JPH06283792A - 高繰返し周波数を有する高出力紫外線レーザー・ビームを供給するための方法および装置 - Google Patents
高繰返し周波数を有する高出力紫外線レーザー・ビームを供給するための方法および装置Info
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- JPH06283792A JPH06283792A JP3195729A JP19572991A JPH06283792A JP H06283792 A JPH06283792 A JP H06283792A JP 3195729 A JP3195729 A JP 3195729A JP 19572991 A JP19572991 A JP 19572991A JP H06283792 A JPH06283792 A JP H06283792A
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/35—Non-linear optics
- G02F1/37—Non-linear optics for second-harmonic generation
-
- G—PHYSICS
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- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【構成】 紫外線レーザー・ビームを供給するための方
法及び装置が開示されている。このシステムは、商業ベ
ースで入手可能な赤外線レーザー、例えば100MHzでモー
ド・ロックされたＮｄ−Ｙａｇレーザーの赤外光を倍加
し、得られた緑色光を蓄積リング空洞内に注入して可視
光に高い出力を蓄積し、次に緑色光を倍加して2660オン
グストロームの紫外光にする。 【効果】 紫外光の波長での出力レベルは、商業ベース
で入手可能な連続波レーザーの出力レベルに比してはる
かに高い。従って、本発明の装置によって供給されるレ
ーザーは、平均出力が高く、ほぼ連続波の紫外光ビーム
を供給するので、工業および医療の両分野で多くの重要
な用途を持っている。
法及び装置が開示されている。このシステムは、商業ベ
ースで入手可能な赤外線レーザー、例えば100MHzでモー
ド・ロックされたＮｄ−Ｙａｇレーザーの赤外光を倍加
し、得られた緑色光を蓄積リング空洞内に注入して可視
光に高い出力を蓄積し、次に緑色光を倍加して2660オン
グストロームの紫外光にする。 【効果】 紫外光の波長での出力レベルは、商業ベース
で入手可能な連続波レーザーの出力レベルに比してはる
かに高い。従って、本発明の装置によって供給されるレ
ーザーは、平均出力が高く、ほぼ連続波の紫外光ビーム
を供給するので、工業および医療の両分野で多くの重要
な用途を持っている。
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、紫外線レーザー・ビー
ム光線に関し、より具体的には高出力の紫外線レーザー
・ビームを供給するための方法および装置に関する。本
発明は、印刷業から印刷カードの生産、さらには医療等
各種産業分野に幅広い用途を見い出すことができる。
ム光線に関し、より具体的には高出力の紫外線レーザー
・ビームを供給するための方法および装置に関する。本
発明は、印刷業から印刷カードの生産、さらには医療等
各種産業分野に幅広い用途を見い出すことができる。
【０００２】
【従来の技術】300nm以下の波長域で商業用として利用
できるレーザーには、基本的には次の４つの種類がある
ことが知られている。
できるレーザーには、基本的には次の４つの種類がある
ことが知られている。
【０００３】a) 100ワットまでの出力があるが繰返し
周波数が（数百Ｈｚ程度までと）極めて低いエクシマー
・レーザー。
周波数が（数百Ｈｚ程度までと）極めて低いエクシマー
・レーザー。
【０００４】b) 連続波モードとパルス・モード（数Ｈ
ｚ）の両方で使用できるダイ・レーザー（色素レーザ
ー）。連続波モードでは数百ミリワットが、またパルス
・モードでは数ワットの出力が得られる。
ｚ）の両方で使用できるダイ・レーザー（色素レーザ
ー）。連続波モードでは数百ミリワットが、またパルス
・モードでは数ワットの出力が得られる。
【０００５】c) 連続波モードでのみ使用でき、出力も
百ミリワットのオーダーときわめて低いガス・レーザ
ー。
百ミリワットのオーダーときわめて低いガス・レーザ
ー。
【０００６】d) １ワット未満の低出力を有する高繰返
し周波数で使用する周波数倍加式固体レーザー。
し周波数で使用する周波数倍加式固体レーザー。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、商業用赤外
線レーザーから驚くほど高い平均出力を有し、そして10
0ＭＨｚの周波数で266nmの波長を持つレーザー・ビーム
を供給することにより、商業ベースで入手可能なレーザ
ーの限界を克服することを目的とする。
線レーザーから驚くほど高い平均出力を有し、そして10
0ＭＨｚの周波数で266nmの波長を持つレーザー・ビーム
を供給することにより、商業ベースで入手可能なレーザ
ーの限界を克服することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】ＬｉＮｂＯ3結晶体を通
る２つの通路を用いることによる赤外線Ｎｄ−Ｙａｇレ
ーザーの周波数の倍加については既に文献で報告されて
いる。
る２つの通路を用いることによる赤外線Ｎｄ−Ｙａｇレ
ーザーの周波数の倍加については既に文献で報告されて
いる。
【０００９】本発明の基礎をなす新規の発見は、一般に
知られる多通路形状が、一般に電子および陽子に用いら
れる蓄積リングと全く類似した光子用蓄積リングに結合
して使用することができるということである。
知られる多通路形状が、一般に電子および陽子に用いら
れる蓄積リングと全く類似した光子用蓄積リングに結合
して使用することができるということである。
【００１０】すなわち、本発明は、緑色光用蓄積リング
として動作するリング空洞内におかれた非線型結晶体内
で周波数倍加を行うことによって、商業用赤外線レーザ
ー、例えばモード・ロック型（mode-locked）Ｎｄ−Ｙ
ａｇレーザーからの赤外光を緑色光へ変換するものであ
る。
として動作するリング空洞内におかれた非線型結晶体内
で周波数倍加を行うことによって、商業用赤外線レーザ
ー、例えばモード・ロック型（mode-locked）Ｎｄ−Ｙ
ａｇレーザーからの赤外光を緑色光へ変換するものであ
る。
【００１１】発生された緑色光は、リング周囲を伝搬
し、該空洞内に配置された第２の周波数倍加用結晶体の
中で一部分紫外光に変換される。
し、該空洞内に配置された第２の周波数倍加用結晶体の
中で一部分紫外光に変換される。
【００１２】残存緑色光は、リング周囲で第１の倍加用
結晶体まで存続し、該結晶体でリングの走向時間がモー
ド・ロック型赤外線レーザーの繰返し周波数とぴったり
合致する場合には、その残存緑色光は、次の赤外線パル
スによって発生される緑色光にコヒーレントに付加され
る。
結晶体まで存続し、該結晶体でリングの走向時間がモー
ド・ロック型赤外線レーザーの繰返し周波数とぴったり
合致する場合には、その残存緑色光は、次の赤外線パル
スによって発生される緑色光にコヒーレントに付加され
る。
【００１３】
【作用】該リング空洞により、下記の事項が可能になる
利点があることに留意されたい。
利点があることに留意されたい。
【００１４】1) 第１の倍加用結晶体内で発生される緑
色光が、すでに発生され空洞内を伝搬する緑色光に位相
付加されるため、赤外光の緑色光への変換効率が高めら
れる。
色光が、すでに発生され空洞内を伝搬する緑色光に位相
付加されるため、赤外光の緑色光への変換効率が高めら
れる。
【００１５】2) 空洞内での蓄積過程により、第２の倍
加用結晶体の入力で、在来のレーザーでは得られない緑
色光出力レベルが得られる。
加用結晶体の入力で、在来のレーザーでは得られない緑
色光出力レベルが得られる。
【００１６】本発明の他の特徴及び利点は、望ましい実
施態様を示す添付の図面を参照して以下に行う詳細な説
明から明らかとなろう。ただし、図示の実施態様が本発
明の範囲を限定するものではない。
施態様を示す添付の図面を参照して以下に行う詳細な説
明から明らかとなろう。ただし、図示の実施態様が本発
明の範囲を限定するものではない。
【００１７】
【実施例】図を参照して、第１図の線図は本発明の一実
施態様を示し、図中、ＩＲは、商業用型レーザー源、例
えば出力３０Ｗのモード・ロック型Ｎｄ−Ｙａｇレーザ
ー装置からの赤外線ビームを指す。
施態様を示し、図中、ＩＲは、商業用型レーザー源、例
えば出力３０Ｗのモード・ロック型Ｎｄ−Ｙａｇレーザ
ー装置からの赤外線ビームを指す。
【００１８】Ｃ1は、赤外線−緑色光倍加用非線型結晶
体（例えばＫＴＰ）。Ｃ2は、緑色光−紫外光倍加用非
線型結晶体（例えば、ＫＴ＊Ｐまたはβ−ＢａＢ
2Ｏ4）。Ｍ1，Ｍ2，Ｍ3，Ｍ4は、緑色光を全部反射する
鏡。Ｌ1，Ｌ2，Ｌ3，Ｌ4は、両結晶体Ｃ1，Ｃ2内で緑色
光を集光しまた空洞を安定させるためのレンズ。Ｐ
1は、同一の通路に沿って入力赤外光を空洞内に伝搬す
る緑色光に重ねるために用いられるプリズム。Ｐ2は、
空洞から第１の結晶体Ｃ1によって変換されない赤外光
を抽出するために用いられるプリズム。Ｐ4は、空洞か
ら第２の結晶体によって発生された紫外光を抽出するた
めに用いられるプリズムである。
体（例えばＫＴＰ）。Ｃ2は、緑色光−紫外光倍加用非
線型結晶体（例えば、ＫＴ＊Ｐまたはβ−ＢａＢ
2Ｏ4）。Ｍ1，Ｍ2，Ｍ3，Ｍ4は、緑色光を全部反射する
鏡。Ｌ1，Ｌ2，Ｌ3，Ｌ4は、両結晶体Ｃ1，Ｃ2内で緑色
光を集光しまた空洞を安定させるためのレンズ。Ｐ
1は、同一の通路に沿って入力赤外光を空洞内に伝搬す
る緑色光に重ねるために用いられるプリズム。Ｐ2は、
空洞から第１の結晶体Ｃ1によって変換されない赤外光
を抽出するために用いられるプリズム。Ｐ4は、空洞か
ら第２の結晶体によって発生された紫外光を抽出するた
めに用いられるプリズムである。
【００１９】ここで、該レーザー装置によって結晶体Ｃ
1へ放射される第１の赤外光パルスが密度出力Ｉ1を有す
ると仮定する。結晶体Ｃ1の出力には残存赤外光パルス
と緑色光パルスが存在し、その出力は、結晶体Ｃ1の変
換効率から次式によって求められる。
1へ放射される第１の赤外光パルスが密度出力Ｉ1を有す
ると仮定する。結晶体Ｃ1の出力には残存赤外光パルス
と緑色光パルスが存在し、その出力は、結晶体Ｃ1の変
換効率から次式によって求められる。
【００２０】
【数１】
【００２１】残存赤外光パルスは、プリズムＰ2を通過
後空洞を離れ、他方、緑色光パルスは出力ＩCで結晶体
Ｃ2に到達する。
後空洞を離れ、他方、緑色光パルスは出力ＩCで結晶体
Ｃ2に到達する。
【００２２】Ｃ1についてと同じ条件下で、Ｃ2の出力で
紫外光パルスにＩUVの出力が供給される。
紫外光パルスにＩUVの出力が供給される。
【００２３】
【数２】
【００２４】この紫外光パルスは、プリズムＰ4を通過
後空洞を離れ、他方、残存緑色光パルスは結晶体Ｃ1が
出力Ｉ（Ａ）に達するまでリング周囲を進み続ける。リ
ング内での緑色光の走向時間が赤外光パルスの繰返し周
期と正確に同じなら、緑色光パルスは第２の赤外光パル
スとともに結晶体Ｃ1の中に導入される。
後空洞を離れ、他方、残存緑色光パルスは結晶体Ｃ1が
出力Ｉ（Ａ）に達するまでリング周囲を進み続ける。リ
ング内での緑色光の走向時間が赤外光パルスの繰返し周
期と正確に同じなら、緑色光パルスは第２の赤外光パル
スとともに結晶体Ｃ1の中に導入される。
【００２５】赤外光から緑色光への変換効率は、すでに
発生された緑色光の存在によって影響を受ける。
発生された緑色光の存在によって影響を受ける。
【００２６】従って、第２ａ図および第２ｂ図に示すよ
うに、赤外光と緑色光が同時に結晶体の中に導入される
という条件は、出力Ｉinの赤外光パルスが長さＺｘの第
１の結晶体の中で変換されるという条件と同じこととな
り、第１の結晶体の出力には出力Ｉ1の残存赤外光と出
力I(A)の緑色光が存在して、それらが長さＺ1の第２の
結晶体の中に導入されることになる。
うに、赤外光と緑色光が同時に結晶体の中に導入される
という条件は、出力Ｉinの赤外光パルスが長さＺｘの第
１の結晶体の中で変換されるという条件と同じこととな
り、第１の結晶体の出力には出力Ｉ1の残存赤外光と出
力I(A)の緑色光が存在して、それらが長さＺ1の第２の
結晶体の中に導入されることになる。
【００２７】以上でわかるように、それは、あたかも実
在のレーザーの密度出力より大きい密度出力Ｉin＝Ｉ1
＋Ｉ（Ａ）を有するレーザーおよび長さＺx＋Ｚ1の結晶
体が存在するかのようである。これが、きわめて高い赤
外光−緑色光変換効率が得られる理由である。
在のレーザーの密度出力より大きい密度出力Ｉin＝Ｉ1
＋Ｉ（Ａ）を有するレーザーおよび長さＺx＋Ｚ1の結晶
体が存在するかのようである。これが、きわめて高い赤
外光−緑色光変換効率が得られる理由である。
【００２８】したがって、パルスが充分な回数だけ空洞
を通過した後に平衡条件に達したときには、赤外光はほ
とんど緑色光に変換され、その結果緑色光の出力はかな
り高められている。
を通過した後に平衡条件に達したときには、赤外光はほ
とんど緑色光に変換され、その結果緑色光の出力はかな
り高められている。
【００２９】このことにより、また緑色光−紫外光の変
換効率も高められる。実際に、空洞を離れる紫外光の出
力は、空洞に入る赤外光の出力から空洞内の各種光学要
素の中での反射、吸収による緑色光の出力損によって減
じた残存赤外光のパワーを差し引いたものに等しい。全
体として、７０％程度の赤外光−紫外光変換効率が得ら
れる。したがって、出力３０Ｗの商業用赤外モード・ロ
ック型Ｎｄ−Ｙａｇレーザーを使用する場合には、本発
明にもとづくレーザーは、２０Ｗまでの平均出力の266n
m波長の光を供給することになる。
換効率も高められる。実際に、空洞を離れる紫外光の出
力は、空洞に入る赤外光の出力から空洞内の各種光学要
素の中での反射、吸収による緑色光の出力損によって減
じた残存赤外光のパワーを差し引いたものに等しい。全
体として、７０％程度の赤外光−紫外光変換効率が得ら
れる。したがって、出力３０Ｗの商業用赤外モード・ロ
ック型Ｎｄ−Ｙａｇレーザーを使用する場合には、本発
明にもとづくレーザーは、２０Ｗまでの平均出力の266n
m波長の光を供給することになる。
【００３０】多通路形状と上に説明した装置の光学リン
グ空洞の組合せは、単一の通路における変換効率の低下
を引き起こすいかなることも平衡状態で到達する出力の
レベルにわずかな影響しか及ぼさないので、有利なもの
となる点を理解されたい。瞬間変換効率が低ければ低い
ほど、平衡状態でほぼ同じ変換効率に達するためにはリ
ングの周囲により多くの通路が必要となる。例えば、前
記関係式（１）の中でＫ1とＫ2の値がともに２だけ減じ
たとすると、平衡状態での紫外光の出力は約１３％だけ
低下する。従って、平衡に達するために必要な通路の数
は６から１１の間となるが、これは、モード・ロック型
のＮｄ−Ｙａｇレーザーの予想されるコヒーレンス時間
によって課せられる限度内に常に充分収まる数である。
このような状況下では、リング空洞の問題は、単一の通
路で高い変換効率を維持することの繁雑さからビームの
質と光の経路の長さをどのように制御するかに移ること
になる。後者も小さな問題ではないが、前者に比べれば
その克服ははるかに容易である。
グ空洞の組合せは、単一の通路における変換効率の低下
を引き起こすいかなることも平衡状態で到達する出力の
レベルにわずかな影響しか及ぼさないので、有利なもの
となる点を理解されたい。瞬間変換効率が低ければ低い
ほど、平衡状態でほぼ同じ変換効率に達するためにはリ
ングの周囲により多くの通路が必要となる。例えば、前
記関係式（１）の中でＫ1とＫ2の値がともに２だけ減じ
たとすると、平衡状態での紫外光の出力は約１３％だけ
低下する。従って、平衡に達するために必要な通路の数
は６から１１の間となるが、これは、モード・ロック型
のＮｄ−Ｙａｇレーザーの予想されるコヒーレンス時間
によって課せられる限度内に常に充分収まる数である。
このような状況下では、リング空洞の問題は、単一の通
路で高い変換効率を維持することの繁雑さからビームの
質と光の経路の長さをどのように制御するかに移ること
になる。後者も小さな問題ではないが、前者に比べれば
その克服ははるかに容易である。
【００３１】
【発明の効果】既知のレーザー・システムと異なり、本
発明のレーザーは、平均出力が高いほぼ連続波の紫外光
ビームを供給するので、工業および医療の両分野でいく
つかの用途をもっている。最も重要と思われる用途を以
下に挙げる。
発明のレーザーは、平均出力が高いほぼ連続波の紫外光
ビームを供給するので、工業および医療の両分野でいく
つかの用途をもっている。最も重要と思われる用途を以
下に挙げる。
【００３２】−レーザー・パントグラフィー（写図法）
−。ここでは、半導体ウェハー上にプリント回路を直接
印刷するために紫外線レーザーが用いられ、また現在で
は通常周波数を４倍にしたＮｄ−Ｙａｇレーザーが用い
られている。
−。ここでは、半導体ウェハー上にプリント回路を直接
印刷するために紫外線レーザーが用いられ、また現在で
は通常周波数を４倍にしたＮｄ−Ｙａｇレーザーが用い
られている。
【００３３】−レーザー・リソグラフィ（石版印刷法）
−。これは、印刷業できわめて多く用いられている技術
で現在は波長の長いアルゴン・レーザーが用いられてい
る。
−。これは、印刷業できわめて多く用いられている技術
で現在は波長の長いアルゴン・レーザーが用いられてい
る。
【００３４】−血管形成外科−。動脈中の血塊を除去す
るために用いられる。動脈壁は血塊よりはるかに紫外線
ビームを吸収しにくいので、本発明にもとづく高出力紫
外線レーザーは上記の目的には理想的な装置となる。
るために用いられる。動脈壁は血塊よりはるかに紫外線
ビームを吸収しにくいので、本発明にもとづく高出力紫
外線レーザーは上記の目的には理想的な装置となる。
【００３５】以上、望ましい一実施態様の図示および記
述により本発明を説明したが、特許請求の範囲の各項に
記載の本発明の範囲を逸脱することなく多くの変更およ
び修正をなし得ることは、当該技術に精通したものには
容易に理解されよう。
述により本発明を説明したが、特許請求の範囲の各項に
記載の本発明の範囲を逸脱することなく多くの変更およ
び修正をなし得ることは、当該技術に精通したものには
容易に理解されよう。
【図１】リング空洞を有するレーザー・システムのブロ
ック線図である。
ック線図である。
【図２】ＫＴＰ結晶体の光の補償および長さＺｘの補助
結晶体をもつ等価回路を示す図である。
結晶体をもつ等価回路を示す図である。
ＩＲ：赤外線ビーム Ｃ1：赤外光−緑色光倍加用非線型結晶体 Ｃ2：緑色光−紫外光倍加用非線型結晶体 Ｍ1，Ｍ2，Ｍ3，Ｍ4：緑色光反射鏡 Ｌ1，Ｌ2，Ｌ3，Ｌ4：レンズ Ｐ1，Ｐ2，Ｐ3，Ｐ4：プリズム
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ジョヴァンニ マトーネ イタリア国 ローマ 00046 グロッタフ ェッラータ ヴィアーレ サン ニーロ 46
Claims (8)
- 【請求項１】 高出力の紫外線レーザー・ビームを供給
するための装置において、在来の赤外線レーザー光源、
前記レーザー光源のレーザー・ビームの周波数を倍加し
て緑色光レーザーとするための第１の非線型結晶体、中
に前記第１の結晶体を配置した前記緑色光を蓄積するた
めの光学リング空洞、および該緑色光を紫外光に変換す
るために前記空洞内に配置した第２の非線型結晶体で構
成されていることを特徴とする装置。 - 【請求項２】 前記光学リング空洞が、前記在来の赤外
線レーザー光源からの入力赤外線レーザーを同じ経路に
沿って該空洞周囲を巡回する緑色光に重ねるために前記
第１の結晶体の上流に配置した第１のプリズム、および
該空洞から第１の結晶体によって変換されなかった赤外
光を抽出するために該第１の結晶体の下流に配置した第
２のプリズムを含むことを特徴とする、請求項１に記載
の紫外線レーザー・ビーム供給用装置。 - 【請求項３】 前記第２のプリズムの出力の緑色光が、
該緑色光を第２の倍加用結晶体に向けて完全に反射する
一組の鏡によって反射されることを特徴とする、請求項
１又は２に記載の紫外線レーザー・ビーム供給用装置。 - 【請求項４】 前記空洞から第２の倍加用結晶体で発生
された紫外光を抽出するためのプリズムが前記第２の倍
加用結晶体の下流に配置されていることを特徴とする、
請求項１に記載の紫外線レーザー・ビーム供給用装置。 - 【請求項５】 緑色光のリング周囲の旋回時間を、第２
の結晶体の下流に配置したプリズムからの緑色光パルス
が第２の赤外光パルスととともに第１の結晶体に入るよ
う配設された赤外線レーザー光源のパルス繰返し時間と
等しいように維持するための手段を有することを特徴と
する、請求項１に記載の紫外線レーザー・ビーム供給用
装置。 - 【請求項６】 商業用赤外線レーザーから紫外線レーザ
ー・ビーム光線を供給するための装置において、赤外光
の倍加用第１の非線型結晶体、可視光に高いパワーを蓄
積するための光学空洞、および緑色光を紫外光に倍加す
るための第２の非線型結晶体を用いた装置。 - 【請求項７】 高出力紫外線レーザーを供給するための
方法において、 商業用赤外線レーザーの赤外光を非線型結晶体の中で倍
加し、 緑色光を蓄積リング空洞の中に注入して可視光に高いパ
ワーを蓄積し、 第２の非線型結晶体によって緑色光を紫外光に倍加する
工程からなることを特徴とする方法。 - 【請求項８】 緑色光の前記リング周囲の旋回時間が使
用する赤外線レーザー光源のパルスの繰返し時間に等し
く維持されることを特徴とする、請求項７に記載の高出
力紫外線レーザーを供給するための方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| IT48164A IT1241503B (it) | 1990-07-25 | 1990-07-25 | Metodo ed apparato per fornire luce laser nel campo dell'ultravioletto con alta potenza media ed alta frequenza di ripetizione. |
| IT48164A/90 | 1990-07-25 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06283792A true JPH06283792A (ja) | 1994-10-07 |
Family
ID=11264942
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3195729A Pending JPH06283792A (ja) | 1990-07-25 | 1991-07-10 | 高繰返し周波数を有する高出力紫外線レーザー・ビームを供給するための方法および装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5159602A (ja) |
| EP (1) | EP0468933A3 (ja) |
| JP (1) | JPH06283792A (ja) |
| IT (1) | IT1241503B (ja) |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5247527A (en) * | 1992-04-13 | 1993-09-21 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | High power continuous-wave titanium:sapphire laser |
| US5388114A (en) * | 1994-03-17 | 1995-02-07 | Polaroid Corporation | Miniaturized self-Q-switched frequency-doubled laser |
| US5840239A (en) * | 1997-01-31 | 1998-11-24 | 3D Systems, Inc. | Apparatus and method for forming three-dimensional objects in stereolithography utilizing a laser exposure system having a diode pumped frequency quadrupled solid state laser |
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