JPH06258135A - Infrared ray detector - Google Patents

Infrared ray detector

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Publication number
JPH06258135A
JPH06258135A JP5075429A JP7542993A JPH06258135A JP H06258135 A JPH06258135 A JP H06258135A JP 5075429 A JP5075429 A JP 5075429A JP 7542993 A JP7542993 A JP 7542993A JP H06258135 A JPH06258135 A JP H06258135A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
cooling
infrared ray
detection element
infrared
cold
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP5075429A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Shigeru Kato
茂 加藤
Norihide Omoto
憲英 大元
Taketoshi Obara
武寿 小原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nikon Corp filed Critical Nikon Corp
Priority to JP5075429A priority Critical patent/JPH06258135A/en
Publication of JPH06258135A publication Critical patent/JPH06258135A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25DREFRIGERATORS; COLD ROOMS; ICE-BOXES; COOLING OR FREEZING APPARATUS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F25D19/00Arrangement or mounting of refrigeration units with respect to devices or objects to be refrigerated, e.g. infrared detectors
    • F25D19/006Thermal coupling structure or interface

Abstract

PURPOSE:To further reduce power for cooling an infrared ray detection element and cold shielding without reducing the performance of the infrared ray detection element. CONSTITUTION:The title item is provided with an infrared ray detection element 1 housed in a vacuum container 2, a cooling machine 3 for cooling the infrared ray detection element 1, and a cold shield 9 for preventing unneeded light from entering the infrared ray detection element 1 for thermally isolating the cold shield 9 from the infrared ray detection element 1 and is provided with a cooling machine 8 for cooling the cold shield 9 at the vacuum container 2 for reducing the cooling capacity of the cooling machine 8 as compared with that of the cooling machine 3. Since it is sufficient if the cold shield 9 is cooled to a low temperature to the extent that no infrared ray radiation is generated, the thermal load of the cooling machine at the side for cooling the infrared ray detection element 1 becomes extremely smaller than the case for cooling the infrared ray detection element 1 and the cold shield 9 by a single cooling machine by the above configuration, thus collectively suppressing power consumption.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は赤外線検知器に関し、
特に赤外線検出素子を極低温に冷却して使用する赤外線
検知器に関する。
This invention relates to infrared detectors,
In particular, the present invention relates to an infrared detector that cools an infrared detection element to an extremely low temperature and uses it.

【0002】[0002]

【従来の技術】図2は従来の赤外線検知器の断面図であ
る。赤外線検知器は、赤外線検出素子101を収容する
真空容器102と、赤外線検出素子101を極低温(−
200度程度)に冷却するための冷却機103とで構成
されている。真空容器102は外筒104と内筒105
とからなり、外筒104の内壁面と内筒105の外壁面
とで形成される空間が真空に保たれる。外筒104には
被写体からの赤外線を赤外線検出素子101へ導く窓1
06が設けられている。
2. Description of the Related Art FIG. 2 is a sectional view of a conventional infrared detector. The infrared detector includes a vacuum container 102 accommodating the infrared detection element 101 and the infrared detection element 101 at an extremely low temperature (-
It is configured with a cooler 103 for cooling to about 200 degrees. The vacuum container 102 includes an outer cylinder 104 and an inner cylinder 105.
The space formed by the inner wall surface of the outer cylinder 104 and the outer wall surface of the inner cylinder 105 is maintained in vacuum. A window 1 for guiding infrared rays from a subject to the infrared detecting element 101 on the outer cylinder 104.
06 is provided.

【0003】また、赤外線検出素子101へ被写体から
の赤外線以外の光が入射しないように、赤外線検出素子
101をコ−ルドシ−ルド109によって包囲してい
る。コ−ルドシ−ルド109はコールドプレート107
上に載置されて極低温に冷却され、コ−ルドシ−ルド1
16自身からの赤外光放射を防いでいる。
The infrared detecting element 101 is surrounded by a cold shield 109 so that light other than infrared rays from the subject does not enter the infrared detecting element 101. Cold shield 107 is cold plate 107
Placed on top and cooled to cryogenic temperature, cold shield 1
16 Prevents infrared radiation from itself.

【0004】冷却機103の冷却ヘッドに当たるコ−ル
ドフィンガ103aは、内筒105内に挿入されてい
る。コ−ルドフィンガ103aの先端面103bとコー
ルドプレート107との間には、冷熱を赤外線検出素子
101へ伝えるサ−マルインタ−フェイス110が配置
されている。サ−マルインタ−フェイス110は熱伝導
率の大きい金属薄板をS字状に形成してなり、常時弾性
力が働く収縮状態で配置される。
A cold finger 103 a, which corresponds to the cooling head of the cooler 103, is inserted in the inner cylinder 105. Between the tip surface 103b of the cold finger 103a and the cold plate 107, a thermal interface 110 for transmitting cold heat to the infrared detecting element 101 is arranged. The thermal interface 110 is formed by forming an S-shaped metal thin plate having a large thermal conductivity, and is arranged in a contracted state in which an elastic force always acts.

【0005】冷却機103が作動すると、コ−ルドフィ
ンガ103aの冷熱がサ−マルインタ−フェイス110
を介してコールドプレート107へ伝わり、赤外線検出
素子101が冷却される。赤外線検出素子101が80
K前後になると、窓106を透過する赤外線を検知し、
電気信号に変換する。また、コ−ルドシ−ルド109は
冷却機103により赤外線検出素子101とともに極低
温に冷却され、コ−ルドシ−ルド109自身からの赤外
光放射が阻まれる。
When the cooler 103 operates, the cold heat of the cold fingers 103a is transferred to the thermal interface 110.
Through the cold plate 107, and the infrared detecting element 101 is cooled. The infrared detection element 101 is 80
At around K, infrared rays transmitted through the window 106 are detected,
Convert to electrical signal. Further, the cold shield 109 is cooled to an extremely low temperature together with the infrared detecting element 101 by the cooler 103, so that the infrared radiation from the cold shield 109 itself is blocked.

【0006】また、コ−ルドフィンガ103aと内筒1
05との熱膨脹率の違いにより、両者間の寸法は変化す
るが、サ−マルインタ−フェイス110の弾性作用によ
って両者間の寸法変化は吸収される。
Also, the cold finger 103a and the inner cylinder 1
The difference in the coefficient of thermal expansion from the sample No. 05 changes the dimension between the two, but the elastic action of the thermal interface 110 absorbs the change in the dimension between the two.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】ところが、前述のよう
にコ−ルドシ−ルド109を赤外線検出素子101とと
もにコールドプレート107上に載置し、両者をコ−ル
ドフィンガ103aにより極低温に冷却するようにした
ので、赤外線検出素子101だけを極低温に冷却する場
合に較べ、熱負荷が著しく大きく、冷却機103の冷却
能力を増大させなければならず、電力消費量が多くなる
という問題があった。
However, as described above, the cold shield 109 is placed on the cold plate 107 together with the infrared detecting element 101, and both are cooled to an extremely low temperature by the cold finger 103a. Therefore, as compared with the case where only the infrared detection element 101 is cooled to an extremely low temperature, the heat load is remarkably large, the cooling capacity of the cooler 103 must be increased, and there is a problem that the power consumption increases.

【0008】この発明はこのような事情に鑑みてなされ
たもので、その課題は赤外線検出素子の性能を低下させ
ることなく、赤外線検出素子とコ−ルドシ−ルドとの冷
却に費やす電力をより少なくすることができる赤外線検
知器を提供することである。
The present invention has been made in view of such circumstances, and its object is to reduce the power consumed for cooling the infrared detecting element and the cold shield without deteriorating the performance of the infrared detecting element. It is to provide an infrared detector that can do.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】前述の課題を解決するた
め請求項1に記載の発明の赤外線検知器は、真空容器内
に収容された赤外線検出素子と、この赤外線検出素子を
冷却する第1の冷却手段と、前記赤外線検出素子への不
要光の入射を阻止するコールドシールドとを備えた赤外
線検知器において、前記コールドシールドを前記赤外線
検出素子から熱的に分離し、前記コールドシールドを冷
却する第2の冷却手段を前記真空容器に設けた。
In order to solve the above-mentioned problems, an infrared detector according to a first aspect of the present invention is an infrared detector housed in a vacuum container and a first infrared detector for cooling the infrared detector. In the infrared detector having a cooling means and a cold shield for preventing unwanted light from entering the infrared detection element, the cold shield is thermally separated from the infrared detection element to cool the cold shield. A second cooling means was provided in the vacuum container.

【0010】また、請求項2に記載の発明の赤外線検知
器は、前記第2の冷却手段の冷却能力を前記第1の冷却
手段の冷却能力よりも小さくした。
In the infrared detector of the second aspect of the present invention, the cooling capacity of the second cooling means is made smaller than that of the first cooling means.

【0011】[0011]

【作用】コールドシールドは自ら赤外線放射が生じない
程度の低温に冷却されれば足りるので、互いに熱的に独
立した赤外線検出素子とコールドシールドとをそれぞれ
別個の冷却手段を用いて冷却する構成にすることによ
り、単一の冷却手段により赤外線検出素子とコールドシ
ールドとを冷却する場合に較べ、赤外線検出素子を冷却
する側の冷却手段の熱負荷が著しく小さくなり、全体と
して消費電力を抑制することができる。
Since the cold shield needs only to be cooled to such a low temperature that infrared radiation does not occur by itself, the infrared detecting element and the cold shield which are thermally independent of each other are cooled by using separate cooling means. As a result, compared with the case where the infrared detecting element and the cold shield are cooled by a single cooling means, the thermal load of the cooling means on the side that cools the infrared detecting element is significantly reduced, and the power consumption can be suppressed as a whole. it can.

【0012】[0012]

【実施例】以下この発明の実施例を図面に基づいて説明
する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0013】図1はこの発明の一実施例に係る赤外線検
知器の断面図である。この赤外線検知器は、赤外線検出
素子1を収容する真空容器2と、赤外線撮像素子1を極
低温(−200度程度)に冷却するための冷却機(第1
の冷却手段)3と、コ−ルドシ−ルド9を低温(−10
〜0度程度)に冷却するための冷凍機(第2の冷却手
段)8とで構成されている。真空容器2は外筒4と内筒
5とからなり、外筒4の内壁面と内筒5の外壁面とで形
成される空間が真空に保たれる。外筒4には被写体から
の赤外線を赤外線検出素子1へ導く窓6が設けられてい
る。外筒4の側面には後述するコ−ルドシ−ルド9を冷
却するための冷凍機8が固定されている。外筒4の窓6
と対向する内筒5の開口端面5aには、赤外線検出素子
1を保持し、且つ冷却機3からの冷熱を赤外線検出素子
1へ伝達するコールドプレート7が固定されている。
FIG. 1 is a sectional view of an infrared detector according to an embodiment of the present invention. This infrared detector includes a vacuum container 2 accommodating an infrared detection element 1 and a cooling machine (first cooling apparatus) for cooling the infrared imaging element 1 to an extremely low temperature (about -200 degrees).
Cooling means 3) and the cold shield 9 at a low temperature (-10
And a refrigerator (second cooling means) 8 for cooling to about 0 degree. The vacuum container 2 is composed of an outer cylinder 4 and an inner cylinder 5, and the space formed by the inner wall surface of the outer cylinder 4 and the outer wall surface of the inner cylinder 5 is maintained in vacuum. The outer cylinder 4 is provided with a window 6 for guiding infrared rays from a subject to the infrared detection element 1. A refrigerator 8 for cooling a cold shield 9 described later is fixed to a side surface of the outer cylinder 4. Window 6 of outer cylinder 4
A cold plate 7 that holds the infrared detecting element 1 and that transmits cold heat from the cooler 3 to the infrared detecting element 1 is fixed to the opening end surface 5a of the inner cylinder 5 that faces the infrared detecting element 1.

【0014】また、赤外線検出素子1へ被写体からの赤
外線以外の光が入射しないように、赤外線検出素子1を
筒状のコ−ルドシ−ルド9によって包囲している。コ−
ルドシ−ルド9は外筒4の内壁面に取り付けられた図示
しない支持部材により支持され、図1に示すように、コ
ールドプレート7から分離されている。コ−ルドシ−ル
ド9は冷凍機8により低温に冷却され、コ−ルドシ−ル
ド9自身からの赤外光放射を防いでいる。内筒5は例え
ばガラスやセラミックスなどの熱伝導率の小さい材料で
成型されている。
Further, the infrared detecting element 1 is surrounded by a cylindrical cold shield 9 so that light other than infrared rays from the subject does not enter the infrared detecting element 1. Co-
The rudder shield 9 is supported by a support member (not shown) attached to the inner wall surface of the outer cylinder 4, and is separated from the cold plate 7 as shown in FIG. The cold shield 9 is cooled to a low temperature by the refrigerator 8 to prevent infrared radiation from the cold shield 9 itself. The inner cylinder 5 is molded of a material having a low thermal conductivity such as glass or ceramics.

【0015】前記冷却機3としては例えばスターリング
サイクル式クーラ等があり、冷却機8としては例えばペ
ルチェ効果を利用した電子クーラ等がある。冷却機3の
冷却ヘッドに当たるコ−ルドフィンガ3aは、内筒5内
に挿入されている。コ−ルドフィンガ3aの先端面3b
とコールドプレート7の底面7bとの間には、冷熱を赤
外線検出素子1へ伝えるサ−マルインタ−フェイス10
が配置されている。サ−マルインタ−フェイス10は熱
伝導率の大きい金属薄板(銅板)をS字状に形成してな
り、常時弾性力が働く収縮状態で配置される。
The cooling machine 3 is, for example, a Stirling cycle cooler, and the cooling machine 8 is, for example, an electronic cooler utilizing the Peltier effect. The cold finger 3 a, which corresponds to the cooling head of the cooler 3, is inserted into the inner cylinder 5. Tip surface 3b of the cold finger 3a
Between the cold plate 7 and the bottom surface 7b of the cold plate 7, a thermal interface 10 for transmitting cold heat to the infrared detecting element 1 is provided.
Are arranged. The thermal interface 10 is formed by forming an S-shaped metal thin plate (copper plate) having a large thermal conductivity, and is arranged in a contracted state in which an elastic force always acts.

【0016】冷却機3が作動すると、コ−ルドフィンガ
3aの冷熱がサ−マルインタ−フェイス10を介してコ
ールドプレート7へ伝わり、コールドプレート7に固定
された赤外線検出素子1は断熱構造の真空容器2内で冷
却される。コ−ルドシ−ルド9はコールドプレート7か
ら分離しており、コ−ルドフィンガ3aの冷熱は赤外線
検出素子1にだけ伝わり、コールドプレート7へは伝わ
らない。もっとも、コールドプレート7は冷却機3と同
時に作動を開始する冷却機8によって自ら赤外線放射が
生じない程度の低温に冷却される。
When the cooler 3 is operated, the cold heat of the cold finger 3a is transferred to the cold plate 7 through the thermal interface 10, and the infrared detecting element 1 fixed to the cold plate 7 is a vacuum container 2 having a heat insulating structure. Cooled inside. The cold shield 9 is separated from the cold plate 7, and the cold heat of the cold finger 3a is transmitted only to the infrared detecting element 1 and not to the cold plate 7. However, the cold plate 7 is cooled by the cooler 8 which starts to operate at the same time as the cooler 3 to such a low temperature that infrared radiation is not generated by itself.

【0017】赤外線検出素子1が80K前後になると、
窓6を透過する赤外線を検知し、電気信号に変換する。
また、コ−ルドフィンガ3aと内筒5との熱膨脹率の違
いにより、両者間の寸法は変化するが、サ−マルインタ
−フェイス10の弾性作用によって両者間の寸法変化は
吸収される。
When the infrared detecting element 1 reaches around 80K,
Infrared rays passing through the window 6 are detected and converted into electric signals.
Further, the dimension between the cold finger 3a and the inner cylinder 5 changes due to the difference in the coefficient of thermal expansion between them, but the elastic action of the thermal interface 10 absorbs the dimensional change between them.

【0018】従来赤外線検出素子1を極低温に冷却する
ためには結果的にコールドシールド9をも極低温に冷却
せざるを得なかったが、この実施例の赤外線検知器によ
れば、赤外線検出素子1を冷却機3で極低温に冷却し、
コールドシールド9を冷却機で低温に冷却するようにし
たので、冷却機3の熱負荷が著しく小さくなり、冷却機
3は大きな冷却能力を必要とせず、全体としての電力消
費量を抑制できる。また、赤外線検出素子1の使用可能
温度への到達時間を短くすることも可能である。更に、
全体の電力消費量を抑制しつつコールドシールド9の大
型化が可能になり、不要赤外線の低減効果を高めること
ができる。
Conventionally, in order to cool the infrared detecting element 1 to an extremely low temperature, the cold shield 9 must be cooled to an extremely low temperature as a result. However, according to the infrared detector of this embodiment, infrared detection is possible. The element 1 is cooled to a very low temperature by the cooler 3,
Since the cold shield 9 is cooled to a low temperature by the cooler, the heat load of the cooler 3 is remarkably reduced, the cooler 3 does not need a large cooling capacity, and the power consumption as a whole can be suppressed. It is also possible to shorten the time required for the infrared detection element 1 to reach the usable temperature. Furthermore,
It is possible to increase the size of the cold shield 9 while suppressing the overall power consumption, and it is possible to enhance the effect of reducing unnecessary infrared rays.

【0019】なお、屋外で使用する場合、電源電圧が低
下したときにはコールドシールド9への電力供給を停止
し、赤外線検出素子1へだけ電力を供給することも可能
である。
When used outdoors, it is possible to stop the power supply to the cold shield 9 when the power supply voltage drops and supply power only to the infrared detection element 1.

【0020】[0020]

【発明の効果】以上説明したようにこの発明の赤外線検
知器によれば、単一の冷却手段により赤外線検出素子と
コールドシールドとを冷却する場合に較べ、赤外線検出
素子を冷却する側の冷却手段の熱負荷が著しく小さくな
り、全体として消費電力を抑制することができる。ま
た、屋外で使用する場合、電源電圧が低下したときには
コールドシールドへの電力供給を停止し、赤外線検出素
子へだけ電力を供給することも可能である。
As described above, according to the infrared detector of the present invention, the cooling means for cooling the infrared detecting element is cooled as compared with the case where the infrared detecting element and the cold shield are cooled by a single cooling means. The heat load of is significantly reduced, and the power consumption can be suppressed as a whole. When used outdoors, it is also possible to stop the power supply to the cold shield when the power supply voltage drops and supply power only to the infrared detection element.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】図1はこの発明の一実施例に係る赤外線検知器
の断面図である。
FIG. 1 is a sectional view of an infrared detector according to an embodiment of the present invention.

【図2】図2は従来の赤外線検知器の断面図である。FIG. 2 is a sectional view of a conventional infrared detector.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 赤外線検出素子 2 真空容器 3,8 冷却機 3a コ−ルドフィンガ 4 外筒 5 内筒 9 コールドシールド 1 Infrared Detector 2 Vacuum Container 3,8 Cooler 3a Cold Finger 4 Outer Cylinder 5 Inner Cylinder 9 Cold Shield

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 真空容器内に収容された赤外線検出素子
と、 この赤外線検出素子を冷却する第1の冷却手段と、 前記赤外線検出素子への不要光の入射を阻止するコール
ドシールドとを備えた赤外線検知器において、 前記コールドシールドを前記赤外線検出素子から熱的に
分離し、 前記コールドシールドを冷却する第2の冷却手段を前記
真空容器に設けたことを特徴とする赤外線検知器。
1. An infrared detecting element housed in a vacuum container, a first cooling means for cooling the infrared detecting element, and a cold shield for preventing unwanted light from entering the infrared detecting element. An infrared detector, wherein the cold shield is thermally separated from the infrared detection element, and a second cooling means for cooling the cold shield is provided in the vacuum container.
【請求項2】 前記第2の冷却手段の冷却能力が前記第
1の冷却手段の冷却能力よりも小さいことを特徴とする
請求項1記載の赤外線検知器。
2. The infrared detector according to claim 1, wherein the cooling capacity of the second cooling means is smaller than the cooling capacity of the first cooling means.
JP5075429A 1993-03-09 1993-03-09 Infrared ray detector Withdrawn JPH06258135A (en)

Priority Applications (1)

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JP5075429A JPH06258135A (en) 1993-03-09 1993-03-09 Infrared ray detector

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JP5075429A JPH06258135A (en) 1993-03-09 1993-03-09 Infrared ray detector

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JP5075429A Withdrawn JPH06258135A (en) 1993-03-09 1993-03-09 Infrared ray detector

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