JPH06294581A - Heat treating furnace - Google Patents

Heat treating furnace

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JPH06294581A
JPH06294581A JP8088993A JP8088993A JPH06294581A JP H06294581 A JPH06294581 A JP H06294581A JP 8088993 A JP8088993 A JP 8088993A JP 8088993 A JP8088993 A JP 8088993A JP H06294581 A JPH06294581 A JP H06294581A
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JP
Japan
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pipe
holes
furnace
gas
heat treatment
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JP8088993A
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Japanese (ja)
Inventor
Masanori Kitamura
雅則 北村
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Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To provide a heat treating furnace which eliminates shortcomings of a conventional feeding pipe, can uniformly feed a gas in the furnace, and can uniform an atmosphere in the furnace. CONSTITUTION:A gas feeding pipe 2 and discharging pipe 3 for an exhaust gas are equipped on a furnace main body 1, and the gas feeding pipe 2 consists of a first pipe 11, one end of which is open, and a second pipe 2 which is fitted in the first pipe 11, and one end of which is open. On the top of the furnace main body 1, a motor 5 to depress the second pipe 12 and a cam 4 which is connected to the motor 5 are provided as a height adjusting means for the second pipe 12 to the first pipe 11. Then, a spring to make a pushing up force from the bottom work when the cam 4 turns by 180 deg. is provided on the bottom part of the first pipe 11.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、炉内にガスを均一に供
給できる熱処理炉に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a heat treatment furnace capable of uniformly supplying gas into the furnace.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より、セラミック焼成炉へのガス供
給およびセラミック焼成炉からのガス排出には種々の方
式が周知である。図13にそのような方式の一つを示
す。この図13は、バッチ炉を示しており、炉本体1は
その底部にセラミックの被焼成物を入れた匣7を出し入
れするための開口部1aを有し、匣7が開口部1aより
炉本体1の内部に挿入されて焼成される。炉本体1の天
井部1bには、この天井部1bから炉床1cに向かうガ
ス(雰囲気ガス)の供給パイプ2と排ガスの排出パイプ
3とが取り付けられている。
2. Description of the Related Art Conventionally, various methods are well known for supplying gas to a ceramic firing furnace and discharging gas from the ceramic firing furnace. FIG. 13 shows one of such methods. This FIG. 13 shows a batch furnace, and the furnace body 1 has an opening 1a at the bottom for inserting and removing a box 7 containing a ceramic object to be fired, and the box 7 is opened from the opening 1a to the furnace body. It is inserted into the inside of 1 and baked. On the ceiling part 1b of the furnace body 1, a gas (atmosphere gas) supply pipe 2 and an exhaust gas discharge pipe 3 which are directed from the ceiling part 1b to the hearth 1c are attached.

【0003】前記供給パイプ2および排出パイプ3は、
図14に示すように、アルミナ磁器等の耐熱性の材料か
らなる一端開口状のものであって、その各側壁には供給
パイプ2および排出パイプ3の各一端から各他端に向か
って、ガス供給用もしくは排ガス排出用の穴8,8,…
が一列に形成されている。各穴8は炉本体1内でのセラ
ミックの被焼成物の熱処理条件等に対応して、その穴
径、ピッチおよび形成位置、個数等が設定されている。
そして、ガスは供給パイプ2内を図13において矢印A
1で示す向きに流れて炉本体1内に供給され、排ガス
は、矢印A2で示す向きに排出パイプ3内を流れて、炉
本体1外に排出される。
The supply pipe 2 and the discharge pipe 3 are
As shown in FIG. 14, it is made of a heat-resistant material such as alumina porcelain and has one end opening, and each side wall of the supply pipe 2 and the discharge pipe 3 is provided with gas from one end to the other end. Holes 8 for supplying or exhausting exhaust gas, ...
Are formed in a line. The hole diameter, pitch, forming position, number and the like of each hole 8 are set in accordance with the heat treatment conditions of the ceramic object to be fired in the furnace body 1.
Then, the gas flows inside the supply pipe 2 in FIG.
The exhaust gas flows in the direction indicated by 1 and is supplied into the furnace main body 1, and the exhaust gas flows through the discharge pipe 3 in the direction indicated by the arrow A2 and is discharged outside the furnace main body 1.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】ところで、前記のよう
な供給パイプ2では、各穴8の穴径は一定であるから、
これら供給パイプ2を使用して、炉本体1の炉内圧やガ
スの供給量を調節することができず、また、供給パイプ
2の穴8からの炉本体へのガスの供給量はパイプ内の内
圧によってきまり、底部は高圧、天井部は低圧となるこ
とから、供給パイプ2の底の穴8からのガスの供給量が
多くなり、天井部1cに近づくほど少なくなる。さら
に、連続的にガスが炉本体1内に供給されているため、
炉本体1内で定常的なガスの流れができて、炉本体1内
の雰囲気制御が困難であるという問題があった。
By the way, in the above-mentioned supply pipe 2, since the diameter of each hole 8 is constant,
These supply pipes 2 cannot be used to adjust the furnace pressure of the furnace body 1 or the gas supply amount, and the gas supply amount from the holes 8 of the supply pipe 2 to the furnace body is Since it is determined by the internal pressure, the bottom has a high pressure and the ceiling has a low pressure, the amount of gas supplied from the hole 8 at the bottom of the supply pipe 2 increases, and decreases as it approaches the ceiling 1c. Furthermore, since the gas is continuously supplied into the furnace body 1,
There is a problem that a steady gas flow can be generated in the furnace body 1 and it is difficult to control the atmosphere in the furnace body 1.

【0005】また、供給パイプ2を使用して、炉本体1
の任意の位置からガスを供給させるには、各供給パイプ
2の穴8,8,…の穴径、ピッチおよび穴の個数を変化
させたパイプがそれぞれ必要となる。そして、これら異
なる複数本の供給パイプ2,2,…を炉本体1に取り付
け、それぞれの供給パイプ2,2,…をバルブ(図示せ
ず)により開閉しなければならず、セラミック焼成炉の
形状が大きくなり、構造も複雑になるという問題があっ
た。
In addition, by using the supply pipe 2, the furnace body 1
In order to supply the gas from any position, the pipes having different hole diameters, pitches, and the number of holes of the holes 8, 8, ... Of each supply pipe 2 are required. The plurality of different supply pipes 2, 2, ... Must be attached to the furnace body 1, and the respective supply pipes 2, 2, ... Must be opened and closed by valves (not shown). However, there is a problem that the size becomes large and the structure becomes complicated.

【0006】本発明の目的は、上述した従来の供給パイ
プの欠点を解消し、炉内へガスを均一に供給でき、炉内
の雰囲気を均一にできるようにした熱処理炉を提供する
ことである。
An object of the present invention is to solve the above-mentioned drawbacks of the conventional supply pipe, and to provide a heat treatment furnace capable of uniformly supplying gas into the furnace and making the atmosphere in the furnace uniform. .

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、本発明は、前記パイプの周壁に少なくとも軸方向
に間隔をおいて穴が形成されてなる一端開口状の第1パ
イプと、この第1パイプの内径にほぼ等しい外径を有
し、第1パイプに内嵌する一端開口状の第2パイプより
なり、該第2パイプの周壁には該第2パイプを第1パイ
プに相対して軸方向に上下動させることにより前記第1
パイプの穴との重なりが変化するように穴が形成されて
おり、前記第1パイプに第2パイプが内嵌した状態で前
記第1パイプに対する第2パイプの軸方向の高さを調節
する調節手段とを備え、前記第1パイプの穴と第2パイ
プの穴の重なりによりガスの供給量を調節するようにし
たことを特徴としている。
In order to solve the above-mentioned problems, the present invention relates to a first pipe having an opening at one end, wherein holes are formed in the peripheral wall of the pipe at least at intervals in the axial direction, The second pipe has an outer diameter substantially equal to the inner diameter of the first pipe and is fitted into the first pipe. The second pipe has an opening at one end. The second pipe is disposed on the peripheral wall of the second pipe relative to the first pipe. And by moving up and down in the axial direction, the first
The hole is formed so that the overlap with the hole of the pipe is changed, and the second pipe is fitted inside the first pipe, and the axial height of the second pipe with respect to the first pipe is adjusted. And a means for adjusting the gas supply amount by overlapping the holes of the first pipe and the holes of the second pipe.

【0008】前記第2パイプはガス供給口を備え、該ガ
ス供給口が嵌まるスリットを前記第1パイプに設けても
よい。
The second pipe may be provided with a gas supply port, and a slit into which the gas supply port is fitted may be provided in the first pipe.

【0009】前記第1パイプまたは第2パイプにおい
て、穴の形状を軸方向に間隔をおいて縦長の穴もしくは
横長の穴を設けてもよい。
In the first pipe or the second pipe, the holes may be provided with longitudinal holes or lateral holes at intervals in the axial direction.

【0010】前記第1パイプまたは第2パイプにおい
て、穴を軸方向に間隔をおき、かつ横方向に複数の穴を
設けてもよい。
In the first pipe or the second pipe, the holes may be axially spaced and a plurality of holes may be provided in the lateral direction.

【0011】[0011]

【作用】以上の構成により、第1パイプに対して第2パ
イプを上下動させることにより、第1パイプと第2パイ
プの穴の重なりが変化して、その結果、見かけ上、穴の
位置、穴のピッチ、穴の大きさ、穴の数を変えることが
できる。これにより、炉本体内へのガスの放出が均一に
でき、炉内雰囲気を均一にできる。
With the above construction, by vertically moving the second pipe with respect to the first pipe, the overlapping of the holes of the first pipe and the second pipe changes, and as a result, the apparent position of the hole, You can change the pitch of holes, the size of holes, and the number of holes. Thereby, the gas can be uniformly released into the furnace body, and the atmosphere in the furnace can be made uniform.

【0012】[0012]

【実施例】本発明に係る熱処理炉の実施例の断面図を図
1に示す。この熱処理炉は、セラミック焼成用のバッチ
炉で、炉本体1の底部にセラミックの被焼成物を入れた
匣7を出し入れするために開口1aを有し、匣7が開口
1aより炉本体1の内部に挿入されて焼成される。炉本
体1の天井部1bには、この天井部1bからセラミック
の被焼成物を入れた匣7と炉本体1の内壁を通って炉床
1cに向かうガス(雰囲気ガス)の供給パイプ2と排ガ
スの排出パイプ3とを取り付けている。セラミック焼成
炉用ガス供給パイプ2は、一端開口状の第1パイプ11
と、この第1パイプ11に内嵌する一端開口状の第2パ
イプ12とからなる。そして、第1パイプ11に対する
第2パイプ12の高さ調節手段として、炉本体1の上部
には、第2パイプ12を押し下げるためのモータ5と、
モータ5に連結しているカム4とを備える。また図4に
示すように、第1パイプ11の底にはバネ6を備えてお
り、カム4が180度回転すれば下から押し上げる力を
働かせるようにしている。第1パイプ11と第2パイプ
12はアルミナ磁器等の耐熱性を有するものであり、バ
ネ6はジルコニア等の耐熱性を有するものである。
EXAMPLE A sectional view of an example of a heat treatment furnace according to the present invention is shown in FIG. This heat treatment furnace is a batch furnace for firing ceramics, and has an opening 1a at the bottom of the furnace body 1 for inserting and removing a box 7 containing a material to be fired of ceramics. It is inserted inside and fired. In the ceiling part 1b of the furnace main body 1, a gas (atmosphere gas) supply pipe 2 and an exhaust gas are sent from the ceiling part 1b to the hearth 1c through the box 7 containing the ceramic object to be fired and the inner wall of the furnace main body 1. And the discharge pipe 3 of the above are attached. The ceramic firing furnace gas supply pipe 2 includes a first pipe 11 having an opening at one end.
And a second pipe 12 that is fitted into the first pipe 11 and has an opening at one end. And, as a height adjusting means of the second pipe 12 with respect to the first pipe 11, a motor 5 for pushing down the second pipe 12 is provided above the furnace body 1.
And a cam 4 connected to the motor 5. Further, as shown in FIG. 4, a spring 6 is provided on the bottom of the first pipe 11 so that when the cam 4 rotates 180 degrees, a pushing force is exerted from below. The first pipe 11 and the second pipe 12 have heat resistance such as alumina porcelain, and the spring 6 has heat resistance such as zirconia.

【0013】図2および図3は第1パイプ11と第2パ
イプ12の斜視図をそれぞれ示す。図2に示すように、
第1パイプ11の側壁には軸方向に一直線状に直径が数
ミリの穴14,14,…が等間隔に形成されている。
2 and 3 are perspective views of the first pipe 11 and the second pipe 12, respectively. As shown in FIG.
On the side wall of the first pipe 11, holes 14, 14, ... With a diameter of several millimeters are formed at equal intervals in a straight line in the axial direction.

【0014】一方、図3に示すように、第2パイプ12
は第1パイプ11の内径にほぼ等しい外径を有し、第1
パイプ11に内嵌し得るようになっている。第2パイプ
12の側壁には軸方向に一直線状に直径が数ミリの穴1
5,15,…が等間隔に形成されている。ただし第1パ
イプ11と第2パイプ12の側壁の穴14,15の間隔
は異なっている。これら各穴14,15は、第1パイプ
11に第2パイプ12が内嵌した状態で第2パイプ12
を上下動させると、その過程で順次重なるようになる。
なお、第1パイプ11の底部には穴13が設けられてお
り、底部内のガスの給排気が行えるようにすることによ
り、第2パイプ12の上下道を阻害しないようにしてい
る。また、第2パイプ12の上部にはガス供給口16が
設けられており、第2パイプ12内部にガスを供給する
ようにしている。
On the other hand, as shown in FIG. 3, the second pipe 12
Has an outer diameter approximately equal to the inner diameter of the first pipe 11,
It can be fitted into the pipe 11. The side wall of the second pipe 12 has a hole 1 with a diameter of several millimeters which is aligned linearly in the axial direction.
5, 15, ... Are formed at equal intervals. However, the distance between the holes 14 and 15 in the side walls of the first pipe 11 and the second pipe 12 is different. These holes 14 and 15 are formed in the first pipe 11 with the second pipe 12 fitted therein.
As you move up and down, they will overlap in the process.
A hole 13 is provided at the bottom of the first pipe 11 so that the gas in the bottom can be supplied and exhausted so that the vertical passage of the second pipe 12 is not obstructed. Further, a gas supply port 16 is provided on the upper portion of the second pipe 12 so that gas is supplied into the inside of the second pipe 12.

【0015】図4,図5,図6,図7,図8は第2パイ
プ12の上下動の動きとそれにともなう第1パイプ11
と第2パイプ12との穴14,15の位置の変化を示す
もので、図4→図5→図6→図7→図8の順序では、上
部の図示しないモータ5で駆動されるカム4の回転によ
り第2パイプ12が下向きに押し下げられ、それにとも
ない穴14,15の位置が変化している。図8→図7→
図6→図5→図4の順序では、カム4が180度回転し
た後下部のばね6の反発力により第2パイプ12が上に
押し上げられ、それにともない穴14,15の位置が変
化している。
4, FIG. 5, FIG. 6, FIG. 7, and FIG. 8, the vertical movement of the second pipe 12 and the accompanying first pipe 11 are shown.
The change of the positions of the holes 14 and 15 between the second pipe 12 and the second pipe 12 is shown. In the order of FIG. 4 → FIG. 5 → FIG. 6 → FIG. 7 → FIG. The second pipe 12 is pushed downward due to the rotation of, and the positions of the holes 14 and 15 are changed accordingly. Figure 8 → Figure 7 →
In the order of FIG. 6 → FIG. 5 → FIG. 4, after the cam 4 rotates 180 degrees, the second pipe 12 is pushed up by the repulsive force of the lower spring 6, and the positions of the holes 14 and 15 change accordingly. There is.

【0016】図9に示すように第1パイプ11の上部に
はスリット17が設けられている。このスリット17に
は、第2パイプ12のガス供給口16が嵌まり、第2パ
イプ12が第1パイプ11に対して上下動するとき、回
転しないように動きを規制している。
As shown in FIG. 9, a slit 17 is provided in the upper portion of the first pipe 11. The gas supply port 16 of the second pipe 12 is fitted in the slit 17, and when the second pipe 12 moves up and down with respect to the first pipe 11, the movement is restricted so as not to rotate.

【0017】図10に示すように第1パイプ11の穴1
4の数を軸方向に間隔をおいて横方向に複数の穴を設け
ることで炉本体1内へのガスの供給に横の広がりをもた
せられる。また、このような構造は第2パイプ12にも
同じように適用できる。
As shown in FIG. 10, the hole 1 of the first pipe 11
By providing a plurality of holes in the lateral direction at intervals of 4 in the axial direction, the gas can be supplied into the furnace body 1 in a laterally widened manner. Further, such a structure can be similarly applied to the second pipe 12.

【0018】図11に示すように、第1パイプ11の穴
14を軸方向に間隔をおいて縦長の穴にすることで、軸
方向に連続的にガスを供給することで炉本体1内にセラ
ミック被焼成物を入れた匣7を縦に積んでも各匣7内に
供給することができる。また、このような構造は第2パ
イプ12にも同じように適用できる。
As shown in FIG. 11, by making the holes 14 of the first pipe 11 longitudinally long at intervals in the axial direction, gas is continuously supplied in the axial direction into the furnace body 1. Even if the boxes 7 containing the ceramic objects to be fired are vertically stacked, they can be supplied into each box 7. Further, such a structure can be similarly applied to the second pipe 12.

【0019】図12に示すように第2パイプ12の穴1
5を軸方向に間隔をおいて横長の穴にすることで、第1
パイプ11と第2パイプ12の穴14,15が第2パイ
プ12の上下動により、第2パイプ12が回転して位置
ずれをおこしても対応できる。また、このような構造は
第1パイプ11にも適用できる。
As shown in FIG. 12, the hole 1 of the second pipe 12
5 is made into a horizontally long hole at intervals in the axial direction,
Even if the holes 14 and 15 of the pipe 11 and the second pipe 12 move vertically due to the vertical movement of the second pipe 12, the second pipe 12 may rotate and cause a positional shift. Further, such a structure can be applied to the first pipe 11.

【0020】なお、上記実施例において、第1パイプ1
1の各穴14と第2パイプ12の各穴15の形状および
配置は、セラミックの被焼成物を入れた匣7の熱処理条
件に応じて任意に設定することができる。さらに、第2
パイプ12の上下駆動には上記した方法以外にエアシリ
ンダーやラックとピニオンを使用しての駆動方法でもよ
い。また、本実施例ではガス供給パイプについて述べて
きたが、排ガス排出パイプについても適用できる。
In the above embodiment, the first pipe 1
The shape and arrangement of each hole 14 of No. 1 and each hole 15 of the second pipe 12 can be arbitrarily set according to the heat treatment conditions of the box 7 in which the ceramic firing target is placed. Furthermore, the second
In addition to the above method, the pipe 12 may be driven up and down by using an air cylinder or a rack and pinion. Further, although the gas supply pipe has been described in the present embodiment, it can be applied to an exhaust gas discharge pipe.

【0021】[0021]

【発明の効果】本発明によれば、第1パイプに対して第
2パイプを上下動させると、第1パイプの穴と第2パイ
プの穴との位置関係により、両穴の重なり、つまり第1
パイプと第2パイプと連通する連通穴の数、面積および
位置が変化するので、炉本体内の雰囲気を均一化するこ
とが出来る。また、本発明によれば、ガス供給パイプを
炉本体に取り付けるようにすればよいので、熱処理炉の
形状が小型化されるとともに、構造も簡単化される。
According to the present invention, when the second pipe is moved up and down with respect to the first pipe, the holes of the first pipe and the holes of the second pipe are overlapped, that is, 1
Since the number, area and position of the communication holes communicating with the pipe and the second pipe are changed, the atmosphere in the furnace body can be made uniform. Further, according to the present invention, since the gas supply pipe may be attached to the furnace body, the shape of the heat treatment furnace can be downsized and the structure can be simplified.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の熱処理炉の一実施例にかかるセラミッ
ク焼成炉の断面図である。
FIG. 1 is a sectional view of a ceramic firing furnace according to an embodiment of a heat treatment furnace of the present invention.

【図2】図1のセラミック焼成炉に用いたガス供給パイ
プの第1パイプの斜視図である。
FIG. 2 is a perspective view of a first pipe of a gas supply pipe used in the ceramic firing furnace of FIG.

【図3】図1のセラミック焼成炉に用いたガス供給パイ
プの第2パイプの斜視図である。
3 is a perspective view of a second pipe of a gas supply pipe used in the ceramic firing furnace of FIG.

【図4】第1パイプに第2パイプを内嵌した状態での第
2パイプの上下動を示し、第2パイプが最上位位置での
断面図である。
FIG. 4 is a cross-sectional view showing vertical movement of the second pipe in a state where the second pipe is fitted in the first pipe, and the second pipe is at the uppermost position.

【図5】第1パイプに第2パイプを内嵌した状態での第
2パイプの上下動を示し、第2パイプが図4より下がっ
た位置での断面図である。
5 is a cross-sectional view showing the vertical movement of the second pipe when the second pipe is fitted in the first pipe, and the second pipe is in a position lower than that in FIG. 4. FIG.

【図6】第1パイプに第2パイプを内嵌した状態での第
2パイプの上下動を示し、第2パイプが図5より下がっ
た位置での断面図である。
FIG. 6 is a cross-sectional view showing vertical movement of the second pipe in a state where the second pipe is fitted in the first pipe, and the second pipe is at a position lower than that in FIG. 5;

【図7】第1パイプに第2パイプを内嵌した状態での第
2パイプの上下動を示し、第2パイプが図6より下がっ
た位置での断面図である。
FIG. 7 is a cross-sectional view showing vertical movement of the second pipe in a state where the second pipe is fitted in the first pipe, and the second pipe is at a position lower than that in FIG. 6;

【図8】第1パイプに第2パイプを内嵌した状態での第
2パイプの上下動を示し、第2パイプが最下位位置での
断面図である。
FIG. 8 is a cross-sectional view showing vertical movement of the second pipe in a state where the second pipe is fitted in the first pipe, and the second pipe is at the lowest position.

【図9】第1パイプに第2パイプを内嵌した状態での上
部の正面図である。
FIG. 9 is a front view of the upper portion of the first pipe with the second pipe fitted therein.

【図10】第1パイプの他の構造例の一部分の正面図で
ある。
FIG. 10 is a front view of a part of another structural example of the first pipe.

【図11】第1パイプのさらに他の構造例の一部分の正
面図である。
FIG. 11 is a front view of a part of still another structural example of the first pipe.

【図12】第2パイプの他の構造例の一部分の正面図で
ある。
FIG. 12 is a front view of a part of another structural example of the second pipe.

【図13】従来のセラミック焼成炉の断面図である。FIG. 13 is a sectional view of a conventional ceramic firing furnace.

【図14】従来のガス供給排出パイプの斜視図である。FIG. 14 is a perspective view of a conventional gas supply / discharge pipe.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

2 供給パイプ 3 排出パイプ 4 カム 5 モータ 6 バネ 11 第1パイプ 12 第2パイプ 14 第1パイプの穴 15 第2パイプの穴 16 ガス供給口 17 スリット 2 supply pipe 3 discharge pipe 4 cam 5 motor 6 spring 11 first pipe 12 second pipe 14 first pipe hole 15 second pipe hole 16 gas supply port 17 slit

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 炉本体の外からガスを供給するパイプを
備えた熱処理炉であって、 前記パイプは周壁に少なくとも軸方向に間隔をおいて穴
が形成されてなる一端開口状の第1パイプと、 この第1パイプの内径にほぼ等しい外径を有し、第1パ
イプに内嵌する一端開口状の第2パイプよりなり、該第
2パイプの周壁には該第2パイプを第1パイプに相対し
て軸方向に上下動させることにより前記第1パイプの穴
との重なりが変化するように穴が形成されており、 前記第1パイプに第2パイプが内嵌した状態で前記第1
パイプに対する第2パイプの軸方向の高さを調節する調
節手段とを備え、 前記第1パイプの穴と第2パイプの穴の重なりによりガ
スの供給量を調節するようにしたことを特徴とする熱処
理炉。
1. A heat treatment furnace having a pipe for supplying gas from outside the furnace body, wherein the pipe is a first pipe having an opening at one end and having holes formed at least in the circumferential wall at intervals in the axial direction. And a second pipe having an outer diameter substantially equal to the inner diameter of the first pipe and having one end opening fitted in the first pipe. The second pipe is provided on the peripheral wall of the second pipe. A hole is formed so that the overlap with the hole of the first pipe is changed by moving the first pipe up and down in the axial direction, and the first pipe is fitted with the second pipe.
Adjusting means for adjusting the height of the second pipe in the axial direction with respect to the pipe, and adjusting the gas supply amount by overlapping the holes of the first pipe and the holes of the second pipe. Heat treatment furnace.
【請求項2】 前記第2パイプはガス供給口を備え、該
ガス供給口が嵌まるスリットを前記第1パイプに設けた
ことを特徴とする請求項1記載の熱処理炉。
2. The heat treatment furnace according to claim 1, wherein the second pipe has a gas supply port, and a slit into which the gas supply port is fitted is provided in the first pipe.
【請求項3】 前記第1パイプまたは第2パイプにおい
て、穴の形状を軸方向に間隔をおいて縦長の穴もしくは
横長の穴を設けたことを特徴とする請求項1記載の熱処
理炉。
3. The heat treatment furnace according to claim 1, wherein the first pipe or the second pipe is provided with vertically long holes or horizontally long holes with axially spaced holes.
【請求項4】 前記第1パイプまたは第2パイプにおい
て、穴を軸方向に間隔をおき、かつ横方向に複数の穴を
設けたことを特徴とする請求項1記載の熱処理炉。
4. The heat treatment furnace according to claim 1, wherein in the first pipe or the second pipe, holes are provided at intervals in the axial direction and a plurality of holes are provided in the lateral direction.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105308405B (en) * 2013-06-20 2017-05-31 株式会社村田制作所 Gas supply pipe and annealing device

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CN105308405B (en) * 2013-06-20 2017-05-31 株式会社村田制作所 Gas supply pipe and annealing device

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