JPH0242797A - Manufacturing method of multilayer ceramic wiring board - Google Patents

Manufacturing method of multilayer ceramic wiring board

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JPH0242797A
JPH0242797A JP19267388A JP19267388A JPH0242797A JP H0242797 A JPH0242797 A JP H0242797A JP 19267388 A JP19267388 A JP 19267388A JP 19267388 A JP19267388 A JP 19267388A JP H0242797 A JPH0242797 A JP H0242797A
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JP
Japan
Prior art keywords
pattern
green sheet
wiring board
transfer film
multilayer ceramic
Prior art date
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Pending
Application number
JP19267388A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Shuji Hotta
修二 堀田
Chie Shioda
塩田 千恵
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Publication date
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Publication of JPH0242797A publication Critical patent/JPH0242797A/en
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  • Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 〔概要〕 グリーンシートを積層して形成される多層セラミック配
線板の製造方法に関し、 グリーンシートに高密度で微細なパターンを品質良く形
成することを目的とし、 表面が滑らかで全体が柔軟な転写フィルム上に導体ペー
ストよりなるパターンを印刷形成した後、前記パターン
を印刷形成した前記転写フィルム上にグリーンシートを
積層して、前記パターンを前記グリーンシートに転写し
、次いで前記転写フィルムを剥がし、前記パターンの転
写された前記グリーンシートを複数枚積層し、焼成する
工程からなる。
[Detailed Description of the Invention] [Summary] The purpose of this method is to form a high-density, fine pattern on the green sheet with good quality, and to produce a smooth surface. After printing a pattern made of conductive paste on a transfer film that is entirely flexible, a green sheet is laminated on the transfer film on which the pattern has been printed, the pattern is transferred to the green sheet, and then the pattern is transferred to the green sheet. It consists of the steps of peeling off the transfer film, stacking a plurality of green sheets with the pattern transferred thereon, and firing them.

(産業上の利用分野) 本発明は、グリーンシートを積層して形成される多層セ
ラミック配線板の製造方法に関するものである。
(Industrial Application Field) The present invention relates to a method for manufacturing a multilayer ceramic wiring board formed by laminating green sheets.

グリーンシート上に導体ペーストをスクリーン印刷して
パターンを形成する場合、グリーンシートが多孔質であ
るため、導体ペースト中の溶剤がグリーンシートに吸い
取られてパターンのレベリングが行われず、スクリーン
製版のメツシュ跡がパターン表面に残って凹凸状となり
、積層時にグリーンシートに圧力をかけると、凸部がつ
ぶれて横方向に広がり、パターンの幅が不均一となるた
め、パターンをグリーンシート上に凹凸なく形成し、高
密度で微細なパターンを内層できる多層セラミック配線
板の製造方法が求められている。
When forming a pattern by screen printing conductive paste on a green sheet, since the green sheet is porous, the solvent in the conductive paste is absorbed by the green sheet and the pattern is not leveled, resulting in mesh marks from screen printing. remains on the pattern surface and becomes uneven, and when pressure is applied to the green sheets during lamination, the convex portions collapse and spread laterally, making the pattern width uneven. Therefore, it is difficult to form patterns on the green sheets without unevenness. There is a need for a method of manufacturing a multilayer ceramic wiring board that can have a high-density, fine pattern on the inner layer.

〔従来の技術] 従来、多層セラミック配線板の製造方法は、第4図に示
すようにグリーンシート3上面にパターン2を直接スク
リーン印刷し、そのグリーンシート3を複数枚積層して
焼成するグリーンシート積層法が一般的に行われていた
[Prior Art] Conventionally, a method for producing a multilayer ceramic wiring board is to screen print a pattern 2 directly on the upper surface of a green sheet 3, stack a plurality of green sheets 3, and then fire the green sheets, as shown in FIG. The lamination method was commonly used.

〔発明が解決しようとする課題] しかし、従来のグリーンシート積層法では、第4図(a
)に示すように、グリーンシート3上に直接パターン2
をスクリーン印刷するが、グリーンシート3はセラミッ
ク材を分散したスラリーを乾燥形成した多孔質のシート
であるため、パターン2を形成する導体ペーストの溶剤
がグリーンシート3に吸収され、パターン2のレベリン
グが充分行われず、スクリーン製版のメツシュ跡が残り
、形成されたパターン2の表面が凹凸状となる。
[Problem to be solved by the invention] However, in the conventional green sheet lamination method,
), place pattern 2 directly on green sheet 3.
is screen printed, but since the green sheet 3 is a porous sheet made by drying and forming a slurry in which a ceramic material is dispersed, the solvent of the conductive paste that forms the pattern 2 is absorbed by the green sheet 3, and the leveling of the pattern 2 is affected. If the process is not carried out sufficiently, mesh marks from screen printing remain, and the surface of the formed pattern 2 becomes uneven.

このようなパターン2の形成されたグリーンシート3を
複数枚積層して圧力をかけると、第4図(b)に示すよ
うにパターンの凸部が押し潰されて横方向に広がり、パ
ターンの幅が不均一となるため、高密度で微細なパター
ンを形成することは難しかった。 本発明は、以上の欠
点を解消すべくなされたものであって、グリーンシート
に高密度で微細なパターンを品質良く形成することので
きる多層セラミック配線板の製造方法を提供することを
目的とする。
When a plurality of green sheets 3 having such a pattern 2 are stacked and pressure is applied, the convex portions of the pattern are crushed and spread laterally, as shown in FIG. 4(b), and the width of the pattern is reduced. It has been difficult to form fine patterns with high density because of the non-uniformity. The present invention has been made to eliminate the above-mentioned drawbacks, and an object of the present invention is to provide a method for manufacturing a multilayer ceramic wiring board that can form a high-density, fine pattern on a green sheet with good quality. .

〔課題を解決するための手段] 本発明を実施例に対応する第1図および第3図に基づい
て説明すると、まず表面が滑らかで全体が柔軟な転写フ
ィルムl上に導体ペーストよりなるパターン2をスクリ
ーン印刷によって印刷すると、転写フィルム1の表面は
滑らかで導体ペースト中の溶剤を吸収することがないか
ら、パターン2は充分レベリングされて、品質の良いパ
ターン2が形成される。 次にパターン2の印刷された
転写フィルム1上にグリーンシート3を積層することに
よって、パターン2を転写フィルム1がらグリーンシー
ト3上へ転写する。 パターン2が転写された後、転写
フィルム1を剥がすとグリーンシート3上には表面が平
滑にレベリングされた品質の良いパターン2が転写形成
されており、このようなグリーンシート3を複数枚積層
するために圧力をかけても、パターンが不均一に広がる
ことがない。 このようにして積層したグリーンシート
3を焼成することによって品質の良いパターンを内層し
た多層セラミック配線板を製造することができる。
[Means for Solving the Problems] The present invention will be explained based on FIGS. 1 and 3 corresponding to embodiments. First, a pattern 2 made of a conductive paste is formed on a transfer film l having a smooth surface and a flexible whole. When printed by screen printing, the surface of the transfer film 1 is smooth and does not absorb the solvent in the conductive paste, so the pattern 2 is sufficiently leveled and a high quality pattern 2 is formed. Next, by laminating the green sheet 3 on the transfer film 1 on which the pattern 2 is printed, the pattern 2 is transferred from the transfer film 1 onto the green sheet 3. After the pattern 2 is transferred, when the transfer film 1 is peeled off, a high-quality pattern 2 with a smooth and leveled surface is transferred and formed on the green sheet 3, and a plurality of such green sheets 3 are laminated. Even if pressure is applied to prevent the pattern from spreading unevenly. By firing the green sheets 3 laminated in this manner, a multilayer ceramic wiring board having a high-quality pattern on the inner layer can be manufactured.

〔作用〕[Effect]

上記工程により、本発明は、まずパターン2を表面が滑
らかで導体ペーストの溶剤を吸収しない転写フィルム1
上に印刷することによって、均一な肉厚にレベリングさ
れたパターン2を形成することができ、この状態でグリ
ーンシート3を転写フィルム1に積層してパターン2を
転写するため、グリーンシート3上には凹凸のない品質
の良いパターン2が形成されて、グリーンシート3の積
層時にパターン2が不均一な幅に潰れることがないため
高密度で微細なパターンを内層した多層セラミック配線
板を製造することができる。
Through the above steps, the present invention first transfers the pattern 2 to a transfer film 1 which has a smooth surface and does not absorb the solvent of the conductive paste.
By printing on top, it is possible to form a leveled pattern 2 with a uniform thickness.In this state, the green sheet 3 is laminated on the transfer film 1 and the pattern 2 is transferred. To manufacture a multilayer ceramic wiring board with a high-density and fine pattern as an inner layer, since a high-quality pattern 2 with no unevenness is formed and the pattern 2 is not crushed to an uneven width when the green sheets 3 are laminated. Can be done.

〔実施例〕〔Example〕

以下、本発明の実施例を添付図面に基づいて詳細に説明
する。 まず第1図において示されるように、転写フィ
ルム1上に導体ペーストよりなるパターン2をスクリー
ン印刷によって形成するが、転写フィルム1は表面が滑
らかに形成されており、パターン2を構成する導体ペー
ストの溶剤を吸収することがないため、パターン2は転
写フィルム1上にスクリーン印刷された後、均一な肉厚
にレベリングされて形成される。 次に、第2図に示す
ように転写フィルムlのパターン2が印刷された面にグ
リーンシート3を積層する。
Embodiments of the present invention will be described in detail below with reference to the accompanying drawings. First, as shown in FIG. 1, a pattern 2 made of conductive paste is formed on a transfer film 1 by screen printing. Since the pattern 2 does not absorb solvent, the pattern 2 is formed by screen printing on the transfer film 1 and then leveling it to a uniform thickness. Next, as shown in FIG. 2, a green sheet 3 is laminated on the surface of the transfer film 1 on which the pattern 2 is printed.

グリーンシート3はセラミック素材を分散したスラリー
を乾燥させて形成された多孔質のシートであるが、品質
の良いパターン2が予め印刷形成された転写フィルム1
上にグリーンシート3を積層して形成するため、グリー
ンシート3へ直接パターン2を印刷する時のように導体
ペーストの溶剤がグリーンシート3に吸収されて凹凸を
生じたりすることがなく、品質の良いパターン2がその
ままグリーンシート3に内層され、転写フィルム1を第
2図の二点鎖線で示すように剥がすと、グリーンシート
3上に表面が滑らかで品質の良いパターン2を形成する
ことができる。 次に、このようにしてパターン3を転
写したグリーンシート3を複数枚積層すると、パターン
3は圧力を受けるが凹凸なくレベリングされているため
不均一に横に広がることがなく、このような積層された
グリーンシート3を焼成することによって第3図(a)
および(b)に示すように均一で精度の良いパターン3
が内層された多層セラミック配線板を製造することがで
きる。
The green sheet 3 is a porous sheet formed by drying a slurry in which a ceramic material is dispersed, and the transfer film 1 has a high-quality pattern 2 printed on it in advance.
Since the green sheet 3 is laminated on top of the green sheet 3, unlike when printing the pattern 2 directly on the green sheet 3, the solvent of the conductive paste is not absorbed into the green sheet 3 and causes unevenness, which improves quality. A good pattern 2 is directly layered on the green sheet 3, and when the transfer film 1 is peeled off as shown by the two-dot chain line in FIG. 2, a pattern 2 with a smooth surface and good quality can be formed on the green sheet 3. . Next, when a plurality of green sheets 3 with the pattern 3 transferred in this way are stacked, the pattern 3 is subjected to pressure, but since the pattern 3 is leveled without unevenness, it does not spread horizontally unevenly, and the pattern 3 is not spread unevenly. By firing the green sheet 3 shown in FIG.
And a uniform and accurate pattern 3 as shown in (b)
It is possible to manufacture a multilayer ceramic wiring board with an inner layer of

[発明の効果〕 以上の説明から明らかなように、本発明による多層セラ
ミック配線板の製造方法によれば、品質の良いパターン
を精度良く形成することができるため、高密度で微細な
パターンを内層した多層セラミック配線板を製造するこ
とができる。
[Effects of the Invention] As is clear from the above explanation, according to the method for manufacturing a multilayer ceramic wiring board according to the present invention, a high-quality pattern can be formed with high precision. It is possible to manufacture a multilayer ceramic wiring board.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明の第1の工程を示す断面図、第2図は本
発明の第2の工程を示す断面図、第3図(a)は積層し
たグリーンシートの一部を示す断面図、 第3図(b)
は第3図(a)の平面図、 第4図(a)は従来例の一工程を示す断面図、第4図(
b)は従来例による多層セラミック配線板の正面図であ
る。 図において、 1は転写フィルム、 2はパターン、 3はグリーンシートである。
FIG. 1 is a sectional view showing the first step of the present invention, FIG. 2 is a sectional view showing the second step of the present invention, and FIG. 3(a) is a sectional view showing a part of the laminated green sheets. , Figure 3(b)
is a plan view of FIG. 3(a), FIG. 4(a) is a sectional view showing one process of the conventional example, and FIG.
b) is a front view of a conventional multilayer ceramic wiring board. In the figure, 1 is a transfer film, 2 is a pattern, and 3 is a green sheet.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 表面が滑らかで全体が柔軟な転写フィルム(1)上に導
体ペーストよりなるパターン(2)を印刷形成した後、
前記パターン(2)を印刷形成した前記転写フィルム(
1)上にグリーンシート(3)を積層して前記パターン
(2)を前記グリーンシート(3)に転写し、次いで前
記転写フィルム(1)を剥がし、前記パターン(2)の
転写された前記グリーンシート(3)を複数枚積層して
焼成する多層セラミック配線板の製造方法。
After printing a pattern (2) made of conductive paste on a transfer film (1) whose surface is smooth and entirely flexible,
The transfer film (on which the pattern (2) is printed)
1) Lay a green sheet (3) on top and transfer the pattern (2) to the green sheet (3), then peel off the transfer film (1) and remove the green sheet with the pattern (2) transferred thereto. A method for producing a multilayer ceramic wiring board by laminating and firing a plurality of sheets (3).
JP19267388A 1988-08-03 1988-08-03 Manufacturing method of multilayer ceramic wiring board Pending JPH0242797A (en)

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Cited By (4)

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