JPH06221308A - 偏流ジェットサーボ弁 - Google Patents
偏流ジェットサーボ弁Info
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- JPH06221308A JPH06221308A JP29651993A JP29651993A JPH06221308A JP H06221308 A JPH06221308 A JP H06221308A JP 29651993 A JP29651993 A JP 29651993A JP 29651993 A JP29651993 A JP 29651993A JP H06221308 A JPH06221308 A JP H06221308A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ejector
- jet
- servo valve
- receiver
- thin plate
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
- F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F15B13/00—Details of servomotor systems ; Valves for servomotor systems
- F15B13/02—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors
- F15B13/04—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors for use with a single servomotor
- F15B13/042—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors for use with a single servomotor operated by fluid pressure
- F15B13/043—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors for use with a single servomotor operated by fluid pressure with electrically-controlled pilot valves
- F15B13/0436—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors for use with a single servomotor operated by fluid pressure with electrically-controlled pilot valves the pilot valves being of the steerable jet type
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
- F15C—FLUID-CIRCUIT ELEMENTS PREDOMINANTLY USED FOR COMPUTING OR CONTROL PURPOSES
- F15C3/00—Circuit elements having moving parts
- F15C3/10—Circuit elements having moving parts using nozzles or jet pipes
- F15C3/12—Circuit elements having moving parts using nozzles or jet pipes the nozzle or jet pipe being movable
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/2278—Pressure modulating relays or followers
- Y10T137/2322—Jet control type
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/8593—Systems
- Y10T137/86493—Multi-way valve unit
- Y10T137/86574—Supply and exhaust
- Y10T137/86582—Pilot-actuated
- Y10T137/86606—Common to plural valve motor chambers
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
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- Supply Devices, Intensifiers, Converters, And Telemotors (AREA)
- Valve Housings (AREA)
- Electrically Driven Valve-Operating Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 偏流ジェットサーボ弁の第１段部分を改良す
る。 【構成】 偏流ジェットサーボ弁は、相互に積層かつ固
着されて一体積層構造２０を構成する複数の薄板２２，
２４，２６，２８，３０によって形成される流体増幅部
を備える。流体増幅部は、固定エゼクタと、エゼクタに
対向配置される一対のレシーバとを備える。可動偏流部
材７２は、エゼクタとレシーバとの間に配置されて、エ
ゼクタから放出される噴流を偏向する。管路手段は一体
積層構造２０に形成され、加圧流体をエゼクタに供給す
るとともに、レシーバからの全ての異なる流体放出を受
ける。
る。 【構成】 偏流ジェットサーボ弁は、相互に積層かつ固
着されて一体積層構造２０を構成する複数の薄板２２，
２４，２６，２８，３０によって形成される流体増幅部
を備える。流体増幅部は、固定エゼクタと、エゼクタに
対向配置される一対のレシーバとを備える。可動偏流部
材７２は、エゼクタとレシーバとの間に配置されて、エ
ゼクタから放出される噴流を偏向する。管路手段は一体
積層構造２０に形成され、加圧流体をエゼクタに供給す
るとともに、レシーバからの全ての異なる流体放出を受
ける。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、広くはサーボ弁の技術
に関し、より詳しくは偏流ジェット式のサーボ弁に関す
る。
に関し、より詳しくは偏流ジェット式のサーボ弁に関す
る。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】電気油
圧サーボ弁は、一段形又は二段形の装置である。このよ
うな弁の第１段部分は、摺動スプール、噴流管、フラッ
パノズル、及び噴流偏向部を備えた多様な形式を有して
いる。本発明は、米国特許３，５４２，０５１号に開示
されるような偏流ジェット式の弁に関するものである。
本発明は、米国特許３，５４２，０５１号に開示される
サーボ弁の第１段部分の改良であり、したがってこの特
許に含まれる開示を従来例として本明細書に組込んで示
す。
圧サーボ弁は、一段形又は二段形の装置である。このよ
うな弁の第１段部分は、摺動スプール、噴流管、フラッ
パノズル、及び噴流偏向部を備えた多様な形式を有して
いる。本発明は、米国特許３，５４２，０５１号に開示
されるような偏流ジェット式の弁に関するものである。
本発明は、米国特許３，５４２，０５１号に開示される
サーボ弁の第１段部分の改良であり、したがってこの特
許に含まれる開示を従来例として本明細書に組込んで示
す。
【０００３】偏流ジェットサーボ弁は、相互に積層かつ
固着されて一体積層構造を構成する複数の薄板を備え
る。一体積層構造は、固定エゼクタとそれに対向配置さ
れる一対のレシーバとを画定する。可動偏流部材は、エ
ゼクタとレシーバとの間に配置され、エゼクタから放出
される噴流（jet stream）を偏向する。管路手段は、一
体積層構造によって画定され、流体を圧力下でエゼクタ
に供給するとともにレシーバからの全ての異なる流体放
出を受ける。可動偏流部材は、電動モータ手段に連結さ
れる。このモータ手段は、それに付与される電気信号に
応答して偏流部材を作動する。
固着されて一体積層構造を構成する複数の薄板を備え
る。一体積層構造は、固定エゼクタとそれに対向配置さ
れる一対のレシーバとを画定する。可動偏流部材は、エ
ゼクタとレシーバとの間に配置され、エゼクタから放出
される噴流（jet stream）を偏向する。管路手段は、一
体積層構造によって画定され、流体を圧力下でエゼクタ
に供給するとともにレシーバからの全ての異なる流体放
出を受ける。可動偏流部材は、電動モータ手段に連結さ
れる。このモータ手段は、それに付与される電気信号に
応答して偏流部材を作動する。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、固定エゼクタ
とこのエゼクタに対向配置される一対のレシーバとを、
流体の噴流がエゼクタから放出されてレシーバに衝突す
るように画定する第１手段と、第１手段によって画定さ
れ、加圧流体をエゼクタに供給するとともに、レシーバ
からの全ての異なる流体放出を受ける管路手段と、エゼ
クタとレシーバとの間に配置され、噴流をレシーバに対
して偏向する可動偏流手段と、可動偏流手段に連結さ
れ、印加される電気信号に応答して偏流手段を移動させ
る電動モータ手段とを具備し、第１手段が、相互に積層
かつ固着されて一体積層構造を形成する複数の薄板を備
える偏流ジェットサーボ弁を提供する。
とこのエゼクタに対向配置される一対のレシーバとを、
流体の噴流がエゼクタから放出されてレシーバに衝突す
るように画定する第１手段と、第１手段によって画定さ
れ、加圧流体をエゼクタに供給するとともに、レシーバ
からの全ての異なる流体放出を受ける管路手段と、エゼ
クタとレシーバとの間に配置され、噴流をレシーバに対
して偏向する可動偏流手段と、可動偏流手段に連結さ
れ、印加される電気信号に応答して偏流手段を移動させ
る電動モータ手段とを具備し、第１手段が、相互に積層
かつ固着されて一体積層構造を形成する複数の薄板を備
える偏流ジェットサーボ弁を提供する。
【０００５】
【実施例】前述のように、本発明は、従来例として本明
細書に記載された米国特許３，５４２，０５１号に開示
される偏流ジェットサーボ弁の改良である。米国特許
３，５４２，０５１号に示されるように、制御信号に可
動式に応答する偏流部材は、サーボ弁内に配置されて、
一対の固定レシーバ通路に対して固定ノズルから放出さ
れる流体の自由噴流を偏向する。このような偏流は、固
定レシーバ通路に制御信号に応答した異なる流体放出を
生じさせる。エゼクタノズルとレシーバ通路との固定的
関係は、端部材によって両面を被覆される１つの部材に
壁面を形成することにより確実に付与される。端部材の
一方は、流体を流す管路を内部に形成している。それら
の管路は、ノズル及びレシーバ通路に接続される。端部
材によって被覆される１つの部材は、組合せ体として、
サーボ弁の本体に設けた凹部に圧入され、流体が弁本体
と端部材との間を移動する場所での特別なシール手段の
必要性を排除している。エゼクタノズルの放出口及びレ
シーバ通路への進入口は矩形であり、それにより応答感
度の線形性が付与される。レシーバ通路への進入口は、
放出口に対向して中心に配置された隆起頂部のみによっ
て分離される。
細書に記載された米国特許３，５４２，０５１号に開示
される偏流ジェットサーボ弁の改良である。米国特許
３，５４２，０５１号に示されるように、制御信号に可
動式に応答する偏流部材は、サーボ弁内に配置されて、
一対の固定レシーバ通路に対して固定ノズルから放出さ
れる流体の自由噴流を偏向する。このような偏流は、固
定レシーバ通路に制御信号に応答した異なる流体放出を
生じさせる。エゼクタノズルとレシーバ通路との固定的
関係は、端部材によって両面を被覆される１つの部材に
壁面を形成することにより確実に付与される。端部材の
一方は、流体を流す管路を内部に形成している。それら
の管路は、ノズル及びレシーバ通路に接続される。端部
材によって被覆される１つの部材は、組合せ体として、
サーボ弁の本体に設けた凹部に圧入され、流体が弁本体
と端部材との間を移動する場所での特別なシール手段の
必要性を排除している。エゼクタノズルの放出口及びレ
シーバ通路への進入口は矩形であり、それにより応答感
度の線形性が付与される。レシーバ通路への進入口は、
放出口に対向して中心に配置された隆起頂部のみによっ
て分離される。
【０００６】図１〜図３に示すように、本発明の偏流ジ
ェットサーボ弁は、トルクモータ１２を有した第１段部
分１０を備える。従来周知のように、トルクモータ１２
は、撓み管１６に支持される電機子１４を備える。電機
子１４は、コイル１８に印加される電源（図示せず）か
らの電気信号に応答して移動する。適当な永久磁石と調
整装置とが、従来周知のように設けられる。
ェットサーボ弁は、トルクモータ１２を有した第１段部
分１０を備える。従来周知のように、トルクモータ１２
は、撓み管１６に支持される電機子１４を備える。電機
子１４は、コイル１８に印加される電源（図示せず）か
らの電気信号に応答して移動する。適当な永久磁石と調
整装置とが、従来周知のように設けられる。
【０００７】本発明の１つの特徴によれば、ノズル及び
レシーバ通路並びに接続管路は、接触面にて相互に固着
される複数の薄板２０によって形成される。複数の薄板
２０は、中心の薄板２２と、その両側に配置される中間
の薄板２４，２６とを備える。各薄板２４，２６の外表
面には、端部すなわち外側の薄板２８，３０がそれぞれ
配置される。上記のように、製造工程の間に、これら複
数の薄板２２，２４，２６，２８，３０は、適当に清掃
された後に相互に積層される。次いで、それらは約３．
４×１０6 Ｐａ（５００ｐｓｉ）の圧力を受け、さらに
不活性雰囲気の中で１０９３℃（２０００°Ｆ）まで昇
温されかつその状態に５〜１０分間維持される。その結
果、複数の薄板２２，２４，２６，２８，３０は相互に
拡散固着されて一体積層構造２０を形成する。一体積層
構造２０は、ノズル及びレシーバ通路とそれに適切に接
続される管路とを画定する流体用構成要素を内蔵する。
あるいはまた、複数の薄板をブレーズ溶接により相互固
着してもよく、また所望により、ブレーズ溶接工程又は
拡散固着工程の前に銅層でめっき処理することもでき
る。拡散固着工程において、銅は単に、（もしあれば）
薄板の表面に生じ得る些細な欠陥を埋めるものである。
このような拡散固着工程は、流体のレシーバ間での漏洩
及び薄板間での漏洩を排除し、それにより圧力限界での
流量回復を向上させる。
レシーバ通路並びに接続管路は、接触面にて相互に固着
される複数の薄板２０によって形成される。複数の薄板
２０は、中心の薄板２２と、その両側に配置される中間
の薄板２４，２６とを備える。各薄板２４，２６の外表
面には、端部すなわち外側の薄板２８，３０がそれぞれ
配置される。上記のように、製造工程の間に、これら複
数の薄板２２，２４，２６，２８，３０は、適当に清掃
された後に相互に積層される。次いで、それらは約３．
４×１０6 Ｐａ（５００ｐｓｉ）の圧力を受け、さらに
不活性雰囲気の中で１０９３℃（２０００°Ｆ）まで昇
温されかつその状態に５〜１０分間維持される。その結
果、複数の薄板２２，２４，２６，２８，３０は相互に
拡散固着されて一体積層構造２０を形成する。一体積層
構造２０は、ノズル及びレシーバ通路とそれに適切に接
続される管路とを画定する流体用構成要素を内蔵する。
あるいはまた、複数の薄板をブレーズ溶接により相互固
着してもよく、また所望により、ブレーズ溶接工程又は
拡散固着工程の前に銅層でめっき処理することもでき
る。拡散固着工程において、銅は単に、（もしあれば）
薄板の表面に生じ得る些細な欠陥を埋めるものである。
このような拡散固着工程は、流体のレシーバ間での漏洩
及び薄板間での漏洩を排除し、それにより圧力限界での
流量回復を向上させる。
【０００８】積層及び固着に先立ち、内側すなわち中心
の薄板２２には、周知の流体増幅形状を有した開口３２
（図２）が貫通形成される。中間の薄板２６には、複数
の通路３４，３６，３８が貫通形成される。通路３４は
開口４０で終わり、通路３６，３８はそれぞれ開口４
２，４４で終わる。外側の薄板３０には開口４６，４８
が貫通形成され、組立完了時に開口４６，４８は、中間
の薄板２６に設けた開口４２，４４に合致する。開口４
６，４８は第１段部分１０からの放出口を構成し、第１
段部分から適当な使用装置（その一形態を以下で詳述す
る）への圧力下での流体の流れを供与する。薄板３０に
はさらに、開口４０に合致するもう１つの開口（図示せ
ず）が設けられる。この開口は、加圧流体供給源（図示
せず）に接続されて、流体増幅開口３２で使用される流
体の噴流を供給する。貫通形の開口３２は、収束する一
対の側壁５０，５１を有したスロット区画４９を備え
る。一体の側壁５０，５１は、開口４０に接続された供
給源からの加圧流体を放出するエゼクタノズル５２を画
定する。貫通開口３２は、さらに他の延長形のスロット
区画５３，５４を備える。区画５３は、収束する一対の
側壁５６，５８を画定し、これら側壁５６，５８の末端
にレシーバ６０が形成される。区画５４は、収束する一
対の側壁６２，６４を画定し、これら側壁６２，６４が
レシーバ６８を形成する。レシーバ６０，６８の開口部
は、エゼクタノズル５２に正対して配置された頂点すな
わち隆起頂部７０によって分離される。したがって、エ
ゼクタ５２から放出された流体は、頂点７０に衝突して
等分され、両者間に差の無い等流量で各レシーバ６０，
６８に進入する。通路３６，３８を通り、開口４２，４
４から流出する流量は、このような状況下で等しくな
る。
の薄板２２には、周知の流体増幅形状を有した開口３２
（図２）が貫通形成される。中間の薄板２６には、複数
の通路３４，３６，３８が貫通形成される。通路３４は
開口４０で終わり、通路３６，３８はそれぞれ開口４
２，４４で終わる。外側の薄板３０には開口４６，４８
が貫通形成され、組立完了時に開口４６，４８は、中間
の薄板２６に設けた開口４２，４４に合致する。開口４
６，４８は第１段部分１０からの放出口を構成し、第１
段部分から適当な使用装置（その一形態を以下で詳述す
る）への圧力下での流体の流れを供与する。薄板３０に
はさらに、開口４０に合致するもう１つの開口（図示せ
ず）が設けられる。この開口は、加圧流体供給源（図示
せず）に接続されて、流体増幅開口３２で使用される流
体の噴流を供給する。貫通形の開口３２は、収束する一
対の側壁５０，５１を有したスロット区画４９を備え
る。一体の側壁５０，５１は、開口４０に接続された供
給源からの加圧流体を放出するエゼクタノズル５２を画
定する。貫通開口３２は、さらに他の延長形のスロット
区画５３，５４を備える。区画５３は、収束する一対の
側壁５６，５８を画定し、これら側壁５６，５８の末端
にレシーバ６０が形成される。区画５４は、収束する一
対の側壁６２，６４を画定し、これら側壁６２，６４が
レシーバ６８を形成する。レシーバ６０，６８の開口部
は、エゼクタノズル５２に正対して配置された頂点すな
わち隆起頂部７０によって分離される。したがって、エ
ゼクタ５２から放出された流体は、頂点７０に衝突して
等分され、両者間に差の無い等流量で各レシーバ６０，
６８に進入する。通路３６，３８を通り、開口４２，４
４から流出する流量は、このような状況下で等しくな
る。
【０００９】偏流部材７２は、貫通開口３２に形成され
たスロット７４内に配置され、電機子１４の移動に応答
してエゼクタ及びレシーバを横切る方向へ線７６に沿っ
て移動する。偏流部材７２を貫通して開口７８が形成さ
れる。偏流部材７２が、トルクモータ１２に印加される
信号に応答して図２の左方向又は右方向へ移動するに従
い、エゼクタ５２から放出された流体は偏向され、異な
る加圧流れとなってレシーバ６０，６８に進入しかつ開
口４６，４８（図１）から流出する。
たスロット７４内に配置され、電機子１４の移動に応答
してエゼクタ及びレシーバを横切る方向へ線７６に沿っ
て移動する。偏流部材７２を貫通して開口７８が形成さ
れる。偏流部材７２が、トルクモータ１２に印加される
信号に応答して図２の左方向又は右方向へ移動するに従
い、エゼクタ５２から放出された流体は偏向され、異な
る加圧流れとなってレシーバ６０，６８に進入しかつ開
口４６，４８（図１）から流出する。
【００１０】各薄板はさらに、偏流部材が貫通して延び
る中心開口８０を備える。中心開口８０は、流体増幅部
の戻りとしても作用する。第１段部分１０が図４及び図
５に示すような第２段部分に連結される場合、適当なフ
ィードバックばね８１が第２段部分に連結される（図１
参照）。本発明の他の特徴として、固着された一体積層
構造２０は、図５に示すように電機子組体が取着される
基部として利用され、さらに図５に示すように第１段部
分を第２段部分のハウジングに取着するための構造とし
て利用される。
る中心開口８０を備える。中心開口８０は、流体増幅部
の戻りとしても作用する。第１段部分１０が図４及び図
５に示すような第２段部分に連結される場合、適当なフ
ィードバックばね８１が第２段部分に連結される（図１
参照）。本発明の他の特徴として、固着された一体積層
構造２０は、図５に示すように電機子組体が取着される
基部として利用され、さらに図５に示すように第１段部
分を第２段部分のハウジングに取着するための構造とし
て利用される。
【００１１】前述のように、拡散固着工程の結果、一体
積層構造２０は強化されるので、穴明け及び螺子切りを
容易に実施できる。したがって、固着が終了すると、締
着部材９０，９２，９４，９６をそれぞれに受容する螺
子穴８２，８４，８６，８８が設けられる。必要に応じ
て他の位置にさらに締着部材を使用し、以て所望により
一体積層構造２０をハウジング９８に、又は電機子組体
１００を一体積層構造２０に、確実に固定することもで
きるのは明らかである。その後、腐食を制御するため
に、適当な熱処理を施して積層構造を硬化させる。
積層構造２０は強化されるので、穴明け及び螺子切りを
容易に実施できる。したがって、固着が終了すると、締
着部材９０，９２，９４，９６をそれぞれに受容する螺
子穴８２，８４，８６，８８が設けられる。必要に応じ
て他の位置にさらに締着部材を使用し、以て所望により
一体積層構造２０をハウジング９８に、又は電機子組体
１００を一体積層構造２０に、確実に固定することもで
きるのは明らかである。その後、腐食を制御するため
に、適当な熱処理を施して積層構造を硬化させる。
【００１２】特に図４を参照すると、サーボ弁の第２段
部分１０２は、周知のようにスリーブ１０４とスプール
１０６とを収容するハウジング９８を備える。外側薄板
３０に設けた開口４６，４８は、管路１０７，１０８を
介してスプール１０６の両外側端部に異なる流量の流れ
を供給し、以て周知のようにスリーブ１０４内でスプー
ル１０６を往復動させるための供給口として作用する。
フィードバックばね８１は、スプール１０６の中央部分
１１０に設けた適当なスロット開口内に配置される。隔
離管１６は、金属材料の単品からなり、図５に示すよう
に締着手段９０，９２を受容するために利用される重い
基部１１２を備える。
部分１０２は、周知のようにスリーブ１０４とスプール
１０６とを収容するハウジング９８を備える。外側薄板
３０に設けた開口４６，４８は、管路１０７，１０８を
介してスプール１０６の両外側端部に異なる流量の流れ
を供給し、以て周知のようにスリーブ１０４内でスプー
ル１０６を往復動させるための供給口として作用する。
フィードバックばね８１は、スプール１０６の中央部分
１１０に設けた適当なスロット開口内に配置される。隔
離管１６は、金属材料の単品からなり、図５に示すよう
に締着手段９０，９２を受容するために利用される重い
基部１１２を備える。
【００１３】電機子組体と電機子組体を支持する一体積
層構造とからなる構成を利用することにより、第１段部
分の水力的零位（null）とトルクモータの機械的及び磁
気的零位とが正確に連携するように、流体増幅部をトル
クモータに組合せることができる。これは、トルクモー
タ組体を一体積層構造に搭載し、締着部材９０，９２を
螺子穴８２，８４に挿入して手で締めることによって達
成される。次に流体が流体増幅部に供給され、トルクモ
ータ組体は、締着部材９０，９２とそれらが貫通する基
部１１２の穴とによって許容される公差の範囲内を、水
力的、機械的、及び磁気的零位が達成されるまで移動さ
れる。次いで締着部材はその場所で固く締着され、トル
クモータを一体積層構造２０に固定する。第１段部分の
一体積層構造は、優れた零位安定性の条件下で、第２段
部分に利用することができる。図４及び図５に示すよう
に第１段部分を第２段部分に据え付ける際に、第１段部
分は、第２段部分の水力的零位と連携するように同様に
して調整することができ、それにより優れた零位安定性
を有した第１及び第２段部分からなるサーボ弁の完成品
が得られる。
層構造とからなる構成を利用することにより、第１段部
分の水力的零位（null）とトルクモータの機械的及び磁
気的零位とが正確に連携するように、流体増幅部をトル
クモータに組合せることができる。これは、トルクモー
タ組体を一体積層構造に搭載し、締着部材９０，９２を
螺子穴８２，８４に挿入して手で締めることによって達
成される。次に流体が流体増幅部に供給され、トルクモ
ータ組体は、締着部材９０，９２とそれらが貫通する基
部１１２の穴とによって許容される公差の範囲内を、水
力的、機械的、及び磁気的零位が達成されるまで移動さ
れる。次いで締着部材はその場所で固く締着され、トル
クモータを一体積層構造２０に固定する。第１段部分の
一体積層構造は、優れた零位安定性の条件下で、第２段
部分に利用することができる。図４及び図５に示すよう
に第１段部分を第２段部分に据え付ける際に、第１段部
分は、第２段部分の水力的零位と連携するように同様に
して調整することができ、それにより優れた零位安定性
を有した第１及び第２段部分からなるサーボ弁の完成品
が得られる。
【００１４】流体増幅部を通る流れは、弁の組立時にあ
らゆる特定の適用に対応していかなる所望流量にも設定
することができる。エゼクタ５２から流出する流量は次
式で決定される。 Ｑ＝０．２５９７Ｃd Ａ（２ΔＰ／ρ）1/2 ただし、Ｑ…ガロン／分、Ｃd …流量係数、Ａ…噴流断
面積、ΔＰ…噴流圧力差（psig）、ρ…流体密度（lbf-
sec2/in4）。
らゆる特定の適用に対応していかなる所望流量にも設定
することができる。エゼクタ５２から流出する流量は次
式で決定される。 Ｑ＝０．２５９７Ｃd Ａ（２ΔＰ／ρ）1/2 ただし、Ｑ…ガロン／分、Ｃd …流量係数、Ａ…噴流断
面積、ΔＰ…噴流圧力差（psig）、ρ…流体密度（lbf-
sec2/in4）。
【００１５】このように、噴流の面積Ａが拡大されると
流量は比例して増加する。また、噴流の面積はエゼクタ
ノズル５２の面積によって決まる。さらに、エゼクタノ
ズル５２の面積は中心薄板２２（図１）の厚みを増すこ
とによって拡大される。したがって、薄板２２の厚みを
増すことのみによって、所望の自由噴流を形成するため
のエゼクタノズルの固有の特性を維持しつつ、エゼクタ
５２の高さが同量だけ拡大される。これは、より厚肉の
１枚の中心薄板２２を設けることによって達成される。
或いは図３に示すように、複数の薄肉の薄板１１８，１
２０，１２２を設けることもできる。これらの薄板１１
８，１２０，１２２は、各々に貫通開口３２（図２）を
備え、適切に整合配置した後に相互に拡散固着されて、
図２に示す流体増幅部を形成する。このようにして、薄
肉の薄板を積層することにより、弁の第１段部分を通る
流量の微調整が可能となる。その結果、高圧での６０％
を超える極めて高い流量回復を得ることができる。
流量は比例して増加する。また、噴流の面積はエゼクタ
ノズル５２の面積によって決まる。さらに、エゼクタノ
ズル５２の面積は中心薄板２２（図１）の厚みを増すこ
とによって拡大される。したがって、薄板２２の厚みを
増すことのみによって、所望の自由噴流を形成するため
のエゼクタノズルの固有の特性を維持しつつ、エゼクタ
５２の高さが同量だけ拡大される。これは、より厚肉の
１枚の中心薄板２２を設けることによって達成される。
或いは図３に示すように、複数の薄肉の薄板１１８，１
２０，１２２を設けることもできる。これらの薄板１１
８，１２０，１２２は、各々に貫通開口３２（図２）を
備え、適切に整合配置した後に相互に拡散固着されて、
図２に示す流体増幅部を形成する。このようにして、薄
肉の薄板を積層することにより、弁の第１段部分を通る
流量の微調整が可能となる。その結果、高圧での６０％
を超える極めて高い流量回復を得ることができる。
【図１】本発明の主旨に従って構成されたサーボ弁の第
１段部分の断面図である。
１段部分の断面図である。
【図２】図１の構造の一部分を線２−２に沿って示す部
分断面図である。
分断面図である。
【図３】図２の線３−３に沿った部分断面図である。
【図４】本発明の主旨に従って構成された２段形サーボ
弁の断面図である。
弁の断面図である。
【図５】図４の線５−５に沿った断面図である。
１０…第１段部分 １２…トルクモータ １４…電機子 １６…隔離管 ２０…一体積層構造 ２２…中心薄板 ２４，２６…中間薄板 ２８，３０…外側薄板 ３２…流体増幅開口 ３４，３６，３８…通路 ４０，４２，４４，４６，４８…開口 ５２…エゼクタノズル ６０，６８…レシーバ ７２…偏流部材 １０２…第２段部分
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成５年１２月６日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００３
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００３】
【課題を解決するための手段】本発明は、固定エゼクタ
とこのエゼクタに対向配置される一対のレシーバとを、
流体の噴流がエゼクタから放出されてレシーバに衝突す
るように画定する第１手段と、第１手段によって画定さ
れ、加圧流体をエゼクタに供給するとともに、レシーバ
からの全ての異なる流体放出を受ける管路手段と、エゼ
クタとレシーバとの間に配置され、噴流をレシーバに対
して偏向する可動偏流手段と、可動偏流手段に連結さ
れ、印加される電気信号に応答して偏流手段を移動させ
る電動モータ手段とを具備し、第１手段が、相互に積層
かつ固着されて一体積層構造を形成する複数の薄板を備
える偏流ジェットサーボ弁を提供する。
とこのエゼクタに対向配置される一対のレシーバとを、
流体の噴流がエゼクタから放出されてレシーバに衝突す
るように画定する第１手段と、第１手段によって画定さ
れ、加圧流体をエゼクタに供給するとともに、レシーバ
からの全ての異なる流体放出を受ける管路手段と、エゼ
クタとレシーバとの間に配置され、噴流をレシーバに対
して偏向する可動偏流手段と、可動偏流手段に連結さ
れ、印加される電気信号に応答して偏流手段を移動させ
る電動モータ手段とを具備し、第１手段が、相互に積層
かつ固着されて一体積層構造を形成する複数の薄板を備
える偏流ジェットサーボ弁を提供する。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００４】偏流ジェットサーボ弁は、相互に積層かつ
固着されて一体積層構造を構成する複数の薄板を備え
る。一体積層構造は、固定エゼクタとそれに対向配置さ
れる一対のレシーバとを画定する。可動偏流手段は、エ
ゼクタとレシーバとの間に配置され、エゼクタから放出
される噴流（jet stream）を偏向する。管路手段は、一
体積層構造によって画定され、流体を圧力下でエゼクタ
に供給するとともにレシーバからの全ての異なる流体放
出を受ける。可動偏流手段は、電動モータ手段に連結さ
れる。このモータ手段は、それに付与される電気信号に
応答して偏流手段を作動する。
固着されて一体積層構造を構成する複数の薄板を備え
る。一体積層構造は、固定エゼクタとそれに対向配置さ
れる一対のレシーバとを画定する。可動偏流手段は、エ
ゼクタとレシーバとの間に配置され、エゼクタから放出
される噴流（jet stream）を偏向する。管路手段は、一
体積層構造によって画定され、流体を圧力下でエゼクタ
に供給するとともにレシーバからの全ての異なる流体放
出を受ける。可動偏流手段は、電動モータ手段に連結さ
れる。このモータ手段は、それに付与される電気信号に
応答して偏流手段を作動する。
フロントページの続き (72)発明者 マリオ エー．ロドリゲス アメリカ合衆国，カリフォルニア 93030, オクスナード，コールド ストリーム コ ート 2121
Claims (12)
- 【請求項１】 固定エゼクタと該エゼクタに対向配置さ
れる一対のレシーバとを、流体の噴流が該エゼクタから
放出されて該レシーバに衝突するように画定する第１手
段と、 前記第１手段によって画定され、加圧流体を前記エゼク
タに供給するとともに、前記レシーバからの全ての異な
る流体放出を受ける管路手段と、 前記エゼクタと前記レシーバとの間に配置され、前記噴
流を前記レシーバに対して偏向する可動偏流手段と、 前記可動偏流手段に連結され、印加される電気信号に応
答して該偏流手段を移動させる電動モータ手段とを具備
し、 前記第１手段が、相互に積層かつ固着されて一体積層構
造を形成する複数の薄板を備える偏流ジェットサーボ
弁。 - 【請求項２】 前記複数の薄板が相互固着のためにブレ
ーズ溶接される請求項１に記載の偏流ジェットサーボ
弁。 - 【請求項３】 前記複数の薄板が、相互固着される前に
銅めっきされる請求項２に記載の偏流ジェットサーボ
弁。 - 【請求項４】 前記複数の薄板が相互間の接触面にて相
互に拡散固着される請求項１に記載の偏流ジェットサー
ボ弁。 - 【請求項５】 前記電動モータ手段が前記第１手段に取
着される請求項１に記載の偏流ジェットサーボ弁。 - 【請求項６】 前記電動モータ手段が、前記第１手段に
受容される螺子付締着部材によって該第１手段に取着さ
れる請求項５に記載の偏流ジェットサーボ弁。 - 【請求項７】 前記電動モータ手段が基部を有した隔離
管を備え、前記螺子付締着部材が該基部によって画定さ
れる穴を貫通する請求項６に記載の偏流ジェットサーボ
弁。 - 【請求項８】 前記第１手段が、中心薄板と、該中心薄
板の両面に固着される中間薄板と、各々の該中間薄板の
外表面に固着される外側薄板とを備える請求項１に記載
の偏流ジェットサーボ弁。 - 【請求項９】 前記管路手段が、一方の前記中間薄板に
形成される貫通開口によって画定される請求項８に記載
の偏流ジェットサーボ弁。 - 【請求項１０】 前記中心薄板が、前記エゼクタ及び前
記レシーバを画定する貫通開口を備える請求項９に記載
の偏流ジェットサーボ弁。 - 【請求項１１】 一方の前記中間薄板が、前記管路手段
を画定するための貫通開口を備える請求項１０に記載の
偏流ジェットサーボ弁。 - 【請求項１２】 前記一方の中間薄板が第１、第２、及
び第３開口を備え、該第１開口が前記エゼクタに整合配
置されるとともに、該第２及び第３開口が前記一対のレ
シーバの一方にそれぞれ整合配置され、該一方の中間薄
板に固着される前記外側薄板が該第１、第２、及び第３
開口を被覆して前記管路手段を画定する請求項１１に記
載の偏流ジェットサーボ弁。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US993264 | 1992-12-18 | ||
| US07/993,264 US5303727A (en) | 1992-12-18 | 1992-12-18 | Fluidic deflector jet servovalve |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06221308A true JPH06221308A (ja) | 1994-08-09 |
Family
ID=25539316
Family Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29651993A Pending JPH06221308A (ja) | 1992-12-18 | 1993-11-26 | 偏流ジェットサーボ弁 |
| JP1997008598U Expired - Lifetime JP2599484Y2 (ja) | 1992-12-18 | 1997-09-29 | 偏流ジェットサーボ弁 |
Family Applications After (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1997008598U Expired - Lifetime JP2599484Y2 (ja) | 1992-12-18 | 1997-09-29 | 偏流ジェットサーボ弁 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5303727A (ja) |
| JP (2) | JPH06221308A (ja) |
| DE (1) | DE4343356C2 (ja) |
| FR (1) | FR2699637B1 (ja) |
| GB (1) | GB2273582B (ja) |
| IT (1) | IT1264532B1 (ja) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5533935A (en) * | 1994-12-06 | 1996-07-09 | Kast; Howard B. | Toy motion simulator |
| US6926036B2 (en) * | 2003-01-06 | 2005-08-09 | Honeywell International, Inc. | Fluidic diverter valve with a non-spherical shuttle element |
| US7290565B2 (en) * | 2004-12-02 | 2007-11-06 | Hr Textron, Inc. | Methods and apparatus for splitting and directing a pressurized fluid jet within a servovalve |
| FR2963393B1 (fr) * | 2010-07-29 | 2014-02-14 | In Lhc | Etage de pilotage de servovalve, pouvant servir de premier etage dans une servovalve a deux etages. |
| FR2981133B1 (fr) * | 2011-10-10 | 2013-10-25 | In Lhc | Procede de detection de defaillance d'une servovalve et servovalve faisant application. |
| CN106337851B (zh) * | 2016-10-27 | 2018-10-19 | 西安航空制动科技有限公司 | 一种偏导射流式刹车压力伺服阀 |
| CN106640821B (zh) * | 2017-02-10 | 2018-05-08 | 同济大学 | 一种双冗余反弹射流偏导板伺服阀 |
| CN108386566B (zh) * | 2018-01-31 | 2020-06-02 | 同济大学 | 一种适应变温度场的射流管电液伺服阀 |
| CN111894922B (zh) * | 2019-12-20 | 2023-06-20 | 中国航发长春控制科技有限公司 | 一种电液伺服阀偏转板结构 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3612103A (en) * | 1969-07-01 | 1971-10-12 | Moog Inc | Deflectable free jetstream-type two-stage servo valve |
| US4442855A (en) * | 1981-10-28 | 1984-04-17 | Moog Inc. | Fail-safe single-stage servovalve |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3285265A (en) * | 1964-04-17 | 1966-11-15 | Gen Electric | Fluid amplifier devices |
| US3331383A (en) * | 1966-04-29 | 1967-07-18 | J D Buchanan | Electro-hydraulic servo valves |
| US3543051A (en) * | 1966-12-28 | 1970-11-24 | Stromberg Carlson Corp | Electrical switching arrangements including triggerable avalanche devices |
| US3542051A (en) * | 1967-12-29 | 1970-11-24 | Moog Inc | Free jet stream deflector servovalve |
| US3680576A (en) * | 1970-09-02 | 1972-08-01 | Bendix Corp | Bonded metal structure having intricate passages formed therein, and a method of making said structures |
| US3811474A (en) * | 1973-01-26 | 1974-05-21 | Bowles Fluidics Corp | Miniaturized fluidic element and circuit construction |
| IL78851A0 (en) * | 1985-05-22 | 1986-09-30 | Garrett Corp | Method of bonding of metallic laminates |
| GB2238267A (en) * | 1989-11-01 | 1991-05-29 | Stc Plc | Brazing process |
| US4924912A (en) * | 1989-12-08 | 1990-05-15 | Allied-Signal Inc. | Electrofluidic pin transducer with stable null setting |
-
1992
- 1992-12-18 US US07/993,264 patent/US5303727A/en not_active Expired - Lifetime
-
1993
- 1993-08-02 GB GB9315982A patent/GB2273582B/en not_active Expired - Fee Related
- 1993-11-25 IT ITTO930886 patent/IT1264532B1/it active IP Right Grant
- 1993-11-26 JP JP29651993A patent/JPH06221308A/ja active Pending
- 1993-12-13 FR FR9314929A patent/FR2699637B1/fr not_active Expired - Fee Related
- 1993-12-18 DE DE19934343356 patent/DE4343356C2/de not_active Expired - Fee Related
-
1997
- 1997-09-29 JP JP1997008598U patent/JP2599484Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3612103A (en) * | 1969-07-01 | 1971-10-12 | Moog Inc | Deflectable free jetstream-type two-stage servo valve |
| US4442855A (en) * | 1981-10-28 | 1984-04-17 | Moog Inc. | Fail-safe single-stage servovalve |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5303727A (en) | 1994-04-19 |
| ITTO930886A1 (it) | 1995-05-25 |
| JPH10142U (ja) | 1998-06-30 |
| FR2699637B1 (fr) | 1995-12-15 |
| JP2599484Y2 (ja) | 1999-09-06 |
| DE4343356A1 (de) | 1994-06-23 |
| ITTO930886A0 (it) | 1993-11-25 |
| GB2273582A (en) | 1994-06-22 |
| GB2273582B (en) | 1996-01-24 |
| DE4343356C2 (de) | 1997-01-30 |
| IT1264532B1 (it) | 1996-10-02 |
| FR2699637A1 (fr) | 1994-06-24 |
| GB9315982D0 (en) | 1993-09-15 |
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