JPH06302670A - Non-contact suction head for compact square-shaped work - Google Patents
Non-contact suction head for compact square-shaped workInfo
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- JPH06302670A JPH06302670A JP5112300A JP11230093A JPH06302670A JP H06302670 A JPH06302670 A JP H06302670A JP 5112300 A JP5112300 A JP 5112300A JP 11230093 A JP11230093 A JP 11230093A JP H06302670 A JPH06302670 A JP H06302670A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は、小形の角型ワークに
対する非接触吸着ヘッドに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a non-contact suction head for a small rectangular work piece.
【０００２】[0002]
【従来の技術】半導体部品などの検査ラインにおいて
は、カセットに収容されたワーク部品は、ハンドリング
機構のロボットハンドにチャックされて検査装置に搬送
され、検査が終了するとカセットに搬送されて収納され
る。ワークをチャックする一般な方法としては機械的な
チャック機構またはエア吸着機構が使用されている。し
かし、これらの機構はワークに直接接触するので、例え
ば最近開発されたマイクロ・キャリヤー・チップ（ＭＣ
Ｃ）とよばれる精密な部品に対しては好ましくないとさ
れ、そのハンドリングには非接触のエア吸着方式が使用
されている。2. Description of the Related Art In an inspection line for semiconductor parts or the like, a work part housed in a cassette is chucked by a robot hand of a handling mechanism and conveyed to an inspection device. When the inspection is completed, the work part is conveyed and stored in a cassette. . As a general method of chucking a work, a mechanical chuck mechanism or an air suction mechanism is used. However, since these mechanisms directly contact the work, for example, the recently developed micro carrier chip (MC
It is said to be unfavorable for precision parts called C), and a non-contact air suction method is used for handling thereof.
【０００３】図３により、上記のＭＣＣと、これを収納
するカセット、および従来使用されている非接触のエア
吸着ヘッド（単に非接触吸着ヘッド、またはヘッドとい
う）を説明する。図３(a) に示すＭＣＣ１は、各辺の幅
ｗが〜１０ｍｍの正方形をなし、厚さｔは約１ｍｍ、重
量は１ｇ程度のもので、両面には極めて微小な配設パタ
ーンが形成され、これにＩＣチップが搭載され、スーパ
ーコンピュータなどに使用されるものである。図３(b)
はＭＣＣ１に対するカセット２を示し、その表面には適
当な高さの仕切枠21が格子状に設けられ、それぞれの中
にＭＣＣ１が収容される。図３(c) に示す非接触吸着ヘ
ッド３は、角柱ブロック31の中心を貫通する噴射孔32
と、底面35の周辺に設けた吸入溝33、およびこれに接続
された排出孔34を有し、エア供給部より噴射孔32にエア
Ａを供給して底面35より噴射し、これを吸入溝33により
吸引して排出孔34よりエア吸引部に環流する。いま底面
35をＭＣＣ１に接近すると、噴射されたエアは層流Ａs
となって速度が上昇し、いわゆるベルヌイの原理により
負圧を生ずる。この負圧によりＭＣＣ１が吸引され、そ
の重量と吸引力とがバランスした位置に保持される。エ
アＡの噴射と吸入を停止すると負圧がなくなり、ＭＣＣ
１は解放されて仕切枠21内に収納される。Referring to FIG. 3, the above MCC, a cassette accommodating the MCC, and a conventionally used non-contact air suction head (simply called a non-contact suction head or head) will be described. The MCC1 shown in FIG. 3 (a) has a square shape with a width w of each side of 10 mm, a thickness t of about 1 mm, and a weight of about 1 g, and extremely minute arrangement patterns are formed on both sides. An IC chip is mounted on this and is used in a supercomputer or the like. Figure 3 (b)
Indicates a cassette 2 for the MCC1, and a partition frame 21 having an appropriate height is provided in a grid pattern on the surface thereof, and the MCC1 is housed in each of them. The non-contact suction head 3 shown in FIG. 3C has an injection hole 32 penetrating the center of the prismatic block 31.
And a suction groove 33 provided around the bottom surface 35, and a discharge hole 34 connected to the suction groove 33. Air A is supplied from the air supply portion to the injection hole 32 and jetted from the bottom surface 35. It is sucked by 33 and is circulated from the discharge hole 34 to the air suction portion. Now bottom
When approaching 35 to MCC1, injected air is laminar A s
The speed increases and negative pressure is generated by the so-called Bernoulli principle. Due to this negative pressure, the MCC 1 is sucked and held at a position where its weight and suction force are balanced. When the injection and intake of air A is stopped, the negative pressure disappears and the MCC
1 is released and stored in the partition frame 21.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】さて、一般に非接触吸
着ヘッドにおいては、噴射孔や吸入溝などの形状や大き
さなどによって層流Ａs の状態が変るため、底面35に生
ずる負圧が変化する。従って、ＭＣＣのワークを安定、
確実に保持するには、層流Ａs の速度を可能な限り向上
して大きい負圧が発生するように、上記の形状などを適
切に定めることが肝要である。一方、上記した従来のヘ
ッド３は、噴射孔32は角柱ブロック31の中心を単に貫通
して形成され、また、吸入溝33は底面35の周辺に単に穿
溝して形成されたもので、両者は極く単純な、いわば原
理的なものに過ぎない。これに対して、噴射孔32の周辺
に適当な深さと幅を有するエア流通溝を放射状に形成
し、層流Ａs の速度を向上する方法が知られている。し
かし、このような流通溝の深さや幅は未確定であり、ワ
ーク１の大きさや重量などにより、それぞれ適切な寸法
があるので、上記のＭＣＣに対して適切な値を特定する
ことが必要である。[SUMMARY OF THE INVENTION Now, in the generally non-contact suction head, because the shape and size of such injection holes and suction grooves changes the state of laminar flow A s, the change is negative pressure generated on the bottom surface 35 To do. Therefore, the work of MCC is stable,
To securely hold, as a negative pressure greater improved as much as possible the speed of the laminar flow A s occurs, it is important to define such a properly the shape described above. On the other hand, in the conventional head 3 described above, the injection hole 32 is formed by simply penetrating the center of the prismatic block 31, and the suction groove 33 is formed by simply piercing the periphery of the bottom surface 35. Is just a simple, so to speak, principle. In contrast, the air circulation groove having an appropriate depth and width around the injection holes 32 are formed radially, it is known how to increase the speed of the laminar flow A s. However, the depth and width of such a flow groove are not yet determined, and there are appropriate dimensions depending on the size and weight of the work 1, so it is necessary to specify an appropriate value for the MCC. is there.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】そこで、この発明の発明
者により、ＭＣＣに対するヘッドの形状などに関する実
験検討がなされ、エア流通溝の深さとともに、噴射孔の
形状や吸入孔の個数と配置などに対する適切なデータが
えられた。この発明は上記のデータに基づいて工夫さ
れ、ワーク吸着状態とワークを吸着していない状態のと
きの吹く出し圧力差が大きく採れ、吸着状態が検出し易
く、ワークを安定に保持できる角型ワーク用の非接触吸
着ヘッドを提供することを目的とする。この発明は小形
角型ワーク用非接触吸着ヘッドであって、前記の非接触
吸着ヘッドにおいて、１辺が約１０ｍｍの正方形をなす
小形の角型ワークを対象とし、これに対応した底面を有
する角柱ブロックを具備する。ブロックの中心を貫通す
る中心孔を設け、その先端に噴射ノズルを形成し、噴射
ノズルの噴射口の、ブロックの底面に対する高さを、約
０．１ｍｍの段差により低くする。ブロックの４角隅の
近傍を貫通する貫通孔により４個の上記吸入孔を形成す
る。また、ブロックの底面に対して、４個の吸入孔の近
傍を除外して、噴射ノズルの周辺から４辺の近傍まで放
射状に穿溝され、約１ｍｍの深さを有する＋形のエア流
通溝を設けて構成される。Therefore, the inventor of the present invention conducted an experimental study on the shape of the head with respect to the MCC, and the shape of the injection hole and the number and arrangement of the suction holes as well as the depth of the air circulation groove. Appropriate data for The present invention is devised based on the above data, and a large difference in blowing pressure between the work suction state and the work non-suction state can be taken, the suction state can be easily detected, and the square work can hold the work stably. It is an object of the present invention to provide a non-contact suction head for use in a vacuum cleaner. The present invention is a non-contact suction head for a small square work, wherein the non-contact suction head is intended for a small square work having one side of a square of about 10 mm, and a prism having a bottom surface corresponding thereto. Equipped with blocks. A central hole penetrating the center of the block is provided, an injection nozzle is formed at the tip thereof, and the height of the injection port of the injection nozzle with respect to the bottom surface of the block is lowered by a step of about 0.1 mm. The four suction holes are formed by the through holes penetrating near the four corners of the block. Further, with respect to the bottom surface of the block, except for the vicinity of the four suction holes, a + -shaped air circulation groove having a depth of about 1 mm is radially drilled from the periphery of the injection nozzle to the vicinity of the four sides. Is provided and configured.
【０００６】[0006]
【作用】上記の非接触吸着ヘッドにおいては、噴射ノズ
ルは、角柱ブロック中心を貫通する中心孔の先端に形成
され、その噴射口は、ブロックの底面に対する高さが、
約０．１ｍｍの段差により低くされている。また、ブロ
ックの４角隅を貫通する４個の貫通孔により４個の吸入
孔が形成され、＋形のエア流通溝は、ブロックの底面に
対して、４角の吸入孔の近傍を除外して、噴射ノズルの
周辺から４辺の近傍まで放射状に、約１ｍｍの深さに穿
溝されている。エア供給部より中心孔に供給されたエア
は、噴射ノズルよりワークに対して噴射され、エア流通
溝を放射状に流れ、４個の吸入孔の周辺の底面とワーク
のなすギャップを通って各吸入孔に吸入され、貫通孔よ
りエア吸引部に環流する。この場合のエアの流れはかな
らずしも層流ではないが、便宜上層流とみなすことと
し、これに生ずる負圧の流体力学的な解析は困難である
ので、そのメカニズムを概念的に考察する。まず、前記
した図３(c) の単純なヘッド３についてみると、この場
合は角柱ブロックの底面35とワーク１のギャップは一様
であり、層流Ａs の速度は通過する断面積に反比例する
ことは明らかであるので、中心部より周辺に向かうに従
って半径に反比例して減少し、吸引溝33では非常に低速
度となる。一方、負圧はベルヌイの定理により、層流Ａ
s の速度の二乗の関数であり、対応する面積に比例して
作用するので、底面全体ではそれなりの値となる。これ
に対して、この発明の場合は、噴射口とエア流通溝が設
けられて、ワークに対するギャップが変化し、ギャップ
の狭いところでは速度が向上し、二乗関数の関係により
負圧が増加するものと思考される。いま、角柱ブロック
の底面の各部分とワークとのギャップをみると、底面が
最も接近し、次に噴射ノズルの噴射口が段差分だけ離
れ、エア流通溝が最も遠い。一方、ワークとこれらの対
応する面積は、噴射口が最も狭く、エア流通溝と底面
は、それぞれの面積によって変るが仮にこれらを同一と
する。エアの速度は前記した断面積、すなわち、ギャッ
プとその範囲の積に反比例するので、これが小さい噴射
口の部分では高速度で通過し、十分大きい流通溝は比較
的低速度で流れるが、断面積が中程度の底面部分で再び
かなりの高速度となる。これを総合して大きい負圧がえ
られるものと考察される。しかし上記の考察はもとより
十分ではないので、ＭＣＣに対して、段差の大きさとエ
ア流通溝の深さをパラメータとして実験が行われ、その
結果によると、段差を０．１ｍｍより漸次に増加した場
合は、これが増加するほど負圧が小さくなり、逆に０．
１ｍｍ以下とすると負圧はむしろ減少することが判明し
ており、これにより０．１ｍｍが最適とされる。また、
＋形の溝の深さに関しても、約１ｍｍが最適であること
が判明している。以上により、ＭＣＣの角型ワークに対
して、適切なエア流通溝の深さと、噴射孔の噴射ノズル
の段差の寸法が特定され、これに基づいて製作された上
記の非接触吸着ヘッドは、大きい負圧がえられて、ワー
クを安定確実に非接触で保持することができるととも
に、ワーク吸着状態とワークを吸着していない状態のと
きの吹く出し圧力差が大きく採れ、吸着状態が検出し易
い角型ワーク用の非接触吸着ヘッドを実現することがで
きる。In the above non-contact suction head, the jet nozzle is formed at the tip of the central hole penetrating the center of the prismatic block, and the jet port has a height with respect to the bottom surface of the block.
The height is lowered by a step of about 0.1 mm. Further, four suction holes are formed by the four through holes penetrating the four corners of the block, and the + type air circulation groove excludes the vicinity of the four suction holes with respect to the bottom surface of the block. The holes are radially formed from the periphery of the injection nozzle to the vicinity of the four sides to a depth of about 1 mm. The air supplied from the air supply unit to the central hole is sprayed onto the work from the spray nozzle and flows radially through the air circulation groove, passing through the gaps between the bottom surface around the four suction holes and the work. The air is sucked into the holes and circulates from the through holes to the air suction portion. The air flow in this case is not necessarily a laminar flow, but it is considered as a laminar flow for the sake of convenience, and it is difficult to analyze the negative pressure generated in this flow, so the mechanism is conceptually considered. First, looking to Figure 3 a simple head 3 (c) described above, this case is uniform gap bottom 35 and the workpiece 1 prismatic block, the speed of the laminar flow A s is inversely proportional to the cross-sectional area to pass Since it is obvious that the radius decreases in inverse proportion to the radius from the center toward the periphery, the velocity becomes very low in the suction groove 33. On the other hand, the negative pressure is laminar flow A according to Bernoulli's theorem.
It is a function of the square of the velocity of s and acts in proportion to the corresponding area, so it is a reasonable value for the entire bottom surface. On the other hand, in the case of the present invention, the injection port and the air circulation groove are provided to change the gap with respect to the work, the speed is improved where the gap is narrow, and the negative pressure is increased due to the square function relationship. Is thought. Now, looking at the gap between each part of the bottom surface of the prismatic block and the work, the bottom surface is closest, the injection port of the injection nozzle is next separated by a step, and the air circulation groove is farthest. On the other hand, the work and the corresponding areas thereof have the narrowest injection ports, and the air circulation groove and the bottom surface are the same although they vary depending on the respective areas. Since the velocity of air is inversely proportional to the above-mentioned cross-sectional area, that is, the product of the gap and its range, it passes at a high velocity in the portion of the small injection port, and a sufficiently large flow groove flows at a relatively low velocity, However, it becomes a fairly high speed again in the middle bottom part. It is considered that a large negative pressure can be obtained by combining these. However, since the above consideration is not sufficient, an experiment was conducted for MCC using the size of the step and the depth of the air flow groove as parameters, and the results showed that when the step was gradually increased from 0.1 mm. The negative pressure becomes smaller as this increases, and conversely 0.
It has been found that the negative pressure is rather reduced when the thickness is set to 1 mm or less, and the optimum value is 0.1 mm. Also,
Regarding the depth of the + -shaped groove, it has been found that about 1 mm is optimum. As described above, the appropriate depth of the air circulation groove and the dimension of the step of the injection nozzle of the injection hole are specified for the square work of the MCC, and the non-contact suction head manufactured based on this is large. Negative pressure is obtained, and the work can be held stably and reliably in a non-contact manner, and the difference in blowing pressure between the work suction state and the work non-suction state is large, making it easy to detect the suction state. It is possible to realize a non-contact suction head for square workpieces.
【０００７】[0007]
【実施例】図１はこの発明の一実施例を示し、(a) は非
接触吸着ヘッド３の底面35を上側とした外観斜視図、
(b) は(a) のＳ−Ｓ断面図とＲ−Ｒ断面図である。図１
(a),(b) および(c) において、角柱ブロック31の中心を
貫通する中心孔32を設け、その、先端にフランジを形成
して噴射ノズル321 とする。噴射ノズル321 の噴射口、
すなわちフランジの面の高さは、底面35に対して約０．
１ｍｍの段差δｄ1 を付けて低くする。次に、ブロック
31の４角隅を貫通する４個の貫通孔331 〜334 を設け、
底面に対する４個の吸入孔331 〜334 を形成する。ま
た、底面35に対して図示のように、噴射ノズル321 の周
辺から４辺の近傍まで放射状に、深さδｄ2 が約１ｍｍ
の＋形のエア流通溝36を穿溝する。この場合、各吸入孔
と溝以外の底面部分が負圧を生ずる重要な部分となるの
で、＋形の幅とこの底面部分の面積を、例えばほぼ同一
とする。1 shows an embodiment of the present invention, in which (a) is an external perspective view with the bottom surface 35 of the non-contact suction head 3 as the upper side,
(b) is an SS sectional view and an RR sectional view of (a). Figure 1
In (a), (b) and (c), a central hole 32 is provided which penetrates the center of the prismatic block 31, and a flange is formed at the tip of the central hole 32 to form the injection nozzle 321. Injection nozzle 321 injection port,
That is, the height of the surface of the flange is about 0.
A step δd 1 of 1 mm is added to lower the height. Then block
The four through holes 331 to 334 that penetrate the four corners of 31 are provided,
Four suction holes 331 to 334 are formed on the bottom surface. Further, as shown in the drawing with respect to the bottom surface 35, the depth δd 2 is approximately 1 mm radially from the periphery of the injection nozzle 321 to the vicinity of the four sides.
The + -shaped air circulation groove 36 is drilled. In this case, the bottom portion other than each suction hole and the groove is an important portion for generating a negative pressure, and therefore the width of the + shape and the area of this bottom portion are made substantially the same, for example.
【０００８】図２により、上記のヘッド３におけるエア
の流れと、これにより生ずる負圧について説明する。中
心孔32に供給されたエアＡは噴射ノズル321 より噴射さ
れ、そのフランジ面とワーク１のなすギャップＧ1 を高
速度で通過し、エア流通溝36のなすギャップＧ2 を比較
的低速度で流れ、底面35のなすギャップＧ3 をかなりの
高速度て通過し、前記した所論により大きい負圧がえら
れる。この負圧によりワーク１は吸引され、非接触で安
定に保持されるものである。The flow of air in the head 3 and the negative pressure generated thereby will be described with reference to FIG. The air A supplied to the center hole 32 is jetted from the jet nozzle 321, passes through the gap G 1 formed by the flange surface and the work 1 at a high speed, and passes through the gap G 2 formed by the air flow groove 36 at a relatively low speed. The flow passes through the gap G 3 formed by the bottom surface 35 at a considerably high speed, and a larger negative pressure is obtained according to the above-mentioned argument. The work 1 is sucked by this negative pressure and is held stably without contact.
【０００９】[0009]
【発明の効果】以上の説明のとおり、この発明による小
形角型ワーク用非接触吸着ヘッドにおいては、角柱ブロ
ックの底面に対して、約０．１ｍｍの段差を有する噴射
ノズルと、噴射ノズルの周辺に穿溝され、深さが約１ｍ
ｍの放射状のエア流通溝、および、底面の４角隅に設け
られた４個の吸入孔とにより、大きい負圧がえられて、
ワークを安定確実に吸引保持するもので、ＭＣＣなどの
小形の角型ワークのハンドリングに寄与するところには
大きいものがある。As described above, in the non-contact suction head for a small rectangular work according to the present invention, the jet nozzle having a step of about 0.1 mm with respect to the bottom surface of the prismatic block and the periphery of the jet nozzle. Has a groove of about 1m
A large negative pressure is obtained by the radial air circulation groove of m and the four suction holes provided at the four corners of the bottom surface.
It sucks and holds a work stably and surely, and there is a large part that contributes to the handling of small rectangular work such as MCC.
【図１】 この発明の一実施例を示し、(a) は非接触吸
着ヘッド３の外観斜視図、(b) は(a) のＳ−Ｓ断面図と
Ｒ−Ｒ断面図である。1 shows an embodiment of the present invention, (a) is an external perspective view of a non-contact suction head 3, and (b) is an S-S sectional view and an RR sectional view of (a).
【図２】 ヘッド３のエアの流れと、発生する負圧に対
する説明図である。FIG. 2 is an explanatory diagram for a flow of air in the head 3 and a negative pressure generated.
【図３】 (a) はＭＣＣ（マイクロ・キャリヤー・チッ
プ）の外観図、(b)は収容カセット２の平面および断面
図、(c) は従来の非接触吸着ヘッド３を説明する断面図
である。3A is an external view of an MCC (micro carrier chip), FIG. 3B is a plan view and a cross-sectional view of the accommodating cassette 2, and FIG. 3C is a cross-sectional view illustrating a conventional non-contact suction head 3. is there.
１…ＭＣＣまたはそのワーク、２…カセット、３…非接
触吸着ヘッド、単にヘッド、31…角柱ブロック、32…噴
射孔、321 …噴射ノズル、33…吸入溝、331 〜334 …吸
入孔、34…排出孔、35…底面、36…エア流通溝、Ａ…供
給または排出エア、Ａs …層流、δｄ1 …段差、δｄ2
…溝の深さ、Ｇ1,Ｇ2,Ｇ3 …ギャップ。DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... MCC or its work, 2 ... cassette, 3 ... non-contact adsorption | suction head, only head, 31 ... prism block, 32 ... injection hole, 321 ... injection nozzle, 33 ... suction groove, 331-334 ... suction hole, 34 ... discharge hole, 35 ... bottom, 36 ... air circulation groove, A ... supplying or discharging air, A s ... laminar flow, .delta.d 1 ... step, .delta.d 2
… Groove depth, G 1 , G 2 , G 3 … Gap.
Claims (1)
孔よりエアを噴射して吸入孔により吸入し、該エアに生
ずる負圧によりワークを吸引して、該底面に非接触で保
持する非接触吸着ヘッドにおいて、１辺が約１０ｍｍの
正方形をなす小形の角型ワークを対象とし、該角型ワー
クに対応した底面を有する角柱ブロックを具備し、該角
柱ブロックの中心を貫通する中心孔を設け、該中心孔の
先端に噴射ノズルを形成し、該噴射ノズルの噴射口の該
底面に対する高さを、約０．１ｍｍの段差により低く
し、該角柱ブロックの４角隅の近傍を貫通する貫通孔に
より４個の吸入孔を形成し、かつ、該角柱ブロックの底
面に対して、前記吸入孔の近傍を除外して、前記噴射ノ
ズルの周辺から４辺の近傍まで放射状に穿溝され、約１
ｍｍの深さを有する＋形のエア流通溝を設けて構成され
たことを特徴とする、小形角型ワーク用非接触吸着ヘッ
ド。1. A bottom surface has an injection hole and a suction hole, and air is jetted from the injection hole to be sucked by the suction hole, and a work is sucked by negative pressure generated in the air, and is not in contact with the bottom surface. In the non-contact suction head held by, a small square work having a square shape with one side of about 10 mm is targeted, and a prism block having a bottom surface corresponding to the square work is provided, and the center of the square block is penetrated. A center hole is formed, and an injection nozzle is formed at the tip of the center hole, and the height of the injection nozzle with respect to the bottom surface is lowered by a step of about 0.1 mm. Four suction holes are formed by through-holes penetrating the vicinity, and with respect to the bottom surface of the prismatic block, the vicinity of the suction hole is excluded and the suction nozzle is radially arranged from the periphery of the injection nozzle to the vicinity of four sides. Punctured, about 1
A non-contact suction head for a small rectangular work piece, characterized by being provided with a + -shaped air circulation groove having a depth of mm.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5112300A JPH06302670A (en) | 1993-04-15 | 1993-04-15 | Non-contact suction head for compact square-shaped work |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5112300A JPH06302670A (en) | 1993-04-15 | 1993-04-15 | Non-contact suction head for compact square-shaped work |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06302670A true JPH06302670A (en) | 1994-10-28 |
Family
ID=14583236
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5112300A Pending JPH06302670A (en) | 1993-04-15 | 1993-04-15 | Non-contact suction head for compact square-shaped work |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06302670A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008041334A1 (en) * | 2006-10-04 | 2008-04-10 | Advantest Corporation | Electronic component testing apparatus |
| JP2009032980A (en) * | 2007-07-27 | 2009-02-12 | Ihi Corp | Non-contact carrying device |
| JP2014110262A (en) * | 2012-11-30 | 2014-06-12 | Dainippon Printing Co Ltd | Peeling device and peeling method |
-
1993
- 1993-04-15 JP JP5112300A patent/JPH06302670A/en active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008041334A1 (en) * | 2006-10-04 | 2008-04-10 | Advantest Corporation | Electronic component testing apparatus |
| JP2009032980A (en) * | 2007-07-27 | 2009-02-12 | Ihi Corp | Non-contact carrying device |
| JP2014110262A (en) * | 2012-11-30 | 2014-06-12 | Dainippon Printing Co Ltd | Peeling device and peeling method |
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