JPH06267018A - Core for magnetic head and its manufacture - Google Patents

Core for magnetic head and its manufacture

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Publication number
JPH06267018A
JPH06267018A JP8142093A JP8142093A JPH06267018A JP H06267018 A JPH06267018 A JP H06267018A JP 8142093 A JP8142093 A JP 8142093A JP 8142093 A JP8142093 A JP 8142093A JP H06267018 A JPH06267018 A JP H06267018A
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JP
Japan
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ferrite
butt
magnetic path
core
magnetic
Prior art date
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Pending
Application number
JP8142093A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Fuminori Takeya
文則 竹矢
Tomio Suzuki
富雄 鈴木
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NGK Insulators Ltd
Original Assignee
NGK Insulators Ltd
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Filing date
Publication date
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Priority to JP8142093A priority Critical patent/JPH06267018A/en
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  • Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
  • Magnetic Heads (AREA)

Abstract

PURPOSE:To obtain the core for a magnetic head in a new structure which can attain low-impedance characteristics while sufficiently maintaining core strength. CONSTITUTION:In a core 42 for a magnetic head where an annular closed magnetic circuit is formed by performing butt welding of first and second ferrite members in one piece, a reinforcing glass member 22 is provided at the butt- welded part of at least one side of the first and second ferrite members. At the same time, a track part 28 which is formed at the butt-welded part and a connection magnetic circuit 30 with a specific length reaching the track part 28 are constituted in a plate-shaped status with a specific length protruding on the glass member 22 and the reinforcing glass member 22 is exposed to the side of a slide surface 24 at both sides of the track part 28 and the connection magnetic circuit 30.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【技術分野】本発明は、磁気ヘッド用コアおよびその製
造方法に係り、特にインダクタンスが低減されて、磁気
記録媒体の高記録密度化に有利に対処することのできる
新規な構造の磁気ヘッド用コアとその製造方法に関する
ものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic head core and a method of manufacturing the same, and more particularly, to a magnetic head core having a novel structure in which inductance is reduced and which can advantageously cope with high recording density of a magnetic recording medium. And its manufacturing method.

【0002】[0002]

【背景技術】近年、フロッピーディスクや磁気ディス
ク、磁気テープなどの磁気記録媒体における高記録密度
化の要求が大きく、特に、固定磁気ディスク装置では、
磁気記録媒体における線密度の増大により、小型化、大
容量化、高速化を実現しようとする技術の研究、開発が
活発である。
BACKGROUND ART In recent years, there has been a great demand for higher recording density in magnetic recording media such as floppy disks, magnetic disks, and magnetic tapes.
Due to the increase in linear density in magnetic recording media, research and development of technologies for realizing miniaturization, large capacity, and high speed have been actively conducted.

【0003】ところで、従来から、RDDやHDD,F
DD等に用いられる磁気ヘッドとしては、第一及び第二
のフェライト部材を一体的に突合せ接合して、外周面の
一部が磁気記録媒体の摺動面を構成する環状の閉磁路を
形成すると共に、それらの突合せ接合部分に磁気ギャッ
プを有するトラック部を形成してなる磁気ヘッド用コア
を用い、該磁気ヘッド用コアに対して、巻線コイルを装
着せしめてなる構造のものが用いられてきている。
By the way, conventionally, RDD, HDD, F
As a magnetic head used for a DD or the like, first and second ferrite members are integrally butt-joined to each other to form an annular closed magnetic path whose outer peripheral surface partially constitutes a sliding surface of a magnetic recording medium. At the same time, a magnetic head core having a track portion having a magnetic gap formed at their butt joints is used, and a winding coil is attached to the magnetic head core. ing.

【0004】しかしながら、このようにフェライト部材
によって磁路を形成してなる磁気ヘッド用コアにあって
は、インダクタンスを小さくすることが難しいために、
共振周波数による制約から高周波の信号を使用すること
ができず、磁気記録媒体の高記録密度化への対処が困難
であるという問題を有していたのである。
However, in the magnetic head core having the magnetic path formed by the ferrite member as described above, it is difficult to reduce the inductance, and
There is a problem that a high frequency signal cannot be used due to the restriction due to the resonance frequency, and it is difficult to cope with the high recording density of the magnetic recording medium.

【0005】すなわち、磁気ヘッド用コアにおけるイン
ダクタンスを小さくするには、磁路を形成するフェライ
ト部材の断面積を小さくすることが有効であることは、
本願出願人が特願平2−81386号(特開平3−28
3008号公報)において明らかにしたところである
が、フェライト材が脆弱であることに加えて、コイルの
巻線乃至は装着の際のコア強度の確保が必要であること
などから、フェライト部材の断面積を十分に小さくする
ことが難しかったのであり、それ故、従来の技術では、
未だ、低インダクタンス特性が十分に達成され得なかっ
たのである。
That is, in order to reduce the inductance in the magnetic head core, it is effective to reduce the cross-sectional area of the ferrite member forming the magnetic path.
The applicant of the present application filed Japanese Patent Application No. 2-81386 (Japanese Patent Application Laid-Open No. 3-28).
However, in addition to the fragility of the ferrite material, it is necessary to secure the core strength when winding or mounting the coil. Was difficult to make sufficiently small, and therefore, in the conventional technology,
The low-inductance characteristics have not yet been fully achieved.

【0006】[0006]

【解決課題】ここにおいて、本発明は、上述の如き事情
を背景として為されたものであり、その解決課題とする
ところは、コア強度を十分に確保しつつ、低インダクタ
ンス特性を達成することのできる、新規な構造の磁気ヘ
ッド用コアとその有利な製造方法を提供することにあ
る。
The present invention has been made in view of the circumstances as described above, and the problem to be solved is to achieve a low inductance characteristic while sufficiently securing the core strength. It is an object of the present invention to provide a magnetic head core having a novel structure and an advantageous manufacturing method thereof.

【0007】[0007]

【解決手段】そして、かかる課題を解決するために、本
発明にあっては、第一及び第二のフェライト部材を一体
的に突合せ接合して、外周面の一部が磁気記録媒体の摺
動面を構成する環状の閉磁路を形成すると共に、それら
第一及び第二のフェライト部材の前記摺動面側の突合せ
接合部分に磁気ギャップを有するトラック部を形成して
なる磁気ヘッド用コアにおいて、前記第一及び第二のフ
ェライト部材の接合部分における少なくとも一方のフェ
ライト部材側に補強ガラス部材を配設すると共に、それ
ら第一のフェライト部材および第二のフェライト部材の
少なくとも一方の側に形成された前記トラック部および
該トラック部に至る所定長さの接続磁路を、かかる補強
ガラス部材上に突出する所定厚さの板状形態をもって構
成し、且つそれらトラック部および接続磁路の幅方向両
側において、該補強ガラス部材を前記摺動面側に露呈せ
しめてなる磁気ヘッド用コアを、その特徴とするもので
ある。
In order to solve such a problem, in the present invention, first and second ferrite members are integrally butt-joined to each other, and a part of the outer peripheral surface slides on a magnetic recording medium. In a core for a magnetic head, which forms an annular closed magnetic path that forms a surface, and forms a track portion having a magnetic gap at the butt joint portion on the sliding surface side of the first and second ferrite members, A reinforcing glass member is disposed on at least one ferrite member side in the joint portion of the first and second ferrite members, and is formed on at least one side of the first ferrite member and the second ferrite member. The track portion and the connecting magnetic path of a predetermined length leading to the track portion are formed by a plate-like shape having a predetermined thickness protruding above the reinforcing glass member, and In the width direction on both sides of the rack portion and the connecting magnetic path, the magnetic head core comprising brought revealing reinforcing glass member on the sliding surface side, it is to its features.

【0008】また、本発明は、(a)互いに突合せ接合
されることにより、外周面の一部が磁気記録媒体の摺動
面を構成する環状の閉磁路を形成する、かかる摺動面側
で突合せ接合される少なくとも一方の側の接合部分が所
定長さに亘って薄肉板状とされた第一のフェライトブロ
ックおよび第二のフェライトブロックを準備する工程
と、(b)それら第一のフェライトブロックと第二のフ
ェライトブロックを突合せ接合してギャップバーを作成
すると共に、前記薄肉板状とされた突合せ接合部分の内
側に、該第一のフェライトブロックと該第二のフェライ
トブロックを接合する補強ガラスを形成する工程と、
(c)該ギャップバーの摺動面にエッチングを施し、前
記第一のフェライトブロックと前記第二のフェライトブ
ロックとの突合せ接合部位において、磁気ギャップを有
するトラック部と該トラック部に至る所定長さの接続磁
路を形成することにより、前記第一のフェライトブロッ
クおよび前記第二のフェライトブロックの少なくとも一
方の側における該トラック部および該接続磁路を、前記
薄肉板状とされた突合せ接合部分によって、前記補強ガ
ラス上に突出する所定厚さの板状形態をもって構成し、
且つそれらトラック部および接続磁路の幅方向両側にお
いて、該補強ガラスを前記摺動面に露出せしめる工程
と、(d)該エッチング操作が施されたギャップバーか
ら、それぞれ前記トラック部および接続磁路を備えた最
終形状の磁気ヘッド用コアを切り出す工程とを、含む磁
気ヘッド用コアの製造方法をも、その特徴とするもので
ある。
Further, according to the present invention, (a) by butt-joining each other, a part of the outer peripheral surface forms an annular closed magnetic path forming a sliding surface of the magnetic recording medium. A step of preparing a first ferrite block and a second ferrite block in which at least one joint portion to be butt-joined is formed into a thin plate shape over a predetermined length, and (b) the first ferrite block And a second ferrite block are butt-joined to each other to form a gap bar, and a reinforcing glass for joining the first ferrite block and the second ferrite block to the inside of the butt-joint portion formed into the thin plate shape. A step of forming
(C) A sliding surface of the gap bar is etched so that a track portion having a magnetic gap and a predetermined length up to the track portion are formed at a butt joint portion between the first ferrite block and the second ferrite block. By forming the connection magnetic path of the above, the track portion and the connection magnetic path on at least one side of the first ferrite block and the second ferrite block are formed by the butt joint portion formed into the thin plate shape. , Having a plate-like shape with a predetermined thickness protruding above the reinforced glass,
In addition, on both sides in the width direction of the track portion and the connecting magnetic path, the step of exposing the reinforcing glass to the sliding surface, and (d) from the gap bar subjected to the etching operation, the track portion and the connecting magnetic path, respectively. A method of manufacturing a magnetic head core including a step of cutting out a magnetic head core having a final shape having the above is also a feature thereof.

【0009】[0009]

【作用・効果】すなわち、本発明に従う構造とされた磁
気ヘッド用コアにおいては、摺動面側における第一のフ
ェライト部材と第二のフェライト部材との突合せ接合部
分の部材強度が、実質的に、補強ガラス部材によって発
揮されることとなるところから、かかる突合せ接合部分
における磁路を、該補強ガラス部材上において、十分に
薄肉化することができるのであり、しかも、かかる磁路
の両側にガラス部材が露呈されて、その幅方向寸法が小
さくされていることから、該磁路の断面積の減少が、極
めて有効に達成され得るのである。
In other words, in the magnetic head core having the structure according to the present invention, the member strength of the butt joint between the first ferrite member and the second ferrite member on the sliding surface side is substantially Since the magnetic path at the butt-jointed portion can be sufficiently thinned on the reinforcing glass member since it is to be exhibited by the reinforcing glass member, glass on both sides of the magnetic path can be formed. Since the member is exposed and the widthwise dimension thereof is reduced, the reduction of the cross-sectional area of the magnetic path can be achieved very effectively.

【0010】そして、それ故、本発明に係る磁気ヘッド
用コアにあっては、コア強度を十分に確保しつつ、イン
ダクタンスを低減することが可能となるのであり、それ
によって、磁気記録媒体の高記録密度化にも、容易に対
処することができるのである。
Therefore, in the magnetic head core according to the present invention, it is possible to sufficiently reduce the inductance while ensuring the sufficient core strength, thereby increasing the height of the magnetic recording medium. It is possible to easily cope with the increase in recording density.

【0011】また、本発明方法に従えば、上述の如き、
コア強度と低インダクタンス特性の両立が高度に達成さ
れ得る磁気ヘッド用コアを、有利に製作することができ
ることは勿論、それに加えて、ギャップバーに対するエ
ッチング操作により、トラック部および接続磁路が形成
されることから、それらトラック部および接続磁路の形
状を高精度に決定することができると共に、平面形状の
設計変更が容易であり、磁路断面積の変更によるインダ
クタンスのチューニングを容易に行なうことができると
いう効果も奏され得るのである。
According to the method of the present invention, as described above,
It is of course possible to advantageously manufacture a core for a magnetic head which can achieve a high degree of both core strength and low inductance characteristics, and in addition to that, a track portion and a connecting magnetic path are formed by an etching operation on a gap bar. Therefore, the shapes of the track portion and the connecting magnetic path can be determined with high precision, the design of the planar shape can be easily changed, and the inductance can be easily tuned by changing the magnetic path cross-sectional area. The effect of being able to do it can also be exhibited.

【0012】[0012]

【実施例】以下、本発明を更に具体的に明らかにするた
めに、本発明の実施例について、図面を参照しつつ、詳
細に説明することとする。なお、本実施例では、図6に
示されている如き、RDD用磁気ヘッドに用いられるモ
ノリシック型コアスライダに対して、本発明を適用した
ものの一具体例について、説明する。
The embodiments of the present invention will now be described in detail with reference to the drawings in order to clarify the present invention more specifically. In this embodiment, a specific example of the present invention applied to a monolithic core slider used in a magnetic head for RDD as shown in FIG. 6 will be described.

【0013】先ず、目的とする磁気ヘッド用コアスライ
ダを得るに際しては、従来と同様、スライダ本体を与え
る第一のフェライトブロック10と、ヨーク部を与える
第二のフェライトブロック12とが、準備される。な
お、これら第一及び第二のフェライトブロック10,1
2は、複数のコアスライダを切り出し得る大きさとされ
ている。また、これら第一及び第二のフェライトブロッ
ク10,12は、従来から公知の透磁率の高いフェライ
ト材料、例えばMn−ZnフェライトやNi−Znフェ
ライトの単結晶材等によって形成されたものが、好適に
用いられる。
First, when obtaining a target magnetic head core slider, a first ferrite block 10 for providing a slider body and a second ferrite block 12 for providing a yoke portion are prepared as in the conventional case. . Incidentally, these first and second ferrite blocks 10, 1
2 has a size capable of cutting out a plurality of core sliders. The first and second ferrite blocks 10 and 12 are preferably made of a conventionally known ferrite material having a high magnetic permeability, for example, a single crystal material such as Mn-Zn ferrite or Ni-Zn ferrite. Used for.

【0014】そして、これら第一及び第二のフェライト
ブロック10,12における突合せ面には、それぞれ、
従来と同様な機械加工による溝加工が施されて、コイル
巻線溝14,16が、形成される。
The abutting surfaces of the first and second ferrite blocks 10 and 12 are respectively
Grooves are machined in the same manner as in the prior art to form the coil winding grooves 14 and 16.

【0015】また、第二のフェライトブロック12に
は、磁気記録媒体の摺動面を構成する側(図中、上面
側)における第一のフェライトブロック10に対する突
合せ部分に対して、更に溝加工が施されて、突合せ溝1
7が、形成される。即ち、この突合せ溝17によって、
かかる突合せ部分が、所定長さ:Lに亘って薄肉化され
た平板形状の突合せ板部18とされる。
Further, the second ferrite block 12 is further grooved in the abutting portion with respect to the first ferrite block 10 on the side constituting the sliding surface of the magnetic recording medium (upper surface side in the figure). Made, butt groove 1
7 are formed. That is, by this butt groove 17,
The abutting portion is a flat plate-shaped abutting plate portion 18 thinned over a predetermined length L.

【0016】なお、第一のフェライトブロック10に
は、磁気記録媒体の摺動面を構成する側における第二の
フェライトブロック12に対する突合せ面に対して、更
にテーパ加工が施され、以て、上記第二のフェライトブ
ロック12の突合せ板部18に対する突合せ部分が、薄
肉化される。
The first ferrite block 10 is further tapered on the abutting surface for the second ferrite block 12 on the side constituting the sliding surface of the magnetic recording medium. The butted portion of the second ferrite block 12 with respect to the butted plate portion 18 is thinned.

【0017】次いで、これら第一及び第二のフェライト
ブロック10,12は、従来の手法に従い、各々の突合
せ面が研磨されると共に、それら第一及び第二のフェラ
イトブロック10,12のうちの何れか一方の研磨面上
に、SiO2 やAl2 3 等の非磁性材料からなるギャ
ップスペーサが、スパッタ等により、目的とするコアス
ライダにおけるギャップ長に相当する厚さで形成され
る。そして、更に、第一及び第二のフェライトブロック
10,12の突合せ面の少なくとも何れか一方に接合用
のガラスが付与された後、それらが突き合わされ、かか
る接合用ガラスが加熱・溶融せしめられることにより、
接合される。これによって、図2に示されている如き、
ギャップバー20が、形成される。
Then, each of the first and second ferrite blocks 10 and 12 has its abutting surface polished according to a conventional method, and at least one of the first and second ferrite blocks 10 and 12 is polished. A gap spacer made of a non-magnetic material such as SiO 2 or Al 2 O 3 is formed on one of the polished surfaces by sputtering or the like with a thickness corresponding to the gap length of the target core slider. Further, after glass for bonding is applied to at least one of the abutting surfaces of the first and second ferrite blocks 10 and 12, they are butted and the glass for bonding is heated and melted. Due to
To be joined. This results in, as shown in FIG.
A gap bar 20 is formed.

【0018】また、かかるギャップバー20には、第一
及び第二のフェライトブロック10,12の接合と同時
に、或いは接合後に、第一のフェライトブロック10の
突合せ板部18の内側部分に対して、ガラスが溶融充填
される。それによって、図2に示されているように、突
合せ板部18の内側において、第一のフェライトブロッ
ク10と第二のフェライトブロック12との接合部間に
跨がって位置し、それらを接続せしめる補強ガラス22
が、突合せ溝17を略充填し得るだけの肉厚をもって形
成される。
Further, the gap bar 20 is provided with respect to the inner portion of the butting plate portion 18 of the first ferrite block 10 at the same time as or after the first and second ferrite blocks 10 and 12 are joined. The glass is melt filled. As a result, as shown in FIG. 2, the inner side of the butt plate portion 18 is located across the joint portion between the first ferrite block 10 and the second ferrite block 12, and they are connected to each other. Reinforced glass 22
However, it is formed with a thickness sufficient to substantially fill the butt groove 17.

【0019】なお、この補強ガラス22を、第一及び第
二のフェライトブロック10,12の接合後に形成する
場合には、それら第一及び第二のフェライトブロック1
0,12の接合用ガラスよりも軟化温度の低いガラス
を、用いることが望ましい。また、かかる補強ガラス2
2は、第一及び第二のフェライトブロック10,12の
接合前に、一方或いは両方のフェライトブロック10,
12の接合部に流し込んでおき、それを溶かして使用す
るようにしても良い。
When the reinforcing glass 22 is formed after joining the first and second ferrite blocks 10 and 12, the first and second ferrite blocks 1 are formed.
It is desirable to use glass having a softening temperature lower than that of the bonding glass of 0 and 12. Also, such a reinforcing glass 2
2 is one or both of the ferrite blocks 10 and 12 before joining the first and second ferrite blocks 10 and 12.
It may be poured into the joint portion 12 and melted before use.

【0020】その後、かくの如く形成されたギャップバ
ー20には、その磁気記録媒体に対する摺動面24に対
して、図6に示されている如き目的とするコアスライダ
を得るために、空気ベアリング部26,トラック部28
および接続磁路30(図6参照)が、形成される。これ
ら空気ベアリング部26等の形成加工は、機械加工等に
よることも可能ではあるが、有利には、所定のマスク材
を用いた化学エッチング手法、或いはレーザ誘起エッチ
ング手法にて、行なわれる。
After that, the gap bar 20 thus formed has an air bearing for the sliding surface 24 for the magnetic recording medium in order to obtain a desired core slider as shown in FIG. Section 26, track section 28
And the connection magnetic path 30 (see FIG. 6) is formed. The air bearing portion 26 and the like can be formed by machining, but it is preferably performed by a chemical etching method using a predetermined mask material or a laser induced etching method.

【0021】すなわち、例えば、かかる空気ベアリング
部26等を、フォトレジストを用いたマスク形成と化学
エッチング手法にて形成する場合には、先ず、ギャップ
バー20の摺動面24に対して鏡面研磨が施され、更に
該鏡面の加工歪みが除去される。なお、かかる研磨加工
により、第二のフェライトブロック12の突合せ板部1
8の厚さが決定されることとなるが、かかる突合せ板部
18は、後述の如く、トラック部28および接続磁路3
0を形成するものであって、その厚さは、目的とするコ
アスライダに要求される磁気特性等に応じて決定される
が、通常、10〜30μmの厚さとなるようにされる。
That is, for example, when the air bearing portion 26 and the like are formed by mask formation using a photoresist and a chemical etching method, first, the sliding surface 24 of the gap bar 20 is mirror-polished. Then, the processing distortion of the mirror surface is removed. By the polishing process, the butt plate portion 1 of the second ferrite block 12 is
Although the thickness of the butt plate 8 is determined, the butt plate portion 18 has the track portion 28 and the connecting magnetic path 3 as described later.
0 is formed, and its thickness is determined according to the magnetic characteristics and the like required for the intended core slider, but it is usually 10 to 30 μm.

【0022】次いで、図3に示されているように、かか
る摺動面24上にフォトレジストがパタニングされるこ
とにより、目的とするトラック部28を与えるフォトレ
ジストパターン34が第一及び第二のフェライトブロッ
ク10,12間に跨がって形成されると共に、該トラッ
ク部28を与えるフォトレジストパターン34に連続す
るようにして、空気ベアリング部26を与えるフォトレ
ジストパターン36および接続磁路30を与えるフォト
レジストパターン38が、第一のフェライトブロック1
0側および第二のフェライトブロック12側に、それぞ
れ形成される。
Next, as shown in FIG. 3, the photoresist is patterned on the sliding surface 24, so that the photoresist pattern 34 for providing the target track portion 28 is formed into the first and second photoresist patterns 34. A photoresist pattern 36 for providing the air bearing portion 26 and a connecting magnetic path 30 are formed so as to extend over the ferrite blocks 10 and 12 and to be continuous with the photoresist pattern 34 for providing the track portion 28. The photoresist pattern 38 is the first ferrite block 1
They are formed on the 0 side and the second ferrite block 12 side, respectively.

【0023】なお、接続磁路30を与えるレジストパタ
ーン38は、突合せ板部18の長さ:Lよりも、所定寸
法長く設定される。また、本実施例では、かかる接続磁
路30を与えるフォトレジストパターン38は、突合せ
板部18上において、トラック部28を与えるフォトレ
ジストパターン34側に向って漸次狭幅化する三角平面
形状をもって、形成される。
The resist pattern 38 that provides the connection magnetic path 30 is set to have a predetermined dimension longer than the length L of the abutting plate portion 18. Further, in this embodiment, the photoresist pattern 38 that provides the connection magnetic path 30 has a triangular planar shape that gradually narrows toward the photoresist pattern 34 side that provides the track portion 28 on the butt plate portion 18, It is formed.

【0024】次いで、かくの如きフォトレジストパター
ンが付与されたギャップバー20の摺動面24に対し
て、リン酸主体水溶液中において化学エッチング処理が
施されることにより、図4及び図5に示されている如
く、かかる摺動面24上に、磁気ギャップ40を有する
トラック部28,空気ベアリング部26および接続磁路
30が、それぞれ、突出形態をもって形成される。
Next, the sliding surface 24 of the gap bar 20 provided with the photoresist pattern as described above is subjected to a chemical etching treatment in a phosphoric acid-based aqueous solution, so as shown in FIGS. As described above, the track portion 28 having the magnetic gap 40, the air bearing portion 26, and the connecting magnetic path 30 are each formed on the sliding surface 24 in a protruding form.

【0025】そこにおいて、かかるエッチング処理は、
第二のフェライトブロック12の突合せ板部18が、フ
ォトレジストパターンが形成されていない部位において
除去され、かかる部位において補強ガラス22が、摺動
面24側に露出せしめられるだけのエッチング量をもっ
て、実施される。即ち、それによって、摺動面24側に
おける第二のフェライトブロック12の第一のフェライ
トブロック10に対する接合部位においては、トラック
部28および接続磁路30のみによって、磁気回路が構
成されるのである。
Here, the etching process is
The abutting plate portion 18 of the second ferrite block 12 is removed at a portion where the photoresist pattern is not formed, and the reinforcing glass 22 is etched at such a portion with an etching amount that is exposed to the sliding surface 24 side. To be done. That is, as a result, a magnetic circuit is constituted only by the track portion 28 and the connecting magnetic path 30 at the joining portion of the second ferrite block 12 to the first ferrite block 10 on the sliding surface 24 side.

【0026】また、上述のエッチング処理は、局所的な
エッチングの不均一化を防止し、パターンの精度向上を
図るために、本出願人が、先に、特願平4−10605
1号において開示した如く、ギャップバー20を、その
エッチングされるべき単結晶面を含む面内において、該
単結晶面上の任意の点をランダムな方向に移動せしめる
ように揺動させる一方、かかる単結晶面の上方に配置し
た攪拌手段によって燐酸主体水溶液を攪拌することによ
って行なうことが、望ましい。
Further, the above-mentioned etching treatment was previously conducted by the present applicant in order to prevent local non-uniformity of etching and improve the accuracy of the pattern.
As disclosed in No. 1, while the gap bar 20 is swung so as to move an arbitrary point on the single crystal plane in a random direction in a plane including the single crystal plane to be etched, It is desirable to stir the phosphoric acid-based aqueous solution by stirrer arranged above the single crystal plane.

【0027】そして、フォトレジストが剥離された後、
上記ギャップバー20が切断されることにより、図6に
示されている如き、スライダ本体44とヨーク部46と
によって環状の磁気回路が形成されて成る、目的とする
モノリシック型コアスライダ42が、完成されるのであ
る。
Then, after the photoresist is removed,
By cutting the gap bar 20, the intended monolithic core slider 42 is completed, as shown in FIG. 6, in which an annular magnetic circuit is formed by the slider body 44 and the yoke portion 46. Is done.

【0028】すなわち、このようにして得られたコアス
ライダ42は、図4及び図5に示されるように、摺動面
24側における第二のフェライトブロック12の第一の
フェライトブロック10に対する接合部分が、部材強度
上は補強ガラス22によって構成されており、この補強
ガラス22によって、かかる接合部分の強度が発揮され
るのである。
That is, in the core slider 42 thus obtained, as shown in FIGS. 4 and 5, the joining portion of the second ferrite block 12 to the first ferrite block 10 on the sliding surface 24 side. However, in terms of member strength, the reinforcing glass 22 is used, and the reinforcing glass 22 exerts the strength of the joint portion.

【0029】そして、第二のフェライトブロック12の
第一のフェライトブロック10に対する接合部分の磁路
を、かかる補強ガラス22上に載置された薄板構造の接
続磁路30によって形成すると共に、該接続磁路30の
幅方向両側において補強ガラス22を露呈せしめたこと
により、かかる接合部分における磁路の断面積が、所定
長さ:Lに亘って、極めて小さく設定され得るのであ
る。
Then, the magnetic path of the joint portion of the second ferrite block 12 to the first ferrite block 10 is formed by the thin plate-structured connecting magnetic path 30 placed on the reinforcing glass 22, and the connection is made. By exposing the reinforcing glass 22 on both sides of the magnetic path 30 in the width direction, the cross-sectional area of the magnetic path in the joint portion can be set to be extremely small over a predetermined length: L.

【0030】従って、かくの如きコアスライダ42にお
いては、コア強度を十分に確保しつつ、インダクタンス
を低減することが可能であり、それによって、磁気記録
媒体の高記録密度化にも、容易に対処することができる
のである。
Therefore, in such a core slider 42 as described above, it is possible to reduce the inductance while sufficiently securing the core strength, and thereby easily deal with the high recording density of the magnetic recording medium. You can do it.

【0031】また、上述の如き製造手法に従えば、第一
及び第二のフェライトブロック10,12の接合後、ギ
ャップバー20に対するエッチング操作により、接続磁
路30が形成されることから、該接続磁路30を、優れ
た寸法精度をもって形成することができると共に、その
平面形状の変更が容易であり、磁路断面積の変更による
インダクタンスのチューニングを容易に行なうことがで
きるという効果も、発揮され得るのである。
Further, according to the manufacturing method as described above, since the connection magnetic path 30 is formed by the etching operation on the gap bar 20 after the first and second ferrite blocks 10 and 12 are joined, the connection magnetic path 30 is formed. The magnetic path 30 can be formed with excellent dimensional accuracy, its planar shape can be easily changed, and the effect of easily tuning the inductance by changing the magnetic path cross-sectional area is also exhibited. To get.

【0032】以上、本発明の実施例について詳述してき
たが、これは文字通りの例示であって、本発明は、かか
る具体例にのみ限定して解釈されるものではない。
The embodiments of the present invention have been described in detail above, but these are literal examples, and the present invention should not be construed as being limited to such specific examples.

【0033】例えば、第二のフェライトブロック12に
おける突合せ板部18の長さ:Lや厚さ、更に接続磁路
30の平面形状は、目的とするコアスライダに要求され
る特性等に応じて、適宜、設定されるべきものであり、
限定されるものではない。
For example, the length L of the butt plate portion 18 in the second ferrite block 12 and the thickness thereof, and the planar shape of the connecting magnetic path 30 depend on the desired characteristics of the core slider and the like. Should be set appropriately,
It is not limited.

【0034】さらに、前記実施例では、第二のフェライ
トブロック12側においてのみ、トラック部28および
接続磁路30が、補強ガラス22上に突出する形態をも
って形成された薄肉板状構造とされていたが、それに加
えて、或いはそれに代えて、そのような薄肉板状構造の
トラック部および接続磁路を、第一のフェライトブロッ
ク10側に形成することも、勿論可能であり、それによ
っても、前記実施例と同様な効果が有効に達成され得る
ものである。
Furthermore, in the above-described embodiment, the track portion 28 and the connecting magnetic path 30 are formed in a thin plate-like structure in which the track portion 28 and the connecting magnetic path 30 are formed so as to project above the reinforcing glass 22 only on the second ferrite block 12 side. However, in addition to or instead of this, it is of course possible to form the track portion and the connecting magnetic path of such a thin plate-like structure on the first ferrite block 10 side, and by doing so, The same effect as that of the embodiment can be effectively achieved.

【0035】因みに、本発明の別の実施例として、トラ
ック部28を第一のフェライトブロック10側において
も薄肉化すると共に、薄肉板状の接続磁路30を第一の
フェライトブロック10側にも形成せしめてなる構造の
磁気ヘッド用コアの具体的構造を、図7及び図8に示
す。なお、本実施例においては、図中、前記第一の実施
例と同様な構造とされた部材および部位に対して、それ
ぞれ、第一の実施例と同一の符号を付することにより、
その詳細な説明は省略することとする。
Incidentally, as another embodiment of the present invention, the track portion 28 is thinned also on the first ferrite block 10 side, and the thin plate-shaped connecting magnetic path 30 is also provided on the first ferrite block 10 side. The specific structure of the magnetic head core having the structure thus formed is shown in FIGS. Incidentally, in the present embodiment, in the figure, for the members and parts having the same structure as the first embodiment, by assigning the same reference numerals as the first embodiment,
Detailed description thereof will be omitted.

【0036】また、本発明は、コンポジット型のコアス
ライダに用いられる磁気ヘッド用コア(コアチップ)に
対しても適用され得るものであり、更に、例示の如きR
DD用ヘッドのためのコアスライダ若しくはコアに留ま
ることなく、VTR用ヘッド、FDD用ヘッド、DAT
用ヘッド等の磁気ヘッドのためのコアにも、適用され得
るものであることは、言うまでもないところである。
The present invention can also be applied to a magnetic head core (core chip) used in a composite type core slider, and further, as shown in FIG.
Cores for DD heads, not limited to core sliders or cores, VTR heads, FDD heads, DAT
It goes without saying that it can also be applied to a core for a magnetic head such as a magnetic head.

【0037】その他、一々列挙はしないが、本発明は、
当業者の知識に基づいて、種々なる変更、修正、改良等
を施した態様において実施され得るものであり、また、
そのような実施態様が、本発明の趣旨を逸脱しない限
り、何れも、本発明の範囲内に含まれるものであること
は、言うまでもないところである。
Although not listed one by one, the present invention is
Based on the knowledge of those skilled in the art, it can be carried out in various modified, modified, and improved modes, and
It goes without saying that all such embodiments are included in the scope of the present invention without departing from the spirit of the present invention.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明に従う磁気ヘッド用コアの製造方法の実
施例を説明するための一工程図である。
FIG. 1 is a process drawing for explaining an embodiment of a method for manufacturing a magnetic head core according to the present invention.

【図2】図1に示された実施例を説明するための別の工
程図である。
FIG. 2 is another process drawing for explaining the embodiment shown in FIG.

【図3】図1に示された実施例を説明するための更に別
の工程図である。
FIG. 3 is still another process drawing for explaining the embodiment shown in FIG.

【図4】本発明に従う構造とされた磁気ヘッド用コアの
一実施例を示す要部拡大平面図である。
FIG. 4 is an enlarged plan view of an essential part showing an embodiment of a magnetic head core having a structure according to the present invention.

【図5】図4におけるV−V断面図である。5 is a sectional view taken along line VV in FIG.

【図6】本発明に従う構造とされた磁気ヘッド用コアの
一実施例を示す斜視図である。
FIG. 6 is a perspective view showing an embodiment of a magnetic head core having a structure according to the present invention.

【図7】本発明の別の実施例としての磁気ヘッド用コア
を示す、図4に対応する平面図である。
7 is a plan view corresponding to FIG. 4, showing a magnetic head core as another embodiment of the present invention.

【図8】図7におけるVIII−VIII断面図である。8 is a sectional view taken along line VIII-VIII in FIG.

【符号の簡単な説明】[Simple explanation of symbols]

10 第一のフェライトブロック 12 第二のフェライトブロック 14,16 コイル巻線溝 17 突合せ溝 18 突合せ板部 20 ギャップバー 22 補強ガラス 24 摺動面 26 空気ベアリング部 28 トラック部 30 接続磁路 40 磁気ギャップ 42 コアスライダ 10 First Ferrite Block 12 Second Ferrite Block 14, 16 Coil Winding Groove 17 Butt Groove 18 Butt Plate 20 Gap Bar 22 Reinforced Glass 24 Sliding Surface 26 Air Bearing 28 Track Part 30 Connection Magnetic Path 40 Magnetic Gap 42 core slider

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 第一及び第二のフェライト部材を一体的
に突合せ接合して、外周面の一部が磁気記録媒体の摺動
面を構成する環状の閉磁路を形成すると共に、それら第
一及び第二のフェライト部材の前記摺動面側の突合せ接
合部分に磁気ギャップを有するトラック部を形成してな
る磁気ヘッド用コアにおいて、 前記第一及び第二のフェライト部材の接合部分における
少なくとも一方のフェライト部材側に補強ガラス部材を
配設すると共に、それら第一のフェライト部材および第
二のフェライト部材の少なくとも一方の側に形成された
前記トラック部および該トラック部に至る所定長さの接
続磁路を、かかる補強ガラス部材上に突出する所定厚さ
の板状形態をもって構成し、且つそれらトラック部およ
び接続磁路の幅方向両側において、該補強ガラス部材を
前記摺動面側に露呈せしめたことを特徴とする磁気ヘッ
ド用コア。
1. A first and a second ferrite member are integrally butt-joined to each other to form an annular closed magnetic path, a part of the outer peripheral surface of which constitutes a sliding surface of a magnetic recording medium. And a magnetic head core having a track portion having a magnetic gap formed at the butt joint portion on the sliding surface side of the second ferrite member, at least one of the joint portions of the first and second ferrite members A reinforcing glass member is arranged on the ferrite member side, and the track portion formed on at least one side of the first ferrite member and the second ferrite member and a connecting magnetic path of a predetermined length leading to the track portion. Is formed into a plate-like shape having a predetermined thickness protruding above the reinforcing glass member, and the reinforcing portions are provided on both sides in the width direction of the track portion and the connecting magnetic path. Core for a magnetic head, characterized in that the lath member was allowed exposed on the sliding surface side.
【請求項2】 互いに突合せ接合されることにより、外
周面の一部が磁気記録媒体の摺動面を構成する環状の閉
磁路を形成する、かかる摺動面側で突合せ接合される少
なくとも一方の側の接合部分が所定長さに亘って薄肉板
状とされた第一のフェライトブロックおよび第二のフェ
ライトブロックを準備する工程と、 それら第一のフェライトブロックと第二のフェライトブ
ロックを突合せ接合してギャップバーを作成すると共
に、前記薄肉板状とされた突合せ接合部分の内側に、該
第一のフェライトブロックと該第二のフェライトブロッ
クを接合する補強ガラスを形成する工程と、 該ギャップバーの摺動面にエッチングを施し、前記第一
のフェライトブロックと前記第二のフェライトブロック
との突合せ接合部位において、磁気ギャップを有するト
ラック部と該トラック部に至る所定長さの接続磁路を形
成することにより、前記第一のフェライトブロックおよ
び前記第二のフェライトブロックの少なくとも一方の側
における該トラック部および該接続磁路を、前記薄肉板
状とされた突合せ接合部分によって、前記補強ガラス上
に突出する所定厚さの板状形態をもって構成し、且つそ
れらトラック部および接続磁路の幅方向両側において、
該補強ガラスを前記摺動面に露出せしめる工程と、 該エッチング操作が施されたギャップバーから、それぞ
れ前記トラック部および接続磁路を備えた最終形状の磁
気ヘッド用コアを切り出す工程とを、含むことを特徴と
する磁気ヘッド用コアの製造方法。
2. At least one of the butt-joined parts on the sliding surface side forms a ring-shaped closed magnetic path forming a sliding surface of the magnetic recording medium by butt-joining each other. The step of preparing the first ferrite block and the second ferrite block in which the joint portion on the side has a thin plate shape over a predetermined length, and butt-joining the first ferrite block and the second ferrite block. A gap bar is formed with the step of forming a reinforcing glass for joining the first ferrite block and the second ferrite block inside the thin plate-shaped butt joint portion, and Etching the sliding surface to have a magnetic gap at the butt joint between the first ferrite block and the second ferrite block. By forming a track portion and a connecting magnetic path having a predetermined length to reach the track portion, the track portion and the connecting magnetic path on at least one side of the first ferrite block and the second ferrite block, The thin-plate-shaped butt-joint portion is configured to have a plate-like shape with a predetermined thickness protruding above the reinforcing glass, and on both sides in the width direction of the track portion and the connecting magnetic path,
And a step of exposing the reinforcing glass to the sliding surface, and a step of cutting a final-shaped magnetic head core having the track portion and the connecting magnetic path from the gap bar subjected to the etching operation. A method of manufacturing a core for a magnetic head, comprising:
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