JPH0622069B2 - Magneto-optical disk - Google Patents

Magneto-optical disk

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JPH0622069B2
JPH0622069B2 JP895187A JP895187A JPH0622069B2 JP H0622069 B2 JPH0622069 B2 JP H0622069B2 JP 895187 A JP895187 A JP 895187A JP 895187 A JP895187 A JP 895187A JP H0622069 B2 JPH0622069 B2 JP H0622069B2
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magneto
film
optical disk
layer
optical recording
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幸伸 米山
達夫 名手
雄彦 萬
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Sumitomo Metal Mining Co Ltd
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【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、光磁気ディスク、特に新規な誘電体膜を有す
る光磁気ディスクに関するものである。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to a magneto-optical disk, and more particularly to a magneto-optical disk having a novel dielectric film.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

光磁気記録媒体層に光ビームを照射して情報の記録,再
生及び消去を行なう光磁気ディスクは、書き換え可能な
情報を高密度に記録することができるので、各方面への
広い用途が見込まれている。
A magneto-optical disk that irradiates a magneto-optical recording medium layer with a light beam to record, reproduce, and erase information can record rewritable information at a high density, and is therefore expected to have a wide range of uses. ing.

この種の光磁気ディスクの構造として、従来、ガラスや
ポリカーボネート、アクリル、エポキシ、ポリメチルペ
ンテンなどの透明高分子材で形成される透明基板上に、
第1層として、後記光磁気記録媒体を保護すると共に、
情報の読み出し光の内の光磁気記録媒体膜で反射した光
を内部で多重反射(干渉)させ読み出し用反射光の見か
けのカー回転角を増加させ再生C/N比を向上させる
(エンハンスメント効果)、SiO2,SiO,CeO2などの誘
電体膜、第2層としてTb-Fe系、Tb-Fe-Co系、Gd-Tb-Fe
系などの膜厚を300Åより厚くした光磁気記録媒体膜
および第3層として前期光磁気記録媒体を保護する、Si
O2,SiO, CeO2などの誘電体膜、もしくはAl,Bi,Pbなど
の金属膜が形成されてなるもの(特開昭59−110056号,
同59−121368号)や透明基板上に、第1層として、後記
光磁気記録媒体を保護する誘電体膜、第2層として膜厚
を300Å以下とした光磁気記録媒体膜、第3層として
前記光磁気記録媒体膜を保護すると共にこの膜を透過し
た情報の読み出し光をこの膜と後記金属膜との間で多重
反射(干渉)させ読み出し用反射光の見かけのファラデ
ー回転角を増加させ再生C/N比を向上させる(エンハ
ンスメント効果)誘電体膜、および第4層として金属膜
が形成されてなるもの(特開昭60−129951号、同60−20
9947号)などが、充分実用化に値する光磁気ディスクを
提供するという観点から最も有望なものとして知られて
いる。
As a structure of this type of magneto-optical disk, conventionally, on a transparent substrate formed of a transparent polymer material such as glass, polycarbonate, acrylic, epoxy, polymethylpentene,
The first layer protects the magneto-optical recording medium described below and
Of the information reading light, the light reflected by the magneto-optical recording medium film is internally reflected multiple times (interference) to increase the apparent Kerr rotation angle of the reading reflected light and improve the reproduction C / N ratio (enhancement effect). , SiO 2 , SiO, CeO 2 etc. dielectric film, Tb-Fe system, Tb-Fe-Co system, Gd-Tb-Fe as the second layer
A magneto-optical recording medium film having a film thickness of more than 300 Å and a third layer for protecting the magneto-optical recording medium.
Those formed by forming a dielectric film such as O 2 , SiO, CeO 2 or a metal film such as Al, Bi, Pb (Japanese Patent Laid-Open No. 59-110056,
No. 59-121368) or on a transparent substrate, as a first layer, a dielectric film for protecting the later-described magneto-optical recording medium, as a second layer a magneto-optical recording medium film having a film thickness of 300 Å or less, and as a third layer. The magneto-optical recording medium film is protected, and the read light of the information transmitted through this film is subjected to multiple reflection (interference) between this film and the metal film described later to increase the apparent Faraday rotation angle of the read light for reading and to reproduce. A dielectric film for improving the C / N ratio (enhancement effect), and a metal film formed as a fourth layer (Japanese Patent Laid-Open Nos. 60-129951 and 60-20).
No. 9947) and the like are known as the most promising ones from the viewpoint of providing a magneto-optical disk which is sufficiently practical.

〔発明が解決しようとする問題点〕[Problems to be solved by the invention]

しかしながら、前記構造の光磁気ディスクにおいては、
前記光磁気記録情報のドロップアウトの防止および再生
C/N比の向上が完全には達成されていなかった。
However, in the magneto-optical disk having the above structure,
The prevention of the dropout of the magneto-optical recording information and the improvement of the reproduction C / N ratio have not been completely achieved.

本発明の目的は、これらの問題点を解消し、長期の耐久
性、光磁気記録再生特性いずれも優れ充分実用化に値す
る光磁気ディスクを提供することにある。
An object of the present invention is to solve these problems and provide a magneto-optical disk which is excellent in both long-term durability and magneto-optical recording / reproducing characteristics and which is sufficiently practical.

〔問題点を解決するための手段〕[Means for solving problems]

本発明は、前記目的を達成するものとして、前記公知の
光磁気ディスクの構造において、干渉膜としての誘電体
膜の組成がLiNbOx,LiTaOx,またはLiNb1-yTayOx(但
し、1.5≦x<3、0<y<1)で表わされることを
特徴とする光磁気ディスクである。また、本発明は、前
記公知の光磁気ディスクの構成において、干渉膜として
の誘電体膜の組成がLiNbOx,LiTaOx,またはLiNb1-yTayO
x(但し、1.5≦x<3、0<y<1)で表わされ、
かつ該干渉膜以外の誘電体膜の組成がLiNbOz,LiTaOz
またはLiNb1-wTawOz(但し、1.5≦z<3、0<w<
1)で表わされることを特徴とする光磁気ディスクであ
る。
The present invention, in order to achieve the above object, in the structure of the known magneto-optical disk, the composition of the dielectric film as the interference film is LiNbO x , LiTaO x , or LiNb 1-y Ta y O x (however, A magneto-optical disk characterized by being expressed by 1.5 ≦ x <3 and 0 <y <1. Further, in the present invention, the composition of the dielectric film as the interference film is LiNbO x , LiTaO x , or LiNb 1-y Ta y O
x (however, 1.5 ≦ x <3, 0 <y <1),
Moreover, the composition of the dielectric film other than the interference film is LiNbO z , LiTaO z ,
Or LiNb 1-w Ta w O z (however, 1.5 ≦ z <3, 0 <w <
A magneto-optical disk characterized by being represented by 1).

〔作 用〕[Work]

本発明において、干渉膜としての誘電体膜の組成はLiNb
Ox,LiTaOx,LiNb1-yTayOx(但し、1.5≦x<3、0
<y<1)で表わされる必要がある。それは、(1)この成
分が化学量論的組成比(LiNbO3,LiTaO3,LiNb1-yTa
yO3,但し0<y<1)よりも酸素含有量の少ない幅広
い範囲において安定であるため、外部からの酸素を吸収
する作用が生じ光磁気記録媒体の酸化を防ぐ効果が公知
の干渉膜としての誘電体に比べて大きい、(2)この誘電
体膜は600〜830nmの波長を持つ光において屈折率
が2.2〜2.4であり、かつ透明であるため、エンハ
ンスメント効果を利用してカー回転角を上げることがで
きると共に、反射率を下げすぎることなく再生信号を間
違いなく読み取ることができる、からである。そして、
この誘電体の組成を示すxおよびyには、夫々1.5≦
x<3、0<y<1なる条件が設定される。xが1.5
未満では酸素が欠乏することにより膜が透明性を失い、
エンハンスメント効果を有効に利用できなくなり、一
方、3以上では酸素過剰となり生じた結合の弱い酸素が
光磁気記録媒体の酸化に寄与することによりこの媒体の
光磁気特性を大幅に劣化させる。
In the present invention, the composition of the dielectric film as the interference film is LiNb.
O x , LiTaO x , LiNb 1-y Ta y O x (provided that 1.5 ≦ x <3, 0
It must be represented by <y <1). (1) This component has a stoichiometric composition ratio (LiNbO 3 , LiTaO 3 , LiNb 1-y Ta
Since y O 3 is stable in a wide range in which the oxygen content is smaller than 0 <y <1), the interference film has a known effect of absorbing oxygen from the outside to prevent oxidation of the magneto-optical recording medium. (2) This dielectric film has a refractive index of 2.2 to 2.4 for light having a wavelength of 600 to 830 nm, and is transparent, so the enhancement effect is utilized. This is because the Kerr rotation angle can be increased and the reproduced signal can be read without fail without reducing the reflectance too much. And
X and y showing the composition of this dielectric are 1.5 ≦, respectively.
Conditions such that x <3 and 0 <y <1 are set. x is 1.5
If less than, the film loses transparency due to lack of oxygen,
The enhancement effect cannot be utilized effectively, and when the ratio is 3 or more, excess oxygen is generated and weakly bonded oxygen contributes to the oxidation of the magneto-optical recording medium, thereby significantly deteriorating the magneto-optical characteristics of this medium.

更に、この誘電体膜は、膜厚が200〜1200Åに形成され
るのが望ましい。膜厚が200Å未満では、ピンホール
などによる膜の不均一性が増し光磁気記録媒体層の酸化
による情報のドロップアウトが生じてこの媒体層を保護
する効果が不充分であると共に、エンハンスメント効果
が充分に発揮されない。一方、膜厚が1200Åを超える
と、膜厚のバラツキが増大し、エンハンスメント効果を
有効に利用できなくなる。
Further, it is desirable that this dielectric film is formed to have a film thickness of 200 to 1200Å. When the film thickness is less than 200Å, the film non-uniformity due to pinholes and the like increases, and the dropout of information occurs due to the oxidation of the magneto-optical recording medium layer, and the effect of protecting this medium layer is insufficient and the enhancement effect is Not fully exerted. On the other hand, when the film thickness exceeds 1200Å, the variation in the film thickness increases, and the enhancement effect cannot be effectively used.

干渉膜以外の誘電体膜もしくは金属膜は、公知の膜およ
び前記干渉膜の組成のもののいずれをも使用することが
できる。そして、前記干渉膜の組成のものを使用した場
合、干渉膜の組成と干渉膜以外の組成は、同じでも相違
していてもよい。そして、この層の膜厚は200Å以上
に形成されるのが望ましい。膜厚が200Å未満では、
ピンホール等による膜の不均一性が増し光磁気記録媒体
膜を保護する効果が充分得られない。
As the dielectric film or the metal film other than the interference film, any of known films and compositions of the interference film can be used. When the composition of the interference film is used, the composition of the interference film and the composition other than the interference film may be the same or different. And, it is desirable that the film thickness of this layer is formed to 200 Å or more. If the film thickness is less than 200Å,
The non-uniformity of the film due to pinholes and the like increases and the effect of protecting the film of the magneto-optical recording medium cannot be sufficiently obtained.

本発明の各層の膜は、高周波スパッタリング、直流スパ
ッタリング、真空蒸着などにより形成することができ
る。
The film of each layer of the present invention can be formed by high frequency sputtering, direct current sputtering, vacuum deposition or the like.

〔実施例〕〔Example〕

以下、本発明の実施例を比較例、従来例と共に説明す
る。
Hereinafter, examples of the present invention will be described together with comparative examples and conventional examples.

厚さ1.2mmのポリカーボネートの溝付透明基板上に高
周波スパッタリング法により、第1層を、次に第2層の
Tb0.27Fe0.60Co0.13なる組成の光磁気記録媒体膜を、更
に第3層を形成した。この際の第1層および第3層の成
分、組成および膜厚を第1表に示す。
The first layer and then the second layer were formed on a 1.2 mm thick polycarbonate grooved transparent substrate by high frequency sputtering.
A magneto-optical recording medium film having a composition of Tb 0.27 Fe 0.60 Co 0.13 was further formed as a third layer. Table 1 shows the components, compositions and film thicknesses of the first and third layers in this case.

このようにして得られた光磁気ディスクに対して、記録
周波数2MHz、レーザーパワー4mwで記録し、再生レー
ザーパワー1mwで再生した。再生した初期C/N比を、
第1層としてSiOを用いた場合(試験No.1、従来例)に
対する相対値Aで、および光磁気ディスクを温度60
℃、相対湿度90%の雰囲気中に1000時間暴露した
後に再生した経時C/N比を、夫々の試験における再生
した初期C/N比に対する相対値Bで第1表に示す。
The magneto-optical disk thus obtained was recorded at a recording frequency of 2 MHz and a laser power of 4 mw and reproduced at a reproducing laser power of 1 mw. The reproduced initial C / N ratio
Relative value A to the case of using SiO as the first layer (Test No. 1, conventional example), and the magneto-optical disk at a temperature of 60.
Table 1 shows the time-dependent C / N ratio regenerated after 1000 hours of exposure in an atmosphere of 90 ° C. and 90% relative humidity, as a relative value B to the regenerated initial C / N ratio in each test.

いずれの実施例においても、初期C/N比相対値が1.
25以上で、かつ、経時C/N比相対値が0.95より
大きい、即ち、非常に高い光磁気記録再生特性を有し、
長期の耐久性に優れた光磁気ディスクが得られている。
しかし、従来例および比較例では、いずれも、光磁気記
録再生特性、長期の耐久性共に優れた光磁気ディスクは
得られていない。
In each of the examples, the initial C / N ratio relative value was 1.
25 or more, and a relative C / N ratio with time is larger than 0.95, that is, it has very high magneto-optical recording / reproducing characteristics,
A magneto-optical disk excellent in long-term durability has been obtained.
However, in any of the conventional example and the comparative example, a magneto-optical disk having excellent magneto-optical recording / reproducing characteristics and long-term durability has not been obtained.

本発明は、以上説明した各実施例の構成に限るものでな
く、例えば、第3層または第4層としての誘電体もしく
は金属膜の上に更に紫外線硬化樹脂を塗布した構成のも
の、前記実施例の構成の光磁気ディスクを対向させスペ
ーサにより対向空間を形成し、この空間内に不活性ガス
を充填した構成のものなどが実現可能である。
The present invention is not limited to the configurations of the respective embodiments described above. For example, a configuration in which an ultraviolet curable resin is further applied on the dielectric or metal film as the third layer or the fourth layer, It is possible to realize a structure in which a magneto-optical disk having the structure of the example is opposed to each other to form a facing space with a spacer, and the space is filled with an inert gas.

〔発明の効果〕〔The invention's effect〕

以上詳細に説明したように、本発明によると、非常に高
い光磁気記録再生特性を有し、長期の耐久性に優れた光
磁気ディスクを提供することができる。
As described in detail above, according to the present invention, it is possible to provide a magneto-optical disk having extremely high magneto-optical recording / reproducing characteristics and excellent long-term durability.

更に、本発明の光磁気ディスクは製造する際に、次の利
点も有している。即ち、従来の光磁気ディスクを公知の
誘電体を成膜して製造する時に比較して、本発明の新規
な誘電体の成膜速度は約3倍以上である。従って、光磁
気ディスク製造中に透明基板が受けるターゲツトもしく
は蒸着源からの輻射熱の影響を大幅に軽減することがで
きると共に、生産性も大幅に向上することができる。
Further, the magneto-optical disk of the present invention also has the following advantages in manufacturing. That is, the film formation rate of the novel dielectric material of the present invention is about 3 times or more as compared with the case of manufacturing a conventional magneto-optical disk by forming a known dielectric material. Therefore, the influence of the radiant heat from the target or the vapor deposition source on the transparent substrate during the manufacture of the magneto-optical disk can be greatly reduced, and the productivity can be greatly improved.

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】干渉膜としての誘電体膜を有する光磁気デ
ィスクにおいて、該誘電体の組成がLiNbOx,LiTaOx,ま
たはLiNb1-yTayOx(但し、1.5≦x<3、0<y<
1)で表わされることを特徴とする光磁気ディスク。
1. A magneto-optical disk having a dielectric film as an interference film, wherein the composition of the dielectric is LiNbO x , LiTaO x , or LiNb 1-y Ta y O x (where 1.5 ≦ x <3 , 0 <y <
A magneto-optical disk characterized by being represented by 1).
【請求項2】干渉膜としての誘電体膜を有する光磁気デ
ィスクにおいて、該誘電体の組成がLiNbOx,LiTaOx,ま
たはLiNb1-yTayOx(但し、1.5≦x<3、0<y<
1)で表わされ、かつ該干渉膜以外の誘電体膜の組成が
LiNbOz,LiTaOz,またはLiNb1-wTawOz(但し、1.5≦
x<3、0<y<1)で表わされることを特徴とする光
磁気ディスク。
2. A magneto-optical disk having a dielectric film as an interference film, wherein the composition of the dielectric is LiNbO x , LiTaO x , or LiNb 1-y Ta y O x (where 1.5 ≦ x <3 , 0 <y <
1) and the composition of the dielectric film other than the interference film is
LiNbO z , LiTaO z , or LiNb 1-w Ta w O z (however, 1.5 ≦
A magneto-optical disk characterized in that x <3, 0 <y <1).
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