JPH06300712A - Surface inspection apparatus - Google Patents
Surface inspection apparatusInfo
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- JPH06300712A JPH06300712A JP5088356A JP8835693A JPH06300712A JP H06300712 A JPH06300712 A JP H06300712A JP 5088356 A JP5088356 A JP 5088356A JP 8835693 A JP8835693 A JP 8835693A JP H06300712 A JPH06300712 A JP H06300712A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、いわゆる光切断法を用
いて、平面的な被検査物の表面の欠陥を検査する表面検
査装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a surface inspection apparatus for inspecting defects on the surface of a flat inspection object by using a so-called light cutting method.
【０００２】[0002]
【従来の技術】表面検査装置としては、一定方向に搬送
される平面的な（例えば、シート状の）被検査物の表面
に投光装置から移動方向に対して直交する方向の線状光
（以下、スリット光と呼ぶ）を照射し、照射方向と異な
る方向から撮像装置でスリット光により被検査物の表面
に形成される像（以下、スリット像と呼ぶ）を撮像し、
その撮像されたスリット像から被検査物の表面の欠陥を
検査するものがある。この表面検査装置では、いわゆる
光切断法を用いて表面の欠陥を検査しており、撮像装置
としては、例えばテレビカメラなどの２次元の位置検出
を行うことができるイメージセンサが用いられ、そのイ
メージセンサの出力をマイクロコンピュータなどよりな
る画像処理部に入力して、スリット像の形状などに基づ
いて被検査物の欠陥が検査される。2. Description of the Related Art As a surface inspection apparatus, a linear (for example, a sheet-like) surface of an object to be inspected that is conveyed in a fixed direction from a light projecting device to a linear light (Hereinafter, referred to as slit light), and an image formed on the surface of the object to be inspected by the slit light by the imaging device from a direction different from the irradiation direction (hereinafter, referred to as a slit image) is imaged,
There is one that inspects a defect on the surface of an object to be inspected from the imaged slit image. This surface inspection device inspects a surface for defects by using a so-called optical cutting method, and an image sensor such as a television camera which can detect a two-dimensional position is used as an image pickup device. The output of the sensor is input to an image processing unit such as a microcomputer and the defect of the inspection object is inspected based on the shape of the slit image.
【０００３】スリット光を照射する投光装置は、レーザ
ビームを発するレーザ光源１と、このレーザ光源１のビ
ームをスリット光に変換するロッドレンズ２とで構成し
てある。なお、ロッドレンズ２は円柱状のレンズであ
る。レーザ光源１からのレーザビームを図３（ａ）に示
すようにロッドレンズ２の中心部に照射すると、ビーム
がロッドレンズ２の両側に対称に広がり、その光強度は
同図（ｂ）に示すように中心部が高くなる。なお、図３
（ａ）の場合には、レーザ光源１のレーザビームの照射
方向に対してロッドレンズ２を直交する方向に配置（中
心軸が紙面に直交するように配置）してあり、ビームは
ロッドレンズ２の中心軸に直交する平面内でレーザ光源
１の光軸に対して左右に対称に広がる。The light projecting device for irradiating slit light is composed of a laser light source 1 for emitting a laser beam and a rod lens 2 for converting the beam of the laser light source 1 into slit light. The rod lens 2 is a cylindrical lens. When the laser beam from the laser light source 1 is applied to the central portion of the rod lens 2 as shown in FIG. 3A, the beam spreads symmetrically on both sides of the rod lens 2 and its light intensity is shown in FIG. 3B. So the center is higher. Note that FIG.
In the case of (a), the rod lens 2 is arranged in a direction orthogonal to the irradiation direction of the laser beam of the laser light source 1 (so that the central axis is orthogonal to the paper surface), and the beam is the rod lens 2 In the plane orthogonal to the central axis of the laser light source 1, the laser light source 1 extends symmetrically with respect to the optical axis of the laser light source 1.
【０００４】ところで、この種の平面検査装置では、図
３（ｂ）にように光強度の分布に変化があることは好ま
しくなく、光強度の均一な部分を極力広くすることが望
まれる。このように光強度を均一とすることを、以下の
説明では光強度の平滑化と呼ぶ。このように投光装置か
ら照射されるスリット光の光強度を平滑化する方法は、
特願平２−５９５６号や特願平２−２１５２７４号で提
案されている。By the way, in this type of plane inspection apparatus, it is not preferable that the distribution of the light intensity changes as shown in FIG. 3B, and it is desired to widen the portion where the light intensity is uniform as much as possible. Making the light intensity uniform is called smoothing of the light intensity in the following description. In this way, the method of smoothing the light intensity of the slit light emitted from the light projecting device is
It is proposed in Japanese Patent Application No. 2-5956 and Japanese Patent Application No. 2-215274.
【０００５】特願平２−５９５６号では、図４（ａ）に
示すように、レーザ光源１とロッドレンズ２とを２組設
け、夫々のレーザ光源１のレーザビームのロッドレンズ
２への入射位置をロッドレンズ２の中心軸から夫々外側
にずらし、夫々のスリット光を合成することで、同図
（ｂ）に示す平滑化された光強度を得ている。ここで、
個々のレーザ光源１に関しては、図５（ａ）に示すよう
にレーザビームをロッドレンズ２の中心軸からずらした
位置（ずれをｄで示す）に入射し、同図（ｂ）に示す片
寄りのある光強度分布を得る。そして、光強度変化の緩
やかで広い側を重複させる形で、夫々の組のスリット光
を合成して、図４（ｂ）に示す平滑化された光強度分布
を得ている。In Japanese Patent Application No. 2-5956, as shown in FIG. 4A, two sets of laser light sources 1 and rod lenses 2 are provided, and the laser beams of the respective laser light sources 1 are incident on the rod lenses 2. The positions are shifted outward from the central axis of the rod lens 2 and the respective slit lights are combined to obtain the smoothed light intensity shown in FIG. here,
Regarding each laser light source 1, as shown in FIG. 5A, the laser beam is incident on a position (shift is indicated by d) deviated from the central axis of the rod lens 2 and is offset as shown in FIG. To obtain a certain light intensity distribution. Then, the slit lights of the respective sets are combined in such a manner that the side where the light intensity change is gentle and wide is overlapped, and the smoothed light intensity distribution shown in FIG. 4B is obtained.
【０００６】また、特願平２−２１５２７４号では、図
６（ａ）に示すように、２つのレーザ光源１からのレー
ザビームを１つのロッドレンズ２の中心軸から略対称の
ずれた位置に夫々照射し、同図（ｂ）に破線で示す光強
度分布を持つ個々のレーザ光源１によるスリット光を合
成して、同図中に実線で示す光強度分布を得ている。な
お、図６（ａ）では各レーザ光源１は図示していない
が、夫々のレーザ光源１からのレーザビームは偏光ビー
ムスプリッタ３を用いて合成し、ロッドレンズ２の中心
から略対称のずれた位置に夫々入射してある。なお、図
６（ａ）中の矢印のイ，ロで示す方向でレーザビームの
偏光ビームスプリッタ３への入射位置を可変すること
で、光強度分布及び平滑化状態の調整を行えるようにな
っている。Further, in Japanese Patent Application No. 2-215274, as shown in FIG. 6 (a), the laser beams from the two laser light sources 1 are displaced substantially symmetrically from the center axis of one rod lens 2. Each of them is irradiated, and the slit light from each laser light source 1 having the light intensity distribution shown by the broken line in FIG. 9B is combined to obtain the light intensity distribution shown by the solid line in FIG. Although each laser light source 1 is not shown in FIG. 6A, the laser beams from the respective laser light sources 1 are combined by using the polarization beam splitter 3, and are shifted substantially symmetrically from the center of the rod lens 2. It is incident on each position. By changing the incident position of the laser beam on the polarization beam splitter 3 in the directions indicated by arrows a and b in FIG. 6A, the light intensity distribution and the smoothed state can be adjusted. There is.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】上記投光装置からのス
リット光は、図７（ａ）に示すように被検査物４の表面
に対して一定角度で入射される。ここで、同図（ｂ）に
示すように、例えば被検査物４の厚みがｔ1 ，ｔ2 ，ｔ
3 （ｔ1 ＜ｔ2 ＜ｔ3 ）のように異なる場合、被検査物
４の搬送方向（図中の右方向）における始端に形成され
るスリット像は、被検査物の厚みが厚いほど左側にずれ
ることになる。これは、被検査物４の厚みで検査領域が
ずれることを意味する。いま、スリット光の入射角度を
θとし、被検査物４の厚みの変位量をΔｔとすると、ス
リット像が移動する変位量Δｘは、 Δｘ＝Δｔ／tan θ … で表される。そして、入射角度θが小さくなれば、検査
領域のずれが大きくなる。The slit light from the light projecting device is incident on the surface of the inspection object 4 at a constant angle as shown in FIG. 7 (a). Here, as shown in FIG. 3B, for example, the thickness of the inspection object 4 is t 1 , t 2 , t
3 (t 1 <t 2 <t 3 ), the slit image formed at the start end of the inspection object 4 in the transport direction (right direction in the figure) is leftward as the inspection object thickness is thicker. It will be shifted to. This means that the inspection area is displaced depending on the thickness of the inspection object 4. Now, assuming that the incident angle of the slit light is θ and the displacement amount of the thickness of the inspection object 4 is Δt, the displacement amount Δx with which the slit image moves is represented by Δx = Δt / tan θ. The smaller the incident angle θ, the larger the deviation of the inspection area.
【０００８】本発明は上述の点に鑑みて為されたもので
あり、その目的とするところは、検査領域の厚さに影響
されずに検査領域を一定とすることができる表面検査装
置を提供することにある。The present invention has been made in view of the above points, and an object of the present invention is to provide a surface inspection apparatus capable of keeping the inspection area constant without being influenced by the thickness of the inspection area. To do.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】請求項１の発明では、上
記目的を達成するために、被検査物の厚みに応じて投光
装置と撮像装置とからなる光学ブロックの位置を被検査
物の搬送方向において可変する位置可変手段を設けてあ
る。また、請求項２の発明では、上記目的を達成するた
めに、被検査物の厚みに応じて検出センサの位置を被検
査物の搬送方向において可変する位置可変手段を設けて
ある。According to the invention of claim 1, in order to achieve the above object, the position of an optical block including a light projecting device and an image pickup device is set in accordance with the thickness of the object to be inspected. Position changing means that changes in the carrying direction is provided. In order to achieve the above object, the invention according to claim 2 is provided with position changing means for changing the position of the detection sensor in the conveyance direction of the inspection object according to the thickness of the inspection object.
【００１０】[0010]
【作用】請求項１の発明は、上述のように構成すること
により、前検査の対象としての被検査物の厚みと現検査
の対象としての被検査物の厚みとの変位差は既知のもの
であるから、検査領域のずれを予め求めることができ、
その検査領域のずれに応じて位置可変手段で光学ブロッ
クの位置を被検査物の搬送方向において可変し、検査物
の厚さに影響されることなく、検査領域を一定に設定す
る。According to the invention of claim 1, the displacement difference between the thickness of the object to be inspected as the object of the pre-inspection and the thickness of the object to be inspected as the object of the current inspection is already known. Therefore, the deviation of the inspection area can be obtained in advance,
The position of the optical block is changed in the conveyance direction of the object to be inspected by the position changing means according to the deviation of the inspection area, and the inspection area is set constant without being affected by the thickness of the object to be inspected.
【００１１】請求項２の発明では、前検査と現検査との
対象である被検査物の厚みの既知の変位差から求まる検
査領域のずれに応じて、位置可変手段で検出センサの位
置を被検査物の搬送方向において可変し、つまりは被検
査物の厚みに応じて被検査物の欠陥の検査開始位置を可
変して、光学ブロックの位置を可変した場合と同様に、
検査物の厚さに影響されることなく、検査領域を一定に
設定する。According to the second aspect of the invention, the position of the detection sensor is controlled by the position changing means in accordance with the deviation of the inspection area obtained from the known displacement difference of the thickness of the object to be inspected which is the object of the pre-inspection and the current inspection. Variable in the conveyance direction of the inspection object, that is, the inspection start position of the defect of the inspection object is changed according to the thickness of the inspection object, and the position of the optical block is changed,
The inspection area is set constant regardless of the thickness of the inspection object.
【００１２】[0012]
【実施例】図１に本発明の一実施例の表面検査装置を示
す。本実施例では、図１に示すように、平面的な（例え
ば、シート状の）被検査物４をコンベアなどの搬送装置
５により一定方向（図中右側）に搬送する場合について
説明する。本実施例の表面検査装置も、基本的には従来
技術の項で説明した従来の表面検査装置と同様に、被検
査物４の表面に投光装置から移動方向に対して直交する
方向のスリット光を照射し、例えばテレビカメラなどの
２次元の位置検出を行うことができるイメージセンサな
どの撮像装置で、照射方向と異なる方向からスリット光
により被検査物４の表面に形成されるスリット像を撮像
し、そのイメージセンサの出力をマイクロコンピュータ
などよりなる画像処理部に入力して、スリット像の形状
などに基づいて被検査物４の欠陥を検査するものであ
る。1 shows a surface inspection apparatus according to an embodiment of the present invention. In the present embodiment, as shown in FIG. 1, a case where a flat (for example, sheet-shaped) inspection object 4 is conveyed in a fixed direction (right side in the figure) by a conveying device 5 such as a conveyor will be described. Similarly to the conventional surface inspection apparatus described in the section of the prior art, the surface inspection apparatus of the present embodiment also has a slit on the surface of the inspection object 4 in a direction orthogonal to the moving direction from the light projecting device. An image pickup device such as an image sensor capable of irradiating light and performing two-dimensional position detection such as a television camera can detect a slit image formed on the surface of the inspection object 4 by slit light from a direction different from the irradiation direction. The image is picked up, and the output of the image sensor is input to an image processing unit such as a microcomputer to inspect for defects in the inspection object 4 based on the shape of the slit image and the like.
【００１３】なお、図１の表面検査装置では、投光装置
と撮像装置とを一体化して光学ブロックＡとして構成し
てある。また、本実施例の表面検査装置においても、特
願平２−５９５６号や特願平２−２１５２７４号と同様
の方法を用いて、光強度を平滑化したスリット光を被検
査物４に照射するようにしてある。ところで、この種の
表面検査装置では、被検査物４が検査を行う位置まで搬
送されたか否かを判別する必要がある。そこで、本実施
例では、被検査物４が検査を行う位置まで搬送されたか
否かを検出するスタート検出センサ６ａ及びエンド検出
センサ６ｂを設けてある。ここで、スタート検出センサ
６ａは被検査物４上に形成されるスリット光の搬送方向
における前方に配置し、エンド検出センサ６ｂは後方に
配置してある。なお、スタート検出センサ６ａ，エンド
検出センサ６ｂの間隔は極力狭い方が好ましいことは言
うでもない。In the surface inspection apparatus of FIG. 1, the light projecting device and the image pickup device are integrated to form an optical block A. Further, also in the surface inspection apparatus of the present embodiment, the slit light having the smoothed light intensity is applied to the inspection object 4 by using the same method as in Japanese Patent Application No. 2-5956 and Japanese Patent Application No. 2-215274. I am doing it. By the way, in this type of surface inspection apparatus, it is necessary to determine whether or not the inspection object 4 has been conveyed to a position where inspection is performed. Therefore, in this embodiment, a start detection sensor 6a and an end detection sensor 6b are provided to detect whether or not the inspection object 4 has been conveyed to the inspection position. Here, the start detection sensor 6a is arranged on the front side in the transport direction of the slit light formed on the inspection object 4, and the end detection sensor 6b is arranged on the rear side. Needless to say, it is preferable that the distance between the start detection sensor 6a and the end detection sensor 6b be as narrow as possible.
【００１４】図１における右側に被検査物４が搬送さ
れ、まず被検査物４の始端がエンド検出センサ６ｂの位
置までくると、図２（ｂ）に示すようにその出力はハイ
レベルとなり、次いで被検査物４の始端がスタート検出
センサ６ａの位置までくると、同図（ａ）に示すように
その出力がハイレベルとなる。そして、被検査物４の終
端がエンド検出センサ６ｂを通過すると、その出力がロ
ーレベルとなり、被検査物４の終端がスタート検出セン
サ６ａを通過すると、その出力がローレベルとなる。When the object 4 to be inspected is conveyed to the right side in FIG. 1 and the starting end of the object 4 to be inspected reaches the position of the end detection sensor 6b, its output becomes high level as shown in FIG. 2 (b). Next, when the starting end of the inspection object 4 reaches the position of the start detection sensor 6a, its output becomes high level as shown in FIG. When the end of the inspection object 4 passes the end detection sensor 6b, its output becomes low level, and when the end of the inspection object 4 passes the start detection sensor 6a, its output becomes low level.
【００１５】表面検査装置では、上記各検出センサ６
ａ，６ｂの出力を取り込み、夫々の出力が共にハイレベ
ルである期間において、被検査物４の表面の欠陥の検査
を行う。つまりは、スタート検出センサ６ａの出力の立
上り時点からエンド検出センサ６ｂの出力の立下り時点
まで、被検査物４の表面の欠陥の検査を行う。なお、各
検出センサ６ａ，６ｂの出力が共にハイレベルである期
間は、各検出センサ６ａ，６ｂの出力の論理和を演算す
る（アンドをとる）ことで求められる。In the surface inspection device, each of the detection sensors 6 described above is used.
The outputs of a and 6b are fetched, and the defects on the surface of the inspection object 4 are inspected in a period in which both outputs are at a high level. That is, the surface of the inspection object 4 is inspected for defects from the rising edge of the output of the start detection sensor 6a to the falling edge of the output of the end detection sensor 6b. The period in which the outputs of the detection sensors 6a and 6b are both at a high level is determined by calculating the logical sum of the outputs of the detection sensors 6a and 6b (and taking the AND).
【００１６】本実施例の表面検査装置では、被検査物４
の厚みに応じて、上記光学ブロックＡの被検査物４の搬
送方向における位置を自動的に可変する（移動させる）
位置可変機構を設けてある。この位置可変機構自体につ
いての具体構成は示さないが、数値制御などにより光学
ブロックＡの位置を精密に移動可能な駆動機構を用いれ
ばよい。In the surface inspection apparatus of this embodiment, the inspection object 4
The position of the optical block A in the conveyance direction of the inspection object 4 is automatically changed (moved) according to the thickness of the
A position changing mechanism is provided. Although a specific configuration of the position varying mechanism itself is not shown, a driving mechanism capable of precisely moving the position of the optical block A by numerical control or the like may be used.
【００１７】この種の表面検査装置の被検査対象である
被検査物４は、その厚みが予め一定に決まっている場合
が多い。また、スリット光の入射角度も決まっている。
そこで、被検査物４の厚みが分かれば、従来技術の項で
説明した式を用いて、光学ブロックＡの位置をどれだ
け変位させればよいかが決定する。つまりは、それまで
の検査対象である被検査物４の厚みも、今から検査を行
う被検査物４の厚みと同様に、予め分かっているので、
両者の厚みの差である変位量Δｔが分かり、式より光
学ブロックＡの位置を変位させるべき変位量Δｘが求ま
る。The thickness of the object 4 to be inspected, which is the object to be inspected by the surface inspection apparatus of this type, is often fixed in advance. Further, the incident angle of the slit light is also fixed.
Therefore, if the thickness of the inspection object 4 is known, how much the position of the optical block A should be displaced is determined using the formula described in the section of the related art. That is, since the thickness of the inspection object 4 to be inspected up to that time is known in advance, like the thickness of the inspection object 4 to be inspected,
The displacement amount Δt, which is the difference between the two thicknesses, is known, and the displacement amount Δx at which the position of the optical block A should be displaced can be obtained from the equation.
【００１８】このように、被検査物４の厚みに応じて、
光学ブロックＡの被検査物４の搬送方向に移動させれ
ば、厚さに影響されずに、検査領域を一定に設定するこ
とが可能となる。但し、被検査物４の厚みが変化する
と、撮像装置の位置とスリット像との位置にずれが生じ
るが、この位置ずれは撮像装置の光学系で吸収できるよ
うになっており、被検査物４の表面の欠陥の検出に影響
はない。As described above, according to the thickness of the inspection object 4,
By moving the optical block A in the transport direction of the inspection object 4, it is possible to set the inspection area constant without being affected by the thickness. However, when the thickness of the inspection object 4 changes, the position of the imaging device and the position of the slit image deviate from each other. This positional deviation can be absorbed by the optical system of the imaging device. It does not affect the detection of surface defects.
【００１９】ところで、上述の説明では、光学ブロック
Ａの位置を変位させる場合について説明したが、スター
ト検出センサ６ａ及びエンド検出センサ６ｂの位置を、
被検査物４の厚みに応じて、光学ブロックＡの被検査物
４の搬送方向に移動させても結果的には検査領域を一定
に設定することができる。In the above description, the case where the position of the optical block A is displaced has been described, but the positions of the start detection sensor 6a and the end detection sensor 6b are
Depending on the thickness of the inspection object 4, even if the optical block A is moved in the conveyance direction of the inspection object 4, the inspection area can be set constant as a result.
【００２０】[0020]
【発明の効果】請求項１の発明は上述のように、被検査
物の厚みに応じて投光装置と撮像装置とからなる光学ブ
ロックの位置を被検査物の搬送方向において可変する位
置可変手段を設けてあるので、前検査と現検査との対象
である被検査物の厚みの既知の変位差から求まる検査領
域のずれに応じて、位置可変手段で光学ブロックの位置
を被検査物の搬送方向において可変し、検査物の厚さに
影響されることなく、検査領域を一定に設定することが
できる。As described above, according to the first aspect of the invention, the position changing means for changing the position of the optical block including the light projecting device and the image pickup device in the conveying direction of the object to be inspected according to the thickness of the object to be inspected. Is provided, the position of the optical block is moved by the position changing means according to the deviation of the inspection area obtained from the known displacement difference of the thickness of the inspection object which is the object of the pre-inspection and the current inspection. The inspection area can be set to be constant without being affected by the thickness of the inspection object by changing the direction.
【００２１】請求項２の発明は上述のように、被検査物
の厚みに応じて検出センサの位置を被検査物の搬送方向
において可変する位置可変手段を設けてあるので、前検
査と現検査との対象である被検査物の厚みの既知の変位
差から求まる検査領域のずれに応じて、位置可変手段で
検出センサの位置を被検査物の搬送方向において可変
し、つまりは被検査物の厚みに応じて被検査物の欠陥の
検査開始位置を可変し、光学ブロックの位置を可変した
場合と同様にして、検査物の厚さに影響されることな
く、検査領域を一定に設定することができる。According to the second aspect of the present invention, as described above, the position changing means is provided for changing the position of the detection sensor in the conveying direction of the object to be inspected according to the thickness of the object to be inspected. The position of the detection sensor is changed in the conveyance direction of the inspection object by the position changing means according to the deviation of the inspection area obtained from the known displacement difference of the thickness of the inspection object which is the target of the inspection object. The inspection start position for defects of the object to be inspected is changed according to the thickness, and the inspection area is set to be constant without being affected by the thickness of the object to be inspected, similarly to the case where the position of the optical block is changed. You can
【図１】本発明の一実施例としての表面検査装置の概略
構成図である。FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a surface inspection apparatus as an embodiment of the present invention.
【図２】同上の検出センサの動作説明図である。FIG. 2 is an operation explanatory diagram of the above detection sensor.
【図３】（ａ），（ｂ）はスリット光を得る方法の説明
図、及びスリット光の光強度分布を示す説明図である。3A and 3B are explanatory views of a method of obtaining slit light and an optical intensity distribution of slit light.
【図４】（ａ），（ｂ）はスリット光の光強度を平滑化
する方法の説明図、及びその方法で得られたスリット光
の光強度分布を示す説明図である。4A and 4B are explanatory diagrams of a method for smoothing the light intensity of slit light, and a light intensity distribution of slit light obtained by the method.
【図５】（ａ），（ｂ）は同上における夫々の組をなす
レーザ光源とロッドレンズとの配置関係、及びその組で
得られるスリット光の光強度分布を示す説明図である。5 (a) and 5 (b) are explanatory views showing a positional relationship between a laser light source and a rod lens forming each set in the same as above, and a light intensity distribution of slit light obtained by the set.
【図６】（ａ），（ｂ）は別の方法でスリット光の光強
度を平滑化する方法の説明図、及びその方法で得られた
スリット光の光強度分布を示す説明図である。6A and 6B are explanatory diagrams of a method of smoothing the light intensity of slit light by another method, and an explanatory diagram showing a light intensity distribution of slit light obtained by the method.
【図７】（ａ），（ｂ）はスリット光の被検査物への照
射方法、及び被検査物の厚みが異なる場合の問題点の説
明図である。7A and 7B are explanatory diagrams of a method of irradiating an object to be inspected with slit light and a problem when the thickness of the object to be inspected is different.
Ａ 光学ブロック １ レーザ光源 ２ ロッドレンズ ３ ビームスプリッタ ４ 被検査物 ６ａ スタート検出センサ ６ｂ エンド検出センサ A Optical block 1 Laser light source 2 Rod lens 3 Beam splitter 4 Object to be inspected 6a Start detection sensor 6b End detection sensor
Claims (2)
が検査を行う位置まで搬送されたことを検出センサで検
出し、被検査物の表面に投光装置から移動方向に対して
直交する方向の線状光を照射し、照射方向と異なる方向
から撮像装置で線状光により被検査物の表面に形成され
る像を撮像し、その撮像された画像から被検査物の表面
の欠陥を検査する表面検査装置において、被検査物の厚
みに応じて投光装置と撮像装置とからなる光学ブロック
の位置を被検査物の搬送方向において可変する位置可変
手段を設けて成ることを特徴とする表面検査装置。1. A detection sensor detects that a flat object to be inspected, which is conveyed in a fixed direction, has been conveyed to a position to be inspected, and is orthogonal to the surface of the object to be inspected from the light projecting device. Irradiating linear light in a direction different from the irradiating direction, and an image pickup device captures an image formed on the surface of the inspected object by the linear light from a direction different from the irradiating direction. In the surface inspection apparatus for inspecting, the position change means is provided for changing the position of the optical block including the light projecting device and the imaging device in the conveyance direction of the inspection object according to the thickness of the inspection object. Surface inspection equipment.
が検査を行う位置まで搬送されたことを検出センサで検
出し、被検査物の表面に投光装置から移動方向に対して
直交する方向の線状光を照射し、照射方向と異なる方向
から撮像装置で線状光により被検査物の表面に形成され
る像を撮像し、その撮像された画像から被検査物の表面
の欠陥を検査する表面検査装置において、被検査物の厚
みに応じて検出センサの位置を被検査物の搬送方向にお
いて可変する位置可変手段を設けて成ることを特徴とす
る表面検査装置。2. A detection sensor detects that a flat object to be inspected conveyed in a fixed direction has been conveyed to a position to be inspected, and the surface of the object to be inspected is orthogonal to the moving direction from the light projecting device. Irradiating linear light in a direction different from the irradiating direction, and an image pickup device captures an image formed on the surface of the inspected object by the linear light from a direction different from the irradiating direction. In the surface inspection apparatus for inspecting, the surface inspection apparatus is provided with position changing means for changing the position of the detection sensor in the conveyance direction of the inspection object according to the thickness of the inspection object.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5088356A JP2793942B2 (en) | 1993-04-15 | 1993-04-15 | Surface inspection equipment |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5088356A JP2793942B2 (en) | 1993-04-15 | 1993-04-15 | Surface inspection equipment |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06300712A true JPH06300712A (en) | 1994-10-28 |
| JP2793942B2 JP2793942B2 (en) | 1998-09-03 |
Family
ID=13940540
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5088356A Expired - Fee Related JP2793942B2 (en) | 1993-04-15 | 1993-04-15 | Surface inspection equipment |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2793942B2 (en) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5664649A (en) * | 1979-11-01 | 1981-06-01 | Fuji Electric Co Ltd | Optical inspection system |
| JPS63295952A (en) * | 1987-05-28 | 1988-12-02 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | Board thickness corrector for identification type defect detector |
-
1993
- 1993-04-15 JP JP5088356A patent/JP2793942B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5664649A (en) * | 1979-11-01 | 1981-06-01 | Fuji Electric Co Ltd | Optical inspection system |
| JPS63295952A (en) * | 1987-05-28 | 1988-12-02 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | Board thickness corrector for identification type defect detector |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2793942B2 (en) | 1998-09-03 |
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