JPH06281362A - Air invasion preventive method for inert atmosphere furnace and its apparatus - Google Patents
Air invasion preventive method for inert atmosphere furnace and its apparatusInfo
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、炉内を不活性雰囲気に
して熱処理を行う不活性雰囲気炉において、炉の出入口
から炉内に空気が侵入するのを防止する方法およびその
装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method and an apparatus for preventing air from entering the furnace through an inlet / outlet of the furnace in an inert atmosphere furnace in which heat treatment is performed in an inert atmosphere.
【0002】[0002]
【従来の技術】プリント基板のはんだ付け後にフラック
ス残渣が多量に付着していると、このフラックス残渣が
吸湿して絶縁抵抗を下げたり、腐食生成物を発生させる
ことがある。そのため、信頼性を重視するコンピュータ
ーや通信機器等に用いるプリント基板では、はんだ付け
後にフラックス残渣を除去する洗浄が行われていた。2. Description of the Related Art If a large amount of flux residue is attached after soldering a printed circuit board, the flux residue may absorb moisture to lower the insulation resistance or generate a corrosion product. Therefore, in a printed circuit board used for a computer, a communication device, or the like that places importance on reliability, cleaning for removing flux residue has been performed after soldering.
【0003】フラックス残渣の洗浄には、フラックスの
主成分となる松脂や活性剤等をよく溶解するフロンやト
リクレン等のハロゲン化炭化水素系の溶剤が用いられて
いたが、これらの溶剤は地球を取り巻くオゾン層を破壊
して有害な紫外線を多量に到達させ、人類に皮膚癌を発
生させる原因となるため、現在ではその使用が規制され
ている。For cleaning the flux residue, halogenated hydrocarbon solvents such as CFCs and trichlene, which often dissolve pine resin, which is the main component of the flux, and activators, have been used. Its use is now regulated because it destroys the surrounding ozone layer and causes a large amount of harmful ultraviolet rays to reach, causing human skin cancer.
【0004】そのため、プリント基板のはんだ付けで
は、はんだ付け後にフラックス残渣を洗浄しなくても済
む所謂「無洗浄化」が電子業界からは望まれており、ペ
ースト状のフラックスと粉末はんだから成るソルダーペ
ーストにおいても、無洗浄用のソルダーペーストが使用
されるようになってきた。Therefore, in the soldering of a printed circuit board, the so-called "no-cleaning", in which the flux residue does not have to be cleaned after soldering, is desired from the electronic industry, and a solder consisting of a paste-like flux and a powdered solder is required. As for the paste, a solder paste for non-cleaning has come to be used.
【0005】無洗浄用ソルダーペーストとは、フラック
スに添加する松脂、活性剤、チキソ剤等の固形成分を極
めて少なくしたもので、はんだ付け後のフラックス残渣
も非常に少なくなっている。The non-cleaning solder paste is an extremely small amount of solid components such as pine resin, activator and thixotropic agent added to the flux, and the flux residue after soldering is also very small.
【0006】ところで、無洗浄用ソルダーペーストを空
気の存在するリフロー炉で加熱処理すると、プリント基
板のはんだ付け部にはんだが充分に付着しない未はんだ
となったり、はんだ付け部の周囲に多数の微小はんだボ
ールが発生する等の問題が生じていた。By the way, when the no-cleaning solder paste is heat-treated in a reflow oven in the presence of air, the solder does not adhere sufficiently to the soldered portion of the printed circuit board, or a large number of minute solder particles are formed around the soldered portion. Problems such as the generation of solder balls have occurred.
【0007】これらの不良は、プリント基板やプリント
基板上に塗付されたソルダーペーストが加熱された時
に、空気中の酸素により、はんだ付け部の銅箔や粉末は
んだ等の金属表面が酸化してしまうためである。つま
り、プリント基板の銅箔が酸化すると溶融はんだが濡れ
にくくなって未はんだとなり、また粉末はんだが酸化す
ると少ない活性剤でその酸化膜が還元除去されても表面
張力を下げることができずに微小はんだボールとなって
残ってしまうものである。These defects are caused by the fact that when the printed circuit board or the solder paste applied on the printed circuit board is heated, oxygen in the air oxidizes the metal surface of the copper foil or the powder solder of the soldering portion. This is because it ends up. In other words, when the copper foil of the printed circuit board oxidizes, the molten solder becomes difficult to wet and becomes unsoldered, and when the powdered solder oxidizes, even if the oxide film is reduced and removed with a small amount of activator, the surface tension cannot be reduced and it is very small. They remain as solder balls.
【0008】従来の固形成分の多いソルダーペーストで
は、金属表面が酸化しても、これをフラックス中に多量
に添加された活性剤が還元して清浄化し、また清浄化さ
れた金属表面を溶融した松脂が覆って再酸化を防いでい
たため、空気の存在下でもはんだ付け不良を起こさなか
った。In the conventional solder paste containing a large amount of solid components, even if the metal surface is oxidized, the activator added in a large amount in the flux reduces it and cleans it, and melts the cleaned metal surface. Since it was covered with pine resin to prevent reoxidation, soldering failure did not occur even in the presence of air.
【0009】しかしながら、無洗浄用ソルダーペースト
でも酸素が存在しなければ加熱状態でも金属表面が酸化
せず、不良のないはんだ付けができることは分かってお
り、従来より炉内を窒素ガスのような不活性ガスで充満
させた不活性雰囲気炉が使用されていた。However, it has been known that the solder paste for non-cleaning does not oxidize the metal surface even in the heated state and the soldering can be performed without any defect if oxygen is not present. An inert atmosphere furnace filled with active gas was used.
【0010】無洗浄用ソルダーペーストに適したリフロ
ー炉の酸素濃度は、ソルダーペーストの種類、プリント
基板の表面状態等によって異なるが、一般には1,00
0ppm以下でなければならず、好ましくは500pp
m以下が望ましいとされている。また無洗浄用ソルダー
ペーストを使用するリフロー炉では如何に炉内の酸素濃
度を下げるにしても不活性ガスの使用量が多くては経済
的ではない。The oxygen concentration of the reflow furnace suitable for the non-cleaning solder paste varies depending on the type of the solder paste, the surface condition of the printed board, etc., but is generally 1.00.
Must be below 0 ppm, preferably 500 pp
It is said that m or less is desirable. Further, in a reflow furnace using a non-cleaning solder paste, no matter how the oxygen concentration in the furnace is lowered, it is not economical because the amount of the inert gas used is large.
【0011】リフロー炉で酸素濃度を下げるために、リ
フロー炉の出入口に機械式構造のシャッターを設置した
リフロー炉も提案されている(参照:特開昭62−18
3960号)。しかしながら、このシャッターを設置し
たリフロー炉は、プッシャーでプリント基板の出し入れ
を行わなければならず、前工程や後工程と連続作業を行
うという所謂インライン化が不可能であり、またシャッ
ターの開閉を待っていなければならないため非常に生産
性の悪いものであった。さらにこのリフロー炉は、機械
式であったため構造が複雑で高価となり、経済的にも好
ましいものではなかった。In order to reduce the oxygen concentration in the reflow furnace, a reflow furnace in which a mechanical shutter is installed at the entrance and exit of the reflow furnace has also been proposed (see JP-A-62-18).
3960). However, in the reflow furnace equipped with this shutter, the printed circuit board must be put in and taken out by the pusher, and so-called in-line operation that performs continuous work with pre-process and post-process is not possible. It was very unproductive because it had to be. Further, since this reflow furnace is mechanical, its structure is complicated and expensive, and it is not economically preferable.
【0012】この機械式シャッターの代わりに構造が簡
単で、しかもインライン化が可能な気体式シャッター、
即ち気体で外気の侵入をシャットするエアーカーテンや
ガスカーテンを用いたリフロー炉も多数提案されている
(参照:特開平1−118369号、同4−30536
1号、実開平3−31087号、同3−36361号同
4−125056号)Instead of this mechanical shutter, a gas shutter having a simple structure and capable of being inlined,
That is, many reflow furnaces using an air curtain or a gas curtain that shuts in the outside air with a gas have been proposed (see JP-A-1-118369 and 4-30536).
1, No. 3-31087, No. 3-36361, No. 4-1255056)
【0013】[0013]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
気体式シャッターは、プリント基板の搬送枚数が少ない
場合は炉内の酸素濃度を低める効果はあるが、プリント
基板を連続搬送させると、炉内の酸素濃度が下がってし
まうという問題があった。However, the conventional gas-type shutter has the effect of lowering the oxygen concentration in the furnace when the number of printed circuit boards to be conveyed is small, but when the printed boards are continuously conveyed, the gas in the furnace will be reduced. There was a problem that the oxygen concentration would drop.
【0014】本発明は、機械式シャッターに比べて多く
の長所を有する気体式シャッターを使用しても炉内の酸
素濃度を無洗浄用ソルダーペースト使用に適した酸素濃
度まで下げることのできる空気侵入防止方法および装置
を提供することにある。According to the present invention, even if a gas shutter having many advantages as compared with a mechanical shutter is used, the oxygen concentration in the furnace can be lowered to an oxygen concentration suitable for using a solder paste for non-cleaning. It is to provide a prevention method and device.
【0015】[0015]
【課題を解決するための手段】本発明者は、気体式シャ
ッターのリフロー炉において、炉外の空気が炉内に侵入
する原因について鋭意研究を重ねた結果、従来の気体式
シャッターは、図4に示すように、上下方向から吹き出
された不活性ガス(N2)がプリント基板3に当たった
時に乱流をおこし、ここで炉外の空気(Air)を巻き
込んで炉内に侵入させてしまうことが判明した。これは
ノズルから流出した後の気体の流れが不安定で、乱流状
態になっているからである。つまり、ノズルから流出し
た気体が乱流状態であると、気体がプリント基板に当た
った時にも乱れが大きくなって空気を巻き込んでしまう
ものである。The inventors of the present invention have made extensive studies as to the cause of the air outside the furnace entering the furnace in a reflow furnace having a gas shutter. As a result, the conventional gas shutter is shown in FIG. As shown in FIG. 5, when the inert gas (N 2 ) blown from the up and down direction hits the printed circuit board 3, a turbulent flow is generated, and the air (Air) outside the furnace is entrained and enters into the furnace. It has been found. This is because the gas flow after flowing out from the nozzle is unstable and is in a turbulent state. That is, if the gas flowing out from the nozzle is in a turbulent state, the turbulence becomes large even when the gas hits the printed circuit board, and the air is entrained.
【0016】そこで本発明者は、ノズルから流出した気
体を常に安定した状態にしておけば、気体がプリント基
板に当たった時にも外気を巻き込まなくなることに着目
し、さらにノズルから流出した気体を安定させるには、
膜状気体を何層かの層状にすると気体は非常に安定する
ことを見い出して本発明を完成させた。Therefore, the present inventor pays attention to the fact that if the gas flowing out from the nozzle is always kept in a stable state, the outside air is not entrained even when the gas hits the printed circuit board, and the gas flowing out from the nozzle is stabilized. To let
The present invention has been completed by finding that the gas is very stable when the film-like gas is formed into several layers.
【0017】本発明は、炉の出入口の上下部から、それ
ぞれ下方および上方に向けて不活性ガスを膜状に流出さ
せるとともに、該膜状の不活性ガスの外側にもう一つの
気体を上下部からそれぞれ下方および上方に向けて膜状
に流出させ、これら二つの膜状気体を層状に形成させ
て、層状気体で炉の出入口を封止することを特徴とする
不活性雰囲気炉の空気侵入防止方法であり、また炉の出
入口の上下部に、それぞれ下方および上方に向けて気体
を膜状に流出させることのできる第1ノズルが設置され
ているとともに、該膜状気体と平行してもう一つの気体
を膜状に流出させることのできる第2ノズルが設置され
ていることを特徴とする不活性雰囲気炉の空気侵入防止
装置である。According to the present invention, an inert gas is made to flow downward and upward in the form of a film from the upper and lower portions of the inlet and outlet of the furnace, and another gas is provided above and below the film-like inert gas. From above in the form of a film, these two film gases are formed into a layer, and the inlet and outlet of the furnace are sealed with the layer gas to prevent air intrusion in the furnace. In the method, a first nozzle is provided at the upper and lower parts of the inlet and outlet of the furnace, which allows gas to flow downward and upward, respectively, and another nozzle is provided in parallel with the film gas. An air intrusion prevention device for an inert atmosphere furnace, characterized in that a second nozzle capable of discharging two gases in a film shape is installed.
【0018】本発明の不活性雰囲気炉の空気侵入防止方
法において、炉の上下方向から膜状に流出させる不活性
ガスの外側から流出させるもう一つの気体とは、空気で
もよいし、或は前述不活性ガスと同一の不活性ガスでも
よい。In the method for preventing air intrusion in an inert atmosphere furnace according to the present invention, the other gas flowing out from the outside of the inert gas flowing in a film form from the vertical direction of the furnace may be air, or the above-mentioned. The same inert gas as the inert gas may be used.
【0019】[0019]
【実施例】以下、図面に基づいて本発明を説明する。図
1は本発明の空気侵入防止装置を設置したリフロー炉の
正面断面図、図2は本発明の空気侵入防止装置の斜視
図、図3は本発明の空気侵入防止方法を説明する図であ
る。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below with reference to the drawings. 1 is a front sectional view of a reflow furnace in which the air intrusion prevention device of the present invention is installed, FIG. 2 is a perspective view of the air intrusion prevention device of the present invention, and FIG. 3 is a diagram illustrating an air intrusion prevention method of the present invention. .
【0020】リフロー炉1はトンネル状の炉2となって
おり、炉2内にはプリント基板3を搬送するコンベア4
が矢印A方向に走行している。また炉2はプリント基板
走行方向から予備加熱ゾーンP、本加熱ゾーンR、冷却
ゾーンCとなっており、予備加熱ゾーンPと本加熱ゾー
ンRの上下部には本発明出願人が既に特願平2−194
385で提案した面吹出し型ヒーター5…が設置され、
また冷却ゾーンには冷却装置6、6が設置されている。The reflow furnace 1 is a tunnel-shaped furnace 2, and a conveyor 4 for carrying a printed circuit board 3 is provided in the furnace 2.
Is traveling in the direction of arrow A. Further, the furnace 2 has a pre-heating zone P, a main heating zone R, and a cooling zone C from the printed circuit board running direction. 2-194
The surface blowing type heater 5 proposed in 385 is installed,
Further, cooling devices 6, 6 are installed in the cooling zone.
【0021】炉2内には図示しない不活性ガス供給源か
ら不活性ガスが供給され、不活性ガスは上下の面吹出し
型ヒーター5…間、および冷却機6、6間で流動するよ
うになっている。An inert gas is supplied into the furnace 2 from an inert gas supply source (not shown), and the inert gas is allowed to flow between the upper and lower surface blowing type heaters 5 and between the coolers 6 and 6. ing.
【0022】炉2の入口7と出口8の上下部には不活性
ガス(N2)を流出させる第1ノズル9…が設置されて
いる。炉の出入口の上部に設置された第1ノズルは不活
性ガスを下方に流出させ、炉の出入口の下部に設置され
た第1ノズルは不活性ガスを上方に流出させ、上下から
流出してきた不活性ガスは上下の略中央で衝突するよう
になっている。第1ノズル9は、流出口10がスリット
を形成しており、該流出口を出た不活性ガスは膜状とな
る。At the upper and lower parts of the inlet 7 and the outlet 8 of the furnace 2, there are installed first nozzles 9 ... For discharging an inert gas (N 2 ). The first nozzle installed at the upper part of the furnace inlet / outlet allows the inert gas to flow out downward, and the first nozzle installed at the lower part of the furnace inlet / outlet causes the inert gas to flow out upward, causing the inert gas flowing out from above and below. The active gas collides with the upper and lower substantially central portions. In the first nozzle 9, the outflow port 10 forms a slit, and the inert gas exiting the outflow port is in the form of a film.
【0023】第1ノズル9…への不活性ガスの供給は、
別途不活性ガス供給源から直接供給してもよいが、図1
に示すように炉2内からポンプ11で不活性ガス
(N2)を取り出して第1ノズルに送るようにしてもよ
い。第1ノズル9への供給途中にはバルブ12を設置し
て不活性ガスの流出量を調整するようにしてある。The inert gas is supplied to the first nozzles 9 ...
Alternatively, it may be directly supplied from an inert gas supply source.
As shown in, the inert gas (N 2 ) may be taken out from the furnace 2 by the pump 11 and sent to the first nozzle. A valve 12 is installed during the supply to the first nozzle 9 to adjust the outflow amount of the inert gas.
【0024】また、第1ノズル9…の外側には第2ノズ
ル13…が設置されている。第2ノズル13の流出口1
4も気体を膜状に流出させるためにスリットとなってい
る。第2ノズル13からは空気(Air)、或は不活性
ガスを膜状にして流出させるものである。第2ノズル1
3から空気を流出させる場合は、ポンプ15で空気を送
るようにし、その途中には流出量を調整するためのバル
ブ16を設置しておくとよい。Further, second nozzles 13 ... Are installed outside the first nozzles 9. Outlet 1 of the second nozzle 13
4 is also a slit for letting out the gas in a film shape. From the second nozzle 13, air (Air) or an inert gas is formed into a film and flows out. Second nozzle 1
When the air is to be discharged from 3, the air is preferably sent by the pump 15, and a valve 16 for adjusting the amount of the discharge is preferably installed on the way.
【0025】炉の入口7の上下部に設置した第1ノズル
9、9から不活性ガス(N2)を膜状に流出させ、第2
ノズル13、13から空気(Air)を膜状に流出させ
る。すると図3に示すように、膜状に流出した不活性ガ
スと空気とは互いに混入することなく安定した層状とな
る。The inert gas (N 2 ) is made to flow out in a film form from the first nozzles 9 and 9 installed at the upper and lower portions of the furnace inlet 7,
Air (Air) is made to flow out in a film form from the nozzles 13, 13. Then, as shown in FIG. 3, the inert gas and the air flowing out in a film form a stable layer without mixing with each other.
【0026】これは一つの気体を膜状にしただけでは、
膜厚が薄いため少しの風の影響でも乱れて膜状態を保つ
ことができなくなるが、二つの膜状の気体を層状にする
と、全体の膜厚が厚くなり、少々の風では影響されず安
定した状態となる。そのため、上下から流出した層状気
体の中央をプリント基板が通過すると、プリント基板に
当たった時にも乱れず、層状気体は不活性ガスと空気に
分かれて炉の内側にある不活性ガスは炉内方向へ流動
し、その外側にある空気は逆方向に流動していく。つま
り、層状気体で炉の出入口を封止すると、プリント基板
を走行させても炉内には不活性ガスだけが侵入し、空気
は侵入しなくなる。This is because if one gas is formed into a film,
Since the film thickness is thin, it is impossible to maintain the film state by being disturbed by a little wind, but when the two film-like gases are layered, the overall film thickness becomes thicker and stable even if a little wind does not affect it. It will be in the state of doing. Therefore, when the printed circuit board passes through the center of the stratified gas flowing from above and below, it is not disturbed even when it hits the printed circuit board, and the stratified gas is divided into inert gas and air, and the inert gas inside the furnace is directed toward the inside of the furnace. To the outside, and the air outside it flows in the opposite direction. That is, if the inlet and outlet of the furnace are sealed with the layered gas, only the inert gas enters the furnace and the air does not enter even when the printed circuit board is run.
【0027】本発明を採用したリフロー炉において、炉
内に毎分160リットルの窒素ガスを供給して、プリン
ト基板を走行させない時と、プリント基板を連続走行さ
せた時の炉内の酸素濃度を測定した結果、酸素濃度は4
00ppm±20ppmであった。In the reflow furnace adopting the present invention, nitrogen gas of 160 liters per minute is supplied into the furnace to determine the oxygen concentration in the furnace when the printed circuit board is not run and when the printed circuit board is continuously run. As a result of the measurement, the oxygen concentration is 4
It was 00 ppm ± 20 ppm.
【0028】一方、炉の出入口にガスカーテンだけを設
置したリフロー炉において、炉内に毎分160リットル
の窒素ガスを供給して、プリント基板を走行させない時
と、プリント基板を連続走行させた時の炉内の酸素濃度
を測定した結果、酸素濃度は500ppm±50ppm
であった。On the other hand, in a reflow furnace in which only a gas curtain is installed at the entrance and exit of the furnace, when 160 liters / minute of nitrogen gas is supplied into the furnace and the printed circuit board is not run and when the printed circuit board is continuously run. As a result of measuring the oxygen concentration in the furnace, the oxygen concentration is 500ppm ± 50ppm
Met.
【0029】[0029]
【発明の効果】以上説明した如く、本発明によれば不活
性雰囲気炉の出入口を安定した層状気体で封止している
ため、外気が炉の中に侵入せず、炉内の酸素濃度を高め
ることができる。従って、本発明を採用したリフロー炉
においては、無洗浄用ソルダーペーストを使用しても未
はんだや微小はんだボールの発生がなくなり、信頼ある
はんだ付け部が得られるといういう従来にない優れた効
果を奏することができる。As described above, according to the present invention, since the inlet and outlet of the inert atmosphere furnace are sealed with the stable stratified gas, the outside air does not enter the furnace, and the oxygen concentration in the furnace is reduced. Can be increased. Therefore, in the reflow furnace adopting the present invention, even if the solder paste for no-cleaning is used, the generation of unsoldered or minute solder balls is eliminated, and there is an unprecedented excellent effect that a reliable soldered portion can be obtained. Can play.
【図1】本発明の空気侵入防止装置を設置したリフロー
炉の正面断面図である。FIG. 1 is a front sectional view of a reflow furnace equipped with an air intrusion prevention device of the present invention.
【図2】本発明の空気侵入防止装置の斜視図である。FIG. 2 is a perspective view of an air intrusion prevention device of the present invention.
【図3】本発明の空気侵入防止方法を説明する図であ
る。FIG. 3 is a diagram illustrating an air intrusion prevention method of the present invention.
【図4】従来の空気侵入防止装置における気体の流動状
態を説明する図である。FIG. 4 is a diagram illustrating a gas flow state in a conventional air intrusion prevention device.
1 リフロー炉 2 炉 3 プリント基板 4 コンベア 7 炉の入口 8 炉の出口 9 第1ノズル 10 第1ノズルの流出口 13 第2ノズル 14 第2ノズルの流出口 1 Reflow Furnace 2 Furnace 3 Printed Circuit Board 4 Conveyor 7 Furnace Inlet 8 Furnace Outlet 9 First Nozzle 10 First Nozzle Outlet 13 Second Nozzle 14 Second Nozzle Outlet
Claims (4)
および上方に向けて不活性ガスを膜状に流出させるとと
もに、該膜状の不活性ガスの外側にもう一つの気体を上
下部からそれぞれ下方および上方に向けて膜状に流出さ
せ、これら二つの膜状気体を層状に形成させて、層状気
体で炉の出入口を封止することを特徴とする不活性雰囲
気炉の空気侵入防止方法。1. An inert gas is caused to flow downward and upward from the upper and lower portions of the inlet and outlet of the furnace, respectively, and another gas is supplied to the outside of the film-shaped inert gas from the upper and lower portions, respectively. A method for preventing air intrusion in an inert atmosphere furnace, which comprises causing the two film-like gases to flow downward and upward to form a layered structure of these two film-like gases and sealing the inlet and outlet of the furnace with the layered gas.
を特徴とする請求項1記載の不活性雰囲気炉の空気侵入
防止方法。2. The method for preventing air intrusion in an inert atmosphere furnace according to claim 1, wherein the other gas is air.
ることを特徴とする請求項1記載の不活性雰囲気炉の空
気侵入防止方法。3. The method for preventing air intrusion in an inert atmosphere furnace according to claim 1, wherein the other gas is an inert gas.
よび上方に向けて気体を膜状に流出させることのできる
第1ノズルが設置されているとともに、該膜状気体と平
行してもう一つの気体を膜状に流出させることのできる
第2ノズルが設置されていることを特徴とする不活性雰
囲気炉の空気侵入防止装置。4. A first nozzle capable of discharging a gas in the form of a film downward and upward respectively is installed at the upper and lower portions of the inlet and outlet of the furnace, and another nozzle is provided in parallel with the film-like gas. An air intrusion prevention device for an inert atmosphere furnace, comprising a second nozzle capable of discharging two gases in a film shape.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9189493A JPH06281362A (en) | 1993-03-29 | 1993-03-29 | Air invasion preventive method for inert atmosphere furnace and its apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9189493A JPH06281362A (en) | 1993-03-29 | 1993-03-29 | Air invasion preventive method for inert atmosphere furnace and its apparatus |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06281362A true JPH06281362A (en) | 1994-10-07 |
Family
ID=14039277
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9189493A Pending JPH06281362A (en) | 1993-03-29 | 1993-03-29 | Air invasion preventive method for inert atmosphere furnace and its apparatus |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH06281362A (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019186413A (en) * | 2018-04-12 | 2019-10-24 | 株式会社タムラ製作所 | Transportation heating apparatus |
JP2020181861A (en) * | 2019-04-24 | 2020-11-05 | 株式会社タムラ製作所 | Conveying-type heating device |
-
1993
- 1993-03-29 JP JP9189493A patent/JPH06281362A/en active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2019186413A (en) * | 2018-04-12 | 2019-10-24 | 株式会社タムラ製作所 | Transportation heating apparatus |
JP2020181861A (en) * | 2019-04-24 | 2020-11-05 | 株式会社タムラ製作所 | Conveying-type heating device |
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