JPH06269972A - レ−ザ加工装置 - Google Patents
レ−ザ加工装置Info
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- JPH06269972A JPH06269972A JP4316003A JP31600392A JPH06269972A JP H06269972 A JPH06269972 A JP H06269972A JP 4316003 A JP4316003 A JP 4316003A JP 31600392 A JP31600392 A JP 31600392A JP H06269972 A JPH06269972 A JP H06269972A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 同一のレーザ発振器からのレーザ光を利用
し、異なる光学系を選択的に切り替えてレーザ加工を行
う。 【構成】 レーザ発振器１０から出射したレーザ光の光
路上に円偏光ミラー２０を有した第一の光学系２６と、
同じく上記レーザ光の光路上に全反射ミラー３０を有し
た第二の光学系３６とを設ける。レーザ発振器１０の出
力を相対的に小さい出力にして使用する場合は第一の光
学系２６を選択し、レーザ発振器１０の出力を相対的に
大きい出力にして使用する場合は第二の光学系３６を選
択する光学系選択手段４２を設ける。
し、異なる光学系を選択的に切り替えてレーザ加工を行
う。 【構成】 レーザ発振器１０から出射したレーザ光の光
路上に円偏光ミラー２０を有した第一の光学系２６と、
同じく上記レーザ光の光路上に全反射ミラー３０を有し
た第二の光学系３６とを設ける。レーザ発振器１０の出
力を相対的に小さい出力にして使用する場合は第一の光
学系２６を選択し、レーザ発振器１０の出力を相対的に
大きい出力にして使用する場合は第二の光学系３６を選
択する光学系選択手段４２を設ける。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、レーザ光による切断
や溶接等のようにレーザ光のパワーの異なる加工を行う
レーザ加工装置に関する。
や溶接等のようにレーザ光のパワーの異なる加工を行う
レーザ加工装置に関する。
【０００２】
【従来技術】従来、金属の切断のレ−ザ加工に際して
は、相対的に小パワーのレーザ光を円偏光させ、さら
に、加工範囲が長く光路長が大きく変動する場合の加工
性能の均一化を図る場合、或は加工ヘッド付近の光路の
ビーム径を小さくする必要のある場合は、長焦点凸レン
ズにより平行光に形成し、加工ヘッドの集光レンズで集
光させて切断加工を行っていた。また、レーザ溶接の場
合、相対的に大パワーのレーザ光で、そのパワーに耐え
得る凹面鏡を用いて平行光を形成し、同様に加工ヘッド
の集光レンズ又はパラボリックミラー等で集光して溶接
していた。
は、相対的に小パワーのレーザ光を円偏光させ、さら
に、加工範囲が長く光路長が大きく変動する場合の加工
性能の均一化を図る場合、或は加工ヘッド付近の光路の
ビーム径を小さくする必要のある場合は、長焦点凸レン
ズにより平行光に形成し、加工ヘッドの集光レンズで集
光させて切断加工を行っていた。また、レーザ溶接の場
合、相対的に大パワーのレーザ光で、そのパワーに耐え
得る凹面鏡を用いて平行光を形成し、同様に加工ヘッド
の集光レンズ又はパラボリックミラー等で集光して溶接
していた。
【０００３】これは、切断加工の場合、レーザ光の偏光
方向と平行な方向に加工し易く、直交する方向では切断
しにくいという特性があることから、この偏光方向にか
かわりなく任意の加工方向に加工行うことができる様に
するため、レザー光を円偏光させているものである。ま
た、溶接の場合は、必要なパワーが得られれば偏光方向
の影響は微小なので、円偏光させる必要がないものであ
る。さらに、切断加工に必要なレーザは相対的に小パワ
ーで良く、精度の良い長焦点凸レンズにより平行光を形
成することができるが、溶接の場合、大きなパワーであ
り、レンズの損傷等が問題となるので、凹面鏡を用いる
ものである。
方向と平行な方向に加工し易く、直交する方向では切断
しにくいという特性があることから、この偏光方向にか
かわりなく任意の加工方向に加工行うことができる様に
するため、レザー光を円偏光させているものである。ま
た、溶接の場合は、必要なパワーが得られれば偏光方向
の影響は微小なので、円偏光させる必要がないものであ
る。さらに、切断加工に必要なレーザは相対的に小パワ
ーで良く、精度の良い長焦点凸レンズにより平行光を形
成することができるが、溶接の場合、大きなパワーであ
り、レンズの損傷等が問題となるので、凹面鏡を用いる
ものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来の技
術の場合、溶接と切断の両方を、同じレーザ発振器で出
力を変えて行う場合、上述の異なる光学系を有したレー
ザ光導入部材及び加工ヘッドに付け替えて加工を行わな
ければならず、その付け替え作業が面倒であった。さら
に、付け替えによる光学系の調整等も必要となり、簡単
に両者を選択的に付け替えて使用することができるとい
うものではなかった。
術の場合、溶接と切断の両方を、同じレーザ発振器で出
力を変えて行う場合、上述の異なる光学系を有したレー
ザ光導入部材及び加工ヘッドに付け替えて加工を行わな
ければならず、その付け替え作業が面倒であった。さら
に、付け替えによる光学系の調整等も必要となり、簡単
に両者を選択的に付け替えて使用することができるとい
うものではなかった。
【０００５】この発明は上記従来の技術の問題点に鑑み
てなされたもので、簡単な構成で異なる光学系を容易に
切り替えて使用することができるレ−ザ加工装置を提供
することを目的とする。
てなされたもので、簡単な構成で異なる光学系を容易に
切り替えて使用することができるレ−ザ加工装置を提供
することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明は、レーザ発振
器から出射したレーザ光の光路上に円偏光ミラーを有し
た第一の光学系と、同じく上記レーザ光の光路上に全反
射ミラーを有した第二の光学系とを設け、上記レーザ発
振器の出力を相対的に小さい出力にして使用する場合は
上記第一の光学系を選択し、上記レーザ発振器の出力を
相対的に大きい出力にして使用する場合は上記第二の光
学系を選択して切り替える光学系選択手段を設けたレー
ザ加工装置である。
器から出射したレーザ光の光路上に円偏光ミラーを有し
た第一の光学系と、同じく上記レーザ光の光路上に全反
射ミラーを有した第二の光学系とを設け、上記レーザ発
振器の出力を相対的に小さい出力にして使用する場合は
上記第一の光学系を選択し、上記レーザ発振器の出力を
相対的に大きい出力にして使用する場合は上記第二の光
学系を選択して切り替える光学系選択手段を設けたレー
ザ加工装置である。
【０００７】さらにこの発明は、上記第一の光学系には
円偏光ミラーと全反射ミラーとその間に設けられた長焦
点凸レンズとを設け、上記第二の光学系に全反射ミラー
と長焦点凹面鏡を設け、上記第一，第二の光学系を光路
が等しい光学系に形成し、上記光学系選択手段に、上記
第一の光学系と第二の光学系とを移動可能に保持した保
持部材と、上記第一の光学系と第二の光学系とを上記保
持部材に沿って移動させる駆動装置とを設けたレーザ加
工装置である。さらに、上記光学系選択手段の保持部材
にガイド部材を設け、上記第一，第二の光学系がこのガ
イド部材に沿って摺動し、上記保持部材の上下端部で位
置決めされるようにしたレーザ加工装置である。
円偏光ミラーと全反射ミラーとその間に設けられた長焦
点凸レンズとを設け、上記第二の光学系に全反射ミラー
と長焦点凹面鏡を設け、上記第一，第二の光学系を光路
が等しい光学系に形成し、上記光学系選択手段に、上記
第一の光学系と第二の光学系とを移動可能に保持した保
持部材と、上記第一の光学系と第二の光学系とを上記保
持部材に沿って移動させる駆動装置とを設けたレーザ加
工装置である。さらに、上記光学系選択手段の保持部材
にガイド部材を設け、上記第一，第二の光学系がこのガ
イド部材に沿って摺動し、上記保持部材の上下端部で位
置決めされるようにしたレーザ加工装置である。
【０００８】
【作用】この発明のレーザ加工装置は、上記第一の光学
系と第二の光学系とを切替自在に設け、レーザ光のパワ
ーの切替とともに光学系も切り替えて、大パワーのレー
ザ光による光学系の損傷を防止し、最適な光学系で、良
好なレーザ加工を行うことができる様にしたものであ
る。
系と第二の光学系とを切替自在に設け、レーザ光のパワ
ーの切替とともに光学系も切り替えて、大パワーのレー
ザ光による光学系の損傷を防止し、最適な光学系で、良
好なレーザ加工を行うことができる様にしたものであ
る。
【０００９】
【実施例】以下、この発明の一実施例について図面に基
づいて説明する。この実施例のレ−ザ加工装置は、図
１，図３に示すように、レーザ発振器１０に、レーザ光
導入管１２が接続され、レーザ光導入管１２の先端部に
レーザ光の光学系を切り替え可能に設けられた光学系切
替装置１４が取り付けられている。光学系切替装置１４
のレーザ光出射側には、さらにレーザ光を図示しない加
工ヘッド側に導くレーザ光導入管１６が取り付けられて
いる。
づいて説明する。この実施例のレ−ザ加工装置は、図
１，図３に示すように、レーザ発振器１０に、レーザ光
導入管１２が接続され、レーザ光導入管１２の先端部に
レーザ光の光学系を切り替え可能に設けられた光学系切
替装置１４が取り付けられている。光学系切替装置１４
のレーザ光出射側には、さらにレーザ光を図示しない加
工ヘッド側に導くレーザ光導入管１６が取り付けられて
いる。
【００１０】光学系切替装置１４には、図１に示す様
に、レーザ光導入管１２により導入されたレーザ光を９
０度の角度で反射し円偏光させる円偏光ミラー２０が設
けられ、さらに、円偏光ミラー２０で反射されたレーザ
光を９０度の角度で全反射する全反射ミラー２２が設け
られている。そして、円偏光ミラー２０と全反射ミラー
２２との間には、長焦点凸レンズ２４が取り付けられて
いる。この円偏光ミラー２０、長焦点凸レンズ２４及び
全反射ミラー２２が第一の光学系２６を構成している。
そしてこの第一の光学系２６は、取付部材２８に固定さ
れ、この取付部材２８がシール部材２９を介して、所定
位置に固定された保持部材３１に対して摺動自在に設け
られている。
に、レーザ光導入管１２により導入されたレーザ光を９
０度の角度で反射し円偏光させる円偏光ミラー２０が設
けられ、さらに、円偏光ミラー２０で反射されたレーザ
光を９０度の角度で全反射する全反射ミラー２２が設け
られている。そして、円偏光ミラー２０と全反射ミラー
２２との間には、長焦点凸レンズ２４が取り付けられて
いる。この円偏光ミラー２０、長焦点凸レンズ２４及び
全反射ミラー２２が第一の光学系２６を構成している。
そしてこの第一の光学系２６は、取付部材２８に固定さ
れ、この取付部材２８がシール部材２９を介して、所定
位置に固定された保持部材３１に対して摺動自在に設け
られている。
【００１１】さらに、取付部材２８には、上記第一の光
学系２６の下方に、図２に示すように、全反射ミラー３
０と長焦点凹面鏡３２とからなる第二の光学系３６が設
けられている。取付部材２８は、この第一，第二の光学
系２６，３６が設けられた上下の方向に挿通孔３８を有
し、この挿通孔３８に保持部材３１に固定されたガイド
部材４０が挿通している。そして、保持部材３１には、
エアーシリンダ等の光学系選択手段である駆動装置４２
が取り付けられ、この駆動装置４２の可動部が取付部材
２８に固定され、取付部材２８は、保持部材３１の上下
端部３１ａ，３１ｂの間で上下方向に摺動可能に保持さ
れている。
学系２６の下方に、図２に示すように、全反射ミラー３
０と長焦点凹面鏡３２とからなる第二の光学系３６が設
けられている。取付部材２８は、この第一，第二の光学
系２６，３６が設けられた上下の方向に挿通孔３８を有
し、この挿通孔３８に保持部材３１に固定されたガイド
部材４０が挿通している。そして、保持部材３１には、
エアーシリンダ等の光学系選択手段である駆動装置４２
が取り付けられ、この駆動装置４２の可動部が取付部材
２８に固定され、取付部材２８は、保持部材３１の上下
端部３１ａ，３１ｂの間で上下方向に摺動可能に保持さ
れている。
【００１２】第一の光学系２６は、取付部材２８の上方
に位置し、取付部材２８が保持部材３１に対して相対的
に下方に位置した状態で、レーザ光導入管１２と第一の
光学系２６のレーザ光入射部分の光軸が一致し、これと
ともに、レーザ光導入管１６と第一の光学系２６のレー
ザ光出射側の光軸も一致するものである。又、第二の光
学系３６は、取付部材２８の下方に位置し、取付部材２
８が保持部材３１に対して相対的に上方に位置した状態
でレーザ光導入管１２と第二の光学系３６のレーザ光入
射部分の光軸が一致し、これとともに、レーザ光導入管
１６と第二の光学系３６のレーザ光出射側の光軸も一致
するものである。また、レーザ光導入管１２には、加圧
され乾燥したクリーンエアをレーザ光の光学系に送るエ
ア導入光４４が設けれている。これによって、レーザ光
の光路及び光学系の各部の接続箇所からほこり等が侵入
しない様にし、且つ光学部品の結露を防止している。
に位置し、取付部材２８が保持部材３１に対して相対的
に下方に位置した状態で、レーザ光導入管１２と第一の
光学系２６のレーザ光入射部分の光軸が一致し、これと
ともに、レーザ光導入管１６と第一の光学系２６のレー
ザ光出射側の光軸も一致するものである。又、第二の光
学系３６は、取付部材２８の下方に位置し、取付部材２
８が保持部材３１に対して相対的に上方に位置した状態
でレーザ光導入管１２と第二の光学系３６のレーザ光入
射部分の光軸が一致し、これとともに、レーザ光導入管
１６と第二の光学系３６のレーザ光出射側の光軸も一致
するものである。また、レーザ光導入管１２には、加圧
され乾燥したクリーンエアをレーザ光の光学系に送るエ
ア導入光４４が設けれている。これによって、レーザ光
の光路及び光学系の各部の接続箇所からほこり等が侵入
しない様にし、且つ光学部品の結露を防止している。
【００１３】この実施例のレーザ加工装置の動作作用
は、先ず、レーザ光により切断加工を行う場合、駆動装
置４２により取付部材２８を、保持部材３１の下端部３
１ｂに当接させて位置決めし、レーザ光導入管１２，１
６に第一の光学系２６を接続させる。そして、レーザ発
振器１０を切断加工に必要な相対的に小さなパワーでか
つ低次モードで作動させ、レーザ光を発振させる。レー
ザ光は、レーザ光導入管１２を経て、第一の光学系２６
の円偏光ミラー２０により円偏光されて反射され、長焦
点凸レンズ２４によりほぼ平行光にされて全反射ミラー
２２で反射され、図示しない加工ヘッドへ向かい切断を
行う。
は、先ず、レーザ光により切断加工を行う場合、駆動装
置４２により取付部材２８を、保持部材３１の下端部３
１ｂに当接させて位置決めし、レーザ光導入管１２，１
６に第一の光学系２６を接続させる。そして、レーザ発
振器１０を切断加工に必要な相対的に小さなパワーでか
つ低次モードで作動させ、レーザ光を発振させる。レー
ザ光は、レーザ光導入管１２を経て、第一の光学系２６
の円偏光ミラー２０により円偏光されて反射され、長焦
点凸レンズ２４によりほぼ平行光にされて全反射ミラー
２２で反射され、図示しない加工ヘッドへ向かい切断を
行う。
【００１４】また、レーザ光により溶接を行う場合、駆
動装置４２により取付部材２８を、保持部材３１の上端
部３１ａ側に移動させて位置決めし、レーザ光導入管１
２，１６に第二の光学系３６を接続させる。そして、レ
ーザ発振器１０を溶接に必要な相対的に大きなパワーで
作動させ、レーザ光を発振させる。レーザ光は、レーザ
光導入管１２を経て、第二の光学系３６の全反射ミラー
３０により反射され、長焦点凹面鏡３２でほぼ平行光に
されて反射し、上記と同様に図示しない加工ヘッドへ向
かい溶接を行う。
動装置４２により取付部材２８を、保持部材３１の上端
部３１ａ側に移動させて位置決めし、レーザ光導入管１
２，１６に第二の光学系３６を接続させる。そして、レ
ーザ発振器１０を溶接に必要な相対的に大きなパワーで
作動させ、レーザ光を発振させる。レーザ光は、レーザ
光導入管１２を経て、第二の光学系３６の全反射ミラー
３０により反射され、長焦点凹面鏡３２でほぼ平行光に
されて反射し、上記と同様に図示しない加工ヘッドへ向
かい溶接を行う。
【００１５】この実施例のレーザ加工装置によれば、相
対的に大きなパワーが必要な溶接の場合、切断加工で用
いる光学系を使用することがなく、円偏光ミラー２０や
長焦点凸レンズ２４のコーティングを損傷したり、長焦
点凸レンズ２４を破損したりすることがない。また、切
断加工の場合は、相対的に小パワーで加工可能なので、
長焦点凸レンズを用いて正確に平行光を形成することが
できる。しかも、第一の光学系２６と第二の光学系３６
の切替は、駆動装置４２により簡単に行うことができ、
さらにガイド部材４０にガイドされ保持部材３１の上下
端で位置決めされるので、各光学系の位置決めも正確に
なされるものである。
対的に大きなパワーが必要な溶接の場合、切断加工で用
いる光学系を使用することがなく、円偏光ミラー２０や
長焦点凸レンズ２４のコーティングを損傷したり、長焦
点凸レンズ２４を破損したりすることがない。また、切
断加工の場合は、相対的に小パワーで加工可能なので、
長焦点凸レンズを用いて正確に平行光を形成することが
できる。しかも、第一の光学系２６と第二の光学系３６
の切替は、駆動装置４２により簡単に行うことができ、
さらにガイド部材４０にガイドされ保持部材３１の上下
端で位置決めされるので、各光学系の位置決めも正確に
なされるものである。
【００１６】なお、この発明の第一の光学系は円偏光ミ
ラーとし、第二の光学系を全反射ミラーとして、この各
ミラーのみを切り替えるようにしたものでも良く、この
場合、長焦点凸レンズは設けず長焦点凹面鏡を共用する
ものである。又、選択手段は、保持部材に沿って第一，
第二の光学系が移動するものの他、第一，第二の光学系
を固定にして、入出射光路中に進退ミラーを配置し、こ
のミラーにより光路を変更させ第一の光学系と第二の光
学系とに、レーザ光を選択的に振り向ける様にしたもの
でも良い。
ラーとし、第二の光学系を全反射ミラーとして、この各
ミラーのみを切り替えるようにしたものでも良く、この
場合、長焦点凸レンズは設けず長焦点凹面鏡を共用する
ものである。又、選択手段は、保持部材に沿って第一，
第二の光学系が移動するものの他、第一，第二の光学系
を固定にして、入出射光路中に進退ミラーを配置し、こ
のミラーにより光路を変更させ第一の光学系と第二の光
学系とに、レーザ光を選択的に振り向ける様にしたもの
でも良い。
【００１７】
【発明の効果】この発明によれば、同じレーザ加工装置
で、円偏光ミラーを有した第一の光学系と、全反射ミラ
ーを有した第二の光学系と選択手段により選択的に使用
する様にしたので、相対的に大きな出力の場合に円偏光
ミラーを用いず全反射ミラーに切り替え、円偏光ミラー
のコーティングに損傷を与えない様にすることができ、
装置の寿命を長くすることができるものである。さら
に、上記第一の光学系に円偏光ミラーと長焦点凸レンズ
を設け、上記第二の光学系に全反射ミラーと長焦点凹面
鏡を設けたことにより、相対的に小パワーの場合には長
焦点凸レンズにより、精度の良い平行光を形成すること
ができる。また、上記第一，第二の光学系を等しい光路
の光学系にすることにより、第一，第二の光学系を移動
させて切り替えるだけで、簡単且つ正確に光学系の切替
を行うことができる。
で、円偏光ミラーを有した第一の光学系と、全反射ミラ
ーを有した第二の光学系と選択手段により選択的に使用
する様にしたので、相対的に大きな出力の場合に円偏光
ミラーを用いず全反射ミラーに切り替え、円偏光ミラー
のコーティングに損傷を与えない様にすることができ、
装置の寿命を長くすることができるものである。さら
に、上記第一の光学系に円偏光ミラーと長焦点凸レンズ
を設け、上記第二の光学系に全反射ミラーと長焦点凹面
鏡を設けたことにより、相対的に小パワーの場合には長
焦点凸レンズにより、精度の良い平行光を形成すること
ができる。また、上記第一，第二の光学系を等しい光路
の光学系にすることにより、第一，第二の光学系を移動
させて切り替えるだけで、簡単且つ正確に光学系の切替
を行うことができる。
【図１】この発明のレ−ザ加工装置の一実施例の第一の
光学系を示す横断面図である。
光学系を示す横断面図である。
【図２】この発明の実施例の第二の光学系を示す横断面
図である。
図である。
【図３】この発明の実施例の光学系切替装置の平面図で
ある。
ある。
【図４】この発明の実施例の光学系切替装置の正面図で
ある。
ある。
１０ レーザ発振器 １４ 光学系切替装置 ２０ 円偏光ミラー ２２，３０ 全反射ミラー ２４ 長焦点凸レンズ ２６ 第一の光学系 ３１ 保持部材 ３２ 長焦点凹面鏡 ３６ 第二の光学系 ４０ ガイド部材 ４２ 駆動装置
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成６年１月３１日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１２】 第一の光学系２６は、取付部材２８の上
方に位置し、取付部材２８が保持部材３１に対して相対
的に下方に位置した状態で、レーザ光導入管１２と第一
の光学系２６のレーザ光入射部分の光軸が一致し、これ
とともに、レーザ光導入管１６と第一の光学系２６のレ
ーザ光出射側の光軸も一致するものである。又、第二の
光学系３６は、取付部材２８の下方に位置し、取付部材
２８が保持部材３１に対して相対的に上方に位置した状
態でレーザ光導入管１２と第二の光学系３６のレーザ光
入射部分の光軸が一致し、これとともに、レーザ光導入
管１６と第二の光学系３６のレーザ光出射側の光軸も一
致するものである。また、レーザ光導入管１２には、加
圧され乾燥したクリーンエアをレーザ光の光学系に送る
エア導入孔４４が設けれている。これによって、レーザ
光の光路及び光学系の各部の接続箇所からほこり等が侵
入しない様にし、且つ光学部品の結露を防止している。
方に位置し、取付部材２８が保持部材３１に対して相対
的に下方に位置した状態で、レーザ光導入管１２と第一
の光学系２６のレーザ光入射部分の光軸が一致し、これ
とともに、レーザ光導入管１６と第一の光学系２６のレ
ーザ光出射側の光軸も一致するものである。又、第二の
光学系３６は、取付部材２８の下方に位置し、取付部材
２８が保持部材３１に対して相対的に上方に位置した状
態でレーザ光導入管１２と第二の光学系３６のレーザ光
入射部分の光軸が一致し、これとともに、レーザ光導入
管１６と第二の光学系３６のレーザ光出射側の光軸も一
致するものである。また、レーザ光導入管１２には、加
圧され乾燥したクリーンエアをレーザ光の光学系に送る
エア導入孔４４が設けれている。これによって、レーザ
光の光路及び光学系の各部の接続箇所からほこり等が侵
入しない様にし、且つ光学部品の結露を防止している。
Claims (4)
- 【請求項１】 レーザ発振器から出射したレーザ光の光
路を転向する円偏光ミラーを有した第一の光学系と、同
じく上記レーザ光の光路を転向する全反射ミラーを有し
た第二の光学系とを設け、上記レーザ発振器の出力を相
対的に小さい出力にして使用する場合は上記第一の光学
系を選択し、上記レーザ発振器の出力を相対的に大きい
出力にして使用する場合は上記第二の光学系を選択して
上記レーザ光の光路を切り替える光学系選択手段を設け
たことを特徴とするレーザ加工装置。 - 【請求項２】 上記第一の光学系に円偏光ミラーと長焦
点凸レンズを設け、上記第二の光学系に全反射ミラーと
長焦点凹面鏡を設けたことを特徴とする請求項１記載の
レーザ加工装置。 - 【請求項３】 上記第一の光学系には円偏光ミラーと全
反射ミラーとその間に設けられた長焦点凸レンズとを設
け上記第一，第二の光学系を光路が等しい光学系に形成
し、上記光学系選択手段に、上記第一の光学系と第二の
光学系とを移動可能に保持した保持部材と、上記第一の
光学系と第二の光学系とを上記保持部材に沿って移動さ
せる駆動装置とを設けたことを特徴とする請求項２記載
のレーザ加工装置。 - 【請求項４】 上記光学系選択手段の保持部材にガイド
部材を設け、上記第一，第二の光学系がこのガイド部材
に沿って摺動し、上記保持部材の上下端部で位置決めさ
れることを特徴とする請求項３記載のレーザ加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4316003A JPH06269972A (ja) | 1992-10-31 | 1992-10-31 | レ−ザ加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4316003A JPH06269972A (ja) | 1992-10-31 | 1992-10-31 | レ−ザ加工装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06269972A true JPH06269972A (ja) | 1994-09-27 |
Family
ID=18072162
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4316003A Pending JPH06269972A (ja) | 1992-10-31 | 1992-10-31 | レ−ザ加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06269972A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006043775A (ja) * | 2004-08-06 | 2006-02-16 | Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh & Co Kg | レーザ加工ヘッド |
-
1992
- 1992-10-31 JP JP4316003A patent/JPH06269972A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006043775A (ja) * | 2004-08-06 | 2006-02-16 | Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh & Co Kg | レーザ加工ヘッド |
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