JPH06294670A - ドップラー式超音波流量／流速測定装置 - Google Patents
ドップラー式超音波流量／流速測定装置Info
- Publication number
- JPH06294670A JPH06294670A JP5106213A JP10621393A JPH06294670A JP H06294670 A JPH06294670 A JP H06294670A JP 5106213 A JP5106213 A JP 5106213A JP 10621393 A JP10621393 A JP 10621393A JP H06294670 A JPH06294670 A JP H06294670A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ultrasonic
- flow rate
- liquid
- doppler
- current speed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Measuring Volume Flow (AREA)
Abstract
(57)【要約】
〔目的〕 純水や高純度の化学薬品など異物を全くある
いはほとんど含まない液体中で反射波を生じさせること
を可能にしたドップラー式超音波流量/ 流速測定装置を
提供する。 〔構成〕 液体の流量/ 流速を測定するドップラー式超
音波流量／流速計(10)と、この流量／流量測定計(10)の
上流に設置され、測定対象の液体中にキャビテーション
による気泡を発生させる超音波放射器(20)とを備える。
いはほとんど含まない液体中で反射波を生じさせること
を可能にしたドップラー式超音波流量/ 流速測定装置を
提供する。 〔構成〕 液体の流量/ 流速を測定するドップラー式超
音波流量／流速計(10)と、この流量／流量測定計(10)の
上流に設置され、測定対象の液体中にキャビテーション
による気泡を発生させる超音波放射器(20)とを備える。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造プロセス内
の純水供給システムなどに利用されるドップラー式超音
波流量／流速測定装置に関するものである。
の純水供給システムなどに利用されるドップラー式超音
波流量／流速測定装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】超音波流量計は、上水・下水処理システ
ムや各種の製造プラントなど極めて広範囲にわたって利
用されている。この種の超音波流量計は、基本的には液
体の流速を測定し、これに既知の流路の断面積と必要な
場合の補正係数とを乗算することにより流量を測定する
ものである。超音波流量／流速計における上記流速の測
定手法としては、時間差法や、ドップラーシフトなどが
ある。
ムや各種の製造プラントなど極めて広範囲にわたって利
用されている。この種の超音波流量計は、基本的には液
体の流速を測定し、これに既知の流路の断面積と必要な
場合の補正係数とを乗算することにより流量を測定する
ものである。超音波流量／流速計における上記流速の測
定手法としては、時間差法や、ドップラーシフトなどが
ある。
【０００３】時間差法によるものは、任意の液体中を伝
播する超音波の伝播速度が、この液体が静止していると
した場合の既知の伝播速度と、この液体の実際の流速と
のベクトル和になるという原理を応用したものである。
これに対して、ドップラーシフト法によるものは、液体
中に放射され、液体中に混在する異物などによって反射
された超音波の周波数が流速に比例した大きさだけシフ
トするという原理を応用したものである。このドップラ
ーシフト量は、通常、放射した超音波と受信した反射波
とを混合することにより差周波のビート信号を発生さ
せ、このビート周波数を計測することによって行われ
る。
播する超音波の伝播速度が、この液体が静止していると
した場合の既知の伝播速度と、この液体の実際の流速と
のベクトル和になるという原理を応用したものである。
これに対して、ドップラーシフト法によるものは、液体
中に放射され、液体中に混在する異物などによって反射
された超音波の周波数が流速に比例した大きさだけシフ
トするという原理を応用したものである。このドップラ
ーシフト量は、通常、放射した超音波と受信した反射波
とを混合することにより差周波のビート信号を発生さ
せ、このビート周波数を計測することによって行われ
る。
【０００４】時間差法によるものとドップラーシフト法
によるもとでは広い適用分野のそれぞれについて優劣つ
け難い面があるが、本発明者は、後者の方が構成部品が
少なく、また、簡易・小型・低廉な回路構成のもとで高
精度の計測が実現できると考えている。
によるもとでは広い適用分野のそれぞれについて優劣つ
け難い面があるが、本発明者は、後者の方が構成部品が
少なく、また、簡易・小型・低廉な回路構成のもとで高
精度の計測が実現できると考えている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明者は、上記ドッ
プラー式の超音波流量計を、半導体製造プロセス内の純
水供給システムに適用することを検討してゆく過程で大
きな問題点に直面した。すなわち、ドップラー式の超音
波流量計では、計測対象の液体中に超音波を反射する異
物が混在していることが必須の条件になっているが、純
水中にはそのような異物が全く混入していないことであ
る。従って、本発明の目的は、超音波の反射波を生じさ
せる異物が全く存在しない純水や、殆ど存在しない高純
度の化学薬品などの液体中で反射波を生じさせることを
可能とした新規なドップラー式流量測定装置及び流速測
定装置を提供することにある。
プラー式の超音波流量計を、半導体製造プロセス内の純
水供給システムに適用することを検討してゆく過程で大
きな問題点に直面した。すなわち、ドップラー式の超音
波流量計では、計測対象の液体中に超音波を反射する異
物が混在していることが必須の条件になっているが、純
水中にはそのような異物が全く混入していないことであ
る。従って、本発明の目的は、超音波の反射波を生じさ
せる異物が全く存在しない純水や、殆ど存在しない高純
度の化学薬品などの液体中で反射波を生じさせることを
可能とした新規なドップラー式流量測定装置及び流速測
定装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明のドップラー式超
音波流量測定装置は、液体の流量／流速を測定するドッ
プラー式超音波流量／流速計と、このドップラー超音波
流量／流速計の上流に設置され、測定対象の液体中にキ
ャビテーションによる気泡を生じさせる超音波放射器と
を備えている。
音波流量測定装置は、液体の流量／流速を測定するドッ
プラー式超音波流量／流速計と、このドップラー超音波
流量／流速計の上流に設置され、測定対象の液体中にキ
ャビテーションによる気泡を生じさせる超音波放射器と
を備えている。
【０００７】
【作用】ドップラー式超音波流量計の上流に設置された
超音波放射器から異物を全く含まない純水やほとんど含
まない高純度の化学薬品などに大きなエネルギー密度の
超音波を放射すると、キャビテーションによって気泡が
発生する。この気泡は液体の蒸気から成り、その音響イ
ンピーダンスが液体とは顕著に異なるため、液体中を伝
播する超音波にとっては顕著な異物として作用する。こ
の気泡は、漸次消滅しながら液体の流速に等しい速度で
ドップラー式流量計が設置されている下流に移動する。
ドップラー式超音波流量計の振動子から放射され液体中
を伝播してきた超音波がこの気泡に衝突すると、気泡内
の音響インピーダンスが液体中とは顕著に異なるため
に、両者の界面においてほぼ完全に反射される。この気
泡は、ドップラー超音波流量計の下流において、液体へ
の伝熱の進行に伴う蒸気温度の低下につれて漸次消滅し
てゆき、純水などの液体の組成には全く影響を及ぼさな
い。以下、本発明を実施例と共に更に詳細に説明する。
超音波放射器から異物を全く含まない純水やほとんど含
まない高純度の化学薬品などに大きなエネルギー密度の
超音波を放射すると、キャビテーションによって気泡が
発生する。この気泡は液体の蒸気から成り、その音響イ
ンピーダンスが液体とは顕著に異なるため、液体中を伝
播する超音波にとっては顕著な異物として作用する。こ
の気泡は、漸次消滅しながら液体の流速に等しい速度で
ドップラー式流量計が設置されている下流に移動する。
ドップラー式超音波流量計の振動子から放射され液体中
を伝播してきた超音波がこの気泡に衝突すると、気泡内
の音響インピーダンスが液体中とは顕著に異なるため
に、両者の界面においてほぼ完全に反射される。この気
泡は、ドップラー超音波流量計の下流において、液体へ
の伝熱の進行に伴う蒸気温度の低下につれて漸次消滅し
てゆき、純水などの液体の組成には全く影響を及ぼさな
い。以下、本発明を実施例と共に更に詳細に説明する。
【０００８】
【実施例】図１は、本発明の一実施例のドップラー式超
音波流量測定装置の構成を示すブロック図であり、１は
測定対象の純水が流れるパイプ、１０はドップラー式超
音波流量計、２０はその上流に設置された超音波放射器
である。ドップラー式流量計１０は、超音波を発生する
発振器１１、増幅器１２ａ，１２ｂ、送受切り替えスイ
ッチ１３、送受波器１４、混合器１５、濾波器１６、周
波数カウンタ１７、比較器１８ａ、分周器１８ｂ及び操
作・表示部１９から構成されている。超音波放射器２０
は、発振器２１、大電力増幅器２２及び超音波振動子２
３から構成されている。
音波流量測定装置の構成を示すブロック図であり、１は
測定対象の純水が流れるパイプ、１０はドップラー式超
音波流量計、２０はその上流に設置された超音波放射器
である。ドップラー式流量計１０は、超音波を発生する
発振器１１、増幅器１２ａ，１２ｂ、送受切り替えスイ
ッチ１３、送受波器１４、混合器１５、濾波器１６、周
波数カウンタ１７、比較器１８ａ、分周器１８ｂ及び操
作・表示部１９から構成されている。超音波放射器２０
は、発振器２１、大電力増幅器２２及び超音波振動子２
３から構成されている。
【０００９】測定対象の純水が流れるＰＶＣ、ＰＶＤ
Ｆ、ＰＥＥＫあるいはステンレスなどを素材とする円形
パイプ１には枝状に円形パイプ２が形成されており、こ
のパイプ２内にプラスチックなどの樹脂を素材とする円
柱状の導波体３が圧入されている。この導波体３の外側
の端面に、ドップラー式超音波流量計の送受波器１４が
接着固定されている。ドップラー式超音波流量計１０の
上流において、パイプ１の外周面上にプラスチックなど
の樹脂を素材とする導波体４が接着固定されており、こ
の導波体４の外周面に、超音波放射器２０を構成する円
環状の超音波振動子２３が接着固定されている。
Ｆ、ＰＥＥＫあるいはステンレスなどを素材とする円形
パイプ１には枝状に円形パイプ２が形成されており、こ
のパイプ２内にプラスチックなどの樹脂を素材とする円
柱状の導波体３が圧入されている。この導波体３の外側
の端面に、ドップラー式超音波流量計の送受波器１４が
接着固定されている。ドップラー式超音波流量計１０の
上流において、パイプ１の外周面上にプラスチックなど
の樹脂を素材とする導波体４が接着固定されており、こ
の導波体４の外周面に、超音波放射器２０を構成する円
環状の超音波振動子２３が接着固定されている。
【００１０】操作・表示部１９は、操作者が発した起動
指令をキースイッチを介して受けると、発振器１１と２
１とを起動する。この発振器２１は、ＬＣ発振器などで
構成されており、５０ＫＨｚ近傍の周波数の交流電圧を
発生する。この交流電圧は、大電力増幅器２２で増幅さ
れ、数百Ｗ程度の大電力の交流電力として超音波振動子
２３に供給される。超音波振動子２３が発生した超音波
は、導波体４とパイプ１とを通って純水中に放射され
る。超音波振動子２３は円環形状を呈していることか
ら、その円周方向の各部から放射された超音波は、この
円環の中心に向けて伝播する。
指令をキースイッチを介して受けると、発振器１１と２
１とを起動する。この発振器２１は、ＬＣ発振器などで
構成されており、５０ＫＨｚ近傍の周波数の交流電圧を
発生する。この交流電圧は、大電力増幅器２２で増幅さ
れ、数百Ｗ程度の大電力の交流電力として超音波振動子
２３に供給される。超音波振動子２３が発生した超音波
は、導波体４とパイプ１とを通って純水中に放射され
る。超音波振動子２３は円環形状を呈していることか
ら、その円周方向の各部から放射された超音波は、この
円環の中心に向けて伝播する。
【００１１】さらに、図示のように、超音波振動子２３
は流路方向に湾曲しているため、この湾曲した各部から
放射された超音波も円環の中心に向けて伝播する。この
結果、放射された超音波が円環の中心に収束され、そこ
に強い振動エネルギー供給される。この供給パワー密度
が周波数に依存して定まる所定の閾値を越えると、キャ
ビテーションが発生し、これに伴い気泡が発生する。こ
のキャビテーション発生のパワー密度は、周波数５０Ｋ
Ｈの近傍では１０3 Ｗ／ｍ2 程度であることが知られて
いる。
は流路方向に湾曲しているため、この湾曲した各部から
放射された超音波も円環の中心に向けて伝播する。この
結果、放射された超音波が円環の中心に収束され、そこ
に強い振動エネルギー供給される。この供給パワー密度
が周波数に依存して定まる所定の閾値を越えると、キャ
ビテーションが発生し、これに伴い気泡が発生する。こ
のキャビテーション発生のパワー密度は、周波数５０Ｋ
Ｈの近傍では１０3 Ｗ／ｍ2 程度であることが知られて
いる。
【００１２】一方、操作・表示部１０により起動され、
発振動作を開始する発振器１１は、水晶発振器などで構
成されており、２ＭＨz 程度の安定した周波数の交流電
圧を発生する。発生された交流電圧は、増幅器１２ａで
増幅されて数Ｗ程度の交流電力となり、半導体スイッチ
などで構成される送受切り替えスイッチ１３を通って送
受波器１４に供給される。ここで、送受切替えスイッチ
１３は、発振器１１から出力される交流電圧を所定の閾
値Ｖthと比較することにより２値信号に変換する比較器
１８ａと、この比較器１８ａから出力される２値信号を
分周する分周器１８ｂとによって構成される切り替え信
号発生部の出力のハイ／ローに応じて所定周期で送信側
と受信側とに交互に切り替えられる。この送受切り替え
の周期としては、反射された超音波の往復の伝播時間程
度の適宜な値に設定される。
発振動作を開始する発振器１１は、水晶発振器などで構
成されており、２ＭＨz 程度の安定した周波数の交流電
圧を発生する。発生された交流電圧は、増幅器１２ａで
増幅されて数Ｗ程度の交流電力となり、半導体スイッチ
などで構成される送受切り替えスイッチ１３を通って送
受波器１４に供給される。ここで、送受切替えスイッチ
１３は、発振器１１から出力される交流電圧を所定の閾
値Ｖthと比較することにより２値信号に変換する比較器
１８ａと、この比較器１８ａから出力される２値信号を
分周する分周器１８ｂとによって構成される切り替え信
号発生部の出力のハイ／ローに応じて所定周期で送信側
と受信側とに交互に切り替えられる。この送受切り替え
の周期としては、反射された超音波の往復の伝播時間程
度の適宜な値に設定される。
【００１３】送受波器１４から放射される超音波は、導
波体３とパイプ１の管壁とを通して純水中に放射され、
上流の超音波放射器２０によって発生され純水の流速に
等しい速度で移動する気泡によって反射される。気泡で
反射された周波数シフトの生じた超音波は、上述した放
射の経路と逆向きの経路を辿って送受波器１４に受信さ
れ、ここで電気信号に変換され、送受切り替えスイッチ
１３を通って増幅器１２ｂで増幅され、混合器１５に供
給される。
波体３とパイプ１の管壁とを通して純水中に放射され、
上流の超音波放射器２０によって発生され純水の流速に
等しい速度で移動する気泡によって反射される。気泡で
反射された周波数シフトの生じた超音波は、上述した放
射の経路と逆向きの経路を辿って送受波器１４に受信さ
れ、ここで電気信号に変換され、送受切り替えスイッチ
１３を通って増幅器１２ｂで増幅され、混合器１５に供
給される。
【００１４】混合器１５に供給された反射波の電気信号
は、発振器１１から供給される電気信号と混合されて両
者の差周波数のビート信号に変換され、低域通過濾波回
路１６を通して周波数カウンタ１７に供給される。操作
・表示部１９内のデータ処理部では、周波数カウンタ１
７から出力されるビート周波数のカウント値を流量や流
速に変換して表示部１９に表示する。発振器１１の発振
周波数、すなわち放射超音波の周波数がｆｔ、ビート周
波数がｆｂ、静止状態にある純水中の超音波の伝播速度
がＶ、パイプ１の管軸と放射超音波のなす角度がθであ
れば、純水の流速ｖは、 ｖ＝（１／２cos θ）（ｆｂ／ｆｔ）・Ｖ と算定される。
は、発振器１１から供給される電気信号と混合されて両
者の差周波数のビート信号に変換され、低域通過濾波回
路１６を通して周波数カウンタ１７に供給される。操作
・表示部１９内のデータ処理部では、周波数カウンタ１
７から出力されるビート周波数のカウント値を流量や流
速に変換して表示部１９に表示する。発振器１１の発振
周波数、すなわち放射超音波の周波数がｆｔ、ビート周
波数がｆｂ、静止状態にある純水中の超音波の伝播速度
がＶ、パイプ１の管軸と放射超音波のなす角度がθであ
れば、純水の流速ｖは、 ｖ＝（１／２cos θ）（ｆｂ／ｆｔ）・Ｖ と算定される。
【００１５】更に、パイプ１の内径Ｄとすれば、流量Ｑ
は、 Ｑ＝ｋ（πＤ2 ／４）ｖ＝ｋ（πＤ2 ／４）（１／２co
s θ）（ｆｂ／ｆｔ）・Ｖ と算定される。ただし、ｋは、流速が断面内で一様でな
いことに対する補正係数であり、パイプの内径や、流体
の粘度や流速に応じて1.0 の近傍の適宜な値に設定され
る。
は、 Ｑ＝ｋ（πＤ2 ／４）ｖ＝ｋ（πＤ2 ／４）（１／２co
s θ）（ｆｂ／ｆｔ）・Ｖ と算定される。ただし、ｋは、流速が断面内で一様でな
いことに対する補正係数であり、パイプの内径や、流体
の粘度や流速に応じて1.0 の近傍の適宜な値に設定され
る。
【００１６】以上、周波数カウンタを用いてビート周波
数を検出する構成を例示したが、このビート周波数を高
速フーリエ変換器（ＦＦＴ）を用いて検出する構成とす
ることもできる。
数を検出する構成を例示したが、このビート周波数を高
速フーリエ変換器（ＦＦＴ）を用いて検出する構成とす
ることもできる。
【００１７】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明のド
ップラー式超音波流量測定装置は、ドップラー式超音波
流量計の上流にキャビテーションによる気泡を生じさせ
る超音波放射器を設置する構成であるから、異物が全く
混在しない純水などの液体や、異物が殆ど混在しない高
純度の化学薬品などの液体についても、簡易・安価・高
精度のドップラー式流量計や流速計を使用できるという
効果が奏される。
ップラー式超音波流量測定装置は、ドップラー式超音波
流量計の上流にキャビテーションによる気泡を生じさせ
る超音波放射器を設置する構成であるから、異物が全く
混在しない純水などの液体や、異物が殆ど混在しない高
純度の化学薬品などの液体についても、簡易・安価・高
精度のドップラー式流量計や流速計を使用できるという
効果が奏される。
【図１】本発明の一実施例のドップラー式超音波流量測
定装置の構成を示すブロック図である。
定装置の構成を示すブロック図である。
１ 測定対象の純水が流れるパイプ 10 ドップラー式超音波流量計 20 超音波放射器 23 超音波振動子
Claims (2)
- 【請求項１】液体の流量を測定するドップラー式超音波
流量計と、 このドップラー式超音波流量計の上流に設置され、前記
液体中にキャビテーションによる気泡を生じさせる超音
波放射器とを備えたことを特徴とするドップラー式超音
波流量測定装置。 - 【請求項２】液体の流速を測定するドップラー式超音波
流速計と、 このドップラー式超音波流速計の上流に設置され、前記
液体中にキャビテーションによる気泡を生じさせる超音
波放射器とを備えたことを特徴とするドップラー式超音
波流速測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5106213A JPH06294670A (ja) | 1993-04-08 | 1993-04-08 | ドップラー式超音波流量／流速測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5106213A JPH06294670A (ja) | 1993-04-08 | 1993-04-08 | ドップラー式超音波流量／流速測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06294670A true JPH06294670A (ja) | 1994-10-21 |
Family
ID=14427879
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5106213A Pending JPH06294670A (ja) | 1993-04-08 | 1993-04-08 | ドップラー式超音波流量／流速測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06294670A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004106862A1 (ja) * | 2003-05-28 | 2004-12-09 | The Tokyo Electric Power Company, Incorporated | ドップラ式超音波流量計に用いる気泡発生装置およびドップラ式超音波流量計 |
| JP2005351771A (ja) * | 2004-06-10 | 2005-12-22 | Tokyo Electric Power Co Inc:The | 超音波キャビテーション発生装置およびドップラー式超音波流量計 |
| JP2006528508A (ja) * | 2003-07-25 | 2006-12-21 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 管内で測定を実行する手段 |
| JP2010223839A (ja) * | 2009-03-24 | 2010-10-07 | Tokyo Electric Power Co Inc:The | ドップラー式超音波流量測定装置に用いる気泡注入装置 |
-
1993
- 1993-04-08 JP JP5106213A patent/JPH06294670A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004106862A1 (ja) * | 2003-05-28 | 2004-12-09 | The Tokyo Electric Power Company, Incorporated | ドップラ式超音波流量計に用いる気泡発生装置およびドップラ式超音波流量計 |
| US7415893B2 (en) | 2003-05-28 | 2008-08-26 | The Tokyo Electric Power Company, Incorporated | Bubble generator for use in doppler ultrasonic flowmeter and doppler ultrasonic flowmeter |
| JP2006528508A (ja) * | 2003-07-25 | 2006-12-21 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 管内で測定を実行する手段 |
| JP2005351771A (ja) * | 2004-06-10 | 2005-12-22 | Tokyo Electric Power Co Inc:The | 超音波キャビテーション発生装置およびドップラー式超音波流量計 |
| US7509878B2 (en) | 2004-06-10 | 2009-03-31 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Ultrasonic cavitating apparatus and ultrasonic doppler flow measurement system |
| JP2010223839A (ja) * | 2009-03-24 | 2010-10-07 | Tokyo Electric Power Co Inc:The | ドップラー式超音波流量測定装置に用いる気泡注入装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CA2465256C (en) | Doppler ultrasonic flowmeter | |
| CA2669292C (en) | Apparatus and method for measuring a fluid flow parameter within an internal passage of an elongated body | |
| US7044001B2 (en) | Sonic- or ultrasonic flowmeter | |
| Takamoto et al. | New measurement method for very low liquid flow rates using ultrasound | |
| JPH06294670A (ja) | ドップラー式超音波流量／流速測定装置 | |
| JP3602112B2 (ja) | ドップラ式超音波流量計、ドップラ式超音波流量計を用いた流量計測方法および流量計測用プログラム | |
| JP2811403B2 (ja) | ドップラー式超音波流量／流速測定装置 | |
| Ayob et al. | Design Consideration for Front-End System in Ultrasonic Tomography | |
| SU838552A1 (ru) | Устройство дл определени концентрацииНЕРАСТВОРЕННОгО гАзА B жидКОСТи | |
| JPS55113974A (en) | Ultrasonic current and flow meter utilizing doppler's shift | |
| RU2640122C1 (ru) | Вихреакустический преобразователь расхода | |
| RU2121136C1 (ru) | Вихревой расходомер | |
| JP3602114B2 (ja) | ドップラ式超音波流量計、ドップラ式超音波流量計を用いた流量計測方法および流量計測用プログラム | |
| RU9955U1 (ru) | Вихреакустический преобразователь расхода | |
| JPH01138417A (ja) | ドップラー超音波流速測定装置 | |
| JPS6249566B2 (ja) | ||
| JPS55134349A (en) | Sound wave microscope | |
| JP2007178244A (ja) | 超音波流量計および超音波流量計に用いるくさび | |
| US4481811A (en) | Measurement of fluid oscillation amplitude | |
| Coulthard et al. | Vortex wake transit time measurements for flow metering | |
| JPS5527935A (en) | Ultrasonic wave flow meter | |
| RU2135981C1 (ru) | Устройство для измерения поверхностного натяжения жидкости | |
| RU2190191C1 (ru) | Ультразвуковой импульсный расходомер | |
| JP2004061108A (ja) | ドップラ式超音波流量計、ドップラ式超音波流量計を用いた流量計測方法および流量計測用プログラム | |
| RU2068543C1 (ru) | Способ измерения массового расхода жидких и газообразных сред |