapsulated semiconductor device of the present invention.
【図11】図3に示す樹脂封止型半導体装置のICチッ
プとインナーリードとを接合する状態を示す側面図であ
る。11 is a side view showing a state in which the IC chip and the inner lead of the resin-sealed semiconductor device shown in FIG. 3 are joined together.
【図12】この発明の樹脂封止型半導体装置の更に他の
実施例の要部を示す正面図である。FIG. 12 is a front view showing a main part of still another embodiment of the resin-encapsulated semiconductor device of the present invention.
【図13】図12に示す樹脂封止型半導体装置のICチ
ップとインナーリードとを接合する状態を示す側面図で
ある。13 is a side view showing a state in which the IC chip and the inner lead of the resin-sealed semiconductor device shown in FIG. 12 are joined together.
【図14】この発明の樹脂封止型半導体装置の更に他の
実施例の組み立て途中の要部を示す側面図である。FIG. 14 is a side view showing a main part of a resin-encapsulated semiconductor device according to another embodiment of the present invention during assembly.
【図15】図14に示す樹脂封止型半導体装置を示す側
面図である。15 is a side view showing the resin-sealed semiconductor device shown in FIG.
【図16】この発明の樹脂封止型半導体装置の更に他の
実施例を示す側面図である。FIG. 16 is a side view showing still another embodiment of the resin-encapsulated semiconductor device of the present invention.
【図17】この発明の樹脂封止型半導体装置の更に他の
実施例の要部を拡大して示す正面図である。FIG. 17 is an enlarged front view showing a main part of still another embodiment of the resin-encapsulated semiconductor device of the present invention.
【図18】この発明の樹脂封止型半導体装置の更に他の
実施例の組み立て途中の要部を示す側面図である。FIG. 18 is a side view showing a main part of a resin-encapsulated semiconductor device according to another embodiment of the present invention during assembly.
【図19】図18に示す樹脂封止型半導体装置を示す側
面図である。19 is a side view showing the resin-sealed semiconductor device shown in FIG.
【図20】従来の樹脂封止型半導体装置を実装基板に実
装した状態を示す側面図である。FIG. 20 is a side view showing a state in which a conventional resin-encapsulated semiconductor device is mounted on a mounting board.
1A ICチップ 1B ICチップ 2 ダイパッド 2A 延設部 3 インナーリード 3A インナーリード 3B インナーリード 4 アウターリード 7 モールド樹脂 9A バンプ(突起電極) 9B バンプ(突起電極) 10 配線パターン 11 配線基板 12A ダミーバンプ(突起部) 16 キャリアテープ 16A 配線パターン 1A IC chip 1B IC chip 2 Die pad 2A Extended part 3 Inner lead 3A Inner lead 3B Inner lead 4 Outer lead 7 Mold resin 9A Bump (projection electrode) 9B Bump (projection electrode) 10 Wiring pattern 11 Wiring board 12A Dummy bump (projection part) ) 16 carrier tape 16A wiring pattern
Claims (11)
れぞれICチップと、各ICチップに対して電気的に接
続された複数のインナーリード及びアウターリードを有
する樹脂封止型半導体装置であって、複数のICチップ
がそれぞれアウターリードに対して平行になるように樹
脂封止したことを特徴とする樹脂封止型半導体装置。1. A resin-sealed semiconductor device having an IC chip on each side of a die pad of a lead frame, and a plurality of inner leads and outer leads electrically connected to each IC chip. A resin-encapsulated semiconductor device, characterized in that an IC chip is resin-encapsulated so as to be parallel to the outer leads, respectively.
極を設け、これらの突起電極を介して上記各ICチップ
を上記インナーリードに接合したことを特徴とする請求
項1に記載の樹脂封止型半導体装置。2. The resin encapsulation according to claim 1, wherein a plurality of protruding electrodes are provided on the surface of each IC chip, and each IC chip is bonded to the inner lead via these protruding electrodes. Static semiconductor device.
起電極を設け、これらの突起電極を介して上記各ICチ
ップを上記インナーリードに接合したことを特徴とする
請求項1に記載の樹脂封止型半導体装置。3. The resin-sealed mold according to claim 1, wherein bump electrodes are provided on the plurality of inner leads, and the IC chips are bonded to the inner leads through the bump electrodes. Semiconductor device.
ぞれ突起電極を設け、これらの突起電極を介して上記各
ICチップを上記インナーリードに接合したことを特徴
とする請求項3に記載の樹脂封止型半導体装置。4. The resin encapsulation according to claim 3, wherein bump electrodes are provided on both surfaces of the plurality of inner leads, and the IC chips are bonded to the inner leads through the bump electrodes. Static semiconductor device.
が形成されたシリコンまたはセラミックスからなる配線
基板の両面の配線パターンに電気的に接合し且つこの配
線基板に上記アウターリードを接合したことを特徴とす
る請求項1に記載の樹脂封止型半導体装置。5. The respective IC chips are electrically joined to wiring patterns on both sides of a wiring board made of silicon or ceramics having wiring patterns formed on both sides, and the outer leads are joined to the wiring board. The resin-encapsulated semiconductor device according to claim 1.
リードに上記突起電極と離隔させて上記突起電極を同一
高さの突起部を設けたことを特徴とする請求項2または
請求項3に記載の樹脂封止型半導体装置。6. The IC chip or each inner lead is provided with a protrusion having the same height as the protrusion electrode, which is separated from the protrusion electrode. Resin-sealed semiconductor device.
時に上記ダイパッドを支承するための延設部を水平方向
に延設したことを特徴とする請求項1に記載の樹脂封止
型半導体装置。7. The resin-encapsulated semiconductor device according to claim 1, wherein an extending portion for supporting the die pad at the time of wire bonding is extended in the horizontal direction at the periphery of the die pad.
れぞれ個別にダイボンドされたICチップと、各ICチ
ップにそれぞれ電気的に接合されたインナーリードとを
備え、上記リードフレームを貼り合わせて一体化した状
態でモールド樹脂によって封止したことを特徴とする請
求項1に記載の樹脂封止型半導体装置。8. A state in which IC chips individually die-bonded to die pads of different lead frames and inner leads electrically connected to the respective IC chips are provided, and the lead frames are bonded and integrated. The resin-encapsulated semiconductor device according to claim 1, wherein the resin-encapsulated semiconductor device is encapsulated with a mold resin.
が配線パターンとして貼り合わされたキャリアテープに
ICチップを取り付け、このキャリアテープをリードフ
レームに接合してモールド樹脂によって封止したことを
特徴とする請求項1に記載の樹脂封止型半導体装置。9. An IC chip is attached to a carrier tape having an inner lead portion and an outer lead portion bonded together as a wiring pattern, the carrier tape is joined to a lead frame and sealed with a molding resin. 1. The resin-encapsulated semiconductor device according to 1.
を同一または異なるICチップの複数の電極に接合した
ことを特徴とする請求項1に記載の樹脂封止型半導体装
置。10. The resin-encapsulated semiconductor device according to claim 1, wherein continuous leads of the lead frame are bonded to a plurality of electrodes of the same or different IC chips.
それぞれ個別にダイボンドされたICチップと、各IC
チップにそれぞれ電気的に接合されたインナーリード
と、これらが上記ダイパッドの非取付面を露出するよう
にモールド樹脂によって個別に封止された単品とを備
え、これらの単品を上記非取付面側で貼り合わせて一体
化したことを特徴とする請求項1に記載の樹脂封止型半
導体装置。11. An IC chip die-bonded individually to a die pad of a different lead frame, and each IC
Inner leads electrically connected to the chip respectively, and a single product individually sealed by molding resin so as to expose the non-attachment surface of the die pad, these single products on the non-attachment surface side The resin-encapsulated semiconductor device according to claim 1, wherein the resin-encapsulated semiconductor device is bonded and integrated.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5088555A JPH06302762A (en) | 1993-04-15 | 1993-04-15 | Resin-sealed semiconductor device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5088555A JPH06302762A (en) | 1993-04-15 | 1993-04-15 | Resin-sealed semiconductor device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06302762A true JPH06302762A (en) | 1994-10-28 |
Family
ID=13946120
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5088555A Pending JPH06302762A (en) | 1993-04-15 | 1993-04-15 | Resin-sealed semiconductor device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH06302762A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7112468B2 (en) | 1998-09-25 | 2006-09-26 | Stmicroelectronics, Inc. | Stacked multi-component integrated circuit microprocessor |
-
1993
- 1993-04-15 JP JP5088555A patent/JPH06302762A/en active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7112468B2 (en) | 1998-09-25 | 2006-09-26 | Stmicroelectronics, Inc. | Stacked multi-component integrated circuit microprocessor |
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