JPH0630269Y2 - 電子恒温槽装置 - Google Patents
電子恒温槽装置Info
- Publication number
- JPH0630269Y2 JPH0630269Y2 JP1801389U JP1801389U JPH0630269Y2 JP H0630269 Y2 JPH0630269 Y2 JP H0630269Y2 JP 1801389 U JP1801389 U JP 1801389U JP 1801389 U JP1801389 U JP 1801389U JP H0630269 Y2 JPH0630269 Y2 JP H0630269Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- constant temperature
- temperature bath
- container
- electronic
- filled
- Prior art date
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- Devices For Use In Laboratory Experiments (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この考案は半導体製造プロセスで用いられる電子恒温槽
装置に係り、詳しくは、その恒温槽内に充填された溶液
を攪拌する構造に関する。
装置に係り、詳しくは、その恒温槽内に充填された溶液
を攪拌する構造に関する。
従来から、この種の電子恒温槽装置としては、第４図の
一部破断側面図で示すような構成のものが知られてい
る。この電子恒温槽装置１０は、液状とされたトリエチ
ルガリウムなどのような有機金属（図示していない）を
充填した容器１１と、この容器１１が浸漬される溶液、
例えば、水とエチレングリコールとからなる水溶液１２
を充填した恒温槽１３とを備えたものであって、この恒
温槽１３の底部には水平方向に沿ってのみ回転駆動され
て水溶液１２を攪拌するスターラー１４が載置されてい
る。また、この恒温槽１３は、これに充填された水溶液
１２を予め設定された一定温度まで加熱・冷却したう
え、設定温度のままで維持するための機能（図示してい
ない）を具備している。
一部破断側面図で示すような構成のものが知られてい
る。この電子恒温槽装置１０は、液状とされたトリエチ
ルガリウムなどのような有機金属（図示していない）を
充填した容器１１と、この容器１１が浸漬される溶液、
例えば、水とエチレングリコールとからなる水溶液１２
を充填した恒温槽１３とを備えたものであって、この恒
温槽１３の底部には水平方向に沿ってのみ回転駆動され
て水溶液１２を攪拌するスターラー１４が載置されてい
る。また、この恒温槽１３は、これに充填された水溶液
１２を予め設定された一定温度まで加熱・冷却したう
え、設定温度のままで維持するための機能（図示してい
ない）を具備している。
すなわち、この電子恒温槽装置１０は、その恒温槽１３
内の水溶液１２をスターラー１４で攪拌しながら容器１
１に充填された有機金属の蒸気圧と対応する一定温度、
例えば、−（マイナス）１０℃というような所定の設定
温度に保つことによって有機金属から蒸気を発生させる
ようになっており、設定温度下で発生した有機金属の蒸
気は容器１１内を通過するキャリアガスＧによって導出
されて所要の工程へ供給されるようになっている。な
お、図における符号１５，１６のそれぞれはキャリアガ
スＧを導入・導出するためのパイプであり、１７，１８
はその中途位置に配設されたバルブである。
内の水溶液１２をスターラー１４で攪拌しながら容器１
１に充填された有機金属の蒸気圧と対応する一定温度、
例えば、−（マイナス）１０℃というような所定の設定
温度に保つことによって有機金属から蒸気を発生させる
ようになっており、設定温度下で発生した有機金属の蒸
気は容器１１内を通過するキャリアガスＧによって導出
されて所要の工程へ供給されるようになっている。な
お、図における符号１５，１６のそれぞれはキャリアガ
スＧを導入・導出するためのパイプであり、１７，１８
はその中途位置に配設されたバルブである。
ところで、本考案の考案者が、前記従来構成の電子恒温
槽装置１０における水溶液１２の設定温度を−１０℃と
したうえで水溶液１２内の温度分布を調査したところ、
第５図で示すように、恒温槽１３の下部個所および上部
個所における温度差が約１℃にもなっており、有機金属
を充填した容器１１が均一に冷却されていないことが判
明した。そして、この容器１１が均一に冷却されていな
い状態では、有機金属から発生する蒸気の量が数％にわ
たって変動することになる結果、この蒸気を用いる半導
体製造プロセスの所要工程で不都合を招いてしまうこと
が考えられる。
槽装置１０における水溶液１２の設定温度を−１０℃と
したうえで水溶液１２内の温度分布を調査したところ、
第５図で示すように、恒温槽１３の下部個所および上部
個所における温度差が約１℃にもなっており、有機金属
を充填した容器１１が均一に冷却されていないことが判
明した。そして、この容器１１が均一に冷却されていな
い状態では、有機金属から発生する蒸気の量が数％にわ
たって変動することになる結果、この蒸気を用いる半導
体製造プロセスの所要工程で不都合を招いてしまうこと
が考えられる。
この考案は、このような現状に鑑みて創案されたもので
あって、容器内に充填された有機金属を設定温度で維持
するための溶液を充分、かつ、確実に攪拌することがで
き、この溶液内における温度差の発生を未然に防止する
ことが可能な電子恒温槽装置の提供を目的としている。
あって、容器内に充填された有機金属を設定温度で維持
するための溶液を充分、かつ、確実に攪拌することがで
き、この溶液内における温度差の発生を未然に防止する
ことが可能な電子恒温槽装置の提供を目的としている。
この考案は、このような目的を達成するため、容器内に
充填された有機金属を前記容器が浸漬された恒温槽内の
溶液を介して設定温度に維持するための電子恒温槽装置
において、前記恒温槽の内部に上下方向に沿って移動す
る攪拌部材を設けるとともに、前記恒温槽の外部に前記
攪拌部材を駆動する駆動手段を設けたことを特徴とする
ものである。
充填された有機金属を前記容器が浸漬された恒温槽内の
溶液を介して設定温度に維持するための電子恒温槽装置
において、前記恒温槽の内部に上下方向に沿って移動す
る攪拌部材を設けるとともに、前記恒温槽の外部に前記
攪拌部材を駆動する駆動手段を設けたことを特徴とする
ものである。
上記構成によれば、駆動手段で駆動された攪拌部材が上
下方向に沿って移動するので、この攪拌部材の移動に伴
って恒温槽に充填された溶液が上下方向に沿って攪拌さ
れるとともに、恒温槽の下部個所および上部個所それぞ
れに位置する溶液部分が互いに混合されることになる。
下方向に沿って移動するので、この攪拌部材の移動に伴
って恒温槽に充填された溶液が上下方向に沿って攪拌さ
れるとともに、恒温槽の下部個所および上部個所それぞ
れに位置する溶液部分が互いに混合されることになる。
以下、この考案に係る実施例を図面に基づいて説明す
る。
る。
第１図は本考案に係る電子恒温槽装置の概略構成を示す
一部破断側面図、第２図はその攪拌部材の要部を示す外
観斜視図であり、これらの図における符号１は電子恒温
槽装置である。なお、本実施例における電子恒温槽装置
１の全体構成は、前述した従来例における電子恒温槽装
置１０の全体構成と基本的に異ならないので、第１図に
おいて第４図と互いに同一もしくは相当する部品、部分
については同一符号を付し、その説明は省略する。
一部破断側面図、第２図はその攪拌部材の要部を示す外
観斜視図であり、これらの図における符号１は電子恒温
槽装置である。なお、本実施例における電子恒温槽装置
１の全体構成は、前述した従来例における電子恒温槽装
置１０の全体構成と基本的に異ならないので、第１図に
おいて第４図と互いに同一もしくは相当する部品、部分
については同一符号を付し、その説明は省略する。
本実施例に係る電子恒温槽装置１は、有機金属（図示し
ていない）が充填された容器１１を恒温槽１３内の水溶
液１２に浸漬し、この水溶液１２を予め設定された一定
温度で維持することによって容器１１内の有機金属を設
定温度で保つように構成されている。そして、この電子
恒温槽装置１を構成する恒温槽１３の内部には、上下方
向に沿って移動する攪拌部材２が設けられており、この
攪拌部材２は、容器１１の外形寸法よりも大きな内径寸
法を有する平面視環状に形成されて恒温槽１３の下部位
置に配置されたリング３と、このリング３の円周上の一
個所と連結されて上向きに延出された支持棒４とからな
っている。なお、リング３は容器１１および恒温槽１３
の隙間を挿通しうる平面視形状を有していればよいもの
であり、必ずしも環状でなければならないものではな
く、また、その一部が切り欠かれていてもよい。
ていない）が充填された容器１１を恒温槽１３内の水溶
液１２に浸漬し、この水溶液１２を予め設定された一定
温度で維持することによって容器１１内の有機金属を設
定温度で保つように構成されている。そして、この電子
恒温槽装置１を構成する恒温槽１３の内部には、上下方
向に沿って移動する攪拌部材２が設けられており、この
攪拌部材２は、容器１１の外形寸法よりも大きな内径寸
法を有する平面視環状に形成されて恒温槽１３の下部位
置に配置されたリング３と、このリング３の円周上の一
個所と連結されて上向きに延出された支持棒４とからな
っている。なお、リング３は容器１１および恒温槽１３
の隙間を挿通しうる平面視形状を有していればよいもの
であり、必ずしも環状でなければならないものではな
く、また、その一部が切り欠かれていてもよい。
さらに、この恒温槽１３の外部には、攪拌部材２を上下
方向に沿って連続的に駆動する駆動手段としてのエアコ
ンプレッサー５が配設されており、このエアコンプレッ
サー５の駆動部位には屈曲形成された支持棒４の上端部
が連結されている。なお、攪拌部材２を駆動するための
駆動手段はエアコンプレッサーのみに限定されるもので
はなく、例えば、エアシリンダなどのような直線駆動を
行う他のアクチュエータを用いることも可能である。
方向に沿って連続的に駆動する駆動手段としてのエアコ
ンプレッサー５が配設されており、このエアコンプレッ
サー５の駆動部位には屈曲形成された支持棒４の上端部
が連結されている。なお、攪拌部材２を駆動するための
駆動手段はエアコンプレッサーのみに限定されるもので
はなく、例えば、エアシリンダなどのような直線駆動を
行う他のアクチュエータを用いることも可能である。
そこで、上記構成によれば、エアコンプレッサー５で駆
動されることによって攪拌部材２が上下方向に沿って移
動すれば、そのリング３によって恒温槽１３に充填され
た水溶液１２が上下方向に沿って攪拌されることにな
る。そして、本考案の考案者が、この電子恒温槽装置１
における水溶液１２の設定温度を−１０℃としたうえで
水溶液１２内の温度分布を調査したところによれば、第
３図で示すように、恒温槽１３の下部個所および上部個
所における温度差が約０．２５℃となり、有機金属を充
填した容器１１がほぼ均一に冷却されることが明らかと
なっている。
動されることによって攪拌部材２が上下方向に沿って移
動すれば、そのリング３によって恒温槽１３に充填され
た水溶液１２が上下方向に沿って攪拌されることにな
る。そして、本考案の考案者が、この電子恒温槽装置１
における水溶液１２の設定温度を−１０℃としたうえで
水溶液１２内の温度分布を調査したところによれば、第
３図で示すように、恒温槽１３の下部個所および上部個
所における温度差が約０．２５℃となり、有機金属を充
填した容器１１がほぼ均一に冷却されることが明らかと
なっている。
以上説明したように、本考案によれば、有機金属を充填
した容器が浸漬される溶液が充填された恒温槽の内部に
上下方向に沿って移動する攪拌部材を設けるとともに、
前記恒温槽の外部に前記攪拌部材を駆動する駆動手段を
設けている。そこで、駆動手段で駆動された攪拌部材が
上下方向に沿って移動すると、この攪拌部材の移動に伴
って恒温槽に充填された溶液が上下方向に沿って攪拌さ
れることになり、恒温槽の下部個所および上部個所それ
ぞれに位置する溶液部分が互いに混合されることにな
る。
した容器が浸漬される溶液が充填された恒温槽の内部に
上下方向に沿って移動する攪拌部材を設けるとともに、
前記恒温槽の外部に前記攪拌部材を駆動する駆動手段を
設けている。そこで、駆動手段で駆動された攪拌部材が
上下方向に沿って移動すると、この攪拌部材の移動に伴
って恒温槽に充填された溶液が上下方向に沿って攪拌さ
れることになり、恒温槽の下部個所および上部個所それ
ぞれに位置する溶液部分が互いに混合されることにな
る。
したがって、恒温槽に充填されて容器内の有機金属を設
定温度で維持するための溶液が充分、かつ、確実に攪拌
されることになり、この溶液内における温度差の発生を
未然に防止することができる結果、容器に充填された有
機金属の温度を均一化することができる。
定温度で維持するための溶液が充分、かつ、確実に攪拌
されることになり、この溶液内における温度差の発生を
未然に防止することができる結果、容器に充填された有
機金属の温度を均一化することができる。
第１図ないし第３図は本考案の実施例に係り、第１図は
本考案に係る電子恒温槽装置の概略構成を示す一部破断
側面図、第２図はその攪拌部材の要部を示す外観斜視図
であり、第３図は水溶液内の温度差を示す説明図であ
る。 また、第４図および第５図は従来例に係り、第４図は電
子恒温槽装置の概略構成を示す一部破断側面図であり、
第５図は水溶液内の温度差を示す説明図である。 図における符号１は電子恒温槽装置、２は攪拌部材、３
はエアコンプレッサー（駆動手段）、１１は容器、１３
は恒温槽である。 なお、図中の同一符号は、互いに同一もしくは相当する
部品、部分を示している。
本考案に係る電子恒温槽装置の概略構成を示す一部破断
側面図、第２図はその攪拌部材の要部を示す外観斜視図
であり、第３図は水溶液内の温度差を示す説明図であ
る。 また、第４図および第５図は従来例に係り、第４図は電
子恒温槽装置の概略構成を示す一部破断側面図であり、
第５図は水溶液内の温度差を示す説明図である。 図における符号１は電子恒温槽装置、２は攪拌部材、３
はエアコンプレッサー（駆動手段）、１１は容器、１３
は恒温槽である。 なお、図中の同一符号は、互いに同一もしくは相当する
部品、部分を示している。
Claims (1)
- 【請求項１】容器内に充填された有機金属を前記容器が
浸漬された恒温槽内の溶液を介して設定温度に維持する
電子恒温槽装置において、 前記恒温槽の内部に上下方向に沿って移動する攪拌部材
を設けるとともに、前記恒温槽の外部に前記攪拌部材を
駆動する駆動手段を設けたことを特徴とする電子恒温槽
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1801389U JPH0630269Y2 (ja) | 1989-02-17 | 1989-02-17 | 電子恒温槽装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1801389U JPH0630269Y2 (ja) | 1989-02-17 | 1989-02-17 | 電子恒温槽装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02108735U JPH02108735U (ja) | 1990-08-29 |
| JPH0630269Y2 true JPH0630269Y2 (ja) | 1994-08-17 |
Family
ID=31232281
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1801389U Expired - Lifetime JPH0630269Y2 (ja) | 1989-02-17 | 1989-02-17 | 電子恒温槽装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0630269Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004146102A (ja) * | 2002-10-22 | 2004-05-20 | West Electric Co Ltd | 蛍光液の塗布装置 |
-
1989
- 1989-02-17 JP JP1801389U patent/JPH0630269Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02108735U (ja) | 1990-08-29 |
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