JPH06265424A - 半導体圧力変換器の補償装置 - Google Patents
半導体圧力変換器の補償装置Info
- Publication number
- JPH06265424A JPH06265424A JP5342593A JP5342593A JPH06265424A JP H06265424 A JPH06265424 A JP H06265424A JP 5342593 A JP5342593 A JP 5342593A JP 5342593 A JP5342593 A JP 5342593A JP H06265424 A JPH06265424 A JP H06265424A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- data
- pressure
- temperature
- converter
- compensating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 低価格で量産性に優れ高精度な半導体圧力変
換器の補償装置を提供する。 【構成】 被測定圧力に応じて変化する半導体圧力変換
器１からのアナログ信号が第１のＡ／Ｄコンバータ１０
により順次デジタルの未補償圧力データＰＤに変換され
るとともに、感温素子３から出力される被測定温度に応
じて変化するアナログ信号が第２のＡ／Ｄコンバータ１
１によって順次デジタルの未補償温度データＴＤに変換
され、これらのデータが演算装置１２に供給されると、
記憶装置１３に記憶された動作圧力範囲および温度範囲
内の少なくとも２以上の基準温度における補償用温度デ
ータと各基準温度において２以上の基準圧力における補
償用圧力データを記憶装置１３から演算装置１２が読み
出し、この読み出されたデータから補間法により補償済
圧力データＬＰＤを求めるので、記憶装置１３の記憶容
量を最小限にすることができる。
換器の補償装置を提供する。 【構成】 被測定圧力に応じて変化する半導体圧力変換
器１からのアナログ信号が第１のＡ／Ｄコンバータ１０
により順次デジタルの未補償圧力データＰＤに変換され
るとともに、感温素子３から出力される被測定温度に応
じて変化するアナログ信号が第２のＡ／Ｄコンバータ１
１によって順次デジタルの未補償温度データＴＤに変換
され、これらのデータが演算装置１２に供給されると、
記憶装置１３に記憶された動作圧力範囲および温度範囲
内の少なくとも２以上の基準温度における補償用温度デ
ータと各基準温度において２以上の基準圧力における補
償用圧力データを記憶装置１３から演算装置１２が読み
出し、この読み出されたデータから補間法により補償済
圧力データＬＰＤを求めるので、記憶装置１３の記憶容
量を最小限にすることができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、半導体圧力変換器の
出力に温度補償、非直線補償、零点不平衡電圧補償など
の補償を施す補償装置に関するものである。
出力に温度補償、非直線補償、零点不平衡電圧補償など
の補償を施す補償装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】周知のように、半導体圧力変換器は、例
えばｎ型シリコン単結晶基板からなるダイヤフラム上
に、４個の感圧抵抗を拡散プレーナ技術によって形成
し、これらの感圧抵抗をブリッジ接続して被測定圧力に
対応する検出電圧を得るようにしたものであるが、感圧
抵抗の抵抗値の温度依存性が極めて大きいため、検出電
圧の温度依存性が大きく、検出電圧の温度補償を施すこ
とが不可欠である。また、各半導体圧力変換器毎に、ダ
イヤフラムの厚さの不均一による圧力感度の不均一やそ
の非直線性、４個の感圧抵抗の抵抗値の不均一による零
点不平衡電圧の不均一があり、検出精度の向上を図るた
めにはそれらの補償を各半導体圧力変換器毎に施す必要
がある。
えばｎ型シリコン単結晶基板からなるダイヤフラム上
に、４個の感圧抵抗を拡散プレーナ技術によって形成
し、これらの感圧抵抗をブリッジ接続して被測定圧力に
対応する検出電圧を得るようにしたものであるが、感圧
抵抗の抵抗値の温度依存性が極めて大きいため、検出電
圧の温度依存性が大きく、検出電圧の温度補償を施すこ
とが不可欠である。また、各半導体圧力変換器毎に、ダ
イヤフラムの厚さの不均一による圧力感度の不均一やそ
の非直線性、４個の感圧抵抗の抵抗値の不均一による零
点不平衡電圧の不均一があり、検出精度の向上を図るた
めにはそれらの補償を各半導体圧力変換器毎に施す必要
がある。
【０００３】これらの補償方法として、特開昭６１−９
７５４３号公報の半導体圧力センサ補償装置がある。図
５はその構成を示すブロック図である。この図におい
て、１１０はダイヤフィラム上に形成された感圧抵抗Ｒ
１〜Ｒ４をブリッジ接続してなる半導体圧力変換器１０
１から出力されるアナログ電圧信号を順次デジタルの圧
力データＰＤに変換して出力するＡ／Ｄコンバータ、１
１１は半導体圧力変換器１０１に近接配置されたサーミ
スタ等の感温素子１０３から出力されるアナログ電圧信
号を順次デジタルの温度データＴＤに変換して出力する
Ａ／Ｄコンバータである。
７５４３号公報の半導体圧力センサ補償装置がある。図
５はその構成を示すブロック図である。この図におい
て、１１０はダイヤフィラム上に形成された感圧抵抗Ｒ
１〜Ｒ４をブリッジ接続してなる半導体圧力変換器１０
１から出力されるアナログ電圧信号を順次デジタルの圧
力データＰＤに変換して出力するＡ／Ｄコンバータ、１
１１は半導体圧力変換器１０１に近接配置されたサーミ
スタ等の感温素子１０３から出力されるアナログ電圧信
号を順次デジタルの温度データＴＤに変換して出力する
Ａ／Ｄコンバータである。
【０００４】また、１１２は演算装置であり、記憶装置
１１３に予め格納されている温度補償用演算処理プログ
ラムに従ってＡ／Ｄコンバータ１１０から供給される圧
力データＰＤに温度データＴＤに対応した補償演算処理
を施し、その演算結果を補償済圧力データＬＰＤとして
出力する。記憶装置１１３には上述した各演算処理プロ
グラムの他に、図６（イ）および（ロ）に示す温度補償
用リニアライズテーブル１１３ａおよび非直線補償用リ
ニアライズテーブル１１３ｂが各々格納されている。Ａ
は半導体圧力変換器１０１に給電する電源である。
１１３に予め格納されている温度補償用演算処理プログ
ラムに従ってＡ／Ｄコンバータ１１０から供給される圧
力データＰＤに温度データＴＤに対応した補償演算処理
を施し、その演算結果を補償済圧力データＬＰＤとして
出力する。記憶装置１１３には上述した各演算処理プロ
グラムの他に、図６（イ）および（ロ）に示す温度補償
用リニアライズテーブル１１３ａおよび非直線補償用リ
ニアライズテーブル１１３ｂが各々格納されている。Ａ
は半導体圧力変換器１０１に給電する電源である。
【０００５】以上の構成において、半導体圧力変換器１
０１から出力される被測定圧力の変化に伴って変化する
出力電圧信号がＡ／Ｄコンバータ１１０によって圧力デ
ータＰＤに変換されて演算装置１１２に供給されるとと
もに、感温素子１０３から検出される周囲温度の変化に
伴って変化する電圧信号がＡ／Ｄコンバータ１１１によ
って温度データＴＤに変換されて演算装置１１２に供給
されると、演算装置１１２は次の手順で補償演算処理を
実行する。
０１から出力される被測定圧力の変化に伴って変化する
出力電圧信号がＡ／Ｄコンバータ１１０によって圧力デ
ータＰＤに変換されて演算装置１１２に供給されるとと
もに、感温素子１０３から検出される周囲温度の変化に
伴って変化する電圧信号がＡ／Ｄコンバータ１１１によ
って温度データＴＤに変換されて演算装置１１２に供給
されると、演算装置１１２は次の手順で補償演算処理を
実行する。
【０００６】まず、温度補償用リニアライズテーブル１
１３ａから温度データＴＤに対応する温度補償値として
例えばＣ１を読み出し、この温度補償値Ｃ１を圧力デー
タＰＤに加算して温度補償済圧力データＰＤ’を得る。
つぎに、非直線補償用リニアライズテーブル１１３ｂか
ら温度補償済データＰＤ’に対応する非直線性補償値と
して例えばＤ１を温度補償済圧力データＰＤ’に加算
し、これにより得られた加算演算結果を補償済圧力デー
タＰＬＤとして外部装置へ出力する。
１３ａから温度データＴＤに対応する温度補償値として
例えばＣ１を読み出し、この温度補償値Ｃ１を圧力デー
タＰＤに加算して温度補償済圧力データＰＤ’を得る。
つぎに、非直線補償用リニアライズテーブル１１３ｂか
ら温度補償済データＰＤ’に対応する非直線性補償値と
して例えばＤ１を温度補償済圧力データＰＤ’に加算
し、これにより得られた加算演算結果を補償済圧力デー
タＰＬＤとして外部装置へ出力する。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところで、図５および
図６に示した補償装置は、圧力測定時の被測定温度およ
びに被測定圧力に対応する補償データが記憶装置に記憶
され、その補償データを圧力データに加算することによ
り極めて再現性良く補償を行うことができ、量産性に優
れているという利点があるが、ある温度範囲およびある
圧力範囲で補償データが一定値であるため、高精度な補
償をするには限界がある。つまり、高精度化を図るため
には、補償データの温度範囲および圧力範囲を狭くすれ
ば良いが、それにつれて記憶装置に記憶する補償データ
量が増えるため記憶装置が高価になる。
図６に示した補償装置は、圧力測定時の被測定温度およ
びに被測定圧力に対応する補償データが記憶装置に記憶
され、その補償データを圧力データに加算することによ
り極めて再現性良く補償を行うことができ、量産性に優
れているという利点があるが、ある温度範囲およびある
圧力範囲で補償データが一定値であるため、高精度な補
償をするには限界がある。つまり、高精度化を図るため
には、補償データの温度範囲および圧力範囲を狭くすれ
ば良いが、それにつれて記憶装置に記憶する補償データ
量が増えるため記憶装置が高価になる。
【０００８】この発明は、上記課題を解決するもので、
低価格で量産性に優れた極めて高精度な補償装置を提供
することを目的としている。
低価格で量産性に優れた極めて高精度な補償装置を提供
することを目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この発明の半導体圧力変
換器の補償装置は、半導体圧力変換器から出力される被
測定圧力に応じて変化するアナログ信号を順次デジタル
信号に変換する第１のＡ／Ｄコンバータと、半導体圧力
変換器に近接して配置された感温素子と、この感温素子
から出力される被測定温度に応じて変化するアナログ信
号を順次デジタル信号に変換する第２のＡ／Ｄコンバー
タと、半導体圧力変換器を動作させる圧力範囲および温
度範囲内の少なくとも２以上の基準温度における補償用
温度データと各基準温度において２以上の基準圧力にお
ける補償用圧力データを記憶する記憶装置と、この記憶
装置から補償用圧力データと補償用温度データを読み出
しこの読み出されたデータと第１および第２のＡ／Ｄコ
ンバータの出力信号とから補間法により補償済圧力デー
タを求める補償演算処理を施す演算装置とを備えたもの
である。
換器の補償装置は、半導体圧力変換器から出力される被
測定圧力に応じて変化するアナログ信号を順次デジタル
信号に変換する第１のＡ／Ｄコンバータと、半導体圧力
変換器に近接して配置された感温素子と、この感温素子
から出力される被測定温度に応じて変化するアナログ信
号を順次デジタル信号に変換する第２のＡ／Ｄコンバー
タと、半導体圧力変換器を動作させる圧力範囲および温
度範囲内の少なくとも２以上の基準温度における補償用
温度データと各基準温度において２以上の基準圧力にお
ける補償用圧力データを記憶する記憶装置と、この記憶
装置から補償用圧力データと補償用温度データを読み出
しこの読み出されたデータと第１および第２のＡ／Ｄコ
ンバータの出力信号とから補間法により補償済圧力デー
タを求める補償演算処理を施す演算装置とを備えたもの
である。
【００１０】
【作用】この発明の半導体圧力変換器の補償装置は、半
導体圧力変換器から出力される被測定圧力に応じて変化
するアナログ信号が第１のＡ／Ｄコンバータにより順次
デジタルの未補償圧力データに変換されるとともに、感
温素子から出力される被測定温度に応じて変化するアナ
ログ信号が第２のＡ／Ｄコンバータによって順次デジタ
ルの未補償温度データに変換され、これらの未補償圧力
データと未補償温度データが演算装置に供給されると、
記憶装置に記憶された動作圧力範囲および温度範囲内の
少なくとも２以上の基準温度の補償用温度データと各基
準温度において２以上の基準圧力における基準圧力デー
タを記憶装置から演算装置が読み出し、この読み出され
た補償用温度データおよび基準圧力データと未補償圧力
データと未補償温度データとから補完法により補償済圧
力データを求めて外部へ出力する。
導体圧力変換器から出力される被測定圧力に応じて変化
するアナログ信号が第１のＡ／Ｄコンバータにより順次
デジタルの未補償圧力データに変換されるとともに、感
温素子から出力される被測定温度に応じて変化するアナ
ログ信号が第２のＡ／Ｄコンバータによって順次デジタ
ルの未補償温度データに変換され、これらの未補償圧力
データと未補償温度データが演算装置に供給されると、
記憶装置に記憶された動作圧力範囲および温度範囲内の
少なくとも２以上の基準温度の補償用温度データと各基
準温度において２以上の基準圧力における基準圧力デー
タを記憶装置から演算装置が読み出し、この読み出され
た補償用温度データおよび基準圧力データと未補償圧力
データと未補償温度データとから補完法により補償済圧
力データを求めて外部へ出力する。
【００１１】
【実施例】図１は、この発明の半導体圧力変換器の補償
装置の一実施例の構成を示すブロック図である。この実
施例では、動作圧力範囲を８５０〜１０５０ｍｂとし動
作温度範囲を０〜５０℃とする。この図において、１０
はダイヤフラム上に形成された感圧抵抗Ｒ１〜Ｒ４をブ
リッジ接続してなる半導体圧力変換器１から出力される
アナログ電圧信号を順次デジタルの圧力データに変換し
て出力するＡ／Ｄコンバータ、１１は半導体圧力変換器
１に近接配置されたサーミスタ等の感温素子３から出力
されるアナログ電圧信号を順次デジタルの温度データに
変換して出力するＡ／Ｄコンバータである。Ａは半導体
圧力変換器１に給電する電源である。
装置の一実施例の構成を示すブロック図である。この実
施例では、動作圧力範囲を８５０〜１０５０ｍｂとし動
作温度範囲を０〜５０℃とする。この図において、１０
はダイヤフラム上に形成された感圧抵抗Ｒ１〜Ｒ４をブ
リッジ接続してなる半導体圧力変換器１から出力される
アナログ電圧信号を順次デジタルの圧力データに変換し
て出力するＡ／Ｄコンバータ、１１は半導体圧力変換器
１に近接配置されたサーミスタ等の感温素子３から出力
されるアナログ電圧信号を順次デジタルの温度データに
変換して出力するＡ／Ｄコンバータである。Ａは半導体
圧力変換器１に給電する電源である。
【００１２】また、１２は演算装置であり、記憶装置１
３に予め格納されている温度補償用演算処理プログラム
に従ってＡ／Ｄコンバータ１０から供給される未補償圧
力データに補償演算処理を施し、その演算結果を補償済
圧力データＬＰＤとして出力する。記憶装置１３には、
上述した各演算処理プログラムの他に、図２に示すよう
に基準温度０℃，２５℃，５０℃における感温素子３に
固有の補償用温度データ ＴＤ（０），ＴＤ（２５），ＴＤ（５０） と、各基準温度における基準圧力８５０ｍｂ，９５０ｍ
ｂ，１０５０ｍｂでの半導体圧力変換器１に固有の補償
用圧力データ ＰＤ（ ０，８５０）、ＰＤ（ ０，９５０）、ＰＤ
（ ０，１０５０） ＰＤ（２５，８５０）、ＰＤ（２５，９５０）、ＰＤ
（２５，１０５０） ＰＤ（５０，８５０）、ＰＤ（５０，９５０）、ＰＤ
（５０，１０５０） が温度データテーブル１３ａと圧力データテーブル１３
ｂとに各々格納されている。補償済温度をＬＴ、補償済
圧力をＬＰとする。
３に予め格納されている温度補償用演算処理プログラム
に従ってＡ／Ｄコンバータ１０から供給される未補償圧
力データに補償演算処理を施し、その演算結果を補償済
圧力データＬＰＤとして出力する。記憶装置１３には、
上述した各演算処理プログラムの他に、図２に示すよう
に基準温度０℃，２５℃，５０℃における感温素子３に
固有の補償用温度データ ＴＤ（０），ＴＤ（２５），ＴＤ（５０） と、各基準温度における基準圧力８５０ｍｂ，９５０ｍ
ｂ，１０５０ｍｂでの半導体圧力変換器１に固有の補償
用圧力データ ＰＤ（ ０，８５０）、ＰＤ（ ０，９５０）、ＰＤ
（ ０，１０５０） ＰＤ（２５，８５０）、ＰＤ（２５，９５０）、ＰＤ
（２５，１０５０） ＰＤ（５０，８５０）、ＰＤ（５０，９５０）、ＰＤ
（５０，１０５０） が温度データテーブル１３ａと圧力データテーブル１３
ｂとに各々格納されている。補償済温度をＬＴ、補償済
圧力をＬＰとする。
【００１３】以上の構成において、温度ＬＴ，圧力ＬＰ
の条件下で、半導体圧力変換器１から出力される出力電
圧信号がＡ／Ｄコンバータ１０によって未補償圧力デー
タＰＤに変換されて演算装置１２に供給されるととも
に、感温素子３から検出される電圧信号がＡ／Ｄコンバ
ータ１１によって未補償温度データＴＤに変換されて演
算装置１２に供給されると、演算装置１２は次の手順で
補償演算処理を実行する。
の条件下で、半導体圧力変換器１から出力される出力電
圧信号がＡ／Ｄコンバータ１０によって未補償圧力デー
タＰＤに変換されて演算装置１２に供給されるととも
に、感温素子３から検出される電圧信号がＡ／Ｄコンバ
ータ１１によって未補償温度データＴＤに変換されて演
算装置１２に供給されると、演算装置１２は次の手順で
補償演算処理を実行する。
【００１４】まず、温度データテーブル１３ａから補償
用温度データを読み出し、これらのデータから補間法に
より各基準温度間のデータを補間し、未補償温度データ
ＴＤに対応する補償済温度データＬＴＤを求める（図３
参照）。つぎに、前記演算により求めた補償済温度ＬＴ
における各基準圧力での補償用圧力データＰＤ（ＬＴ，
８５０），ＰＤ（ＬＴ，９５０），ＰＤ（ＬＴ，１０５
０）を、各基準温度における各基準圧力での補償用圧力
データから補間法により求める。
用温度データを読み出し、これらのデータから補間法に
より各基準温度間のデータを補間し、未補償温度データ
ＴＤに対応する補償済温度データＬＴＤを求める（図３
参照）。つぎに、前記演算により求めた補償済温度ＬＴ
における各基準圧力での補償用圧力データＰＤ（ＬＴ，
８５０），ＰＤ（ＬＴ，９５０），ＰＤ（ＬＴ，１０５
０）を、各基準温度における各基準圧力での補償用圧力
データから補間法により求める。
【００１５】ついで、これらの補償用圧力データＰＤ
（ＬＴ，８５０），ＰＤ（ＬＴ，９５０），ＰＤ（Ｌ
Ｔ，１０５０）から補間法により温度ＬＴにおける各基
準圧力間のデータを補間する。そして、これらの補間デ
ータと未補償圧力データＰＤを対応させて補償済圧力Ｌ
ＰＤを求めて外部装置へ出力する（図４参照）。上記補
償演算処理は、半導体圧力変換器１の検出電圧の温度補
償と同時にダイヤフラムの厚さの不均一による圧力感度
の不均一やその非直線性，感圧抵抗値の不均一による零
点不平衡電圧の不均一を補償することができる。
（ＬＴ，８５０），ＰＤ（ＬＴ，９５０），ＰＤ（Ｌ
Ｔ，１０５０）から補間法により温度ＬＴにおける各基
準圧力間のデータを補間する。そして、これらの補間デ
ータと未補償圧力データＰＤを対応させて補償済圧力Ｌ
ＰＤを求めて外部装置へ出力する（図４参照）。上記補
償演算処理は、半導体圧力変換器１の検出電圧の温度補
償と同時にダイヤフラムの厚さの不均一による圧力感度
の不均一やその非直線性，感圧抵抗値の不均一による零
点不平衡電圧の不均一を補償することができる。
【００１６】
【発明の効果】この発明の半導体圧力変換器によれば、
記憶装置に記憶された補償用圧力データおよび補償用温
度データをもとに演算装置にて補間法による補償演算処
理により補償済圧力データを求めて外部へ出力するの
で、記憶装置の記憶容量を最小限にすることができ、低
価格で量産性に優れた極めて高精度な補償装置を提供す
ることができる。
記憶装置に記憶された補償用圧力データおよび補償用温
度データをもとに演算装置にて補間法による補償演算処
理により補償済圧力データを求めて外部へ出力するの
で、記憶装置の記憶容量を最小限にすることができ、低
価格で量産性に優れた極めて高精度な補償装置を提供す
ることができる。
【図１】この発明の半導体圧力変換器の補償装置の一実
施例の構成を示すブロック図である。
施例の構成を示すブロック図である。
【図２】図１の補償装置の記憶装置のデータテーブルを
示す図である。
示す図である。
【図３】図１の補償装置の補償済温度データを求める原
理説明図である。
理説明図である。
【図４】図１の補償装置の補償済圧力データを求める原
理説明図である。
理説明図である。
【図５】従来の半導体圧力変換器の補償装置の構成を示
すブロック図である。
すブロック図である。
【図６】図５の補償装置の記憶装置のデータテーブルを
示す図である。
示す図である。
Ｒ１〜Ｒ４ 感圧抵抗 １ 半導体圧力変換器 ３ 感温素子 １０，１１ Ａ／Ｄコンバータ １２ 演算装置 １３ 記憶装置
Claims (1)
- 【請求項１】 半導体圧力変換器から出力される被測定
圧力に応じて変化するアナログ信号を順次デジタル信号
に変換する第１のＡ／Ｄコンバータと、前記半導体圧力
変換器に近接して配置された感温素子と、この感温素子
から出力される被測定温度に応じて変化するアナログ信
号を順次デジタル信号に変換する第２のＡ／Ｄコンバー
タと、前記半導体圧力変換器を動作させる圧力範囲およ
び温度範囲内の少なくとも２以上の基準温度における補
償用温度データと各基準温度において２以上の基準圧力
における補償用圧力データを記憶する記憶装置と、この
記憶装置から前記補償用圧力データと前記補償用温度デ
ータを読み出しこの読み出されたデータと前記第１およ
び第２のＡ／Ｄコンバータの出力信号とから補間法によ
り補償済圧力データを求める補償演算処理を施す演算装
置とを備えた半導体圧力変換器の補償装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5342593A JPH06265424A (ja) | 1993-03-15 | 1993-03-15 | 半導体圧力変換器の補償装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5342593A JPH06265424A (ja) | 1993-03-15 | 1993-03-15 | 半導体圧力変換器の補償装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06265424A true JPH06265424A (ja) | 1994-09-22 |
Family
ID=12942489
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5342593A Pending JPH06265424A (ja) | 1993-03-15 | 1993-03-15 | 半導体圧力変換器の補償装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06265424A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007507713A (ja) * | 2003-09-30 | 2007-03-29 | ローズマウント インコーポレイテッド | プロセス圧力センサのキャリブレーション |
| US9857782B2 (en) | 2011-12-28 | 2018-01-02 | Fuji Electric Co., Ltd. | Output value correction method for physical quantity sensor apparatus, output correction method for physical quantity sensor, physical quantity sensor apparatus and output value correction apparatus for physical quantity sensor |
-
1993
- 1993-03-15 JP JP5342593A patent/JPH06265424A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007507713A (ja) * | 2003-09-30 | 2007-03-29 | ローズマウント インコーポレイテッド | プロセス圧力センサのキャリブレーション |
| US9857782B2 (en) | 2011-12-28 | 2018-01-02 | Fuji Electric Co., Ltd. | Output value correction method for physical quantity sensor apparatus, output correction method for physical quantity sensor, physical quantity sensor apparatus and output value correction apparatus for physical quantity sensor |
| DE112012005548B4 (de) | 2011-12-28 | 2024-03-21 | Fuji Electric Co., Ltd. | Ausgangswertkorrekturverfahren für eine Sensorvorrichtung für eine physikalische Grösse, Ausgangskorrekturverfahren für einen Sensor für eine physikalische Grösse, Sensorvorrichtung für eine physikalische Grösse und Ausgangswertkorrekturvorrichtung für einen Sensor für eine physikalische Grösse |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4734873A (en) | Method of digital process variable transmitter calibration and a process variable transmitter system utilizing the same | |
| EP0290574A1 (en) | Pressure transducer with integral digital temperature compensation | |
| JPH11507136A (ja) | 輻射温度計の較正方法 | |
| US20070295095A1 (en) | Apparatus for providing an output proportional to pressure divided by temperature (P/T) | |
| EP0178368B1 (en) | Process variable transmitter and method for correcting its output signal | |
| US4914611A (en) | Force measuring device | |
| US5295746A (en) | High resolution digital thermometer | |
| GB2113849A (en) | Two-wire differential pressure transmitter | |
| JPH06265424A (ja) | 半導体圧力変換器の補償装置 | |
| US3892281A (en) | Temperature measuring system having sensor time constant compensation | |
| JPS6197543A (ja) | 半導体圧力センサの補償回路 | |
| JPS62218813A (ja) | 圧力検出装置 | |
| JPS6147371B2 (ja) | ||
| JPS6118816A (ja) | 温度ドリフト補償測定器 | |
| JPH11160347A (ja) | センサ回路 | |
| JPS62170828A (ja) | トランスデユ−サ | |
| JPS61114140A (ja) | 補償圧力変換器 | |
| JPH04155233A (ja) | 圧力センサの温度特性の補正方法 | |
| SU1229565A1 (ru) | Тензопреобразователь | |
| JPS6225317A (ja) | 入出力装置 | |
| SU1511451A1 (ru) | Устройство дл измерени давлени | |
| SU1622863A1 (ru) | Устройство дл поверки функциональных измерительных преобразователей | |
| RU2037145C1 (ru) | Тензометрический измеритель давления | |
| JPS61209331A (ja) | 測温抵抗体入力装置 | |
| JPS61167875A (ja) | 信号処理装置 |