JPH06290986A - Apparatus and method for manufacturing green sheet - Google Patents
Apparatus and method for manufacturing green sheetInfo
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- JPH06290986A JPH06290986A JP5073093A JP7309393A JPH06290986A JP H06290986 A JPH06290986 A JP H06290986A JP 5073093 A JP5073093 A JP 5073093A JP 7309393 A JP7309393 A JP 7309393A JP H06290986 A JPH06290986 A JP H06290986A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は、ドクタブレード法に
よるグリーンシートの製造装置、特にブレードコータ部
の枠台を一体化した構造およびそれを用いてキャリアシ
ートを有効利用するグリーンシートの製造方法に関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus for manufacturing a green sheet by a doctor blade method, and more particularly to a structure in which a frame base of a blade coater unit is integrated and a method for manufacturing a green sheet using the carrier sheet effectively. .
【0002】[0002]
【従来の技術】従来のブレードコータによる成膜装置
は、グリーンシートの製造に利用されている。図3は、
そのブレードコータ成膜の設備の概略図、図4はブレー
ドコータ部周辺の斜視図、図5は図4のB−B線に沿う
横断面図である。これら図面を参照して説明すると、1
はブレードで両側板2a,2bの内面に形成した溝部を
上下動調整可能にして装着される。これらは、基台7上
に取り付けられ、キャリアシート3を送り出すときブレ
ードコータ部を形成する両側板2とブレード1によって
セラミック粉末、有機溶剤、可塑剤、バインダーを混練
してなる泥しょう5からグリーンシートを製造する。こ
のとき泥しょう5を注入し、ブレード部を上下させて位
置を確定し、キャリアシート3をその進行方向に引き出
すことにより、キャリアシート3上にグリーンシート4
を得ることができる。2. Description of the Related Art A conventional film coater using a blade coater is used for manufacturing a green sheet. Figure 3
4 is a schematic view of the equipment for blade coater film formation, FIG. 4 is a perspective view of the periphery of the blade coater portion, and FIG. 5 is a cross-sectional view taken along the line BB of FIG. Referring to these drawings,
Is mounted by a blade so that the groove portions formed on the inner surfaces of the both side plates 2a, 2b can be vertically moved and adjusted. These are attached to the base 7, and when the carrier sheet 3 is sent out, the ceramic powder, the organic solvent, the plasticizer and the binder are kneaded by the side plates 2 and the blade 1 which form the blade coater part. Produce a sheet. At this time, the sludge 5 is poured, the position of the blade is moved up and down to determine the position, and the carrier sheet 3 is pulled out in the traveling direction, whereby the green sheet 4 is placed on the carrier sheet 3.
Can be obtained.
【0003】[0003]
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記のドク
タブレード法による成膜装置は、ブレード部分を両側か
ら挟み込む構造をしており、ブレードコータ部をキャリ
アシート3上に設置するため、キャリアシート全面にグ
リーンシート4のコーティングを施すことができず、余
白部分を必要とし、その結果キャリアシートの利用効率
が悪いという欠点があった。By the way, the film forming apparatus using the doctor blade method has a structure in which the blade portion is sandwiched from both sides, and since the blade coater portion is installed on the carrier sheet 3, the entire surface of the carrier sheet is However, there is a drawback that the green sheet 4 cannot be coated and a margin is required, resulting in poor utilization efficiency of the carrier sheet.
【0004】また、キャリアシート3上にブレードコー
タ部を設置するため、キャリアシート3面に傷をつける
という欠点があった。加えて、基板7の上部に配置する
ブレードコータ部分がキャリアシート3を介在して設置
するために、キャリアシート3と基台7間での摩擦抵抗
が大きくなり、使用頻度に応じ摩擦や変形が生じやす
く、所定の厚みのグリーンシート4が得られず、また凹
凸のあるグリーンシート4になり、所望の膜厚が得られ
ない部分が発生するという欠点があり、材料の使用効率
も悪かった。Further, since the blade coater portion is installed on the carrier sheet 3, there is a drawback that the surface of the carrier sheet 3 is damaged. In addition, since the blade coater portion arranged on the substrate 7 is installed with the carrier sheet 3 interposed, the friction resistance between the carrier sheet 3 and the base 7 becomes large, and the friction and deformation are increased depending on the frequency of use. However, the green sheet 4 having a predetermined thickness cannot be obtained easily, and the green sheet 4 having irregularities is formed, which causes a portion in which a desired film thickness cannot be obtained.
【0005】また、キャリアシート3の全面にグリーン
シート4が成膜されないために、グリーンシート4の乾
燥工程中にグリーンシートのある部分とない部分でキャ
リアシート3の受ける熱的影響による差が出て、キャリ
アシート3が熱変形を起こすという欠点があった。それ
故に、これらの欠陥を解消する成膜装置と、それを用い
るグリーンシートの製造方法の改良が望まれている。Further, since the green sheet 4 is not formed on the entire surface of the carrier sheet 3, there is a difference due to the thermal influence of the carrier sheet 3 between the portion with the green sheet and the portion without the green sheet during the drying process of the green sheet 4. Therefore, there is a drawback that the carrier sheet 3 is thermally deformed. Therefore, it is desired to improve a film forming apparatus that eliminates these defects and a green sheet manufacturing method using the film forming apparatus.
【0006】[0006]
【課題を解決するための手段】従って、本発明は上記の
課題を解決するために提案されたものであり、基板と側
壁とを一体化して泥しょう補給部を設け、キャリアシー
トと同一幅で成膜するグリーンシートの製造装置とその
製造方法を開示することにある。SUMMARY OF THE INVENTION Therefore, the present invention has been proposed to solve the above-mentioned problems, in which a substrate and a side wall are integrally provided with a mud replenishing section, and the width is the same as that of a carrier sheet. Disclosed is a manufacturing apparatus and a manufacturing method of a green sheet for forming a film.
【0007】本発明によれば、ドクターブレード部が基
台と側壁とを一体に形成したブレードコータ部に装着さ
れ、泥しょうを供給するタンク部を設けたグリーンシー
ト製造装置が提供される。According to the present invention, there is provided a green sheet manufacturing apparatus in which a doctor blade unit is attached to a blade coater unit in which a base and a side wall are integrally formed, and a tank unit for supplying mud is provided.
【0008】そして、キャリアシートの上面全面に亘っ
て泥しょうを成膜してなるグリーンシートの製造方法が
提示される。Then, a method for producing a green sheet is presented, in which a film of mud is formed on the entire upper surface of the carrier sheet.
【0009】[0009]
【作用】上記の成膜装置の構造において、キャリアシー
トはブレード部の下側に幅の全面が対応されており、こ
の全幅面上に泥しょうによるグリーンシートが形成され
る。In the structure of the film forming apparatus described above, the entire width of the carrier sheet corresponds to the lower side of the blade portion, and the green sheet made of mud is formed on the entire width surface.
【0010】また、基台と側壁板とからなるブレードコ
ータ部が一体に構成される。ブレードコータ部の構造に
おいては,基台上にかかる重量は泥しょうの重量のみと
なり、従来構造のような摩擦抵抗も軽減され、基台板の
摩耗や変形がなくなり、かつ凹凸のない均一なグリーン
シートを形成可能とする。Further, a blade coater portion composed of a base and a side wall plate is integrally formed. In the structure of the blade coater, the weight on the base is only the weight of the mud, the frictional resistance as in the conventional structure is reduced, the base plate is not worn or deformed, and there is no unevenness in the uniform green. A sheet can be formed.
【0011】さらに、キャリアシート全面にグリーンシ
ートを形成するため、グリーンシートの乾燥磁気のキャ
リアシートの熱的影響も均一となり、キャリアシートの
両端部の熱変形をなくすことができる。Further, since the green sheet is formed on the entire surface of the carrier sheet, the thermal influence of the dry magnetic of the green sheet on the carrier sheet becomes uniform, and thermal deformation at both ends of the carrier sheet can be eliminated.
【0012】[0012]
【実施例】以下、この発明の実施例について図面を参照
して説明する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【0013】図1は、積層セラミックコンデンサ用のグ
リーンシートをドクタブレード方法により形成する成膜
装置であり、キャリアシート上に泥しょうをコーティン
グする際の状況を示す実施例である。FIG. 1 shows a film forming apparatus for forming a green sheet for a monolithic ceramic capacitor by a doctor blade method, which is an embodiment showing a situation in which a carrier sheet is coated with mud.
【0014】図において、成膜装置はブレード部11を
基台に一体形成の側壁からなるブレードコータ部12a
により構成される。この一体枠の内側には泥しょう15
が供給され、その底面内側を通るキャリアシート13に
グリーンシート14をコーティングする。この時、ブレ
ードコータ部12の台板には、泥しょう15の補給され
た重量しかかからないため、キャリアシート13には何
らかの傷も生せず、かつその上の基台板の摩耗も非常に
抑制される。従って、凹凸のない均一な泥しょう成膜を
得ることができる。In the figure, the film forming apparatus includes a blade coater portion 12a having a side wall integrally formed with a blade portion 11 as a base.
It is composed of There is mud 15 inside this integrated frame
Is supplied, and the green sheet 14 is coated on the carrier sheet 13 passing through the inside of the bottom surface thereof. At this time, since the base plate of the blade coater unit 12 only bears the weight of the replenished mud 15, the carrier sheet 13 is not damaged in any way, and the wear of the base plate thereabove is significantly suppressed. It Therefore, it is possible to obtain a uniform mud film without unevenness.
【0015】例えば、従来の方法により300mmの幅
を持つキャリアシートを従来の成膜装置で成膜すると、
全幅300mmのうち,280mm幅程度にしかグリー
ンシート14を形成することができなかった。また、そ
のグリーンシートの片側の端部5mmは、凹凸があると
考えられるので実用上使用できないく、グリーンシート
としての良品は270mm幅程度となる。これが本発明
によれば、当初から270mm幅のキャリアシート13
を使用することでその全面に塗布可能となり、かつその
全幅を良品成膜として、利用することができ、キャリア
シートの利用効率と共に泥しょうとしてのグリーンシー
トの使用効率を高めることができる。For example, when a carrier sheet having a width of 300 mm is formed by a conventional film forming apparatus by a conventional method,
The green sheet 14 could be formed only in a width of about 280 mm out of the total width of 300 mm. Further, the end portion 5 mm on one side of the green sheet cannot be used practically because it is considered to have unevenness, and a good product as a green sheet has a width of about 270 mm. According to the present invention, this is the carrier sheet 13 having a width of 270 mm from the beginning.
By using, it is possible to coat the entire surface, and the entire width can be utilized as a non-defective film, so that the utilization efficiency of the carrier sheet as well as the utilization efficiency of the green sheet as mud can be improved.
【0016】[0016]
【発明の効果】以上説明したように、この発明は、ブレ
ードコータ部の底側基台と側壁板とを一体化構成したこ
とにより、キャリアシート全面にグリーンシートコーテ
ィングが可能となる。加えて、成膜でのキャリアシート
に傷をつけることや基台板の摩耗が少ないので軽減さ
れ、それにより凹凸のない平坦で均一なグリーンシート
を得ることができる。As described above, according to the present invention, since the bottom base of the blade coater and the side wall plate are integrally formed, the entire surface of the carrier sheet can be coated with a green sheet. In addition, scratches on the carrier sheet during film formation and less wear of the base plate are alleviated, whereby a flat and uniform green sheet with no irregularities can be obtained.
【0017】さらに、キャリアシートの利用効率やグリ
ーンシートの使用効率を高められるなど工業的価値が大
きい。Further, it has great industrial value such that the utilization efficiency of the carrier sheet and the utilization efficiency of the green sheet can be improved.
【図1】 本発明に係る成膜装置とそれによるグリーン
シート形成周辺の斜視図。FIG. 1 is a perspective view of a film forming apparatus according to the present invention and a periphery of a green sheet formed by the film forming apparatus.
【図2】 図1のA−A線に沿う横断面図。2 is a cross-sectional view taken along the line AA of FIG.
【図3】 ブレードコータ部による成膜方法の設備の概
略図。FIG. 3 is a schematic view of equipment for a film forming method using a blade coater unit.
【図4】 従来のブレードコータ部分の周辺斜視図。FIG. 4 is a peripheral perspective view of a conventional blade coater portion.
【図5】 図4のB−B線に沿う横断面図。5 is a cross-sectional view taken along the line BB of FIG.
11 ブレード部 12 ブレードコータ部 13 キャリアシート 14 グリーンシート 15 泥しょう 16 キャリアシートの進行方向 11 Blade Section 12 Blade Coater Section 13 Carrier Sheet 14 Green Sheet 15 Mud 16 Direction of Carrier Sheet
Claims (3)
タ部にドクタブレード部を装着し、泥しょう供給により
基台面側に移動するキャリアシートを配置したグリーン
シート製造装置。1. A green sheet manufacturing apparatus in which a doctor blade section is mounted on a blade coater section in which a base and a side wall are integrally molded, and a carrier sheet which moves to the base surface side by the supply of mud is arranged.
その全面にグリーンシートの泥しょうを成膜することを
特徴とする請求項1に記載のグリーンシートの製造装
置。2. The green sheet manufacturing apparatus according to claim 1, wherein the carrier sheet of the blade coater has a green sheet of mud on its entire surface.
形成するグリーンシートの製造方法。3. A method for producing a green sheet, which comprises forming a film of sludge in the same width as a carrier sheet.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5073093A JPH06290986A (en) | 1993-03-31 | 1993-03-31 | Apparatus and method for manufacturing green sheet |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP5073093A JPH06290986A (en) | 1993-03-31 | 1993-03-31 | Apparatus and method for manufacturing green sheet |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06290986A true JPH06290986A (en) | 1994-10-18 |
Family
ID=13508382
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP5073093A Pending JPH06290986A (en) | 1993-03-31 | 1993-03-31 | Apparatus and method for manufacturing green sheet |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH06290986A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011183578A (en) * | 2010-03-05 | 2011-09-22 | Ngk Spark Plug Co Ltd | Device and method for manufacturing green sheet |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS526710A (en) * | 1975-07-04 | 1977-01-19 | Fujitsu Ltd | Method of molding muddy materials |
-
1993
- 1993-03-31 JP JP5073093A patent/JPH06290986A/en active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS526710A (en) * | 1975-07-04 | 1977-01-19 | Fujitsu Ltd | Method of molding muddy materials |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011183578A (en) * | 2010-03-05 | 2011-09-22 | Ngk Spark Plug Co Ltd | Device and method for manufacturing green sheet |
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