JPH06229797A - 容量式電磁流量計 - Google Patents

容量式電磁流量計

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JPH06229797A
JPH06229797A JP5013211A JP1321193A JPH06229797A JP H06229797 A JPH06229797 A JP H06229797A JP 5013211 A JP5013211 A JP 5013211A JP 1321193 A JP1321193 A JP 1321193A JP H06229797 A JPH06229797 A JP H06229797A
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pipe
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保 小林
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 測定流体の流速分布の影響を受けず、開水路
でも水位の変動を受けないように改良した容量式電磁流
量計を提供するにある。 【構成】 少なくとも内面が絶縁性の管路と、この管路
の管軸に直交して測定流体に磁場を印加する励磁手段
と、先の管軸及び先の磁界と直交する方向であって先の
測定流体とは絶縁して先の管路に設けられた一対の検出
電極とを有する容量式電磁流量計において、この検出電
極の管軸方向の電極長を、先の管路の管壁に立つ法線方
向と先の管軸及び先の磁界に直交する軸とでなす角度の
余弦に比例するようにし、或いは自由水面をもつ水路に
おいて検出電極から流出する電流信号を電流/電圧変換
手段を介して電圧信号に変換して取り出すようにしたも
のである。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、測定流体中に発生する
流量に対応した信号電圧を静電容量を介して検出する容
量式電磁流量計に係り、特に測定流体の流速分布の影響
を受けず、また非満水状態での流量測定が可能なように
改良した容量式電磁流量計に関する。
【0002】
【従来の技術】図11は流速分布の影響を低減させた従
来の電磁流量計の構成を示す構成図である。この構成
は、特公昭55−28325号公報「名称:電磁流量
計」で開示されている。以下、この概要について説明す
る。
【0003】10は内面が絶縁された管体であり、この
管体10を挟んで磁石11、12が配置され、管体10
に磁束Φを印加している。この管体10の絶縁された内
面には複数の電極対(13a、13b)、(14a、1
4b)、(15a、15b)、(16a、16b)、
(17a、17b)がそれぞれ設けられている。
【0004】電極対(13a、13b)はそれぞれ管体
10の中央部で直径方向に対向して配置され、電極対
(14a、14b)と(15a、15b)は電極対(1
3a、13b)に対してそれぞれ所定間隔をおいて順次
上方に配置され、電極対(16a、16b)と(17
a、17b)は電極対(13a、13b)に対してそれ
ぞれ所定間隔をおいて順次下方に配置されている。
【0005】電極対(13a、13b)は増幅器18
に、電極対(14a、14b)は増幅器19に、電極対
(15a、15b)は増幅器20に、電極対(16a、
16b)は増幅器21に、電極対(17a、17b)は
増幅器22にそれぞれ接続されている。
【0006】これらの増幅器18〜22の出力は、変換
器23に入力され、ここでこれらの増幅器18〜22の
出力を加算平均して出力端子24a、24bに出力す
る。信号処理装置25は、これらの増幅器18〜22と
変換器23などで構成されている。
【0007】このように図11に示す構成では、多数の
電極対を管体10の半径方向に配置するようにしている
ので、出力端子24a、24b間には管体10の各部を
流れる流体の流速を平均化した出力信号が得られる。し
たがって、非軸対称の流速分布であっても、出力端子2
4a、24b間で得られる出力電圧は管体10内を流れ
る流量に比例したものとなる。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、以上の
ような電磁流量計は接液した多数の電極を設けなければ
流速分布の影響を十分に小さく抑えることができないの
で、電極の構造が複雑になり、その上、電極からの液漏
れの原因ともなる。さらに、小口径の電磁流量計では、
電極を配置するスペースがないので、現実問題として製
造することが困難となる欠点がある。
【0009】また、信号処理装置側からも、信号電圧を
平均化するために多数の増幅器を内蔵する関係から、コ
ストアップの要因をなすという問題もある。
【0010】このほか、電極が離散的に配置されている
ので、管体の中が非満水状態、或いは開水路などの場合
には、水面レベルが変動すると検出される信号電圧は離
散信号となり、流量演算の精度に限界が生じる。
【0011】また、非満水状態などでは、自由水面の変
動により、離散的に配置された電極が測定流体に接触し
たり、離れたりすることによって、電極表面の電気化学
的な電位変動が極めて大きくなり、大きな指示変動をも
たらす原因となる。
【0012】
【課題を解決するための手段】本発明は、以上の課題を
解決するための主な構成として、第1に、少なくとも内
面が絶縁性の管路と、この管路の管軸に直交して測定流
体に磁場を印加する励磁手段と、先の管軸及び先の磁界
と直交する方向であって先の測定流体とは絶縁して先の
管路に設けられた一対の検出電極とを有する容量式電磁
流量計において、この検出電極の管軸方向の電極長を、
先の管路の管壁に立つ法線方向と先の管軸及び先の磁界
に直交する軸とでなす角度の余弦に比例するようにした
ものである。
【0013】第2には、少なくとも内面が絶縁性であっ
て内部に測定流体が流される自由水面を有する水路と、
この自由水面に直交する磁場を印加する励磁手段と、先
の測定流体とは絶縁して先の水路に設けられた一対の検
出電極とを有する容量式電磁流量計において、先の測定
流体の流量に対応して先の検出電極から流出する電流信
号は、電流/電圧変換手段を介して電圧信号に変換され
て取り出されるようにしたものである。
【0014】
【作 用】検出電極の管軸方向の電極長を、管路の管壁
に立つ法線方向と管軸及び磁界に直交する軸とでなす角
度の余弦に比例するようにしているので、この検出電極
の各点から流出する電流信号は、管路の管壁に立つ法線
方向と先の管軸及び先の磁界に直交する軸とでなす角度
の余弦で重み付けがされて出力され、この結果として、
流速分布の影響を受けない出力を得ることができる。
【0015】また、測定流体とは絶縁された検出電極か
ら流出する電流信号を電流/電圧変換手段を介して出力
することにより、水路の中が非満水状態でも正確に流量
信号として検出することができる。
【0016】
【実施例】以下、本発明の実施例について図を用いて説
明する。図1は本発明の1実施例の構成を示す構成図で
ある。30は測定流体Qを流す絶縁性の円筒状の管路で
ある。この管路30の管軸に沿って平行に均一磁場Bが
印加されている。
【0017】この管路30の中央部には、一対の導電性
の検出電極31、32が管路30の管壁に沿って測定流
体Qとは絶縁して互に対向して配置されている。そし
て、これらの検出電極31、32の管軸方向の長さは、
管路30の中央断面を横切る線Y−Y´の管軸Z−Z´
と交差する点であって各検出電極の中央を結ぶ線X−X
´を基準として管路30の周面とのなす角θの余弦に比
例するように形成されている。
【0018】検出電極31は、非反転入力端(+)が共
通電位点COMに接続され、出力端とコンデンサCf1
介して接続された演算増幅器33の反転入力端(−)に
接続されている。
【0019】さらに、検出電極32も、非反転入力端
(+)が共通電位点COMに接続され、出力端とコンデ
ンサCf2を介して接続された演算増幅器34の反転入力
端(−)に接続されている。
【0020】これ等の演算増幅器33、34の出力端
は、それぞれ演算増幅器35の非反転入力端(+)と反
転入力端(−)に接続され、演算増幅器35はこれ等の
出力端に得られる電圧信号の差を演算して出力端36に
出力する。
【0021】以上の構成において、測定流体Qが管路3
0に流れることによって測定流体Q中に発生した起電力
は、絶縁性の管路30の内壁に沿う測定流体Q中に所定
の電位分布を生じさせるが、この電位分布によって生じ
る合成の信号電圧は管路30によって形成される静電容
量Cw1、w2を介して各検出電極31、32で検出され
る。
【0022】この場合、各検出電極31、32で検出さ
れる信号は、静電容量Cw1、w2が極めて小さい値であ
るので、電流信号として演算増幅器33、34に流出
し、演算増幅器33、34はこれ等を電圧信号に変換す
る。そして、これ等の電圧信号は演算増幅器35で差動
演算がなされて出力端36に出力される。
【0023】次に、以上のような構成、動作により管路
30の内部が、満水状態でなくても、また管路30の形
状が一部開放された開水路であっても、流速分布の影響
を受けることなく正確に流量測定が可能であることを以
下に説明する。
【0024】先ず、以上の説明の前提として、図2に示
す説明図を用いて以下の説明に都合の良い積分形をベー
スとする電磁流量計の原理について説明する。図2にお
いて、対象とする電磁流量計の管路は管軸(z軸方向)
方向に断面が同一(断面の形状は問わない)であり、管
壁は絶縁性とする。
【0025】均一磁界(強度H0)を管軸に直交するy
軸方向に印加し、その範囲はz軸方向に長さLをカバー
するものとする。y軸、z軸に直交してx軸をとる。長
さLと管内壁で囲まれた円筒状の領域が解析の対象であ
る。この領域の円筒状の側面の面積をS、断面をそれぞ
れA1、A2(面積A)とする。流れはz軸方向で、流量
はQとする。
【0026】領域内の任意の点においてMAXWELL
の電磁方程式が成立するが、磁界の変化が緩慢であり、
伝導電流に比べて変位電流が無視でき、かつ流体の分
極、電荷の流体による移動、生成、消滅がないときに
は、次式が成立する。 rotH=J (1) rotE=0 (2)
【0027】但し、Hは磁界強度、Jは電流密度、Eは
電界強度をそれぞれ表わすベクトルである。ここで、導
電率をσ、導磁率をμ、流速ベクトルをvとすれば、電
流密度Jは次式で表わすことができる。 J=σ(E+μv×H) (3)
【0028】また、Hは一般には、印加磁界H0と誘導
磁界hとの和としてH=H0+hで表されるが、水など
の電解質を対象流体とする工業用の電磁流量計の通常の
測定条件下ではhは十分に小さく、これを無視して差し
支えない。
【0029】x軸方向の単位ベクトルをixとし、ix×
0なる場ベクトルにつきGaussの発散定理を適用
すれば、 ∫v div(ix×H0)dv=∫S、A1、A2 (ix×H0)・in da (4) となる。ここで、左辺の体積積分は領域全体に対して行
い、右辺の面積積分は側面Sと両断面A12につき行う
ものとし、inは各面上の外向き単位法線ベクトルとす
る。
【0030】ベクトル演算の公式により左辺では、 div(ix×H0)=−ix・rotH0 右辺では、側面S上では(ix×H0)とinとが直交し、
断面A1、A2上では互に相殺するので、(4)式は、 ix・∫v rotH0 dv=0 となる。
【0031】この左辺に(1)式、(3)式を代入し
て、 ix・∫v σ(E+μv×H0)dv=0 (5) を得る。ここで、(2)式の条件により、E=−gradφな
る関係を持つ電位φを導入する。
【0032】ベクトル演算公式 ix・gradφ=div(ix
φ)を用いると、先ず、(5)式の第1項は、σで除し
て ix・∫v E dv=−∫v div(ixφ)dv となる。
【0033】ここで、再び、Gaussの発散定理を用
いると ix・∫v E dv=−∫S φ(s)ix・in ds −∫A{φ(z=0)−φ(z=1)}ix・in da (6) を得る。右辺第2項はixとinの直交性によりゼロであ
る。
【0034】次に、(5)式の第2項は、 ix・∫v μv×H0 dv=ix0L{∫Aμv×H0 da}dz (7) となる。ここで、H0はy成分のみを持つので、μv×
0ベクトルはx、y成分に分けて、次のように表わさ
れる。 μv×H0=−ixμvH0z+izμvH0x
【0035】したがって、(7)式の右辺は座標系の基
本ベクトルの性質により、 ix・∫v μv×H0 dv=−μH00L{∫Az da}d
z となる。ここで、∫Az da=Qは、流速分布の如何に
かかわらずz軸方向に変わることはないので、 ix・∫v μv×H0 dv=−μH0QL (8) となる。
【0036】(6)式および(7)式を(5)式に代入
して、 −μH0QL=−∫S φ(s)ix・in ds (9) を得る。この(9)式が3次元モデルにおける電磁流量
計の基本式である。
【0037】以上の解析において、Lを短くして、この
間では流速分布が変化しないものとすれば、(9)式か
らLを除いて、 −μH0Q=−∫c φ(s)ix・in dc (10) なる2次元モデルの基本式が得られる。積分は断面全周
について行う。
【0038】特に、管路が円形断面のときは、ix・in
=COSθであるので、(10)式は Q=−(r/B0)∫c φ(s)COSθ dθ (11) となる。ここで、rは管断面の半径、B0はμH0を意味
する。
【0039】なお、以上の説明は、管路の中が満水で流
れることを前提として説明したが、基本式の導出過程を
考慮すれば、自由水面を含む非満水流れ、或いは開水路
流れにも適用することが出来る。この場合、磁界を自由
水面に直交するように構成すれば、この部分での電位測
定は必要でなくなる。
【0040】また、以上の解析では、磁界はy方向に関
して全て均一であることを前提としているが、磁界がx
方向成分を持ち、不均一になっている場合は、次のよう
になる。
【0041】先ず、磁界強度H0が、x方向成分を有
し、 H0=ixx+iyy で表わせるものとする。Hx、Hyは場所の関数である。
【0042】この場合に、(4)〜(6)式は磁界の違
いには依存しないが、(7)式の右辺のベクトル(μv
×H0)は、この場合には、 μv×H0=−ixμHyz+iyμHxz+izμ(Hy
x−Hxy) となって、Hxを含む項が現れる。
【0043】ixとの内積をとって積分すれば、右辺第
1項のみ残り、(7)式の右辺として、 ix・∫v μv×H0 dv=μ・0L{∫Ayz da}dz (7)´ が得られる。
【0044】(6)式、(7)´式を(5)式に代入し
て、 μ・0L{∫Ayz da}dz=−∫S φ(s)ix・in
ds ここで、Lを短くとれは゛、2次元モデルの式として μ∫Ayz da=−∫S φ(s)ix・in dc を得る。
【0045】結局、Hxは式から消えて、各点の磁界の
y軸方向成分μHy(=By)が、この点の流速に対する
荷重になる。すなわち、流速分布の影響を少なくするた
めには、磁界のy軸方向の均一度があれば良く、x軸方
向の磁界成分の不均一度には無関係となる。
【0046】次に、簡単のため、(11)式で示す円形
断面を持つ電磁流量計の基本式をベースとして、図3に
示す説明図を用いて図1に示す実施例の動作について詳
しく説明する。
【0047】図3(a)は説明を判りやすくするために
検出電極31をn分割して模式的に示したものであり、
図3(b)はこれに接続される演算増幅器33との関係
を示す説明図である。
【0048】検出電極31は、実際には導電体で一体に
構成されるが、ここでは検出電極31は互に絶縁されて
31a、31b、31c、…、31nのn個に分割され
て絶縁性の管路30の表面上或いは管壁内に密着固定さ
れているものとしている。これらの検出電極31a〜3
1nと測定流体Qとの間には、絶縁性の管路30を介し
てそれぞれ静電容量Cwa、Cwb、Cwc、…、Cwnが形成
されている。
【0049】検出電極31a〜31nには、それぞれ測
定流体Qによってva、vb、vc、…、vnなる電圧が誘
起されているので、これ等の誘起された電圧va〜v
nは、小さな値の静電容量Cwa、Cwb、Cwc、…、Cwn
で電流信号ia、ib、ic、…、inに変換されたのち、
演算増幅器33の反転入力端子(−)で加算され、帰還
容量Cf1で電圧に再変換されて出力端に出力される。
【0050】したがって、演算増幅器33の出力端に得
られる電圧V0は、 V0=(Cwaa+Cwbb+Cwcc+…+Cwnn)/Cf1i=aΣi=nwii/Cf1 (12) で与えられる。
【0051】ところで、静電容量Cwiは、検出電極31
の管路30のz軸方向の長さがCOSθiに比例するように
選定され、円周方向の長さはΔθiであるので、K0を基
準容量で一定とすれば、 Cwi=K0COSθi・r・Δθi (13) で表わすことができる。
【0052】これを、(12)式に代入すれば、 V0i=aΣi=n0COSθi・r・Δθii/Cf1 =(K0r/Cf1i=aΣi=niCOSθi・Δθi となる。
【0053】さらに、この分割数nを大きくすれば、 V0=(K0r/Cf1)∫c φ(s)COSθ dθ (14) を得る。この(14)式に(11)式の関係を代入すると、 V0=−K00Q/Cf1 (15) が得られる。
【0054】この式は流速分布を考慮せずに得られたも
のである。このように、管路30の内部周面に発生する起
電力に対して、COSθの重み付けをして検出電極31の全
体から得られる電流信号を加算して出力することによ
り、流速分布の影響を受けずに流量Qに比例する電磁流
量計が得られる。
【0055】以上は、満水管路をベースとして説明した
が、円形管路の内部の一部に空間のある非満水管路(水
路)についても同様に適用することができる。図4はこ
のような電磁流量計の構成を示す斜視図である。
【0056】絶縁性の円形管路37の外周面にその管軸
方向の長さがCOSθに比例するように電極38、39
が形成されており、その内部には一部にしか測定流体Q
が満たされておらず、上部に空間40が残されている。
【0057】このような構成でも、図1に示す実施例と
同様に流量信号を電流信号の総和として検出する構成で
あれば、流量に対応した電流信号が図3に示すように得
られる。
【0058】例えば、電極31nが測定流体Qに触れて
いない場合には、電圧vnはゼロであり、静電容量Cwn
もゼロとなるので、この部分インピーダンスは無限大と
なり、電流加算の対象からはずれる。つまり、測定流体
Qが存在する部分の起電力のみが電流加算されるので、
満水/非満水に関係なく正しい流量が求められることと
なる。
【0059】図5は管路の一部が開放された開水路で構
成された電磁流量計の例を示す斜視図である。絶縁性の
U字形の開水路41の中には測定流体Qが満たされてお
り、この自由水面42に垂直に磁界Bが印加されてい
る。この開水路41の側面には水路の軸方向に所定の長
さを有する検出電極43、44が設けてある。
【0060】検出電極43、44の水路方向の長さは、
(10)式を参照して、水路壁に立つ法線と、水路方向
および磁界に直交する軸とのなす角θのCOSに比例す
るように選定すれば良い。
【0061】図6は開水路の断面形状を台形或いは三角
形に構成した電磁流量計の例を示す断面図である。図6
(a)は断面を台形とした絶縁性の水路45とし、この
側壁に検出電極46、47を配置する構成としたもので
ある。この場合の検出電極46、47の水路方向の長さ
も図5に示す場合と同様にCOSθに比例するように選
定すれば良い。
【0062】図6(b)は断面を三角形とした絶縁性の
水路48とし、この側壁に検出電極49、50を配置す
る構成としたものである。この場合の検出電極46、4
7の水路方向の長さも図5に示す場合と同様にCOSθ
に比例するように選定すれば良い。
【0063】図7は電流入力形の演算増幅器の第1の変
形実施例の構成を示す回路図である。この演算増幅器5
1は図1に示す演算増幅器33に対応するものであり、
コンデンサCf1の代わりに抵抗R1で置き換えたもので
ある。
【0064】C1は検出電極と測定流体Qとの間に形成
される静電容量である。測定流体Qの中に発生する信号
電圧は静電容量C1で電流信号に変換され、抵抗R1を介
して電圧信号に変換されて演算増幅器51の出力端に電
圧信号として得る。
【0065】図8は電流入力形の演算増幅器の第2の変
形実施例の構成を示す回路図であり、演算増幅器52の
帰還回路として抵抗R2とコンデンサC2の並列回路で構
成するようにしたものである。この場合は、入力と出力
との間で位相が変化するので、後段での信号処理に際し
ては位相を配慮する必要がある。
【0066】図9は電圧入力形の演算増幅器の変形実施
例の構成を示す回路図である。この場合は、演算増幅器
53の入力側において測定流体Qの中に発生した信号電
圧が静電容量C1で電流信号に変換され、これを抵抗Ri
で電圧信号に変換される。この電圧信号を演算増幅器5
3で電圧増幅する構成である。
【0067】この電圧入力形の演算増幅器は、管路の中
が満水になるタイプの電磁流量計に対して適用すること
ができる。しかし、開水路のように管路の中が満水にな
らないタイプの電磁流量計に対して用いては正確に流量
を検出することはできない。
【0068】なお、以上に示す電磁流量計は、図10に
示すように、接液抵抗R0が静電容量C1に直列に挿入さ
れる構成であり、静電容量C1のインピーダンスは接液
抵抗R0に比べて極めて大きいので、接液抵抗R0の変
化、例えば導電率の影響を受け難い。
【0069】また、検出電極が測定流体に接触すると、
電気化学的作用により直流電位が発生し、これが変動す
ることにより指示変動をもたらすが、以上に示す電磁流
量計は検出電極が接液しないので、この影響はない。
【0070】磁界としては、静電容量を介して信号を検
出する関係から、直流磁界以外の磁界であれば、例えば
矩形波状、正弦波状など各種の波形をもつ励磁手段を用
いることができる。
【0071】以上の各実施例では、管路の軸方向に所定
の関数関係(COSθ)をもって検出電極の長さを変化
させるように構成したが、検出電極と測定流体との距離
を同様な関数関係をもって変化させても理論的には流速
分布の影響を受けないようにすることができる。しか
し、管路の厚さをこのような関数関係(COSθ)をも
って製作することは実際には困難を伴う。
【0072】
【発明の効果】以上、実施例と共に具体的に説明したよ
うに、第1請求項に記載された発明によれば、流速分布
による誤差を少なくする所定の形状を持つ容量検出形の
検出電極から得られる管路内壁上の電位が荷重平均して
取り出されるので、流速分布の影響の少ない電磁流量計
が実現できる。そして、荷重平均は電極の平板状の形状
により実現するので安いコストで実現できる。また、第
2請求項に記載された発明によれば、開水路の内壁に得
られる信号電位を静電容量を介して電流信号として取り
出す構成であるので、水位の変動に対応した電流信号を
合成することができ、開水路の流量を水位の変動を受け
ずに測定することができる。第3請求項に記載された発
明によれば、電流検出形として受信回路を構成するの
で、管路の内部は満水/非満水に関係なく、しかも流速
の分布に無関係に流量を正確に測定できる。第4請求項
に記載された発明によれば、検出電極の管軸方向の電極
長を、前記水路の管壁に立つ法線方向と前記管軸及び前
記磁界に直交する軸とでなす角度の余弦に比例するよう
にしたので、開水路の流量を水位の変動と共に流速分布
の影響も受けないようにすることができる。第5請求項
に記載された発明によれば、電圧信号として検出するよ
うに受信回路を構成しているので、管路が満水状態なら
ば正しい流量を検出することができる。第6〜第9請求
項に記載された発明によれば、同一の測定原理を用いな
がら、管路或いは水路の形状としては、各種のものを任
意に用いることができるので、測定対象に合わせて応用
でき、応用範囲を拡大することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の1実施例の構成を示す構成図である。
【図2】図1に示す実施例の動作を説明するための第1
の説明図である。
【図3】図1に示す実施例の動作を説明するための第2
の説明図である。
【図4】図1に示す実施例の流量状態を変えたときの動
作を説明する斜視図である。
【図5】図1に示す実施例の管路を開水路としたときの
斜視図である。
【図6】図1に示す実施例の管路を他の形状の開水路と
したときの斜視図である。
【図7】図1に示す実施例の増幅器の構成を変えた第1
の変形実施例を示す。
【図8】図1に示す実施例の増幅器の構成を変えた第2
の変形実施例を示す。
【図9】図1に示す実施例の増幅器の構成を変えた第3
の変形実施例を示す。
【図10】図1に示す実施例の効果を説明する回路図を
示す。
【図11】従来の電磁流量計の構成を示す構成図であ
る。
【符号の説明】
10 管体 11、12 磁石 23 変換器 25 信号処理装置 30 管路 31、32 検出電極 33、34、35 演算増幅器 37 円形管路 41 開水路 45、48 水路

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】少なくとも内面が絶縁性の管路と、この管
    路の管軸に直交して測定流体に磁場を印加する励磁手段
    と、前記管軸及び前記磁界と直交する方向であって前記
    測定流体とは絶縁して前記管路に設けられた一対の検出
    電極とを有する容量式電磁流量計において、 この検出電極の管軸方向の電極長を、前記管路の管壁に
    立つ法線方向と前記管軸及び前記磁界に直交する軸とで
    なす角度の余弦に比例するようにしたことを特徴とする
    容量式電磁流量計。
  2. 【請求項2】少なくとも内面が絶縁性であって内部に測
    定流体が流される自由水面を有する水路と、この自由水
    面に直交する磁場を印加する励磁手段と、前記測定流体
    とは絶縁して前記水路に設けられた一対の検出電極とを
    有する容量式電磁流量計において、 前記測定流体の流量に対応して前記検出電極から流出す
    る電流信号は、電流/電圧変換手段を介して電圧信号に
    変換されて取り出されることを特徴とする容量式電磁流
    量計。
  3. 【請求項3】前記測定流体の流量に対応して前記検出電
    極から流出する電流信号は、電流/電圧変換手段を介し
    て電圧信号に変換されて取り出されることを特徴とする
    特許請求の範囲第1項記載の容量式電磁流量計。
  4. 【請求項4】前記検出電極の管軸方向の電極長を、前記
    水路の管壁に立つ法線方向と前記管軸及び前記磁界に直
    交する軸とでなす角度の余弦に比例するようにしたこと
    を特徴とする特許請求の範囲第2項記載の容量式電磁流
    量計。
  5. 【請求項5】前記検出電極に流れる電流信号を電圧信号
    に変換する入力抵抗と、この電圧信号を増幅する増幅手
    段とを具備することを特徴とする特許請求の範囲第1項
    記載の容量式電磁流量計。
  6. 【請求項6】前記管路は閉管路であってこの閉管路の内
    部が満水状態とされたことを特徴とする特許請求の範囲
    第1項又は第3項又は第5項記載の容量式電磁流量計。
  7. 【請求項7】前記管路は円形閉管路であってこの円形閉
    管路の内部が満水状態とされたことを特徴とする特許請
    求の範囲第1項又は第3項又は第5項記載の容量式電磁
    流量計。
  8. 【請求項8】前記管路或いは水路は、周囲が閉じており
    この内部が非満水状態とされたことを特徴とする特許請
    求の範囲第1項又は第2項又は第3項記載の容量式電磁
    流量計。
  9. 【請求項9】前記水路はその一部が開放された開水路と
    して形成されたことを特徴とする特許請求の範囲第2項
    又は第4項記載の容量式電磁流量計。
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