JPH0624270B2 - Ｃｏ▲下２▼レ−ザ - Google Patents
Ｃｏ▲下２▼レ−ザInfo
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- JPH0624270B2 JPH0624270B2 JP60168662A JP16866285A JPH0624270B2 JP H0624270 B2 JPH0624270 B2 JP H0624270B2 JP 60168662 A JP60168662 A JP 60168662A JP 16866285 A JP16866285 A JP 16866285A JP H0624270 B2 JPH0624270 B2 JP H0624270B2
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- tubes
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- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/0975—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser using inductive or capacitive excitation
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- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
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- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/06—Construction or shape of active medium
- H01S3/07—Construction or shape of active medium consisting of a plurality of parts, e.g. segments
- H01S3/073—Gas lasers comprising separate discharge sections in one cavity, e.g. hybrid lasers
- H01S3/076—Folded-path lasers
Description
【発明の詳細な説明】 〔技術分野〕 本発明は、レーザ光線用放電区間を含む横流路と、この
横流路を画定する複数の管路面と、横流路の末端域にあ
るレーザ光線用鏡装置と、横流路に沿つて延びている２
個の高周波電極とを備えているCO2レーザに関する。
横流路を画定する複数の管路面と、横流路の末端域にあ
るレーザ光線用鏡装置と、横流路に沿つて延びている２
個の高周波電極とを備えているCO2レーザに関する。
この種のレーザは分子レーザに属する。これらはほとん
ど連続的に作動する。CO2レーザと名づけられてはいる
が他の物質たとえばＮ２などがかなり高い比率で用いら
れている。そのガス混合物は、たとえば、CO2が１０
％、Ｎ２が２０％、及びＨｅが７０％からなることがで
きる。
ど連続的に作動する。CO2レーザと名づけられてはいる
が他の物質たとえばＮ２などがかなり高い比率で用いら
れている。そのガス混合物は、たとえば、CO2が１０
％、Ｎ２が２０％、及びＨｅが７０％からなることがで
きる。
CO2レーザの効率は１５％で、他のレーザに比べて高
い。その波長は106マイクロメータであり、従つて大気
「窓」内にある。よつてそれを大気中で少ない減衰で長
い距離にわたつて導くことができる。レーザ光線で厚鋼
板を切断しようとするときは、今日の技術の水準では酸
素雰囲気中において切断しなくてはならない。現在の工
業的生産において販売されているレーザは僅かにキロワ
ツトの範囲で連続作動するにすぎないからである。
い。その波長は106マイクロメータであり、従つて大気
「窓」内にある。よつてそれを大気中で少ない減衰で長
い距離にわたつて導くことができる。レーザ光線で厚鋼
板を切断しようとするときは、今日の技術の水準では酸
素雰囲気中において切断しなくてはならない。現在の工
業的生産において販売されているレーザは僅かにキロワ
ツトの範囲で連続作動するにすぎないからである。
CO2レーザに用いられる分子混合物は、レーザ光線発出
の際に消耗し、発出するレーザ出力さ大きければ大きい
ほど消耗も速やかになる。
の際に消耗し、発出するレーザ出力さ大きければ大きい
ほど消耗も速やかになる。
縦流（同軸流）レーザでは、急速な縦流を用いたとして
も、分子は比較的長く放電区間に滞留する。
も、分子は比較的長く放電区間に滞留する。
一方、横流（直交流）CO2レーザは、分子の放電区間で
の滞留が極めて短くて高いレーザ出力に達し得るという
利点がある。
の滞留が極めて短くて高いレーザ出力に達し得るという
利点がある。
しかし横流レーザは高価で、これを装備した機械は販売
に困難が伴う。価格が負担可能であつたなら、このレー
ザ光線発生装置が、それにふさわしい、著しく広い分野
にて据付けられることになろう。
に困難が伴う。価格が負担可能であつたなら、このレー
ザ光線発生装置が、それにふさわしい、著しく広い分野
にて据付けられることになろう。
CO2レーザが高価なのは、とくにレーザ用に作られ通常
市販されていない複雑な構成要素を用いるからである。
そのほか現在用いられているCO2レーザでは、その原理
をさまざまな出力に適合させることができない。たとえ
ば同じ安価な原理を反復適用して、たとえば内燃機械の
場合においてエネルギー発生ユニットが実質上つねに同
じでありそのユニットを何倍にもして出力をそれに応じ
て大きくし得るように、出力をあげることは不可能であ
る。
市販されていない複雑な構成要素を用いるからである。
そのほか現在用いられているCO2レーザでは、その原理
をさまざまな出力に適合させることができない。たとえ
ば同じ安価な原理を反復適用して、たとえば内燃機械の
場合においてエネルギー発生ユニットが実質上つねに同
じでありそのユニットを何倍にもして出力をそれに応じ
て大きくし得るように、出力をあげることは不可能であ
る。
さらに、横流CO2レーザでは、分子混合物すなわちガス
が横流路へ吹き込まれると、放電区間がその望ましい位
置から下流へと吹き流される結果、分子混合物の流れの
収束に放電区間が適合しなくなるという問題がある。
が横流路へ吹き込まれると、放電区間がその望ましい位
置から下流へと吹き流される結果、分子混合物の流れの
収束に放電区間が適合しなくなるという問題がある。
本発明の目的は、横流路を画定することができ、容易に
交換可能である管路面を形成する管を有し、電磁場の形
を分子混合物の流れの収束に適合させることによつてと
くに有利な放電区間を達成することができる高周波電極
を有し、単純な構成のCO2レーザを提供することにあ
る。
交換可能である管路面を形成する管を有し、電磁場の形
を分子混合物の流れの収束に適合させることによつてと
くに有利な放電区間を達成することができる高周波電極
を有し、単純な構成のCO2レーザを提供することにあ
る。
本発明によりこの目的は、レーザ光線用放電区間を含む
横流路と、この横流路を画定する複数の管路面と、横流
路の末端域にあるレーザ光線用鏡装置と、横流路にそつ
て延びている２個の高周波電極とを備えている少なくと
も数百ワツトの出力の横流形のCO2レーザにおいて、a)
互いに平行して向い合つている石英ガラス製の薄い肉厚
の少なくとも２本の円筒形の管であつてそれらの外面が
前記管路面を形成する管を備えること、b)前記管内でそ
れらの外面近くに設けられた凸形の高周波電極であつ
て、ガスの流れの方向に見て管路中央よりも上流の部分
の面積がその下流の部分の面積よりも大きく配置されて
いる高周波電極を備えることによつて達成される。
横流路と、この横流路を画定する複数の管路面と、横流
路の末端域にあるレーザ光線用鏡装置と、横流路にそつ
て延びている２個の高周波電極とを備えている少なくと
も数百ワツトの出力の横流形のCO2レーザにおいて、a)
互いに平行して向い合つている石英ガラス製の薄い肉厚
の少なくとも２本の円筒形の管であつてそれらの外面が
前記管路面を形成する管を備えること、b)前記管内でそ
れらの外面近くに設けられた凸形の高周波電極であつ
て、ガスの流れの方向に見て管路中央よりも上流の部分
の面積がその下流の部分の面積よりも大きく配置されて
いる高周波電極を備えることによつて達成される。
上記のような石英ガラス製の管は、大量生産品として存
在しているものを利用でき、その外面により分子混合物
の流れが所定の場所に収束させられ、また、それらの管
は高周波電極を保護する。
在しているものを利用でき、その外面により分子混合物
の流れが所定の場所に収束させられ、また、それらの管
は高周波電極を保護する。
さらに、凸形の高周波電極は、ガスの流れの方向に見て
管路中央よりも上流の部分の面積がその下流の部分の面
積よりも大きいように配置されていることによつて、電
磁場の形を分子混合物の流れの収束に適合させられるの
でとくに有利な放電区間を得ることができる。
管路中央よりも上流の部分の面積がその下流の部分の面
積よりも大きいように配置されていることによつて、電
磁場の形を分子混合物の流れの収束に適合させられるの
でとくに有利な放電区間を得ることができる。
特許請求の範囲第２項の特徴により、高周波電極を取付
けるため管に手を加えなくともよくなり、例えば蒸着技
術、電解処理などによつて実施できる。管に損傷たとえ
ば亀裂があるときも高周波電極は依然として無傷であり
さらに継続利用することができる。
けるため管に手を加えなくともよくなり、例えば蒸着技
術、電解処理などによつて実施できる。管に損傷たとえ
ば亀裂があるときも高周波電極は依然として無傷であり
さらに継続利用することができる。
特許請求の範囲第３項の特徴により、電極は管路面から
の距離がつねに同等になる。
の距離がつねに同等になる。
特許請求の範囲第４項の特徴により、流れ技術上の観点
から最適であるように管を配置でき、一方高周波電極に
よつて放電区間の場所をほぼ定められる。
から最適であるように管を配置でき、一方高周波電極に
よつて放電区間の場所をほぼ定められる。
特許請求の範囲第５項の特徴により、放電区間の場所を
定め得るようになる。分子混合物流れが速い場所でも、
たとえば流れの方向と逆に高周波電極を移動させること
で放電区間がその位置に止まつているようにすることが
できる。
定め得るようになる。分子混合物流れが速い場所でも、
たとえば流れの方向と逆に高周波電極を移動させること
で放電区間がその位置に止まつているようにすることが
できる。
特許請求の範囲第６項の特徴により、管の回転により高
周波電極も動かし得るようになる。このことはたとえば
管が長いときに有利である。管は問題なく極めて曲げに
対して剛性であるように作ることができる。それに反し
て高周波電極はしばしば鋼板条片であり固有の剛性が低
い。特許請求の範囲第６項の特徴により、管はこれらの
高周波電極も支えることができる。そうすれば、全体を
メートル単位の取扱い商品として製造することができ
る。
周波電極も動かし得るようになる。このことはたとえば
管が長いときに有利である。管は問題なく極めて曲げに
対して剛性であるように作ることができる。それに反し
て高周波電極はしばしば鋼板条片であり固有の剛性が低
い。特許請求の範囲第６項の特徴により、管はこれらの
高周波電極も支えることができる。そうすれば、全体を
メートル単位の取扱い商品として製造することができ
る。
特許請求の範囲第７項の特徴により、簡単なしかたで良
好かつ流れに有利な諸特性を備えた二つの放電区間が得
られ、これらを二重に折返えすように用いたレーザが得
られるようになる 特許請求の範囲第８項の特徴により、この種のレーザに
相異なる出力をもたらすのに寄与できる。横流路の幅が
広くなると、もたらされる分子混合物が増加し、同時に
高周波電極に余分に入力が供給される場合、出力も大き
くすることができる。
好かつ流れに有利な諸特性を備えた二つの放電区間が得
られ、これらを二重に折返えすように用いたレーザが得
られるようになる 特許請求の範囲第８項の特徴により、この種のレーザに
相異なる出力をもたらすのに寄与できる。横流路の幅が
広くなると、もたらされる分子混合物が増加し、同時に
高周波電極に余分に入力が供給される場合、出力も大き
くすることができる。
壁体に貫通孔がないなら、管は同時に冷却管としても用
いることができる 〔実施例〕 以下本発明の望ましい実施例について記述する。添付図
面中において、管１１は円筒形であり外径約100mm、肉
厚約３mmである。管は石英製で、その長さが３０乃至20
0cmである。その両端は、管１１の長軸に垂直に広がつ
ている図示しない装置の壁を貫いて取付けられている。
上方では管１１が保持案内壁１２と接している。管１１
内の下方内面に、銅条片１３が高周波電極として設けら
れ、図示しない高周波発生器に接続される。銅条片13は
浅いといの形をしている。管１１内には銅条片１３をそ
の位置に保持する星形の非導電性のスペーサ１４があ
る。銅条片１３はほぼ周回60゜にわたつて拡がつてい
る。
いることができる 〔実施例〕 以下本発明の望ましい実施例について記述する。添付図
面中において、管１１は円筒形であり外径約100mm、肉
厚約３mmである。管は石英製で、その長さが３０乃至20
0cmである。その両端は、管１１の長軸に垂直に広がつ
ている図示しない装置の壁を貫いて取付けられている。
上方では管１１が保持案内壁１２と接している。管１１
内の下方内面に、銅条片１３が高周波電極として設けら
れ、図示しない高周波発生器に接続される。銅条片13は
浅いといの形をしている。管１１内には銅条片１３をそ
の位置に保持する星形の非導電性のスペーサ１４があ
る。銅条片１３はほぼ周回60゜にわたつて拡がつてい
る。
管１１下方には同様の第２の管１６がある。従つて両管
１１，１６の間に横流路１７が画定され、これに分子混
合物が５０乃至200hPa（ヘクトパスカル）の圧をもつて
通される。横流路１７の幅は最も狭い個所で１０乃至５
0mm である。その形状は管１１，１６の円形の周回形状
によつて画定される。管１６内の上方には鋼条片１８が
設けてあり、銅条片１３と同様に形成されていて別の高
周波電極として機能する。図示してはないが同じくスペ
ーサによつてその場所に保持され、高周波発生器の別の
極に接続されている。本発明では銅条片１３，１８は第
３図に示すように非対称に配置されるが、説明のために
第２図には銅条片１３，１８を対象配置した場合の電気
力線１９が図示してあり、これらは周知のとおり銅条片
１３，１８の表面に対し２１で示すように直角に終つて
いる。
１１，１６の間に横流路１７が画定され、これに分子混
合物が５０乃至200hPa（ヘクトパスカル）の圧をもつて
通される。横流路１７の幅は最も狭い個所で１０乃至５
0mm である。その形状は管１１，１６の円形の周回形状
によつて画定される。管１６内の上方には鋼条片１８が
設けてあり、銅条片１３と同様に形成されていて別の高
周波電極として機能する。図示してはないが同じくスペ
ーサによつてその場所に保持され、高周波発生器の別の
極に接続されている。本発明では銅条片１３，１８は第
３図に示すように非対称に配置されるが、説明のために
第２図には銅条片１３，１８を対象配置した場合の電気
力線１９が図示してあり、これらは周知のとおり銅条片
１３，１８の表面に対し２１で示すように直角に終つて
いる。
本発明を説明する第３図においては、分子混合物が矢印
２２に従つて横流路１７へ流入させられるものと仮定し
ている。分子混合物はの流れの影響がなかつたなら、放
電空間はＸ印２３の記入してあるところすなわち中央平
面２４にあろう。放電空間は幾何学的鏡対称の関係上か
らも最も良くこの中央平面２４上にある。何故かという
と鏡対称の構造上の理由から、最も良く中央平面２４を
基準とするからである。
２２に従つて横流路１７へ流入させられるものと仮定し
ている。分子混合物はの流れの影響がなかつたなら、放
電空間はＸ印２３の記入してあるところすなわち中央平
面２４にあろう。放電空間は幾何学的鏡対称の関係上か
らも最も良くこの中央平面２４上にある。何故かという
と鏡対称の構造上の理由から、最も良く中央平面２４を
基準とするからである。
しかし分子混合物を矢印２２に従つて吹き送ると、放電
空間は下流へ破線で図示した円２６へと移る。
空間は下流へ破線で図示した円２６へと移る。
第２図は第３図との比較から、第３図においては鋼条片
１３，１８が矢印２２の方向とは逆に移されていて、電
気力線の重点がほぼ点２７にあることが認識できる。こ
れによつて、矢印２２に従つて流れに拘わらず、放電空
間すなわち放電区間がＸ印２３の位置にあるようにする
ことができる。どれほど右方へ非対称に銅条片１３，１
８を移動させなくてはならないかは、もちろん横流路１
７内の分子混合物の流速によつて左右される。
１３，１８が矢印２２の方向とは逆に移されていて、電
気力線の重点がほぼ点２７にあることが認識できる。こ
れによつて、矢印２２に従つて流れに拘わらず、放電空
間すなわち放電区間がＸ印２３の位置にあるようにする
ことができる。どれほど右方へ非対称に銅条片１３，１
８を移動させなくてはならないかは、もちろん横流路１
７内の分子混合物の流速によつて左右される。
自立式銅条片の場合に銅条片１３の移動が望まれる際
は、第４図に管１１に関連しての解決法が示されてい
る。
は、第４図に管１１に関連しての解決法が示されてい
る。
ここでは幾何学的長軸２８と同軸に金属製歯車２９が管
１１の一端に設けてあり回転可能に取付けてある。歯車
２９の側面３１には銅条片１３の左端が機械的に堅固に
導電性に固定してある。歯車２９の他の側面３２に電気
的すり接触子３３が押圧されてあり、これは高周波発生
器の一方の極と結合されている。軸３４がここには図示
してない案内壁１２の上方に長軸２８に平行に延びてお
り、図示してない調整モータによつて左回り又は右回り
に回され得る。軸３４に回転不能に電気絶縁性歯車３６
が取付けてあり歯車２９と係合している。歯車３６と同
じ歯車が最も右よりにもまた設けてあり、そこで歯車２
９に相当する歯車と係合している。変速比は小さくて銅
条片１３の位置の厳密に調整できるようにしてある。
１１の一端に設けてあり回転可能に取付けてある。歯車
２９の側面３１には銅条片１３の左端が機械的に堅固に
導電性に固定してある。歯車２９の他の側面３２に電気
的すり接触子３３が押圧されてあり、これは高周波発生
器の一方の極と結合されている。軸３４がここには図示
してない案内壁１２の上方に長軸２８に平行に延びてお
り、図示してない調整モータによつて左回り又は右回り
に回され得る。軸３４に回転不能に電気絶縁性歯車３６
が取付けてあり歯車２９と係合している。歯車３６と同
じ歯車が最も右よりにもまた設けてあり、そこで歯車２
９に相当する歯車と係合している。変速比は小さくて銅
条片１３の位置の厳密に調整できるようにしてある。
管１６についても同じ調整装置が設けてある。しかしこ
れは電気的には同じ電位にあつてはならない。この種の
装置によつて、銅条片１３，１８を、たとえば第２図に
示してある位置から第３図に示してある位置へ移動させ
ることができる。
れは電気的には同じ電位にあつてはならない。この種の
装置によつて、銅条片１３，１８を、たとえば第２図に
示してある位置から第３図に示してある位置へ移動させ
ることができる。
銅条片１３，１８が不安定でありスペーサが必要となる
ほど管１１，１６が長いときには、管１１を歯車２９の
回転不能に結合して管１１が銅条片１３とともに回るよ
うにする。もちろんそのときには、管１１の周回を側壁
３８に対してシールするパツキン３７が気密性を失うこ
となしに回転ができるように設けられなくてはならな
い。
ほど管１１，１６が長いときには、管１１を歯車２９の
回転不能に結合して管１１が銅条片１３とともに回るよ
うにする。もちろんそのときには、管１１の周回を側壁
３８に対してシールするパツキン３７が気密性を失うこ
となしに回転ができるように設けられなくてはならな
い。
もちろんこのことは管１１の他の末端にも、管１６の両
端にもあてはまる。
端にもあてはまる。
第５図の実施形式では、３本の管39,41,42が設けてあ
り、すべてが中央平面２４にある。それで２本の横流路
４３，４４が形成され、二つの放電区間が生じる。管４
１内には、１２時の位置および６時間の位置に、同じ電
位である銅条片４６，４７が設けてある。これらは図示
していない高周波発生器の一方の極に接続してある。管
３９には管１１と同様に６時の位置に銅条片４８が、管
４２には管１６と同様に１２時の位置に銅条片４９があ
る。
り、すべてが中央平面２４にある。それで２本の横流路
４３，４４が形成され、二つの放電区間が生じる。管４
１内には、１２時の位置および６時間の位置に、同じ電
位である銅条片４６，４７が設けてある。これらは図示
していない高周波発生器の一方の極に接続してある。管
３９には管１１と同様に６時の位置に銅条片４８が、管
４２には管１６と同様に１２時の位置に銅条片４９があ
る。
全体の装置は電磁放射線に関して密であるシリンダ５１
内にある。下部には矢印２２の方向に分子混合物を流さ
せ同時に冷却もする装置５２が設けてある。分子混合物
についての外側境界壁を形成するのは内部シリンダ５３
であり、シリンダ51の中心から外れて設けてある。その
１２時の位置に空所が設けてありその内に管３９の下部
が埋めこんである。分子混合物の流れの内側境界は小さ
い内部シリンダ５４であつて中心から外れて下方に設け
てあり、１２時の位置に空所がありこれに管４２の上部
が埋めこんである。さらに三日月形で外面がほぼ円形の
案内体５６があり、その内部に第５図のとおり管４１が
ありその上部及び下部範囲がこの案内体５６から覗いて
いる。案内体56は、内部シリンダ５３と５４との間の空
間の上半部内に設けてある。
内にある。下部には矢印２２の方向に分子混合物を流さ
せ同時に冷却もする装置５２が設けてある。分子混合物
についての外側境界壁を形成するのは内部シリンダ５３
であり、シリンダ51の中心から外れて設けてある。その
１２時の位置に空所が設けてありその内に管３９の下部
が埋めこんである。分子混合物の流れの内側境界は小さ
い内部シリンダ５４であつて中心から外れて下方に設け
てあり、１２時の位置に空所がありこれに管４２の上部
が埋めこんである。さらに三日月形で外面がほぼ円形の
案内体５６があり、その内部に第５図のとおり管４１が
ありその上部及び下部範囲がこの案内体５６から覗いて
いる。案内体56は、内部シリンダ５３と５４との間の空
間の上半部内に設けてある。
第６図の最後の実施形式には４本の管57，58，５９，６
１が設けてあつて三つの横流路が生じ、これらが二つの
レーザ光線区間６２，６３へ導く。それでここでは二重
に折返された形のレーザが得られる。もちろん管57,58,
59には同じく必要が電極が設けてある。生じる光路は、
第６図から見てとれる。ここでは180゜の鏡６７が必要
であるが、レーザ光線区間の位置のため鏡頭部内に収容
できる。左側には末端鏡６９と出力鏡７１とが図示して
ある。
１が設けてあつて三つの横流路が生じ、これらが二つの
レーザ光線区間６２，６３へ導く。それでここでは二重
に折返された形のレーザが得られる。もちろん管57,58,
59には同じく必要が電極が設けてある。生じる光路は、
第６図から見てとれる。ここでは180゜の鏡６７が必要
であるが、レーザ光線区間の位置のため鏡頭部内に収容
できる。左側には末端鏡６９と出力鏡７１とが図示して
ある。
第１図は第１の実施例の図解的な一部断面斜視図、 第２図は円弧状に形成された電極の場合の電気力線の形
を示す第１図に比べて拡大した端面の説明図、 第３図は第２図と同様の図であるが電極がずらされてい
る状態での説明図、 第４図は電極調整及び給電を説明するための図解的外形
図、 第５図は二つの放電区間と３本の管とを備えた実施形式
の全体配置での端面図、 第６図は第５図の装置の光路を示す図である。 11，16，39，41，42，57，58，59……管、１２……保持
案内壁、13，18，46，47，４８，４９……銅条片、１４
……スペーサ、17，43，44……横流路、１９……電気力
線、２９，３６……歯車、３３……すり接触子、３４…
…軸、３７……パツキン、３８……側壁、５１……シリ
ンダ、５３，５４……内部シリンダ、５６……案内体、
６７……鏡、６８……末端鏡、７１……出力鏡。
を示す第１図に比べて拡大した端面の説明図、 第３図は第２図と同様の図であるが電極がずらされてい
る状態での説明図、 第４図は電極調整及び給電を説明するための図解的外形
図、 第５図は二つの放電区間と３本の管とを備えた実施形式
の全体配置での端面図、 第６図は第５図の装置の光路を示す図である。 11，16，39，41，42，57，58，59……管、１２……保持
案内壁、13，18，46，47，４８，４９……銅条片、１４
……スペーサ、17，43，44……横流路、１９……電気力
線、２９，３６……歯車、３３……すり接触子、３４…
…軸、３７……パツキン、３８……側壁、５１……シリ
ンダ、５３，５４……内部シリンダ、５６……案内体、
６７……鏡、６８……末端鏡、７１……出力鏡。
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭56−80190（ＪＰ，Ａ) 特開 昭56−110280（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−48486（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−254685（ＪＰ，Ａ) 特開 昭51−87989（ＪＰ，Ａ) 特開 昭54−101697（ＪＰ，Ａ)
Claims (8)
- 【請求項１】レーザ光放射のための放電区間を含み、複
数の面によって画定された横流路と、この横流路の縁部
に設けられたレーザ光反射のための反射鏡装置と、前記
横流路の長手方向に延びている一対の高周波電極とを備
えている少なくとも数百ワットのＣＯ２レーザにおい
て、 a) 相互に平行で対向している、石英ガラス製の薄い肉
厚の少なくとも２本の円筒形の管であって、それらの外
面が前記横流路の前記面を形成する管と、 b) 前記管それぞれの内側でその外面近くに設けられた
凸形の高周波電極であって、隣接する管のうちの一方の
管の高周波電極が他方の管の高周波電極に対向してお
り、これらの高周波電極がガスの流れの方向に見て隣接
する管の軸線を結ぶ線よりも上流側においてより大きな
対向面積を有している、高周波電極と を備えることを特徴とするＣＯ２レーザ。 - 【請求項２】特許請求の範囲第１項記載のものにおい
て、前記高周波電極は前記管から分離された構成部分で
あることを特徴とするＣＯ２レーザ。 - 【請求項３】特許請求の範囲第１項記載のものにおい
て、前記高周波電極は円筒形に沿って延びていることを
特徴とするＣＯ２レーザ。 - 【請求項４】特許請求の範囲第１項記載のものにおい
て、前記高周波電極は前記横流路に対して固定位置に設
けられていることを特徴とするＣＯ２レーザ。 - 【請求項５】特許請求の範囲第１項記載のものにおい
て、前記高周波電極は前記横流路に対して位置調節可能
であることを特徴とするＣＯ２レーザ。 - 【請求項６】特許請求の範囲第１項乃至第５項の何れか
１項に記載のものにおいて、前記高周波電極は回転不能
に前記管に結合され、その軸が回転可能であることを特
徴とするＣＯ２レーザ。 - 【請求項７】特許請求の範囲第１項記載のものにおい
て、少なくとも３本の管が設けてあり、それらのうちの
２本以上がそれらの間に前記横流路を画定し、中間の１
本以上の管はそれぞれ一対の、他の管の方へ向けられた
高周波電極を備えており、レーザ光線の折り返しのため
の鏡装置が設けてあることを特徴とするＣＯ２レーザ。 - 【請求項８】特許請求の範囲第１項記載のものにおい
て、前記横流路の高さは可変であることを特徴とするＣ
Ｏ２レーザ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19843428653 DE3428653C2 (de) | 1984-08-03 | 1984-08-03 | Quergeströmter CO¶2¶-Laser |
| DE3428653.5 | 1984-08-03 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6143489A JPS6143489A (ja) | 1986-03-03 |
| JPH0624270B2 true JPH0624270B2 (ja) | 1994-03-30 |
Family
ID=6242276
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60168662A Expired - Lifetime JPH0624270B2 (ja) | 1984-08-03 | 1985-08-01 | Ｃｏ▲下２▼レ−ザ |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0624270B2 (ja) |
| DE (1) | DE3428653C2 (ja) |
| FR (1) | FR2568729B1 (ja) |
| GB (1) | GB2163896B (ja) |
| IT (1) | IT209153Z2 (ja) |
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|---|---|---|---|---|
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| DE3930699C2 (de) * | 1989-09-14 | 1994-02-03 | Perzl Peter | Vorrichtung zur Energieeinkopplung in eine durchströmte elektrische Gasentladung |
| GB2260854B (en) * | 1991-10-22 | 1995-04-05 | British Aerospace | Surface discharge corona plasma cathode assembly |
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|---|---|---|---|---|
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| US3777279A (en) * | 1972-03-30 | 1973-12-04 | United Aircraft Corp | Deposition of power in a moving gas stream by electric discharge means |
| JPS5673484A (en) * | 1979-11-21 | 1981-06-18 | Mitsubishi Electric Corp | Voiceless discharge gas laser device |
| JPS5680190A (en) * | 1979-12-05 | 1981-07-01 | Mitsubishi Electric Corp | Gas laser device |
| JPS56110280A (en) * | 1980-02-05 | 1981-09-01 | Mitsubishi Electric Corp | Gas laser device |
| JPS5848486A (ja) * | 1981-09-16 | 1983-03-22 | Mitsubishi Electric Corp | ガスレ−ザ発振器 |
| JPS5891691A (ja) * | 1981-11-26 | 1983-05-31 | Okaya Denki Sangyo Kk | ガスレ−ザ管の陰極 |
| DE3240836A1 (de) * | 1982-11-05 | 1984-05-10 | Deutsche Forschungs- und Versuchsanstalt für Luft- und Raumfahrt e.V., 5300 Bonn | Stroemungskanal fuer einen quergestroemten gaslaser |
| JPS60254685A (ja) * | 1984-05-31 | 1985-12-16 | Mitsubishi Electric Corp | レ−ザ発振器用放電々極 |
-
1984
- 1984-08-03 DE DE19843428653 patent/DE3428653C2/de not_active Expired - Fee Related
-
1985
- 1985-07-23 GB GB08518622A patent/GB2163896B/en not_active Expired
- 1985-07-31 FR FR8511723A patent/FR2568729B1/fr not_active Expired - Fee Related
- 1985-08-01 IT IT6042485U patent/IT209153Z2/it active
- 1985-08-01 JP JP60168662A patent/JPH0624270B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| IT209153Z2 (it) | 1988-09-15 |
| JPS6143489A (ja) | 1986-03-03 |
| DE3428653A1 (de) | 1986-02-13 |
| DE3428653C2 (de) | 1994-06-01 |
| GB2163896B (en) | 1988-01-13 |
| IT8560424V0 (it) | 1985-08-01 |
| FR2568729B1 (fr) | 1994-05-06 |
| GB2163896A (en) | 1986-03-05 |
| GB8518622D0 (en) | 1985-08-29 |
| FR2568729A1 (fr) | 1986-02-07 |
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