JPH06249781A - Icp emission spectroscopic analyzer - Google Patents

Icp emission spectroscopic analyzer

Info

Publication number
JPH06249781A
JPH06249781A JP3529693A JP3529693A JPH06249781A JP H06249781 A JPH06249781 A JP H06249781A JP 3529693 A JP3529693 A JP 3529693A JP 3529693 A JP3529693 A JP 3529693A JP H06249781 A JPH06249781 A JP H06249781A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
temperature
spray chamber
plasma torch
chamber
heater
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP3529693A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Koji Okada
幸治 岡田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shimadzu Corp
Original Assignee
Shimadzu Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shimadzu Corp filed Critical Shimadzu Corp
Priority to JP3529693A priority Critical patent/JPH06249781A/en
Publication of JPH06249781A publication Critical patent/JPH06249781A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

PURPOSE:To perform a measurement quickly by a method wherein, before a solution sample is atomized and measured, a spray chamber is adjusted to a prescribed temperature and the luminous intensity of a plasma torch is stabilized. CONSTITUTION:A timer 12 for a temperature controller 10 is operated before the prescribed time of a measuring operation on every operating day, and switches 16, 17 are closed. A detection signal by a temperature sensor 7 and a set signal by a temperature setter 11 are compared by a comparator 13, a heater 8 is driven by its output via a heater drive circuit 14, and, at the same time, a pump drive circuit 15 drives a pump 9. Thereby, water inside a storage tank is heated, it is introduced into a circulation chamber anti it heats a spray chamber. A measuring operator drives an analyzer, and a plasma torch is turned on and driven. When a carrier gas is introduced into the spray chamber, the temperature of the spray chamber is set to a temperature similar to that after a sufficient warm-up operation. Consequently, the luminous intensity of the plasma torch is not fluctuated, and the measuring operation can be started quickly.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、発光分光分析の光源と
して高周波誘導結合プラズマ(Inductively―Coupled R
adio Frequency Plasma: ICP)を発生させるためにプ
ラズマトーチを備えたICP発光分光分析装置にかか
り、特にこの種装置において分光分析対象の試料が溶液
であることからその溶液試料を霧化するためのネブライ
ザと、その霧化試料をプラズマトーチに導入するための
噴霧室とを備えたICP発光分光分析装置に関する。
The present invention relates to a high frequency inductively coupled plasma as a light source for emission spectroscopy.
The present invention relates to an ICP emission spectroscopic analyzer equipped with a plasma torch for generating an adio frequency plasma (ICP), and in particular, a nebulizer for atomizing the solution sample since the sample to be spectroscopically analyzed is a solution in this kind of device. And an atomization chamber for introducing the atomized sample into a plasma torch.

【0002】[0002]

【従来の技術】図3は、従来のこの種のICP発光分光
分析装置の概略構成図であり、この装置にあってはネブ
ライザ1とかプラズマトーチ2とかはハウジング3で囲
まれたプラズマ発光室の内部に装備されている一方で、
溶液試料Sはそのハウジング3の外部から供給されるよ
うになっている。石英管の三重構造とされてあるプラズ
マトーチ2には外部から冷却のためのクーラントガス
と、燃焼のためのプラズマガスとがそれぞれ導入される
一方、溶液試料Sはネブライザ1で霧化されたうえで試
料均一化用のキャリアガスとともに噴霧室1a内に導入
されたのちにプラズマトーチ2に案内され、そこで高周
波電力で駆動されて発生されているプラズマによって発
光分光分析のため励起発光させられる。そして、この発
光はハウジング3に設けられた窓4を介してそのプラズ
マ発光室に隣接する分光分析室5に案内され、その分光
分析室5に図示していない分光分析器でもってその試料
に含有されている元素特有のスペクトル線に分光され、
各スペクトル線の有無と強度とが検出され試料に含有さ
れている各元素の定性、定量分析が行われる。
2. Description of the Related Art FIG. 3 is a schematic configuration diagram of a conventional ICP emission spectroscopic analysis device of this type. In this device, a nebulizer 1 or a plasma torch 2 is a plasma emission chamber surrounded by a housing 3. While equipped inside,
The solution sample S is supplied from the outside of the housing 3. Coolant gas for cooling and plasma gas for combustion are introduced from the outside into the plasma torch 2 having a triple structure of quartz tube, while the solution sample S is atomized by the nebulizer 1. After being introduced into the spray chamber 1a together with the carrier gas for homogenizing the sample, the plasma is guided to the plasma torch 2 and excited by the plasma generated by being driven by the high frequency electric power for emission spectroscopic analysis. Then, this emitted light is guided to a spectroscopic analysis chamber 5 adjacent to the plasma emission chamber through a window 4 provided in the housing 3, and contained in the sample by a spectroscopic analyzer (not shown) in the spectroscopic analysis chamber 5. Spectral lines that are peculiar to the element
The presence and intensity of each spectral line is detected, and the qualitative and quantitative analysis of each element contained in the sample is performed.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述したI
CP発光分光分析装置では、試料の分光分析の運転開始
直後ではプラズマトーチ2での発光の強度が変動し、そ
のため、試料の測定値が安定しないことから、発光の強
度の変動がなくなり安定した測定が可能となるまでその
運転開始に先立ってその装置そのものをあらかじめ所定
の時間例えば30分から1時間程度の暖機(ウォームア
ップ)運転させる必要があることで知られる。
By the way, the above-mentioned I
In the CP emission spectroscopic analyzer, the emission intensity of the plasma torch 2 fluctuates immediately after the start of the spectroscopic analysis of the sample, and therefore the measured value of the sample is not stable, so that there is no variation in the emission intensity and stable measurement is performed. It is known that the apparatus itself must be warmed up (warm-up) for a predetermined period of time, for example, 30 minutes to 1 hour in advance, before the operation is started.

【0004】しかしながら、実際の測定前にこのように
長いウォームアップ運転があったのでは、その装置その
ものを測定のために使える実時間が短くなってその使用
上の効率が低下してしまうという不具合があるのみなら
ず、そのウォームアップ運転中でもキャリアガスが消費
されていき、またプラズマトーチの駆動のための高周波
電力も無駄に消費されてしまうという問題もあった。
However, if there is such a long warm-up operation before the actual measurement, the actual time in which the device itself can be used for the measurement is shortened and the efficiency in use thereof is lowered. There is also a problem that the carrier gas is consumed even during the warm-up operation, and the high frequency power for driving the plasma torch is wasted.

【0005】そこで、本発明者らが、上記のようなウォ
ームアップ運転を必要とする事情を検討したところ、運
転開始時にはネブライザ1の噴霧室1aの温度は室温と
同程度の低温であるのが、運転を継続させている間に、
プラズマトーチ2等の発熱により昇温していってのちに
室温よりは所定温度高い一定の温度に安定し、かかる温
度上昇の過程で、ネブライザ1の噴霧室1aでの試料の
霧化状態が次々と変化していくために、プラズマトーチ
2での発光強度が変動することが知見されたのである。
Therefore, the inventors of the present invention have examined the circumstances requiring the warm-up operation as described above, and found that the temperature of the spray chamber 1a of the nebulizer 1 is as low as room temperature at the start of the operation. , While continuing the operation,
After the temperature is raised by the heat generated by the plasma torch 2 and the like, the temperature is stabilized at a certain temperature higher than room temperature by a predetermined temperature, and in the process of such temperature rise, the atomized state of the sample in the spray chamber 1a of the nebulizer 1 is successively increased. It was found that the emission intensity of the plasma torch 2 fluctuates in order to change.

【0006】本発明は、このような上述の知見に従って
従来の課題を解決し、運転開始後から早期に試料に対す
る実測定を行えるようにすることを目的としている。
An object of the present invention is to solve the conventional problems in accordance with the above-mentioned findings and to enable actual measurement of a sample early after the start of operation.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明は、上記の課題を
達成するために、溶液試料をネブライザによって噴霧室
に噴出させて霧化してのちプラズマトーチに導入するI
CP発光分光分析装置において、当該装置による前記溶
液試料に対する所要の測定前に前記噴霧室を所定の温度
に調節する温度調節手段を設けたことを特徴としてい
る。
According to the present invention, in order to achieve the above object, a solution sample is jetted into a spray chamber by a nebulizer, atomized, and then introduced into a plasma torch.
The CP emission spectroscopic analyzer is characterized in that it is provided with temperature adjusting means for adjusting the spray chamber to a predetermined temperature before required measurement of the solution sample by the device.

【0008】[0008]

【作用】上記の構成によれば、液体試料が霧化される噴
霧室の温度を、温度調節手段により、あたかも充分にウ
ォームアップ運転を行った直後のように暖めることがで
きるので、プラズマトーチでの発光強度が安定し、運転
開始後、早期に測定に入れることになる。
According to the above construction, the temperature of the spray chamber in which the liquid sample is atomized can be warmed by the temperature adjusting means as if immediately after the warm-up operation, so that the plasma torch can be used. The emission intensity of is stable, and the measurement will be started early after the start of operation.

【0009】[0009]

【実施例】図1は、本発明の一実施例に係るICP発光
分光分析装置の概略構成を示す構成図、図2は、図1の
要部の回路ブロック図であり、これらの図において従来
例に係る図3と類似ないしは対応する部分には同一の符
号を付し、その同一の符号に係る部分についての詳しい
説明は省略する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 1 is a block diagram showing a schematic structure of an ICP emission spectroscopic analyzer according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a circuit block diagram of a main part of FIG. Portions similar to or corresponding to those in FIG. 3 according to the example are denoted by the same reference numerals, and detailed description of the portions having the same reference numerals is omitted.

【0010】図1を参照して説明するように、本実施例
のIPC発光分光分析装置にあっては、ネブライザ1の
噴霧室1aの外周囲が加熱水循環室1bで覆われてお
り、その加熱水循環室1bに加熱水導入口1cと加熱水
排出口1dとが設けられていて、加熱水導入口1cから
導入された加熱水は噴霧室1aの外周囲を通ったのち加
熱水排出口1dから排出されるようになっているととも
に、噴霧室1aの外周囲を通過していく加熱水の温度を
調節することで噴霧室1aの温度を調節するための温度
調節手段6が設けられている。
As will be described with reference to FIG. 1, in the IPC emission spectroscopic analyzer of the present embodiment, the outer periphery of the spray chamber 1a of the nebulizer 1 is covered with a heated water circulation chamber 1b, and its heating is performed. The water circulation chamber 1b is provided with a heating water inlet 1c and a heating water outlet 1d. The heating water introduced from the heating water inlet 1c passes through the outer periphery of the spray chamber 1a and then from the heating water outlet 1d. A temperature adjusting means 6 is provided for adjusting the temperature of the spray chamber 1a by adjusting the temperature of the heating water that is to be discharged and that passes through the outer periphery of the spray chamber 1a.

【0011】この温度調節手段6は、噴霧室1aの外周
囲に配備されて該噴霧室1a外周囲温度を検出する温度
センサ7と、循環室1bへ供給するための水を貯溜する
貯溜槽18と、この貯溜槽18の内部に設けらて該貯溜
槽18内の水を加熱して加熱水とするヒータ8と、加熱
水循環室1bに貯溜槽18の水を循環させるポンプ9
と、加熱水の温度をコントロールする温度コントローラ
10とを基本的に備えている。
The temperature adjusting means 6 is provided around the outer periphery of the spray chamber 1a and detects the ambient temperature of the spray chamber 1a, and a storage tank 18 for storing water to be supplied to the circulation chamber 1b. A heater 8 provided inside the storage tank 18 for heating the water in the storage tank 18 to generate heated water; and a pump 9 for circulating the water in the storage tank 18 in the heated water circulation chamber 1b.
And a temperature controller 10 for controlling the temperature of the heated water.

【0012】この温度コントローラ10は、温度センサ
7で検出された加熱水の温度検出信号に応じてヒータ8
およびポンプ9の動作を制御するもので、その動作の制
御のために温度設定器11とタイマ12とが接続されて
いる。タイマ12は、当該装置の起動時刻に設定されて
いて、その装置の例えば測定作業者が当該装置を用いて
試料の測定を行う際には直ちにその測定を行うことがで
きるように温度調節手段6を起動させるための起動信号
を温度コントローラ10に出力するもので、温度コント
ローラ10はその起動信号に応答して測定作業者が測定
作業につく前にヒータ8およびポンプ9を駆動して循環
室1b内に加熱水を供給して噴霧室1aを加熱しておく
ようになっている。そして、温度設定器11はその噴霧
室1aの温度を所定の温度にするためのデータを入力す
るもので、測定作業者はこの温度設定器11を操作して
温度コントローラ10に対し噴霧室1aの温度を設定す
るための設定信号を与える。温度コントローラ10は前
記タイマ12の入力に応答して噴霧室1aをその設定信
号に対応した温度に制御するようにヒータ8を駆動す
る。
The temperature controller 10 includes a heater 8 in response to a temperature detection signal of the heated water detected by the temperature sensor 7.
Also, it controls the operation of the pump 9, and the temperature setter 11 and the timer 12 are connected for controlling the operation. The timer 12 is set to the start time of the device, and when the measurement operator of the device, for example, a measurement operator uses the device to measure the sample, the temperature adjusting means 6 can immediately perform the measurement. The temperature controller 10 drives the heater 8 and the pump 9 in response to the activation signal to activate the heater 8 and the pump 9 in order to activate the circulation chamber 1b. The spray chamber 1a is heated by supplying heated water therein. The temperature setter 11 inputs data for setting the temperature of the spray chamber 1a to a predetermined temperature, and the measurement operator operates the temperature setter 11 to instruct the temperature controller 10 of the spray chamber 1a. It gives a setting signal for setting the temperature. In response to the input of the timer 12, the temperature controller 10 drives the heater 8 so as to control the temperature of the spray chamber 1a to the temperature corresponding to the setting signal.

【0013】この温度コントローラ10について図2を
参照して詳しく説明する。まず、構成的には温度コント
ローラ10は、温度設定器11からの設定信号と温度セ
ンサ7からの検出信号とを比較する比較器13と、この
比較器13の比較出力に応じてヒータ8を駆動するヒー
タ駆動回路14と、ポンプ9を駆動するポンプ駆動回路
15と、各駆動回路14,15の出力側にそれぞれ設け
られてタイマ12出力に応答して閉じるスイッチ16,
17とを有している。
The temperature controller 10 will be described in detail with reference to FIG. First, structurally, the temperature controller 10 drives a heater 8 according to a comparison output of the comparator 13 that compares a setting signal from the temperature setting device 11 with a detection signal from the temperature sensor 7, and a comparison output of the comparator 13. A heater drive circuit 14 for driving the pump 9, a pump drive circuit 15 for driving the pump 9, a switch 16 provided on the output side of each drive circuit 14, 15 and closed in response to the output of the timer 12.
17 and 17.

【0014】上記のような構成を有する温度コントロー
ラ10において、タイマ12が毎作業日の所定時刻例え
ば測定作業者がその装置が配備されている場所に出勤し
てきてその装置を稼働させて試料の測定作業を行うより
も所定の時間前に動作してスイッチ16,17を閉じさ
せる。そして、温度センサ7からの検出信号と温度設定
器11による設定信号との比較器13出力によってヒー
タ駆動回路14がヒータ8を駆動する一方で、ポンプ駆
動回路15がポンプ9を駆動する。これによって、ヒー
タ8とポンプ9が駆動されて貯溜槽18内の水が加熱さ
れるとともに、その加熱された水は循環室1bの加熱水
導入口1cから循環室1b内に導入され、噴霧室1aが
加熱される。そして、この場合の循環する加熱水は温度
コントローラ10によって一定の温度に制御されて噴霧
室1aの温度は一定の水準に保たれるから、測定作業者
が装置を駆動して高周波電力でプラズマトーチ1を点灯
駆動し、キャリアガスを噴霧室1aに導入する際には、
噴霧室1aの温度は、充分にウォームアップ運転をされ
た直後と同様の状態にまで暖められていることになる。
したがって、測定作業者がその装置を用いて試料の測定
を行う時点では、ネブライザ1で溶液試料を霧化して
も、一定の霧化状態でエアロゾル化することができ、プ
ラズマトーチ2では発光強度の変動が生じないこととな
り測定作業者は、実質的にはウォームアップ運転を何等
行うことなく、プラズマトーチ2を点灯した直後に測定
作業を開始させることができる。
In the temperature controller 10 having the above-described structure, the timer 12 measures the sample at a predetermined time of each work day, for example, when a measurement worker comes to the place where the device is installed and operates the device. The switches 16 and 17 are closed by operating a predetermined time before performing work. Then, the heater drive circuit 14 drives the heater 8 by the output of the comparator 13 of the detection signal from the temperature sensor 7 and the setting signal from the temperature setter 11, while the pump drive circuit 15 drives the pump 9. As a result, the heater 8 and the pump 9 are driven to heat the water in the storage tank 18, and the heated water is introduced into the circulation chamber 1b through the heated water inlet 1c of the circulation chamber 1b, and the spray chamber 1a is heated. Then, the circulating heated water in this case is controlled to a constant temperature by the temperature controller 10 and the temperature of the spray chamber 1a is maintained at a constant level. Therefore, the measurement operator drives the apparatus and the plasma torch with high frequency power. When 1 is driven to be driven and carrier gas is introduced into the spray chamber 1a,
The temperature of the spray chamber 1a has been warmed to the same state as immediately after the warm-up operation is sufficiently performed.
Therefore, at the time when the measurement operator uses the device to measure the sample, even if the nebulizer 1 atomizes the solution sample, it can be aerosolized in a constant atomized state, and the plasma torch 2 emits light with a high emission intensity. Since there is no fluctuation, the measurement operator can start the measurement operation immediately after turning on the plasma torch 2 without performing any warm-up operation.

【0015】なお、上述の実施例では、タイマ12によ
り自動的に温度調節手段6が稼動させられるようにした
が、もちろん、測定作業者の操作で温度調節手段6を稼
動させるようにしてもよく、その場合も噴霧室1aが強
制的に暖められることになるので、極めて短時間のウォ
ームアップ運転で、早期に測定作業に入ることができ
る。
In the above-mentioned embodiment, the temperature adjusting means 6 is automatically operated by the timer 12, but it goes without saying that the temperature adjusting means 6 may be operated by the operation of the measuring operator. In that case as well, the spray chamber 1a is forcibly warmed, so that the measurement work can be started early with a very short warm-up operation.

【0016】さらに、本発明の他の実施例として、上述
の実施例の構成に加えて、ハウジング3内全体の雰囲気
温度を調節する手段、例えば、ハウジング3内にヒータ
およびファンを設けてハウジング3内の雰囲気温度を調
節するようにしてもよい。
Further, as another embodiment of the present invention, in addition to the structure of the above-mentioned embodiment, means for adjusting the ambient temperature in the entire housing 3, for example, a heater and a fan are provided in the housing 3 to provide the housing 3 The ambient temperature inside may be adjusted.

【0017】なお、試料溶媒として有機溶媒が使用され
る場合には、噴霧室1aの温度が高くなると、有機溶媒
が気化してプラズマを消してしまうので、本発明の他の
実施例として、かかる場合には、噴霧室1aの温度を低
く調節する、すなわち、冷却するように構成してもよ
い。
When an organic solvent is used as the sample solvent, when the temperature of the spray chamber 1a rises, the organic solvent vaporizes and extinguishes the plasma. Therefore, as another embodiment of the present invention, In this case, the temperature of the spray chamber 1a may be adjusted to be low, that is, the spray chamber 1a may be cooled.

【0018】[0018]

【発明の効果】本発明では、温度調節手段により噴霧室
の温度が調節されるので、例えば、噴霧室の温度を強制
的に暖めることにより、プラズマトーチでの発光強度の
変動が生じなくなり、ウォームアップ運転を省略もしく
は短時間で切り上げて、早期に測定作業に入ることがで
き、装置の効率的な使用が可能になる。
According to the present invention, since the temperature of the spray chamber is adjusted by the temperature adjusting means, for example, by forcibly warming the temperature of the spray chamber, the fluctuation of the emission intensity in the plasma torch does not occur and the worm is warmed. The up operation can be omitted or rounded up in a short time, and the measurement work can be started early, and the device can be used efficiently.

【0019】また、ウォームアップ運転を短縮もしくは
省略しうるので、従来ウォームアップ運転に消費されて
いたキャリアガスや電力を節約することができる。
Further, since the warm-up operation can be shortened or omitted, it is possible to save the carrier gas and the electric power which are conventionally consumed in the warm-up operation.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例に係るICP発光分光分析装
置の要部の構成図である。
FIG. 1 is a configuration diagram of a main part of an ICP emission spectroscopy analyzer according to an embodiment of the present invention.

【図2】上記実施例の温度コントローラ部分の回路ブロ
ック図である。
FIG. 2 is a circuit block diagram of a temperature controller portion of the above embodiment.

【図3】従来のICP発光分光分析装置の要部の構成図
である。
FIG. 3 is a configuration diagram of a main part of a conventional ICP emission spectroscopy analyzer.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ネブライザ 2 プラズマトーチ 3 ハウジング 6 温度調節手段 7 温度センサ 8 ヒータ 9 ポンプ 10 温度コントローラ 1 Nebulizer 2 Plasma torch 3 Housing 6 Temperature adjusting means 7 Temperature sensor 8 Heater 9 Pump 10 Temperature controller

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 溶液試料をネブライザによって噴霧室に
噴出させて霧化してのちプラズマトーチに導入するIC
P発光分光分析装置において、当該装置による前記溶液
試料に対する所要の測定前に前記噴霧室を所定の温度に
調節する温度調節手段を設けたことを特徴とするICP
発光分光分析装置。
1. An IC in which a solution sample is jetted into a spray chamber by a nebulizer and atomized and then introduced into a plasma torch.
The P emission spectroscopic analyzer is provided with a temperature adjusting means for adjusting the spray chamber to a predetermined temperature before required measurement of the solution sample by the device.
Optical emission spectrometer.
JP3529693A 1993-02-24 1993-02-24 Icp emission spectroscopic analyzer Pending JPH06249781A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3529693A JPH06249781A (en) 1993-02-24 1993-02-24 Icp emission spectroscopic analyzer

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3529693A JPH06249781A (en) 1993-02-24 1993-02-24 Icp emission spectroscopic analyzer

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH06249781A true JPH06249781A (en) 1994-09-09

Family

ID=12437819

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP3529693A Pending JPH06249781A (en) 1993-02-24 1993-02-24 Icp emission spectroscopic analyzer

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH06249781A (en)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH053990B2 (en) * 1988-09-30 1993-01-19 Eastman Kodak Co

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH053990B2 (en) * 1988-09-30 1993-01-19 Eastman Kodak Co

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5095247A (en) Plasma discharge apparatus with temperature sensing
EP1605251B1 (en) Gas sensor arrangement with reduced settling time
US5351106A (en) Exposure system
US20160352062A1 (en) Laser device provided with function to determine feasability of opening door
US20050206918A1 (en) Laser unit
JPH06249781A (en) Icp emission spectroscopic analyzer
JPH10189292A (en) Icp analyzer
JP3225565B2 (en) ICP emission spectrometer
JP3945784B1 (en) Highly controlled weathering tester
US7863834B2 (en) Ultraviolet lamp system and method for controlling emitted UV light
JPH0640074B2 (en) ICP analysis method
KR101168826B1 (en) Cooling apparatus for analyzing apparatus with spectrometer
JP4586738B2 (en) ICP analyzer
WO2022044060A1 (en) Atomic absorption spectrophotometer and control method for atomic absorption spectrophotometer
JP6623557B2 (en) ICP analyzer
JP3445369B2 (en) Automatic analyzer
JP2005098765A (en) Light source apparatus and analyzer using the same
JP2008202990A (en) High-frequency power supply device for icp
JP2000036283A (en) Mass spectroscope
JP2593156B2 (en) Gas laser device
JP4151192B2 (en) Flame atomic absorption spectrophotometer
JP2821764B2 (en) Gas laser oscillator
JPH0466882A (en) Thermostat apparatus for testing ic
JP2535591B2 (en) Heating cooker
JPH10229229A (en) Electric discharge pumping gas laser oscillator