JPH0622906U - エアーシリンダにおけるピストン位置検出装置 - Google Patents

エアーシリンダにおけるピストン位置検出装置

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JPH0622906U
JPH0622906U JP590592U JP590592U JPH0622906U JP H0622906 U JPH0622906 U JP H0622906U JP 590592 U JP590592 U JP 590592U JP 590592 U JP590592 U JP 590592U JP H0622906 U JPH0622906 U JP H0622906U
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piston
optical fiber
magnetic sensor
magnet
cylinder
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JP590592U
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実 松村
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実 松村
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 エアーシリンダにおけるピストン位置検出装
置において、電気的なノイズの影響を受けて検出結果の
信頼性が低下してしまうようなことがなく、また防爆に
も適したものを提供できるようにする。 【構成】 シリンダ1内に挿入されたピストン2に磁石
6を設けるとともに、シリンダ1の外壁周面に光ファイ
バ磁気センサ12を配設しておき、ピストン2が移動す
ることにより、磁石6が光ファイバ磁気センサ12の近
傍位置に達すると、磁石6の磁界を光ファイバ磁気セン
サ12で検出し、この検出結果を光信号として信号処理
部13に伝達するようにしている。

Description

【考案の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】
この考案はシリンダ内の空気圧によってピストンを移動さるエアーシリンダに 関し、特にピストンの位置を検出するエアーシリンダにおけるピストン位置検出 装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
この種のエアーシリンダでは、シリンダ内部に空気を送り込むと、これにより 生じる空気圧によってピストンが移動される。
【0003】 このようなエアーシリンダにおいてピストンの位置を検出する場合は、磁気セ ンサを利用するのが一般的である。すなわち、磁石をピストンに取り付けるとと もに、磁気センサをピストンの移動経路に沿って適宜に配置しておく。そして、 ピストンの移動に際し、ピストンに取り付けられた磁石による磁界の変動を磁気 センサで検出し、これによってピストンの位置検出を行う。
【0004】 ここで、従来は磁気センサとして電流および電圧を出力するもの、つまり磁界 の変動を電流および電圧に変換して出力するものが用いられていた。例えばホー ル素子はその代表例である。
【0005】
【考案が解決しようとする課題】
しかしながら、磁界の変動を電流および電圧に変換する磁気センサを利用する 場合、この磁気センサの出力は微弱な電気信号であるため、ノイズの影響を受け 易い。例えば、センサから導出された信号線の近傍に他の電気信号線、電気回路 等があると、これらの他の電気信号線、電気回路等から発生されたノイズが磁気 センサから出力された電気信号に影響を与える。これにより、磁気センサによる 検出結果の信頼性が低下してしまう。
【0006】 また、エアーシリンダを危険な雰囲気で使用する場合、防爆仕様として認定さ れた磁気センサを利用したり、あるいは防爆用のバリヤを適用した磁気センサを 利用するようにしていたが、このような防爆用の磁気センサは大型化するので、 このため設置スペースという点で大きな制約を生じていた。
【0007】 そこで、この考案の課題は、上記の不都合を解消するためこの種のエアーシリ ンダにおけるピストン位置検出装置を改良することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、この考案のエアーシリンダにおけるピストン位置検 出装置は、ピストンに設けられ、このピストンと共に移動する磁石と、先端に偏 光子を有する投光側光ファイバと先端に検光子を有する受光側光ファイバとの間 にファラデー素子を介在させてなり、前記磁石の移動経路に沿って配設された光 ファイバ磁気センサとを備えて構成されている。
【0009】
【作用】
以上のように構成されたエアーシリンダにおけるピストン位置検出装置では、 ピストンが移動して、このピストンに設けられた磁石が光ファイバ磁気センサの 近傍に達すると、磁石の磁界が光ファイバ磁気センサにて検出される。したがっ て、この光ファイバ磁気センサの検出出力、つまり受光側光ファイバの受光量を 監視していれば、ピストンが所定位置に達したことを検出することができる。
【0010】
【実施例】
以下、実施例について図面を参照して説明する。
【0011】 図1は本考案に係わるエアーシリンダにおけるピストン位置検出装置の一実施 例を概略的に示す図である。同図において、シリンダ1は円筒状であり、その内 部には円柱状のピストン2が挿入されている。このシリンダ1の内部では、ピス トン2の左側に第1の空気室3が、ピストン2の右側に第2の空気室4がそれぞ れ形成される。
【0012】 ピストン2の側壁周面には2つの溝が形成されており、一方の溝にはリング状 のピストンパッキン5が嵌め込まれ、他方の溝にはリング状の磁石6が嵌め込ま れている。ピストンパッキン5は第1の空気室3と第2の空気室4間で空気が漏 れるのを防止するために設けられたものである。
【0013】 ピストン2の左側底部にはピストンロッド7が連結されており、このピストン ロッド7はシリンダ1の左側底部に形成された穴8を通じて外部へと突出してい る。左側底部に形成された穴8の内周面には溝が形成されていおり、ここにはリ ング状のロッドパッキン9が嵌め込まれている。このロッドパッキン9は第1の 空気室3と外部間で空気が漏れるのを防止するために設けられている。
【0014】 シリンダ1の外壁周面には、第1の空気室3に通じる第1の空気流出入孔10 が設けられ、また第2の空気室4に通じる第2の空気流出入孔11が設けられて いる。
【0015】 ここで、例えばコンプレッサ(図示せず)を利用することにより、空気をシリ ンダ1の第1の空気流出入孔10から第1の空気室3へと送り込むと、第1の空 気室3内の空気圧が高くなる。このとき、第2の空気室4内の空気が第2の空気 流出入孔11を通じて自在に流出するようにしておけば、第1の空気室3内の空 気圧によって、ピストン2が右方向へと移動し、これに伴いピストンロッド7も 右方向へと移動する。同様に、空気を第2の空気流出入孔11から第2の空気室 4へと送り込むとともに、第1の空気室3内の空気が第1の空気流出入孔10を 通じて自在に流出するようにしておけば、第2の空気室4内の空気圧によって、 ピストン2が左方向ヘ移動し、これに伴いピストンロッド7も左方向へと移動す る。
【0016】 さて、シリンダ1の第1の空気室3内の空気圧を高め、ピストン2を右方向へ と移動していくと、ピストン2に設けられている磁石6はシリンダ1の側壁周面 に配設されている光ファイバ磁気センサ12の近傍位置に達することとなる。こ のとき、光ファイバ磁気センサ12は磁石6からの磁界強度を検出し、この検出 結果を光信号として信号処理部13へと送出する。
【0017】 図2は、光ファイバー磁気センサ12および信号処理部13を概略的に示す図 である。同図に示すように、光ファイバ磁気センサ12は投光側光ファイバ14 および受光側光ファイバ15を介して信号処理部13に接続されている。
【0018】 光ファイバ磁気センサ12は、投光側光ファイバ14の先端をロッドレンズ1 6を介して偏向子17に取り付け、受光側光ファイバ15の先端をロッドレンズ 18を介して検光子19に取り付け、偏向子17と検光子19間にファラデー素 子20を介在させて構成される。
【0019】 信号処理部13は、発光素子21と、この発光素子21に電気信号を与えて該 発光素子から光信号を出射させる光送信器22と、受光素子23と、この受光素 子23に光信号が入射したときに該素子で発生した電気信号を受信する光受信器 24と、この光受信器24によって受信された電気信号のレベルを検出する信号 検出部25とから構成される。
【0020】 ここで、発光素子21から出射された光信号が一定の強度であるとすると、こ の一定強度の光信号は投光側光ファイバ14およびロッドレンズ16を介して偏 向子17に入射される。偏向子17は入射した光信号を直線偏光に変換し、この 一定強度の直線偏光がファラデー素子20に入射される。ファラデー素子20に おいて、入射した直線偏光は該素子に対する磁界強度に比例してその偏向面が回 転する。このため、ファラデー素子20から出射される直線偏光の光強度は該素 子に対する磁界強度に応じたものとなる。ファラデー素子から出射された直線偏 光は、検光子19、ロッドレンズ18および受光側光ファイバ15を経て受光素 子23に至り、ここで電気信号に変換される。この電気信号は光受信器24で受 信され、信号検出部25に入力される。したがって、信号検出部25は入力した 電気信号のレベルに基づき、ファラデー素子20が受けた磁界の強度を検出する ことができる。
【0021】 すなわち、シリンダ1内のピストン2が右方向に移動し、このピストン2に設 けられている磁石6が光ファイバ磁気センサ12の近傍位置に達すると、光ファ イバ磁気センサ12は磁石6からの磁界強度に応じた光信号を信号処理部13に 伝達する。信号処理部13において、光ファイバ磁気センサ12からの光信号は 電気信号に変換され、信号検出部25は入力した電気信号のレベルに基づき、光 ファイバ磁気センサ12が受けた磁界の強度を検出する。
【0022】 ここで、光ファイバ磁気センサ12が受けた磁界の強度は該センサとピストン 2間の距離に応じたものなので、このセンサが受けた磁界強度を検出するという ことは該センサに対するピストン2の位置を検出していることと同等である。つ まり、光ファイバ磁気センサ12によってピストン2の位置が検出されることと なる。
【0023】 このように本実施例では磁石6をピストン2に設け、シリンダ1の周面に光フ ァイバ磁気センサ12を配設し、光ファイバ磁気センサ12と信号処理部13間 を光ファイバを介して接続している。そして、光ファイバ磁気センサ12から信 号処理部13へと光信号を伝達し、この光信号に基づいてピストン2の位置を検 出している。したがって、光ファイバ磁気センサ12と信号処理部13間での信 号伝達は光に基づくものであって、電気信号を利用していない。このため、光フ ァイバ磁気センサ12並びに光ファイバの近傍に電気的なノイズの発生源があっ たとしても、そのノイズの影響を受けて、ピストンの位置検出を誤ってしまうよ うなことはない。また、エアーシリンダを危険な雰囲気で使用するような場合で も、この危険な雰囲気から外れるまで光ファイバを延長すれば、危険な雰囲気内 で電気信号を利用せずに済むため、安全性を確保することができる。従って、防 爆のために特別な処理を施す必要がなく、光ファイバ磁気センサが大型化するよ うなことはない。
【0024】
【効果】
以上のように、この考案に係わるエアーシリンダにおけるピストン位置検出装 置は、ピストンに磁石を設け、この磁石の移動経路に沿って光ファイバ磁気セン サを設けておき、ピストンが移動して磁石が光ファイバ磁気センサの近傍に達す ると、磁石の磁界を光ファイバ磁気センサによって検出し、これによってピスト ンが所定位置に達したことを検出するようにしている。この光ファイバ磁気セン サの検出出力は光信号であり、この光信号は光ファイバを介して伝達される。こ のため、電気的なノイズ発生源が光ファイバ磁気センサ並びに光ファイバの近傍 にあったとしても、電気的なノイズの影響を受けることがなく、光ファイバ磁気 センサによる検出結果の信頼性が低下してしまうようなことはない。また、エア ーシリンダを危険な雰囲気で使用する場合であっても、この危険な雰囲気から外 れるまで光ファイバを延長することによって、安全性を容易に確保することがで き、防爆のために特別な処理を施す必要がないので、光ファイバ磁気センサが大 型化するようなことはない。
【図面の簡単な説明】
【図1】この考案に係わる一実施例を示す概略構成図
【図2】図1に示した実施例における光ファイバ磁気セ
ンサ並びに信号処理部を示す図
【符合の説明】
1 シリンダ 2 ピストン 3 第1の空気室 4 第2の空気室 5 ピストンパッキン 6 磁石 7 ピストンロッド 8 穴 9 ロッドパッキン 10 第1の空気流出入孔 11 第2の空気流出入孔 12 光ファイバ磁気センサ 13 信号処理部 14 投光側光ファイバ 15 受光側光ファイバ 16,18 ロッドレンズ 17 偏向子 19 検光子 20 ファラデー素子 21 発光素子 22 光送信器 23 受光素子 24 光受信器 25 信号検出部

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】 シリンダ内の空気圧によってピストンを
    移動させるに際し、前記ピストンの位置を検出するエア
    ーシリンダにおけるピストン位置検出装置において、 前記ピストンに設けられ、このピストンと共に移動する
    磁石と、 先端に偏光子を有する投光側光ファイバと先端に検光子
    を有する受光側光ファイバとの間にファラデー素子を介
    在させてなり、前記磁石の移動経路に沿って配設された
    光ファイバ磁気センサとを備えたことを特徴とするエア
    ーシリンダにおけるピストン位置検出装置。
JP590592U 1992-02-14 1992-02-14 エアーシリンダにおけるピストン位置検出装置 Pending JPH0622906U (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2023007870A1 (ja) * 2021-02-02 2023-02-02 シチズンファインデバイス株式会社 圧力センサ装置及び受圧素子

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58150805A (ja) * 1982-03-03 1983-09-07 Fujitsu Ltd 移動体の位置検出装置

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