JPH06283782A - ガスレーザ発振器の電極の取付方法 - Google Patents
ガスレーザ発振器の電極の取付方法Info
- Publication number
- JPH06283782A JPH06283782A JP7245093A JP7245093A JPH06283782A JP H06283782 A JPH06283782 A JP H06283782A JP 7245093 A JP7245093 A JP 7245093A JP 7245093 A JP7245093 A JP 7245093A JP H06283782 A JPH06283782 A JP H06283782A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum container
- metal electrodes
- insulating
- insulating block
- metal electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 三軸直交形ガスレーザ発振器の真空容器内へ
の電極の冷却水や大気の漏洩の防止を図ると共に、シー
ル箇所の削減と組付けの簡素化を図る。 【構成】 真空容器５の内部に一対の金属電極１、３を
夫々絶縁ブロック１９、２１を介して固定すると共に、
真空容器５と絶縁ブロック１９、２１及び絶縁ブロック
１９、２１と金属電極１、３間に気密を保つＯリング３
１、３３を設け、このＯリング３１、３３の内側の絶縁
ブロック１９、２１及び真空容器５の夫々に金属電極
１、３が外気に接する開口部２３、２５、２７、２９を
設け、この開口部に金属電極１、３を冷却する水路及び
電源への配線を設けた。
の電極の冷却水や大気の漏洩の防止を図ると共に、シー
ル箇所の削減と組付けの簡素化を図る。 【構成】 真空容器５の内部に一対の金属電極１、３を
夫々絶縁ブロック１９、２１を介して固定すると共に、
真空容器５と絶縁ブロック１９、２１及び絶縁ブロック
１９、２１と金属電極１、３間に気密を保つＯリング３
１、３３を設け、このＯリング３１、３３の内側の絶縁
ブロック１９、２１及び真空容器５の夫々に金属電極
１、３が外気に接する開口部２３、２５、２７、２９を
設け、この開口部に金属電極１、３を冷却する水路及び
電源への配線を設けた。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明はガスレーザ発振器の電
極の取付方法の改良に関する。
極の取付方法の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】図５は従来の三軸直交形高周波放電炭酸
ガスレーザ発振器の放電部のガス流に直角な断面の説明
図で、電極１、３は紙面に直角方向に真空容器５内を循
環するガス流に対して、上下方向に放電空間を形成する
ように対向して設けてあり、放電によって励起されたレ
ーザ光Ｌは左右方向に設けられた複数のミラーＭ間で増
幅され、その一部が真空容器５の外部に取り出され、切
断加工等に利用される。
ガスレーザ発振器の放電部のガス流に直角な断面の説明
図で、電極１、３は紙面に直角方向に真空容器５内を循
環するガス流に対して、上下方向に放電空間を形成する
ように対向して設けてあり、放電によって励起されたレ
ーザ光Ｌは左右方向に設けられた複数のミラーＭ間で増
幅され、その一部が真空容器５の外部に取り出され、切
断加工等に利用される。
【０００３】電極１、３は図示を省略した誘電体によっ
て覆われ、ガス流から隔離されている。放電によって誘
電体は加熱され破損する恐れがあるので、電極１、３は
図示のように、真空容器５と合成樹脂等の配管Ｐや継手
Ｃによって接続され、外部から供給される冷水によって
冷却されている。
て覆われ、ガス流から隔離されている。放電によって誘
電体は加熱され破損する恐れがあるので、電極１、３は
図示のように、真空容器５と合成樹脂等の配管Ｐや継手
Ｃによって接続され、外部から供給される冷水によって
冷却されている。
【０００４】また、電極１、３には図示のように、高圧
電線Ｗによって高周波高圧電流が供給されるが、高圧電
線Ｗを真空容器５から絶縁するため，合成樹脂等の絶縁
套Ｂや、絶縁管Ｔが用いられている。この絶縁管Ｔの内
部には、絶縁套Ｂを経て外部から大気を通し、真空容器
５との間の絶縁を高めている。
電線Ｗによって高周波高圧電流が供給されるが、高圧電
線Ｗを真空容器５から絶縁するため，合成樹脂等の絶縁
套Ｂや、絶縁管Ｔが用いられている。この絶縁管Ｔの内
部には、絶縁套Ｂを経て外部から大気を通し、真空容器
５との間の絶縁を高めている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】前記のように、従来の
三軸直交形高周波放電炭酸ガスレーザの発振器の電極
１、３には、これを冷却するための配管Ｐや継手Ｃが接
続され、また高周波高圧電流を供給するための高圧電線
Ｗが絶縁套Ｂ、絶縁管Ｔ及び継手Ｄによって絶縁され接
続されている。これらの冷却配管Ｐやその継手Ｃ、高圧
電線の絶縁套Ｂ、絶縁管Ｔ、継手Ｄ等には合成樹脂等が
用いられているので、周囲を循環する高温のレーザガス
によって、比較的短期間で劣化し、冷却水や大気が真空
容器５の内部へ漏洩するという問題があった。
三軸直交形高周波放電炭酸ガスレーザの発振器の電極
１、３には、これを冷却するための配管Ｐや継手Ｃが接
続され、また高周波高圧電流を供給するための高圧電線
Ｗが絶縁套Ｂ、絶縁管Ｔ及び継手Ｄによって絶縁され接
続されている。これらの冷却配管Ｐやその継手Ｃ、高圧
電線の絶縁套Ｂ、絶縁管Ｔ、継手Ｄ等には合成樹脂等が
用いられているので、周囲を循環する高温のレーザガス
によって、比較的短期間で劣化し、冷却水や大気が真空
容器５の内部へ漏洩するという問題があった。
【０００６】また、冷却用配管Ｐや、高圧電線Ｗは電極
１、３と真空容器５の両方に継手が必要なため、組付け
が繁雑で、シール箇所が多いという問題があった。
１、３と真空容器５の両方に継手が必要なため、組付け
が繁雑で、シール箇所が多いという問題があった。
【０００７】この発明は、このような問題に鑑みてなさ
れたもので、レーザガス中での冷却水の継手や、高圧電
線の継手を廃止することにより、真空容器内への冷却水
や大気の漏洩の防止を図ると共に、シール箇所の削減と
組付けの簡素化を目的とするものである。
れたもので、レーザガス中での冷却水の継手や、高圧電
線の継手を廃止することにより、真空容器内への冷却水
や大気の漏洩の防止を図ると共に、シール箇所の削減と
組付けの簡素化を目的とするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、この発明は、三軸直交形ガスレーザ発振器におい
て、真空容器の内部に一対の金属電極を夫々絶縁ブロッ
クを介して固定すると共に、真空容器と絶縁ブロック及
び絶縁ブロックと金属電極間に気密を保つＯリングを設
け、このＯリングの内側の絶縁ブロック及び真空容器の
夫々に金属電極が外気に接する開口部を設け、この開口
部に金属電極を冷却する水路及び電源への配線を設けた
ものである。
めに、この発明は、三軸直交形ガスレーザ発振器におい
て、真空容器の内部に一対の金属電極を夫々絶縁ブロッ
クを介して固定すると共に、真空容器と絶縁ブロック及
び絶縁ブロックと金属電極間に気密を保つＯリングを設
け、このＯリングの内側の絶縁ブロック及び真空容器の
夫々に金属電極が外気に接する開口部を設け、この開口
部に金属電極を冷却する水路及び電源への配線を設けた
ものである。
【０００９】
【作用】このように構成されているので、従来のような
冷却配管や高圧電線の継手がレーザガスに晒されること
がなくなり、レーザガスによるこれらの劣化が防止され
る。従って、真空容器内への冷却水や大気の漏洩が防止
される。
冷却配管や高圧電線の継手がレーザガスに晒されること
がなくなり、レーザガスによるこれらの劣化が防止され
る。従って、真空容器内への冷却水や大気の漏洩が防止
される。
【００１０】
【実施例】次に、この発明の実施例について図面に基づ
いて説明する。図１はこの発明を三軸直交形炭酸ガスレ
ーザ発振器に利用した一つの実施例の説明図である。図
示のように、上下一対の金属電極１、３の放電側の面は
夫々セラミック等の誘電体７、９によってレーザガスか
ら隔離されている。この誘電体７、９はシリコンゴム等
の絶縁体１１、１３と植込ボルト１５、１７によって真
空容器５へ固定されている。金属電極１、３の放電側と
反対の面は合成樹脂等からなる絶縁ブロック１９、２１
を介して真空容器５に固定されている。
いて説明する。図１はこの発明を三軸直交形炭酸ガスレ
ーザ発振器に利用した一つの実施例の説明図である。図
示のように、上下一対の金属電極１、３の放電側の面は
夫々セラミック等の誘電体７、９によってレーザガスか
ら隔離されている。この誘電体７、９はシリコンゴム等
の絶縁体１１、１３と植込ボルト１５、１７によって真
空容器５へ固定されている。金属電極１、３の放電側と
反対の面は合成樹脂等からなる絶縁ブロック１９、２１
を介して真空容器５に固定されている。
【００１１】この絶縁ブロック１９、２１及び真空容器
５には、冷却水路となる開口部２３、２５が設けられて
おり、金属電極１、３の内部の冷却水路に通じている。
また、電極１、３と電源を結ぶ配線を通すための開口部
２７、２９が設けられている。これらの開口部２３、２
５、２７、２９の真空容器５と絶縁ブロック１９、２１
及び絶縁ブロック１９、２１と金属電極１、３間には、
気密を保つためのＯリング３１、３３が取付けられてい
る。
５には、冷却水路となる開口部２３、２５が設けられて
おり、金属電極１、３の内部の冷却水路に通じている。
また、電極１、３と電源を結ぶ配線を通すための開口部
２７、２９が設けられている。これらの開口部２３、２
５、２７、２９の真空容器５と絶縁ブロック１９、２１
及び絶縁ブロック１９、２１と金属電極１、３間には、
気密を保つためのＯリング３１、３３が取付けられてい
る。
【００１２】図２は、図１の真空容器５と、絶縁ブロッ
ク１９と、金属電極１との関係位置を示した斜視図であ
る。開口部２３、２７の周囲に設けられたＯリング３
１、３３及び真空容器５と絶縁ブロック１９、絶縁ブロ
ック１９と金属電極１間を固定する複数のボルトのボル
ト孔３５、３７等が示されている。
ク１９と、金属電極１との関係位置を示した斜視図であ
る。開口部２３、２７の周囲に設けられたＯリング３
１、３３及び真空容器５と絶縁ブロック１９、絶縁ブロ
ック１９と金属電極１間を固定する複数のボルトのボル
ト孔３５、３７等が示されている。
【００１３】図３は他の実施例の説明図である。図１の
実施例では真空容器５及び絶縁ブロック１９、２１の開
口部がそれぞれ三箇所であるが、この例では、それぞれ
３９、４１の一箇所になっており、Ｏリング４３、４５
は大きくなるが、数が三分の一に減少している。冷却配
管４７、４９及び高圧電線Ｗは、それぞれ継手５１、５
３を介して金属電極１、３へ接続されている。
実施例では真空容器５及び絶縁ブロック１９、２１の開
口部がそれぞれ三箇所であるが、この例では、それぞれ
３９、４１の一箇所になっており、Ｏリング４３、４５
は大きくなるが、数が三分の一に減少している。冷却配
管４７、４９及び高圧電線Ｗは、それぞれ継手５１、５
３を介して金属電極１、３へ接続されている。
【００１４】図４は図３の真空容器５と、絶縁ブロック
１９と、金属電極１との関係位置を示した斜視図であ
る。開口部３９の周囲に設けたＯリング４３及び冷却配
管４７及び高圧電線Ｗの金属電極１への継手５１、電極
端子５３等が示されている。
１９と、金属電極１との関係位置を示した斜視図であ
る。開口部３９の周囲に設けたＯリング４３及び冷却配
管４７及び高圧電線Ｗの金属電極１への継手５１、電極
端子５３等が示されている。
【００１５】
【発明の効果】以上の説明から理解されるように、この
発明は特許請求の範囲に記載の構成を備えているので、
ガスレーザ発振器の真空容器内への冷却水や大気の漏洩
を防止することができる。また、シール箇所が減少する
ので組付けが簡素化される。
発明は特許請求の範囲に記載の構成を備えているので、
ガスレーザ発振器の真空容器内への冷却水や大気の漏洩
を防止することができる。また、シール箇所が減少する
ので組付けが簡素化される。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の一つの実施例の説明図である。
【図２】図１の真空容器５と、絶縁ブロック１９と、金
属電極１との関係位置を示した斜視図である。
属電極１との関係位置を示した斜視図である。
【図３】この発明の他の実施例の説明図である。
【図４】図３の真空容器５と、絶縁ブロック１９と、金
属電極１との関係位置を示した斜視図である。
属電極１との関係位置を示した斜視図である。
【図５】従来の三軸直交形高周波放電炭酸ガスレーザ発
振器の説明図である。
振器の説明図である。
１、３ 金属電極 ５ 真空容器 １９、２１ 絶縁ブロック ２３、２５、２７、２９、３９、４１ 開口部 ３１、３３、４３、４５ Ｏリング
Claims (1)
- 【請求項１】 三軸直交形ガスレーザ発振器において、
真空容器の内部に一対の金属電極を夫々絶縁ブロックを
介して固定すると共に、真空容器と絶縁ブロック及び絶
縁ブロックと金属電極間に気密を保つＯリングを設け、
このＯリングの内側の絶縁ブロック及び真空容器の夫々
に金属電極が外気に接する開口部を設け、この開口部に
金属電極を冷却する水路及び電源への配線を設けたこと
を特徴とするガスレーザ発振器の電極の取付方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7245093A JPH06283782A (ja) | 1993-03-30 | 1993-03-30 | ガスレーザ発振器の電極の取付方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7245093A JPH06283782A (ja) | 1993-03-30 | 1993-03-30 | ガスレーザ発振器の電極の取付方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06283782A true JPH06283782A (ja) | 1994-10-07 |
Family
ID=13489653
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7245093A Pending JPH06283782A (ja) | 1993-03-30 | 1993-03-30 | ガスレーザ発振器の電極の取付方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06283782A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002261356A (ja) * | 2001-03-01 | 2002-09-13 | Mitsubishi Electric Corp | ガスレーザ発振器 |
| CN116526260A (zh) * | 2023-07-03 | 2023-08-01 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 一种应用于真空环境中的氦氖激光管 |
-
1993
- 1993-03-30 JP JP7245093A patent/JPH06283782A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002261356A (ja) * | 2001-03-01 | 2002-09-13 | Mitsubishi Electric Corp | ガスレーザ発振器 |
| CN116526260A (zh) * | 2023-07-03 | 2023-08-01 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 一种应用于真空环境中的氦氖激光管 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR0184677B1 (ko) | 플라즈마 처리장치 | |
| JP5118815B2 (ja) | 超伝導部材のための電気ブッシング | |
| EP0410596B1 (en) | Electron beam gun | |
| US6401653B1 (en) | Microwave plasma generator | |
| US7230202B2 (en) | Plasma processing apparatus, electrode unit, feeder member and radio frequency feeder rod | |
| US20040114647A1 (en) | Laser with heat transfer system | |
| JPH06283782A (ja) | ガスレーザ発振器の電極の取付方法 | |
| JP4658839B2 (ja) | 超伝導部材のための電気接続構造体 | |
| US3808351A (en) | Improved cryogenic connection | |
| KR100796830B1 (ko) | 기판코팅방법 수행용 반응실 | |
| JPS5921596A (ja) | 無るつぼ帯域溶融用の偏平誘導コイル | |
| JPH04259274A (ja) | 高入力に適した電気的ポンピングガスレーザ | |
| US12021363B2 (en) | Electrical feedthrough for a pressure housing | |
| US5070701A (en) | Cooling apparatus | |
| JP3032087B2 (ja) | プラズマ処理装置 | |
| US4403167A (en) | Segmented discharge tube devices | |
| CA2043438A1 (en) | Ozone generator apparatus and method | |
| JPH0220667A (ja) | プラズマトーチ | |
| JP3900662B2 (ja) | オゾン発生装置 | |
| JPH01181201A (ja) | 同軸電流導入端子 | |
| JPH04286172A (ja) | ガスレーザ発振器 | |
| US20220329003A1 (en) | Heating cable connecting device and flexible heater with the same | |
| US20220330387A1 (en) | Heating cable connecting device and flexible heater with the same | |
| JPH11139809A (ja) | 両面冷却オゾナイザ | |
| JPH0582863A (ja) | レーザ発振器 |