JPH06285749A - プリント基板の加工方法およびその装置 - Google Patents
プリント基板の加工方法およびその装置Info
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- JPH06285749A JPH06285749A JP4205192A JP20519292A JPH06285749A JP H06285749 A JPH06285749 A JP H06285749A JP 4205192 A JP4205192 A JP 4205192A JP 20519292 A JP20519292 A JP 20519292A JP H06285749 A JPH06285749 A JP H06285749A
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Abstract
に補正し、搬送手段の精度に影響されることなく、高い
加工精度を得る。 【構成】 プリント基板23を把持する把持手段27の
治具板19に予め観測マークP1 ,P2 ,Q1 ,Q2 を
設けておき、搬送手段28によりプリント基板23を搬
送すると治具板19も一体的に移動する。従って、搬送
時に誤差が生じると観測マークにも同様なずれが生じ
る。そこで、CCDカメラ14,15により観測マーク
P1 ,Q1 の位置を検出し、それを基準にして治具板1
9上に直交座標系を設定し、X線カメラで撮像する識別
マークR1 の位置をその座標系の座標として表わす。こ
のようにして全識別マークを治具板上に設定した共通の
座標系の座標として表わすことにより、誤差の振分計算
などを正確に行なえ、加工精度が向上する。
Description
の穿孔や露光用フィルムの位置合わせなど、識別マーク
に基づいて高精度の加工を行なうプリント基板の加工方
法およびそのための装置に関するものである。
を設定し、各軸に沿って移動する直線運動機構を2個設
けた、いわゆるXYテーブルの一部にプリント基板を取
り付けて、X軸・Y軸成分に従って直角運動機構を移動
させ、プリント基板を任意の位置に位置決めして加工を
施すものがある。この具体例として電磁波照射手段と撮
影手段と加工手段(例えば穿孔手段)を1組持ったプリ
ント基板の加工装置がある。穿孔すべきプリント基板を
搬送して複数個の識別マークを順次撮影手段の視野内に
いれて観測し、その位置を加工装置本体に設定された直
角座標系上の座標として表し、それに基づいてプリント
基板に穿孔する。
搬送機構は指定した距離だけ正確に移動し、移動方向と
直角方向のずれ又は搬送物の傾斜がないことを前提とし
ている。すなわち、プリント基板の搬送精度がそのまま
基準マークの座標に影響するので、高い位置決め精度を
維持するために剛性が大きく、繰り返し位置決め精度の
高い高価な搬送手段が必要である。このような高精度の
搬送手段は大型かつ高価なものである。
動方向と直角方向の誤差も無視できない量となり、位置
決め精度の維持が更に困難になるので、搬送精度を保持
するために、搬送速度を遅くせざるを得ない。
耗を生じた場合等に、位置決め精度の誤差を保証するこ
とは困難であるなど、経年変化による精度の劣化を補償
することも簡単ではない。
基板の搬送精度がその加工精度に大きく影響するため、
高価で大型の高精度な搬送手段が必要であり、加工装置
全体のコストアップを招いている。また、精度維持のた
め搬送速度を遅くせざるを得ず、加工速度の高速化の妨
げとなっている。
送手段の誤差を各観測時毎に補正可能とし、安価で比較
的精度の低い搬送手段を用いても、高精度の加工精度を
得ることができる方法およびそのための装置を提供する
ことにある。
解決し上記目的を達成するために、本発明に係るプリン
ト基板の加工方法は、プリント基板に予め形成されてい
る識別マークと、把持手段に設けられている観測マーク
のうちの少なくとも2個とが所定の位置関係に配列され
るように把持手段によりプリント基板を把持する工程
と、観測マークを撮像してその位置を検出する工程と、
識別マークを撮像しそれを観測マーク位置検出結果に基
づいて補正して加工すべき位置を決定する工程と、加工
すべき位置において加工手段によりプリント基板に加工
を施す工程とを含むものである。
は、プリント基板を把持可能であり少なくとも1対の観
測マークが設けられている把持手段と、把持手段を搬送
可能な搬送手段と、観測マークを撮像する観測マーク撮
像手段と、プリント基板に予め形成されている識別マー
クを撮像する識別マーク撮像手段と、観測マークの撮像
結果に基づき識別マークの撮像結果を補正してそれに基
づいて加工すべき位置を決定する演算手段と、加工すべ
き位置においてプリント基板に加工を施す加工手段とを
有するものである。
持するチャック部材と、観測マークが設けられておりチ
ャック部材に対し着脱交換可能な治具板とからなるもの
である。
く、治具板に設けられた2個1組の観測マークの観測を
行なうことにより、識別マークの座標の決定および加工
を高精度に行なうことが可能になる。
て説明する。図1,2に本発明に係るプリント基板の加
工装置の一例を示している。この加工装置は、本体ケー
ス1,把持手段27,搬送手段28,識別マーク撮像手
段としてのX線カメラ6,観測マーク撮像手段としての
CCDカメラ14,15,加工手段としての穿孔手段7
などを有しており、テーブル4上に載置されるプリント
基板23に穿孔するものである。
1に固着された梁16には、X線発生装置2が取付けら
れており、X線の照射方向(図1下方)にはX線の外部
への漏洩を防ぐX線フード5が取付けられている。本体
ケース1内の支持台9上には、ベース板8がモータ11
により図1の左右方向に移動可能に配設されており、ベ
ース板8に金具25を介して固着されているX線カメラ
6は、図1の位置でテーブル4の穴24を通してX線発
生装置2と対向可能であり、X線源3から放射されるX
線を受けることができる。
段であるCCDカメラ14,15が取付けられている。
X線発生装置2とCCDカメラ14,15とは、後述す
る識別マークおよび観測マークと同様な位置関係となる
ように設置されている。
の左右方向に移動可能に保持部材10が設けられてお
り、この保持部材10に固着されたモータ12により穿
孔手段7は図1の上下方向に移動する。この穿孔手段7
はスピンドルモータ7aと、その上端に固着してあるコ
レットチャック7bと、コレットチャック7bに保持さ
れる穿孔部材(ドリル)7cから構成されている。
図5に側面図を示す。加工(本実施例では穿孔)すべき
プリント基板23は、把持手段27のチャック部材20
により吸着され保持される。チャック部材20は、本体
ケース1に固着されたシリンダ17上を図4の左右方向
に移動する腕18に固着され、吸引装置31に連結され
てプリント基板を吸着保持可能である。
ち、チャック部材20の突出部20a、20bにはピン
21a,21bが固着され、治具板19の穴26a,2
6bに嵌合し、ボルト22a,22b,22c,22d
により、治具板19が強固に固定されている。このよう
な方法でチャック部材20に治具板19を固定している
ので、治具板19の穴26a,26bを一定の穴径、穴
間隔とする限り治具板19は着脱交換可能である。
P2 ,Q2 が形成してある。観測マークP1 ,Q1 ,P
2 ,Q2 として、本実施例では直径2mm程度の丸穴を
穿設しているが、観測マーク撮像手段として可視光線用
撮影手段であるCCDカメラを用いているので、CCD
カメラが識別できる形状、色彩であればどんなマークで
も使用可能である。
て搬送手段28に固着されている。なお図面中では、搬
送手段28として図3左右方向(X方向)に移動可能な
シリンダ17のみを示しているが、図3上下方向(Y方
向)に移動可能なもう1つのシリンダ機構などを設けた
構成とすることも可能である。その場合、プリント基板
の供給、排出などに際して自由に搬送できる。
プリント基板23を吸着保持すれば、搬送手段をどのよ
うに作動させて腕18がどのように移動しても、図6,
7に示すプリント基板23の識別マークR1 ,R2 と治
具板19に設けてある観測マークP1 ,Q1 ,P2 ,Q
2 との相対的な位置関係は不変である。
うな多層配線板を用いることを想定しており、内部に設
けてある識別マークR1 ,R2 を撮像するために、前述
の通り、識別マーク撮像手段としてX線発生装置2およ
びX線カメラ6を用いている。これに対し、治具板19
に設けられた観測マークP1 ,Q1 ,P2 ,Q2 は穿孔
された孔であるので、観測マーク撮像手段としては、可
視光線用撮像手段であるCCDカメラ14,15を用い
ている。
示している。加工装置の作動全体を制御する制御回路
(以下「CPU」という。)29に、X線発生装置2、
X線カメラ6およびCCDカメラ14,15から信号が
入力される画像処理装置30、搬送手段28のシリンダ
17、把持手段27を作動させる吸引装置31、穿孔手
段7のスピンドルモータ7a、穿孔手段7を移動させる
モータ11,12,13、記憶回路32、演算回路33
がそれぞれ接続されている。
加工方法について説明する。まず、吸引装置31を作動
させて、未加工のプリント基板23を把持手段27のチ
ャック部材20に吸着保持させる。この時、プリント基
板23の識別マークR1 と治具板19の観測マークP1
,Q1 の位置関係と、識別マークR2 と治具板19の
観測マークP2 ,Q2 の位置関係とがほぼ一致するよう
に設定する。これは、識別マークR1 と観測マークR1
,Q1 とがそれぞれX線カメラ6およびCCDカメラ
14,15の視野内に同時に入り得るとともに、同様に
識別マークR2 と観測マークR2 ,Q2 とがそれぞれX
線カメラ6およびCCDカメラ14,15の視野内に同
時に入り得るようにするためである。プリント基板23
上の識別マークの設計上の座標は前もって判明している
ので、把持手段27でプリント基板23を把持し搬送手
段28で一定距離搬送して、1個の識別マークと2個の
観測マークを夫々X線カメラ6と2個のCCDカメラ1
4,15の視野内に入れることは容易である。
を作動させて、プリント基板23を、その識別マークR
1 がX線発生装置2と対向する位置に搬送する。この状
態を図9に示している。
なるよう、テーブル4上に直角座標系を設定し、点Aが
X線カメラ6の中心、点B,CがCCDカメラ14,1
5のそれぞれの中心とする。ここで、プリント基板23
の取付け時や搬送時に何等の誤差も生じていなければ、
識別マークR1 が点Aと、観測マークP1 ,Q1 が点
B,Cと一致するはずであるが、実際には図9に示すよ
うに位置誤差が生じている。
してX線を照射し、X線カメラ6により識別マークR1
のX線像を撮像する。それと同時にCCDカメラ14,
15により観測マークP1 ,Q1 を撮像する。このよう
にして撮像した信号を画像処理装置30に入力し、既知
の画像処理方法によって、各マークR1 ,P1 ,Q1の
位置検出を行なう。なお、これらマークの位置は、テー
ブル4に設定されたXY座標系上の座標として表され
る。
誤差により、プリント基板はXY座標系に対し傾いた状
態になっている。そこで治具板19上に、観測マークP
1 ,Q1 を結ぶ直線に平行なX´軸を有するもう1つの
直角座標系(X´Y´座標系)を設定する。これを図1
0に模式的に示している。XY座標系とX´Y´座標系
とのなす角をθとし、観測マークP1 の座標を(x1 ,
y1 )、Q1 の座標を(x2 ,y2 )とすると、tan
θ=(x1 −x2 )/(y1 −y2 )と表される(ただ
し、x1 >x2 ,y1 >y2 とする)。そして、識別マ
ークR1 のXY座標系上における座標を(x3 ,y3
)、X´Y´座標系上の座標を(x4 ,y4 )とする
と、座標軸がθだけ回転した場合の座標変換公式に従っ
て、 x4 =x3 ×cosθ−y3 ×sinθ…(1) y4 =x3 ×sinθ+y3 ×cosθ…(2) と表される。
させて、識別マークR2 がX線発生装置2と対向するよ
うにプリント基板23を搬送する。この状態を図11に
示している。そして、X線発生装置2およびX線カメラ
6により識別マークR2 を、CCDカメラ14,15に
より観測マークP2 ,Q2 をそれぞれ撮像し、画像処理
装置30によって、各マークR2 ,P2 ,Q2 の位置を
XY座標系上の座標として表す。
9およびプリント基板23はテーブル4上のXY座標系
に対しさらに傾きを生じる。このように、複数個の識別
マークが順次撮像手段の視野内に入るようにプリント基
板の搬送を続けると、誤差は積算され過大な量となる。
上に、観測マークP2 ,Q2 を結ぶ直線に平行なX″軸
を有するもう1つの直角座標系(X″Y″座標系)を設
定する。XY座標系とX″Y″座標系とのなす角をθ´
とし、観測マークP2 の座標を(x5 ,y5 )、Q2 の
座標を(x6 ,y6 )とし、識別マークR1 のXY座標
系上における座標を(x7 ,y7 )と設定すると、ta
nθ´=(x5 −x6)/(y5 −y6 )と表される
(ただし、x5 >x6 ,y5 >y6 とする)。そして、
識別マークR2 のX´Y´座標系上の座標を(x8 ,y
8 )とすると、X´Y´座標の場合と同様に、 x8 =x7 ×cosθ´−y7 ×sinθ´…(3) y8 =x7 ×sinθ´+y7 ×cosθ´…(4) と表される。
(x4 ,y4 ),(x8,y8 )が演算回路33により
算出される。これらの座標はいずれも、観測マークを有
する治具板19に対する相対位置を示している。プリン
ト基板23をチャック手段20により一旦把持すると、
搬送時にいかなる誤差が生じようとも、プリント基板2
3と治具板19との相対位置関係は変わることはない。
従って、識別マークR1 の座標(x4 ,y4 )と識別マ
ークR2 の座標(x8 ,y8 )とは、角度θ,θ´に式
(5) ,(6) を代入し、両者間の搬送距離(誤差がないも
のとした場合の移動距離)を考慮しさえすれば、治具板
19を基準とした同一の座標系上に表したものとみなす
ことができる。そこで、これらの座標に基づいて、従来
行なわれている振分式位置決め方法と同様に、印刷時の
誤差などによる識別マークR1 ,R2 の位置誤差を求
め、これを2等分して両側に振分け、実際に穿孔すべき
位置を決定する。なお、以上の計算は、記憶回路32に
格納されたデータに基づいて演算回路33が行なうもの
である。
て、ベース板8を移動し穿孔手段7を穴24と対向させ
るとともに、上記演算の結果求められた穿孔位置に穿孔
部材7cを位置させる。そして、スピンドルモータ7a
を作動させ穿孔部材7cによりプリント基板23に穿孔
する。このようにして識別マークR2 に基づく穿孔が完
了する。なお、モータ11,12,13の作動量は、上
記演算によって求められた穿孔すべき位置の座標をテー
ブル4上のXY座標系に再変換することにより容易に算
出できる。
め、搬送手段28により再びプリント基板23を識別マ
ークR1 を観測した位置(図9に示す位置)に搬送し、
CCDカメラ14,15によって観測マークP1 ,Q1
を撮像しその位置を検出する。この観測マークP1 ,Q
1 の位置を基準とし、上記演算により求められた穿孔位
置に対向するように穿孔手段7を移動する。そして、穿
孔部材7cによりプリント基板23の識別マークR1 に
基づく穿孔を行なう。
の各識別マークに対応するように、一定の位置関係にあ
る少なくとも2個の観測マークを設けた把持手段により
プリント基板を把持して搬送する。従って、プリント基
板の移動に伴い、治具板もプリント基板と全く同一の移
動経路、傾斜角で移動する。そのため、2個の観測マー
クの位置を検出することによりプリント基板の位置が判
明し、それに応じて精度よく穿孔すべき位置が算出でき
る。
ント基板に対して、全識別マークの位置誤差が最小とな
るように座標系を設定し各識別マークに誤差を振り分け
るいわゆる振分式位置決めを行なう場合に、正確な振分
計算ができ、加工精度を向上させることができる。すな
わち、CCDカメラを用い、観測マークのCCDカメラ
中心からのずれを検出すれば、治具板上に設定された1
個の直角座標系上の座標としての位置、傾斜角が判明す
る。これに基づいて、X線カメラを用いて撮像した識別
マークが、テーブル上に設定された直角座標系(XY座
標系)を媒介して、治具板上に設定された1個の直角座
標系上の座標として表わせる。このようにして、プリン
ト基板上の複数の識別マークを順次観測すると全ての識
別マークの位置が治具板に固定された1個の直角座標系
の座標として表わせる。各識別マークの座標を独立した
1個の直角座標系上の座標として表せれば、識別マーク
の座標に基づき、振分計算などを行ないプリント基板上
の適宜位置に加工することは容易である。
めに、個々の観測マーク位置を丸穴として加工すること
は容易であり、撮像手段として可視光線用CCDカメラ
を使用するために、観測誤差も比較的少ない。
ト基板の加工装置の別の実施例を示している。図14,
15に示すプリント基板34の穿孔を行なう。前実施例
との相違点を略述する。
マークS1 ,S2 ,S3 ,S4 を持ち、識別マークS1
,S2 の中間の位置T1 と識別マークS3 ,S4 の中
間の位置T2 の2点の穿孔位置が指定されているがその
場所には識別マークは存在しない。4個の識別マークと
2点の穿孔位置の位置関係は予め定めてある。
なわち、プリント基板34を観測するために、図示しな
いもう一つのシリンダなどにより腕18は図12の上下
方向にも移動可能な構成となっている。X線カメラ6に
対し、CCDカメラ14,15の配設位置が変更されて
いる。梁16は腕18を避けるため拡大されている。プ
リント基板34に応じて前実施例と異なる治具板35が
使用されている。この治具板35には、プリント基板3
4の4個の識別マークS1 ,S2 ,S3,S4 および2
個の穿孔位置T1 ,T2 にそれぞれ対応可能なように、
観測マークU1 ,U2 ,U3 ,U4 ,U5 ,U6 ,V1
,V2 ,V3 ,V4 ,V5 ,V6が設けられている。そ
して、治具板35には孔部35aが穿設されており、X
線カメラ6とCCDカメラ14,15との位置関係と、
孔部35aを介して、識別マークS1 と観測マークU1
,U2 、穿孔位置T1 と観測マークU3 ,U4 、識別
マークS2 と観測マークU5 ,U6 、識別マークS3 と
観測マークV1 ,V2、穿孔位置T2 と観測マークV3
,V4 、識別マークS4 と観測マークV5 ,V6 の位
置関係が実質的に等しくなるように設定される。
5と共に腕18で図12の左右、前後に搬送し、観測マ
ークU1 ,U2 と識別マークS1 を観測して、識別マー
クS1 の位置を、治具板35を基準とした座標系上の座
標として表わす。同様の操作を繰り返し、識別マークS
1 ,S2 ,S3 ,S4 の位置をそれぞれ治具板35上に
設定された1個の直角座標系の座標として表わす。そし
て、4個の識別マークの座標より、予め設定されている
位置関係に従って、プリント基板34の実際に穿孔すべ
き穿孔位置T1 ,T2 が計算される。
4,15の視野内に入るようにプリント基板34を搬送
し、観測マークS3 ,S4 を観測して、上記計算により
求められた穿孔位置T1 に穿孔部材を移動して穿孔す
る。同様に穿孔位置T2 に穿孔する。
要するが、近年の小型コンピユータの演算性能向上の結
果、処理時間、計算誤差とも考慮する必要がないほど僅
少であるため、実際の作業上何等問題にならない。
場合に比し、費用も安く、画像処理に要する処理時間も
はるかに短い。
把持する把持手段に観測マークを設け、この観測マーク
の位置を検出することによりプリント基板の位置および
姿勢を求め、それを考慮した上で実際に穿孔すべき位置
を決定することにより、把持時や搬送時の誤差を補正し
得るようにしたものであり、上記2つの実施例のケース
に限定されるものではなく、例えば1枚のプリント基板
に1つの孔のみを設けるような場合にも適用可能であ
る。また、プリント基板の穴明け加工に限られず、高精
度の位置決めを必要とする様々な加工について適用可能
である。
基板の把持および搬送時に発生する位置の狂い、傾斜な
どの誤差をすべて補正することができる。このため、比
較的精度の低い安価で小型の搬送手段を用いることがで
き、加工装置の低コスト化、小型化が可能になる。ま
た、搬送精度の制約を殆ど受けないため、プリント基板
の高速搬送が可能になり、加工時間の短縮が図れる。
実施例の正面図
拡大平面図
面図
部拡大平面図
す拡大平面図
平面図
観測マーク R1 〜R2 ,S1 〜S4 識別マーク T1 〜T2 穿孔位置
Claims (3)
- 【請求項1】 プリント基板に予め形成されている識別
マークと、把持手段に設けられている観測マークのうち
の少なくとも2個とが所定の位置関係に配列されるよう
に、上記把持手段により上記プリント基板を把持する工
程と、 上記観測マークを撮像してその位置を検出する工程と、 上記識別マークを撮像してその位置を検出し、それを上
記観測マーク位置検出結果に基づいて補正して加工すべ
き位置を決定する工程と、 上記加工すべき位置において、加工手段により上記プリ
ント基板に加工を施す工程とを含むことを特徴とするプ
リント基板の加工方法。 - 【請求項2】 プリント基板を把持可能であり、少なく
とも1対の観測マークが設けられている把持手段と、 上記把持手段を搬送可能な搬送手段と、 上記観測マークを撮像する観測マーク撮像手段と、 上記プリント基板に予め形成されている識別マークを撮
像する識別マーク撮像手段と、 上記観測マークの撮像結果に基づき上記識別マークの撮
像結果を補正して、それに基づいて加工すべき位置を決
定する演算手段と、 上記加工すべき位置において上記プリント基板に加工を
施す加工手段とを有することを特徴とするプリント基板
の加工装置。 - 【請求項3】 上記把持手段は、上記プリント基板を把
持するチャック部材と、上記観測マークが設けられてお
り上記チャック部材に対し着脱交換可能な治具板とから
なることを特徴とする請求項1に記載のプリント基板の
加工装置。
Priority Applications (3)
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Applications Claiming Priority (1)
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JP2545674B2 JP2545674B2 (ja) | 1996-10-23 |
Family
ID=16502932
Family Applications (1)
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JP4205192A Expired - Lifetime JP2545674B2 (ja) | 1992-07-31 | 1992-07-31 | プリント基板の加工方法およびその装置 |
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