JPH06229792A - 流体振動検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ダイヤフラムに対向する背極の電極板の絶縁
性を増し耐久性および検出精度を高める。 【構成】 片面に電極１０が形成されたエレクトレット
膜１１からなるダイヤフラム５により１対の圧力室１
５，１６の中央をそれぞれ仕切る。エレクトレット膜１
１と対向する位置にそれぞれ電極板７を形成するととも
に、この電極板７を絶縁膜６および絶縁フィルム８で覆
い絶縁性を高める。電極板７の外周部を圧力室内壁部に
より支持・固定する。これらの電極板７とエレクトレッ
ト膜１１とから１対の可変容量型圧力検出素子４ａ，４
ｂを形成する。さらに、各圧力室の片側１５ａ，１６ａ
にそれぞれ１対の導圧口１７を形成し、一方の圧力室の
片側１５ａと他方の圧力室の反対側１６ｂとを連通路１
８により接続するとともに、一方の圧力室の反対側１５
ａと他方の圧力室の片側１６ａとを連通路１９により接
続する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、流体中の圧力振動の周
波数を検出して流体の流速あるいは流量を計測するカル
マン渦流量計やフルイディック流量計等に用いられる流
体振動検出装置に係り、特に気体に適用した場合に外部
振動や圧力変動の影響を受けずに低速流域の弱い渦から
の流体圧力信号を検出することができる流体振動検出装
置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種の流体振動検出装置として
は、特開昭６２−１１０１２１号公報に記載のものが知
られている。この流体振動検出装置は、図５に示すよう
に、ダイヤフラム１０４とこれに対向して設置した背極
１２０とで１個のコンデンサを構成しており、ダイヤフ
ラム１０４により区画された２つの圧力室である第１検
出室１０５と第２検出室１０６に振動圧力を導くと、そ
の差圧によりダイヤフラム１０４に変位が生じる。それ
により、コンデンサの容量が変化して圧力が検出され
る。このダイヤフラム１０４は素材をＰＥＴ、テフロン
等のプラスチックとし、その一面に電極を形成し、他面
には電荷を帯電させたエレクトリック膜とすることで、
バイアス電圧を加えずに膜の変位から直接電圧に変換す
ることができるコンデンサマイクを構成する。

【０００３】この従来例では特に説明されていないが、
このようなコンデンサマイクであるダイヤフラム１０４
の帯電面に対して、通常は、絶縁スペーサにより数十μ
ｍの間隔をおき、かつ絶縁枠によりケース１１８に対し
て高い絶縁性を保持しながら背極１２０を設置し、第２
検出室１０６内に電界効果型トランジスタ１２２を設け
た基板１２１が積層される。この検出室１０６内部は検
出流体が自在に通過するので、内部に配置されているト
ランジスタ１２２は検出流体にさらされる構造である。

【０００４】また、このコンデンサマイクの原理を用い
た場合、ダイヤフラムと背極間との間の静電容量のなか
に圧力検出に作用しない寄生容量が含まれており、この
寄生容量を減らす方法として、特開昭５９−２８７９９
号公報に記載の方法が知られている。これは、図６に示
すように、背極１２０の周縁部分に切欠き部１１７を形
成することでダイヤフラムと背極との間に生じる寄生容
量を低減し、圧力を検出する際の障害となる寄生容量を
少なくしてコンデンサマイクの感度を向上させている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前者に
は次のような問題がある。 （１）高湿度雰囲気中では、背極とケースとの間の絶縁
を保持する絶縁枠が吸湿して絶縁抵抗値が低下するとと
もに、結露により背極とダイヤフラム電極との絶縁性が
低下することにより、感度が低下する。 （２）電界効果型トランジスタが検出対象のガス中にさ
らされる構造であるため、湿気を含んだガスについては
使用できない。 （３）背極と電界効果型トランジスタを設けた基板を積
層する構造であるため装置の厚みが増し、小型化が困難
である。 （４）電界効果型トランジスタを設置するため圧力室の
容積が大きくなり、微小圧力に対する感度が低下する。 （５）そのため、周波数が高い振動に対しての応答性が
悪い。

【０００６】また、後者についても次のような問題があ
る。 （６）背極の周縁部分に切欠き部を形成したため、絶縁
スペーサ、絶縁枠を介してダイヤフラムと背極を固定す
る部分の強度が不足して耐振性が劣る。 （７）同様に背極の剛性が小さいため、振動の大きい用
途には使用できない。 そこで本発明は上記問題点を解決するためになされたも
ので、その目的とするところは耐振性および感度にすぐ
れた流体振動検出装置を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、第１の発明は、片面に電極が形成されたエレクトレ
ット膜からなる１対のダイヤフラムと、これらのダイヤ
フラムにより中央がそれぞれ仕切られた１対の圧力室
と、各ダイヤフラムのエレクトレット膜と対向する位置
にそれぞれ形成されるとともに、外周部が圧力室内壁部
に支持・固定された１対の電極板と、これらの電極板と
前記ダイヤフラムのエレクトレット膜とから形成される
１対の可変容量型圧力検出素子と、各圧力室の片側にそ
れぞれ接続される１対の導圧口と、一方の圧力室の片側
と他方の圧力室の反対側とを接続する連通路と、一方の
圧力室の反対側と他方の圧力室の片側とを接続する連通
路とを備えた流体振動検出装置において、前記電極板を
絶縁膜で覆うことを特徴とする。

【０００８】第２の発明は、片面に電極が形成されたエ
レクトレット膜からなる１対のダイヤフラムと、これら
のダイヤフラムにより中央がそれぞれ仕切られた１対の
圧力室と、各ダイヤフラムのエレクトレット膜と対向す
る位置にそれぞれ形成されるとともに、外周部が圧力室
内壁部に支持・固定された１対の電極板と、これらの電
極板と前記ダイヤフラムのエレクトレット膜とから形成
される１対の可変容量型圧力検出素子と、各圧力室の片
側にそれぞれ接続される１対の導圧口と、一方の圧力室
の片側と他方の圧力室の反対側とを接続する連通路と、
一方の圧力室の反対側と他方の圧力室の片側とを接続す
る連通路と、前記各電極板に入力端が接続された１対の
インピーダンス変換素子とを備えた流体振動検出装置に
おいて、前記１対の圧力室とほぼ同一のレベル上に収納
室を並設してインピーダンス変換素子を収納し封止した
ことを特徴とする。

【０００９】第３の発明は、片面に電極が形成されたエ
レクトレット膜からなる１対のダイヤフラムと、これら
のダイヤフラムにより中央がそれぞれ仕切られた１対の
圧力室と、各ダイヤフラムのエレクトレット膜と対向す
る位置にそれぞれ形成されるとともに、外周部が圧力室
内壁部に支持・固定された１対の電極板と、これらの電
極板と前記ダイヤフラムのエレクトレット膜とから形成
される１対の可変容量型圧力検出素子と、各圧力室の片
側にそれぞれ接続される１対の導圧口と、一方の圧力室
の片側と他方の圧力室の反対側とを接続する連通路と、
一方の圧力室の反対側と他方の圧力室の片側とを接続す
る連通路とを備えた流体振動検出装置において、ダイヤ
フラム上に形成されたエレクトレット膜の可動変形する
部分に対向する範囲のみに前記電極板を形成したことを
特徴とする。

【００１０】

【作用】第１の発明においては、電極板が絶縁膜で覆わ
れたことにより、電極板とエレクトレット膜との間の絶
縁性が向上するとともに、電極板の腐食が防止される。

【００１１】第２の発明においては、圧力室とは別なる
収納室内にインピーダンス変換素子が収納・封止された
ことにより、インピーダンス変換素子が検出流体に直接
さらされなくなる。また、圧力室の容積が小さくなり、
その分、感度が向上する。また、収納室は圧力室とほぼ
同一のレベル上に並設されることにより、装置の厚み方
向の寸法はほぼ従来通りとなる。

【００１２】第３の発明においては、電極板がダイヤフ
ラム上のエレクトレット膜の可動部に対向する範囲のみ
に形成され、それにより電極板における寄生容量が減少
して感度が向上するとともに電極板の剛性が増して耐振
性が向上する。

【００１３】

【実施例】以下、図に沿って本発明の実施例を説明す
る。図１は本発明に係る第１の実施例の内部構成を示す
断面図であり、図２は図１の要部の縦断面図である。図
において、１はカルマン流量計の管路、２は渦発生体、
３は流体振動検出装置本体である。本体３にはそれぞれ
第１の可変容量型圧力検出素子４ａ、第２の可変容量型
圧力検出素子４ｂが形成される。検出素子４ａ，４ｂは
エレクトレット膜１１ａ，１１ｂからなるダイヤフラム
５ａ，５ｂと、固定電極であるところの背極１４ａ，１
４ｂとから構成される。この背極１４ａ，１４ｂは、誘
電率の低いすなわち絶縁抵抗の高い、厚さ数十μｍの絶
縁スペーサ９ａ，９ｂを挟んで積層される。

【００１４】ダイヤフラム５ａ，５ｂは、ＦＥＰテフロ
ン等の無極性高分子材料の片面の全面にスパッタリング
等により電極１０ａ，１０ｂを形成し、コロナ放電等に
よりフィルム面に正または負の電荷をチャージさせてエ
レクトレット膜１１ａ，１１ｂを生成する。このエレク
トレット膜１１ａ，１１ｂからなる電極１０ａ，１０ｂ
を円筒形の導電性枠１２ａ，１２ｂと電気的に導通を保
ちながら、かつ半径方向に一様な張力を加えた状態で接
合する。

【００１５】背極１４ａ，１４ｂは、数μｍのＦＥＰテ
フロン等の無極性高分子フィルム８ａ，８ｂの片面であ
ってダイヤフラム５ａ，５ｂと対向する部分にスパッタ
リング等により電極７ａ，７ｂを形成し、これを剛性の
ある数ｍｍのＰＥＴ等の無極性高分子材料の絶縁板６
ａ、６ｂに接着して構成される。すなわち、電極７ａ，
７ｂは両面がいずれも絶縁材により被覆されて、検出流
体に直に接触されることがなくなる。

【００１６】また、電極７ａ，７ｂは、ダイヤフラム５
ａ，５ｂに対向する部分にのみ、すなわちリング状をし
た絶縁スペーサ９ａ，９ｂの内側中空部に対向する範囲
にのみ形成される。さらに、背極１４ａ，１４ｂには、
開口１３ａ，１３ｂが形成されて検出流体の通過を自在
とする。なお、開口１３ａ，１３ｂの位置は、電極７
ａ，７ｂを貫通しないように電極７ａ，７ｂの位置を避
けて形成される。この電極７ａ、７ｂと、電極１０ａ，
１０ｂとで静電容量が形成され、両極間の電圧変化が検
出素子４ａ，４ｂの出力となる。

【００１７】ダイヤフラム５ａ、５ｂの下面側には圧力
室１５ａ，１６ａが形成され、ダイヤフラム５ａ、５ｂ
の上面側であって背極１４ａ、１４ｂを含む空間として
それぞれ圧力室１５ｂ，１６ｂが形成される。圧力室１
５ａは導圧口１７ａおよび連通路１８を介して圧力室１
６ｂに連通し、圧力室１６ａは導圧口１７ｂおよび連通
路１９を介して圧力室１５ｂに連通する。導圧口１７
ａ，１７ｂには、フィルタ３４ａ、３４ｂがそれぞれ配
設されて流体中に浮遊する塵埃が内部に進入するのを防
ぐ。

【００１８】導電性の第１ハウジング２０に形成された
圧力室１５ａ，１６ａの底面外周部に嵌入・支持されて
いる導電性枠１２ａ，１２ｂは、第１ハウジング２０と
電気的に接続され、また、第１ハウジング２０にはリー
ド線３０ｃが接続され、さらにリード線３０ｃはＧＮＤ
に接続されている。すなわち、導電性枠１２ａ，１２ｂ
に当接している電極１０ａ，１０ｂはともにＧＮＤと接
続される。第１ハウジング２０は、導圧口１７ａ、１７
ｂが形成された厚板状の第２ハウジング２１と接着によ
り固定されている。

【００１９】第１ハウジング２０と背極１４ａ、１４ｂ
とを絶縁するため、絶縁枠２２ａ、２２ｂをスペーサ９
ａ、９ｂの上方から第１ハウジング２０内に挿入して背
極１４ａ、１４ｂを絶縁枠２２ａ、２２ｂの内側に嵌合
する。次いで、絶縁枠２２ａ、２２ｂの上方からバネ２
３ａ、２３ｂを挿入し、蓋２４により下方へ押圧するこ
とにより絶縁枠２２ａ、２２ｂを支持・固定する。蓋２
４は、図示しないネジ等により第１ハウジング２０に固
定される。

【００２０】このようにして、背極１４ａ，１４ｂは上
方から強力に押圧・支持されるとともに、さらにスペー
サ９ａ、９ｂを介してダイヤフラム５ａ，５ｂも強力に
押圧・支持する。それにより、ダイヤフラム５ａ，５ｂ
の剛性が増すことにより、外部から振動が加えられても
慣性力によるダイヤフラム５ａ，５ｂの変位が少なくな
り、耐振性が向上する。また、第１ハウジング２０は、
図２に示されるように、検出素子４ａ，４ｂの収納部に
隣接して、インピーダンス変換素子であるところの電界
効果型トランジスタ２６の収納室３６が形成されてお
り、トランジスタ２６の下面を収納室３６の底面に当接
した状態で、収納室３６内に耐ガス性および絶縁性を有
する樹脂３５が充填されトランジスタ２６が固定・支持
される。

【００２１】トランジスタ２６の入力端子２５ａ、２５
ｂは導電性の接着剤により、背極１４ａ、１４ｂの電極
７ａ，７ｂに接続され、さらにトランジスタ２６の出力
端子２８ａ、２８ｂはリード線２９ａ、２９ｂにより差
動増幅器２７と接続される。また、導圧口１７ａ，１７
ｂはカルマン渦流量計の渦発生体２の両側面に形成され
た開口３１ａ，３１ｂと導管３２ａ，３２ｂを介して接
続される。このようにして流体振動検出装置本体３が構
成される。

【００２２】次に、流体振動検出装置本体３の動作を説
明する。管路１内の流速に応じた間隔で渦発生体２から
カルマン渦が発生し、それにより開口３１ａ，３１ｂで
は、互いに逆位相の圧力振動が発生する。今、開口３１
ａの圧力が開口３１ｂ側よりも下がると、圧力室１５
ａ、１６ｂは圧力室１５ｂ，１６ａよりも圧力が低下す
るので、ダイヤフラム５ａは下向きに、ダイヤフラム５
ｂは上向きにそれぞれ変形する。それにより、電極１０
ａと背極１４ａの間隔は拡がり、電極１０ｂと電極７ｂ
の間隔は狭まる。ここでエレクトレット膜１１ａ，１１
ｂからなる電極１０ａ，１０ｂがともに正に帯電させら
れているものとすると、検出素子４ａからは“−”の電
圧が、検出素子４ｂからは“＋”の電圧が発生する。

【００２３】また、この本体３は、互いに対称の動作を
する１対の検出素子４ａ，４ｂから構成されており、外
部振動として例えば上から下向きに加速されると、ダイ
ヤフラム５ａ，５ｂはともに上向きに同一の変位を発生
し、検出素子４ａ，４ｂは等しく“＋”の電圧を発生す
る。これら検出素子４ａ，４ｂからの出力はトランジス
タ２６ａ，２６ｂにより変換されてから差動増幅器２７
へ入力される。差動増幅器２７は両出力の差を求めるこ
とにより、正規な信号出力は増幅され、外部振動による
ノイズはキャンセルされる。

【００２４】この実施例の第１の特徴として、背極１４
ａ，１４ｂの電極７ａ，７がともに高絶縁性を有する絶
縁板６ａ，６ｂおよびフィルム８ａ，８ｂにより覆われ
たうえに絶縁枠２２ａ，２２ｂにより支持されている。
そのため、この装置を高湿度の雰囲気中で動作させた場
合、高湿度のガスが圧力室１５ａ，１５ｂおよび圧力室
１６ａ，１６ｂに導かれ、絶縁枠２２ａ，２２ｂが吸湿
して絶縁抵抗が低下しても、電極７ａ，７ｂと第１ハウ
ジング２０の絶縁性は保持される。

【００２５】また、検出ガスの相対湿度が１００％を越
えて結露しても、背極１４ａ，１４ｂと電極１０ａ，１
０ｂとの間の絶縁性が同様に保たれる。そのため、高湿
度雰囲気においても感度が低下せず安定な計測が可能に
なる。また、電極７ａ，７ｂについては、腐食のおそれ
がないため、電極材の選択が自由になり、低コスト、長
寿命化が可能になる。

【００２６】この実施例の第２の特徴として、検出素子
４ａ，４ｂと同一のレベルに形成した第１ハウジング２
０内の収納室３６に、トランジスタ２６が設置される。
そのため、トランジスタ２６を設置したにもかかわら
ず、第１ハウジング２０は、検出素子４ａ，４ｂを収納
する厚み内におさまるため、装置全体を薄型にすること
が可能になる。

【００２７】また、この装置を高湿度の雰囲気中で動作
させる場合、電界効果型トランジスタ２６が高湿度のガ
スに直接さらされることがなくなり、計測対象が拡がる
とともに耐久性も増す。さらには、圧力室内に電界効果
型トランジスタを設置していた従来の装置に比べて、圧
力室１６ａ，１６ｂの容積が小さくなる。そのため、微
小な圧力変動に対しての感度が増し、より高い周波数に
ついての計測が可能になる。

【００２８】この実施例の第３の特徴として、電極７
ａ，７ｂがダイヤフラム５ａ，５ｂに対向する部分にの
み形成されていることにより、背極電極７ａ，７ｂとダ
イヤフラム電極１０ａ，１０ｂとの間の寄生容量が低減
される。それにより、有効静電容量の変化率が増し、感
度が良くなる。また、同時に電極７ａ，７ｂの寄生容量
部分に電極が形成されない分だけ、電極７ａ，７ｂの固
定力および剛性が増し、振動に対してダイヤフラム５
ａ，５ｂが動きにくくなる。また、背極１４ａ，１４ｂ
の剛性が増したことにより、慣性力による変位が少なく
なり耐振性が増す。すなわち、感度が向上するとともに
耐振性も向上して、Ｓ／Ｎ比の良い出力が得られる。な
お、この第１〜第３の特徴は第１の実施例によりそれぞ
れ実現されているが各特徴はそれぞれ単独で実現するこ
とも可能である。

【００２９】次に、図３は本発明に係る第２の実施例の
内部構成を示す断面図であり、図４は図３の要部の縦断
面図である。この実施例は背極の部分を除いて全体の構
成が第１の実施例と共通であるので、共通な部分は第１
の実施例と同一な番号を付し、異なる部分についてのみ
説明する。この実施例が第１の実施例と異なるところ
は、開口１３ａ，１３ｂを形成した金属円板からなる背
極３３ａ，３３ｂをトランジスタ２６の入力端子２５
ａ，２５ｂと接続した後、ＳｉＯ₂等の絶縁物３７で背
極３３ａ，３３ｂの両面および開口１３ａ，１３ｂ内を
コーティングしたことである。この実施例は、第１の実
施例における第１および第２の特徴を実現したものであ
る。

【００３０】

【発明の効果】以上述べたように第１の発明によれば、
電極板が絶縁膜で覆われて電極板とエレクトレット膜と
の間の絶縁性および耐食性が向上する。それにより、耐
久性が増すとともに結露のおそれがある高湿度ガスに対
しても感度が低下することなく高精度の検出が可能にな
る。

【００３１】第２の発明によれば、圧力室とは別なる収
納室内にインピーダンス変換素子が収納され、インピー
ダンス変換素子が検出流体に直接さらされなくなる。そ
れにより、インピーダンス変換素子の耐久性が向上する
とともに、圧力室の容積がその分減少可能となり、従来
のインピーダンス変換素子を備えた検出装置に比べ、感
度、応答性が向上し、高周波の振動の検出が可能にな
る。また、収納室が圧力室とほぼ同一のレベル上に並設
されるため、装置の厚み方向の寸法がそのままですみ、
従来の装置よりも薄型化が可能になる。

【００３２】第３の発明によれば、電極板がダイヤフラ
ム上のエレクトレット膜の可動部に対向する範囲のみに
形成され、電極板における寄生容量が減少するとともに
電極板の剛性が増す。それにより、感度および耐振性が
向上して高精度の検出が可能になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る第１の実施例の内部構成を示す断
面図である。

【図２】図１の要部の縦断面図である。

【図３】本発明に係る第２の実施例の内部構成を示す断
面図である。

【図４】図３の要部の縦断面図である。

【図５】従来例を示す断面図である。

【図６】他の従来例を示す説明図である。

【符号の説明】

３ 流体振動検出装置本体 ４ａ，４ｂ 可変容量型圧力検出素子 ５ａ，５ｂ ダイヤフラム ６ａ，６ｂ 絶縁板 ７ａ，７ｂ 電極 ８ａ，８ｂ 無極性高分子フィルム ９ａ，９ｂ 絶縁スペーサ １０ａ，１０ｂ 電極 １１ａ，１１ｂ エレクトレット膜 １２ａ，１２ｂ 導電性枠 １３ａ，１３ｂ 開口 １４ａ，１４ｂ 背極 １５ａ，１５ｂ １６ａ，１６ｂ 圧力室 １７ａ，１７ｂ 導圧口 １８，１９ 連通路 ２０ 第１ハウジング ２２ａ，２２ｂ 絶縁枠 ２５ａ，２５ｂ 入力端子 ２６ 電界効果型トランジスタ ３３ａ，３３ｂ 背極 ３５ 樹脂 ３６ 収納室 ３７ 絶縁物

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 平山 則行 神奈川県川崎市川崎区田辺新田１番１号 富士電機株式会社内

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 片面に電極が形成されたエレクトレット
   膜からなる１対のダイヤフラムと、 これらのダイヤフラムにより中央がそれぞれ仕切られた
   １対の圧力室と、 各ダイヤフラムのエレクトレット膜と対向する位置にそ
   れぞれ形成されるとともに、外周部が圧力室内壁部に支
   持・固定された１対の電極板と、 これらの電極板と前記ダイヤフラムのエレクトレット膜
   とから形成される１対の可変容量型圧力検出素子と、 各圧力室の片側にそれぞれ接続される１対の導圧口と、 一方の圧力室の片側と他方の圧力室の反対側とを接続す
   る連通路と、 一方の圧力室の反対側と他方の圧力室の片側とを接続す
   る連通路と、 を備えた流体振動検出装置において、 前記電極板を絶縁膜で覆うことを特徴とする流体振動検
   出装置。
2. 【請求項２】 片面に電極が形成されたエレクトレット
   膜からなる１対のダイヤフラムと、 これらのダイヤフラムにより中央がそれぞれ仕切られた
   １対の圧力室と、 各ダイヤフラムのエレクトレット膜と対向する位置にそ
   れぞれ形成されるとともに、外周部が圧力室内壁部に支
   持・固定された１対の電極板と、 これらの電極板と前記ダイヤフラムのエレクトレット膜
   とから形成される１対の可変容量型圧力検出素子と、 各圧力室の片側にそれぞれ接続される１対の導圧口と、 一方の圧力室の片側と他方の圧力室の反対側とを接続す
   る連通路と、 一方の圧力室の反対側と他方の圧力室の片側とを接続す
   る連通路と、 前記各電極板に入力端が接続された１対のインピーダン
   ス変換素子と、 を備えた流体振動検出装置において、 前記１対の圧力室とほぼ同一のレベル上に収納室を並設
   してインピーダンス変換素子を収納し封止したことを特
   徴とする流体振動検出装置。
3. 【請求項３】 片面に電極が形成されたエレクトレット
   膜からなる１対のダイヤフラムと、 これらのダイヤフラムにより中央がそれぞれ仕切られた
   １対の圧力室と、 各ダイヤフラムのエレクトレット膜と対向する位置にそ
   れぞれ形成されるとともに、外周部が圧力室内壁部に支
   持・固定された１対の電極板と、 これらの電極板と前記ダイヤフラムのエレクトレット膜
   とから形成される１対の可変容量型圧力検出素子と、 各圧力室の片側にそれぞれ接続される１対の導圧口と、 一方の圧力室の片側と他方の圧力室の反対側とを接続す
   る連通路と、 一方の圧力室の反対側と他方の圧力室の片側とを接続す
   る連通路と、 を備えた流体振動検出装置において、 ダイヤフラム上に形成されたエレクトレット膜の可動変
   形する部分に対向する範囲のみに前記電極板を形成した
   ことを特徴とする流体振動検出装置。