JPH06220410A - Adhesive tape for lead frame - Google Patents
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、樹脂封止型半導体にお
いて、リードフレームのピン間を固定させる場合、また
は、リードフレームのピンと、半導体チップ搭載用基板
または半導体チップ自身とを接着する際に用いられるリ
ードフレーム用接着剤付きテープに関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a resin-sealed semiconductor, when fixing the pins of a lead frame, or when adhering the pins of the lead frame to a semiconductor chip mounting substrate or the semiconductor chip itself. The present invention relates to an adhesive tape for a lead frame used.
【0002】[0002]
【従来の技術】リードフレーム用接着剤付きテープの基
本構成は、通常、図1および図2に示す通り、ポリイミ
ドなどの耐熱性有機絶縁フィルム1を基材とし、その片
面あるいは両面に塗布したポリアクリル酸エステル樹
脂、エポキシ樹脂、あるいはアクリロニトリルブタジエ
ン共重合体などの合成ゴム系樹脂などの接着剤層2およ
び必要に応じて接着剤層2の上に設けられた保護フィル
ム3とからなる。樹脂封止型半導体の製造に際しては、
DIP(Dual In Line Package)、QFP(Quad Flat
Package )、PLCC(Plastic Leaded Chip Carrier
)などに代表されるように、図3および図4で示す通
り、42アロイまたは銅アロイなどのリードフレーム5
をリードフレーム用接着剤付きテープ4でピン間を固定
し、そのリードフレーム5上に半導体チップ7をエポキ
シ系またはイミド系の銀ペーストあるいは半田ペースト
を用いてダイ付けし、金線ワイヤーボンディング法また
は銅線ワイヤーボンディング法によりワイヤー6で半導
体チップ7とリードフレーム5との電気的接続を行な
い、これを樹脂等のモールド材によって封止することに
より行なわれている。また、近年、電子機器の小型、高
性能化が進む中で、半導体分野でも小型、薄型、軽量、
高性能のパッケージが求められているため、図5で示す
通り、リードフレーム5と半導体チップ7を両面リード
フレーム用接着剤付きテープ4で固定するLOC(Lead
On Chip)が開発され、すでに量産されている。これら
の接着剤には、接着性、絶縁性、耐熱性などの諸特性が
要求される。2. Description of the Related Art As shown in FIGS. 1 and 2, the basic structure of an adhesive tape for a lead frame is usually a poly-metal coated on one side or both sides of a heat-resistant organic insulating film 1 such as polyimide. The adhesive layer 2 is made of an acrylic ester resin, an epoxy resin, a synthetic rubber resin such as an acrylonitrile butadiene copolymer, and the protective film 3 is provided on the adhesive layer 2 if necessary. When manufacturing resin-sealed semiconductors,
DIP (Dual In Line Package), QFP (Quad Flat)
Package), PLCC (Plastic Leaded Chip Carrier)
) And the like, as shown in FIGS. 3 and 4, a lead frame 5 such as 42 alloy or copper alloy.
Is fixed between the pins with an adhesive tape 4 for a lead frame, and a semiconductor chip 7 is die-attached onto the lead frame 5 using an epoxy-based or imide-based silver paste or solder paste, and a gold wire wire bonding method or This is performed by electrically connecting the semiconductor chip 7 and the lead frame 5 with a wire 6 by a copper wire wire bonding method and sealing the same with a molding material such as resin. Further, in recent years, as electronic devices have become smaller and have higher performance, small, thin, lightweight, and
Since a high-performance package is required, as shown in FIG. 5, the lead frame 5 and the semiconductor chip 7 are fixed to each other with the adhesive tape 4 for the double-sided lead frame.
On Chip) has been developed and is already in mass production. These adhesives are required to have various properties such as adhesiveness, insulation and heat resistance.
【0003】[0003]
【発明が解決しようとする課題】近年、電子機器におけ
るさらなる小型、薄型、軽量、高性能のパッケージの要
求により、さらに高絶縁信頼性が要求されるようになっ
てきた。従来のリードフレーム用接着テープとしてはポ
リアクリロニトリル、ポリアクリル酸ブチルおよびレゾ
ール型フェノール樹脂の混合系(「ポリアクリロニトリ
ル/ポリアクリル酸ブチル/レゾール型フェノール樹脂
系」と略す、以下同様に「□□□/△△△系」は、□□
□と△△△の混合系を表すものとする。)(特開昭61
−51076号公報)、ナイロン/無機または有機フィ
ラー系(特開平3−41743号公報)を使用する例が
知られているが、これらの従来の接着剤を使用した接着
剤付きテープでは本来の目的を達成できなくなってきて
いる。すなわち、いわゆる絶縁性評価として不飽和プレ
ッシャークッカーバイアステスト(温度130℃、湿度
85%、印加電圧100V)により電気的特性を評価し
た時、不飽和プレッシャークッカーバイアステストの開
始時108 〜109 オーム程度であった抵抗が、テスト
の経過時間とともに接着テープ部分を導通して電流が流
れる現象が顕著になり、次第に抵抗が低下し、100時
間経過後には、リードフレーム間で短絡が生じ、103
以下の抵抗になってしまうのである。不飽和プレッシャ
ークッカーバイアステストによる短絡までの時間は高絶
縁信頼性を得るためには100時間以上が必要とされて
おり、信頼性が不十分であると小型、薄型、軽量、高密
度のパッケージを要求される半導体実装ではリードフレ
ーム用接着テープとしての性能が発揮できなくなる。In recent years, due to the demand for smaller, thinner, lighter, and higher-performance packages in electronic equipment, higher insulation reliability has been required. As a conventional adhesive tape for lead frames, a mixed system of polyacrylonitrile, butyl polyacrylate and resol type phenol resin (abbreviated as "polyacrylonitrile / butyl polyacrylate / resole type phenol resin system") is used. / △△△ system "is □□
It represents a mixed system of □ and △△△. ) (JP-A-61)
No. 510710), and examples using nylon / inorganic or organic fillers (Japanese Patent Laid-Open No. 3-41743) are known, but the adhesive-attached tape using these conventional adhesives has its original purpose. Can no longer be achieved. That is, when the electrical characteristics are evaluated by an unsaturated pressure cooker bias test (temperature 130 ° C., humidity 85%, applied voltage 100 V) as so-called insulation evaluation, the unsaturated pressure cooker bias test starts at 10 8 to 10 9 ohms. the extent and there was resistance, becomes remarkable phenomenon that current flows conductive adhesive tape section with the passage time of the test, decrease gradually resistor, after lapse of 100 hours, a short circuit occurs between the lead frame, 10 3
The following resistance will result. The time until short circuit by unsaturated pressure cooker bias test needs to be 100 hours or more to obtain high insulation reliability. If the reliability is insufficient, small, thin, lightweight and high density packages can be used. In the required semiconductor mounting, the performance as an adhesive tape for lead frames cannot be exhibited.
【0004】したがって、本発明の目的は、従来よりリ
ードフレーム用接着剤として必要とされた接着性、耐熱
性などを有すると共に、不飽和プレッシャークッカーバ
イアステストにおいてリードフレーム間の短絡までの時
間が長い高絶縁信頼性を有するリードフレーム用接着テ
ープを提供することにある。Therefore, an object of the present invention is to have adhesiveness, heat resistance, etc., which have been conventionally required as an adhesive for lead frames, and it takes a long time to short-circuit between lead frames in an unsaturated pressure cooker bias test. An object of the present invention is to provide a lead frame adhesive tape having high insulation reliability.
【0005】[0005]
【課題を解決するための手段】かかる本発明の目的は、
有機絶縁フィルムと該有機絶縁フィルム上の少なくとも
片面に形成された接着剤層とを有するリードフレーム用
接着剤付きテープにおいて、該接着剤層が(a)フェノ
ール樹脂および(b)絶縁性無機フィラーを必須成分と
して含むことを特徴とするリードフレーム用接着剤付き
テープにより達成される。The object of the present invention is as follows.
An adhesive tape for lead frame, comprising an organic insulating film and an adhesive layer formed on at least one surface of the organic insulating film, wherein the adhesive layer comprises (a) a phenol resin and (b) an insulating inorganic filler. This is achieved by a tape with an adhesive for a lead frame, which is characterized by containing as an essential component.
【0006】本発明のリードフレーム用接着剤付きテー
プに使用される有機絶縁フィルムとしては,ポリイミ
ド,ポリエーテルイミド,ポリフェニレンサルファイ
ド、ポリエーテルエーテルケトン、芳香族ポリアミドな
どのいわゆる耐熱性フィルム、ポリエチレンテレフタレ
ートあるいはフレキシブルエポキシ/ガラスクロスなど
の複合材料などがあげられる。The organic insulating film used in the adhesive tape for lead frame of the present invention includes polyimide, polyetherimide, polyphenylene sulfide, polyetheretherketone, so-called heat resistant film such as aromatic polyamide, polyethylene terephthalate, or the like. Examples include flexible epoxy / glass cloth and other composite materials.
【0007】上記有機絶縁フィルム上の少なくとも片面
に接着剤層が形成される。接着剤層は、(a)フェノー
ル樹脂および(b)絶縁性無機フィラーを必須成分とし
て含むものである。An adhesive layer is formed on at least one surface of the organic insulating film. The adhesive layer contains (a) a phenol resin and (b) an insulating inorganic filler as essential components.
【0008】(a)成分のフェノール樹脂としては、ア
ルキルフェノール樹脂、パラフェニルフェノール樹脂等
のノボラックフェノール樹脂、熱硬化型フェノール樹脂
等、公知のフェノール樹脂がいずれも使用可能である
が、絶縁性が高いことから、常温固体の熱硬化型のフェ
ノール樹脂を含むことが好ましい。配合割合としては、
全フェノール樹脂中30重量%以上であることが好まし
く、より好ましくは50重量%以上である。常温液状の
熱硬化型のもの、あるいは熱可塑型のものだけでは耐熱
性が低く、樹脂等のモールド剤によって封止する際、圧
力と温度により接着剤がとけだし、接着力、絶縁性等の
特性が低下してしまう。常温固体の熱硬化型フェノール
樹脂は、市販のものとして容易に入手し得る。具体的に
は、群栄化学社製PS2780、昭和高分子社製CKM
1282、大日本インキ社製TD−2625などがあげ
られる。As the phenolic resin as the component (a), known phenolic resins such as novolac phenolic resins such as alkylphenolic resins and paraphenylphenolic resins, and thermosetting phenolic resins can be used, but they have high insulation properties. Therefore, it is preferable to include a thermosetting phenolic resin that is solid at room temperature. As for the mixing ratio,
It is preferably 30% by weight or more, more preferably 50% by weight or more, based on the total phenolic resin. The thermosetting type that is liquid at room temperature or the thermosetting type alone has low heat resistance. When sealing with a molding agent such as resin, the adhesive melts due to pressure and temperature, and the adhesive strength, insulation, etc. The characteristics deteriorate. The thermosetting phenolic resin which is solid at room temperature can be easily obtained as a commercially available product. Specifically, Gunei Chemical Co., Ltd. PS2780, Showa High Polymer Co., Ltd. CKM
1282, TD-2625 manufactured by Dainippon Ink and others, and the like.
【0009】さらに、常温固体の熱硬化型のフェノール
樹脂が、一般式(1)Further, a thermosetting phenolic resin which is solid at room temperature is represented by the general formula (1)
【化2】 (式中、Rは、水素または炭素数1〜12の炭化水素基
を表す。)で表される構造単位を含むことが好ましい。
Rの炭素数としては、多くなるほど接着力が高くなり、
また他の樹脂と混合する際に相溶性が高くなるため好ま
しいが、多くなりすぎると耐熱性が低下するため炭素数
4のブチル基が好ましく、入手のしやすさからt−ブチ
ル基であることがより好ましい。また、一般式(1)で
表される構造単位の含有率が多いほど不飽和プレッシャ
ークッカーバイアステストでの短絡までの時間が長くな
るため35重量%以上含有されていることが好ましく、
50重量%以上であることがより好ましい。具体的に
は、上記の群栄化学社製PS2780、昭和高分子社製
CKM1282などが挙げられる。[Chemical 2] (In the formula, R represents hydrogen or a hydrocarbon group having 1 to 12 carbon atoms.) It is preferable to include a structural unit.
As the carbon number of R increases, the adhesive strength increases,
Further, it is preferable because it has high compatibility when mixed with other resins, but if it is too much, heat resistance is lowered, so a butyl group having 4 carbon atoms is preferable, and a t-butyl group is preferable because it is easily available. Is more preferable. Further, the higher the content of the structural unit represented by the general formula (1) is, the longer the time until a short circuit in the unsaturated pressure cooker bias test is, so the content is preferably 35% by weight or more,
It is more preferably 50% by weight or more. Specific examples include PS2780 manufactured by Gunei Chemical Co., Ltd., CKM1282 manufactured by Showa High Polymer Co., Ltd., and the like.
【0010】(b)成分の絶縁性無機フィラーとして
は、公知の無機酸化物、水酸化物、炭酸塩の粒子のうち
絶縁性を有するものを適宜使用しうるが、シリカ、アル
ミナ、ジルコニア、チタニア等の酸化物、あるいはケイ
酸アルミニウム、ケイ酸カルシウム等の複合酸化物から
抽出水電導度が50μS/cm以下のものを適宜選択し
て使用することが好ましい。ここで、「抽出水電導度」
とは、絶縁性無機フィラーを純水で5重量倍に希釈した
ものをプレシャークッカー(121℃、2atm、24
hrs)した後の、その抽出水の電導度のことをいう。
より好ましくは、抽出水電導度が20μS/cm以下の
ものである。無機フィラーの絶縁性が低いと、高い絶縁
信頼性を得ることが困難になる。As the insulating inorganic filler of the component (b), known inorganic oxide, hydroxide and carbonate particles having an insulating property can be appropriately used, and silica, alumina, zirconia, titania are usable. It is preferable to appropriately select and use an oxide having an extracted water conductivity of 50 μS / cm or less from oxides such as the above, or complex oxides such as aluminum silicate and calcium silicate. Where "extracted water conductivity"
Is a pre-cooker (121 ° C., 2 atm, 24 atm
The electrical conductivity of the extracted water after being subjected to hrs).
More preferably, the conductivity of the extracted water is 20 μS / cm or less. If the insulating property of the inorganic filler is low, it becomes difficult to obtain high insulating reliability.
【0011】絶縁性無機フィラーの粒子の形状として
は、粉末状、フレーク状、繊維状、バルーン状などのい
ずれでもかまわないが、樹脂への分散性という点から粉
末状のものが好ましい。また、粒子の大きさとしては、
電子顕微鏡、遠心沈降法、比重天秤法等による見掛けの
大きさで平均粒子径0.01〜10μmのものが好まし
く、0.1〜5μmのものが特に好ましい。平均粒子径
が0.01μmより小さいと樹脂への均一な分散が難し
く、10μmをこえる場合は接着力が低下しやすい。The shape of the particles of the insulating inorganic filler may be any of powder, flake, fiber, balloon, etc., but powder is preferable from the viewpoint of dispersibility in resin. Also, as the particle size,
Those having an average particle size of 0.01 to 10 μm, and preferably 0.1 to 5 μm, in terms of apparent size by an electron microscope, a centrifugal sedimentation method, a specific gravity balance method and the like. If the average particle size is smaller than 0.01 μm, it is difficult to uniformly disperse the resin in the resin, and if it exceeds 10 μm, the adhesive force tends to be lowered.
【0012】また、接着剤層は、フェノール樹脂/絶縁
性無機フィラー系でも本発明の目的を達成できるが、接
着性、耐薬品性、耐熱性などのリードフレーム用接着剤
付きテープとしての総合性能を満足させるため、他の樹
脂と混合して使用することが好ましい。混合可能な樹脂
としては、アクリロニトリルアクリル酸エステル共重合
体、アクリル酸エステル系樹脂、アクリロニトリルブタ
ジエン共重合体、可溶性ポリアミド樹脂、エポキシ樹
脂、ブチラール樹脂、可溶性ポリエステル樹脂、ポリイ
ミド樹脂などが使用できるが、総合的な性能を発揮する
には、アクリロニトリルブタジエン共重合体および/ま
たはポリアミド樹脂が特に好ましい。The adhesive layer can also achieve the object of the present invention by using a phenol resin / insulating inorganic filler system, but the overall performance as an adhesive tape for lead frames such as adhesiveness, chemical resistance and heat resistance. In order to satisfy the above condition, it is preferable to use it by mixing with other resin. As the miscible resin, acrylonitrile acrylic acid ester copolymer, acrylic acid ester-based resin, acrylonitrile butadiene copolymer, soluble polyamide resin, epoxy resin, butyral resin, soluble polyester resin, polyimide resin and the like can be used. Acrylonitrile butadiene copolymer and / or polyamide resin are particularly preferable for exhibiting specific performance.
【0013】アクリロニトリルブタジエン共重合体、す
なわち、アクリロニトリルとブタジエンの共重合体とし
ては、アクリロニトリルの含有量が10〜45重量%の
ものが好ましく、さらに好ましくは25〜35重量%の
ものである。また、アクリロニトリル、ブタジエン以外
の第3成分として、反応性官能基を有する成分を1〜1
0重量%の範囲で含有していてもよい。反応性官能基を
有する成分としては、具体的には、アクリル酸、ヒドロ
キシメチルメタクリレート、ヒドロキシエチルメタクリ
レート、グリシジルメタクリレート、アクリルアミド、
ジメチルアミノメタクリレートなどがあげられる。アク
リロニトリルブタジエン共重合体は、通常、乳化重合で
合成されるため、界面活性剤残渣として、ナトリウム、
カリウム、カルシウム、塩素などの不純物イオンが含ま
れる。本発明において、重合方法は特に限定されない
が、好ましくは、ノニオン系界面活性剤により合成さ
れ、トータル不純物イオンが50ppm以下のものがよ
い。さらに好ましくは、トータル不純物イオンが30p
pm以下のものがよい。The acrylonitrile-butadiene copolymer, that is, the acrylonitrile-butadiene copolymer, preferably has an acrylonitrile content of 10 to 45% by weight, more preferably 25 to 35% by weight. Further, as the third component other than acrylonitrile and butadiene, the components having a reactive functional group are 1 to 1
You may contain in the range of 0 weight%. As the component having a reactive functional group, specifically, acrylic acid, hydroxymethyl methacrylate, hydroxyethyl methacrylate, glycidyl methacrylate, acrylamide,
Examples include dimethylaminomethacrylate. Since acrylonitrile butadiene copolymer is usually synthesized by emulsion polymerization, sodium, as a surfactant residue,
It contains impurity ions such as potassium, calcium and chlorine. In the present invention, the polymerization method is not particularly limited, but it is preferably one synthesized by a nonionic surfactant and having a total impurity ion of 50 ppm or less. More preferably, the total impurity ions are 30p
It is preferably pm or less.
【0014】また、ポリアミド樹脂は、酸とジアミンの
混合物を熱重合することによって得られるもので、メタ
ノールなどのアルコール類を主成分とする混合溶剤に溶
解可能なものなどが使用される。とりわけ、ポリアミド
樹脂の原料として炭素数が36個であるジカルボン酸
(いわゆるダイマー酸)が主要成分となっている通称ダ
イマー酸系ポリアミドが好ましい。The polyamide resin is obtained by thermally polymerizing a mixture of an acid and a diamine, and a resin which can be dissolved in a mixed solvent containing alcohols such as methanol as a main component is used. Above all, a so-called dimer acid-based polyamide having a dicarboxylic acid having 36 carbon atoms (so-called dimer acid) as a main component as a raw material of the polyamide resin is preferable.
【0015】ダイマー酸系ポリアミドはダイマー酸とヘ
キサメチレンジアミンまたはエチレンジアミンなどのジ
アミン成分との等モル混合物を熱重合することによって
得られるもので、ジカルボン酸成分としてダイマー酸だ
けではなく、アゼライン酸、セバシン酸などの他のジカ
ルボン酸を含んでいても良い。また、ジアミン成分も上
記のものを単独で使用するものだけではなく、他のジア
ミンを混合したものも使用可能である。混合可能な他の
ジアミン成分としては、ピペラジン、ビス(4−アミノ
シクロヘキシル)メタン、ビス(4−アミノ,1,2−
メチルシクロヘキシル)メタンなどがあげられる。これ
らダイマー酸系ポリアミドは高重合度にした場合、吸水
率が比較的低くなり、高湿度の雰囲気でも電気絶縁性が
高くなるという長所がある。ダイマー酸系ポリアミドの
内でもジアミン成分としてヘキサメチレンジアミンを主
要成分としたものは総合性能において優れた特性を発揮
するため特に好ましい。The dimer acid type polyamide is obtained by thermally polymerizing an equimolar mixture of dimer acid and a diamine component such as hexamethylenediamine or ethylenediamine, and not only dimer acid but also azelaic acid and sebacine as dicarboxylic acid components. It may contain other dicarboxylic acid such as acid. Further, as the diamine component, not only the above-mentioned ones are used alone, but also a mixture of other diamines can be used. Other diamine components that can be mixed include piperazine, bis (4-aminocyclohexyl) methane, and bis (4-amino, 1,2-
Methylcyclohexyl) methane and the like. When these dimer acid-based polyamides are made to have a high degree of polymerization, they have an advantage that the water absorption becomes relatively low and the electric insulation becomes high even in a high humidity atmosphere. Among the dimer acid-based polyamides, those containing hexamethylenediamine as a main component as a diamine component are particularly preferable because they exhibit excellent properties in overall performance.
【0016】各々の成分比は、フェノール樹脂を100
重量部とした場合、絶縁性無機フィラーは1〜100重
量部が好ましく、3〜80重量部がより好ましい。ま
た、他の樹脂を混合した場合、アクリロニトリルブタジ
エン共重合体、ポリアミド樹脂またはアクリロニトリル
ブタジエン共重合体とポリアミド樹脂の混合物は、60
〜200重量部が好ましく、より好ましくは80〜15
0重量部である。フェノール樹脂が少なくなると絶縁性
が低下しやすい。また、フェノール樹脂が多すぎると接
着力が低下しやすい。またアクリロニトリルブタジエン
共重合体とポリアミド樹脂の混合物を使用する場合、そ
の配合割合としては、アクリロニトリルブタジエン共重
合体:ポリアミド樹脂またはポリアミド樹脂:アクリロ
ニトリルブタジエン共重合体が1:99〜10:90
(重量比)の範囲が好ましく、より好ましくは、1:9
9〜5:95である。The ratio of each component is 100 for phenol resin.
When the amount is by weight, the insulating inorganic filler is preferably 1 to 100 parts by weight, more preferably 3 to 80 parts by weight. When another resin is mixed, the acrylonitrile butadiene copolymer, the polyamide resin or the mixture of the acrylonitrile butadiene copolymer and the polyamide resin is 60
To 200 parts by weight, more preferably 80 to 15 parts by weight
0 parts by weight. When the amount of phenolic resin is low, the insulating property tends to deteriorate. Further, if the amount of the phenol resin is too much, the adhesive force tends to decrease. When a mixture of an acrylonitrile butadiene copolymer and a polyamide resin is used, the compounding ratio of acrylonitrile butadiene copolymer: polyamide resin or polyamide resin: acrylonitrile butadiene copolymer is 1:99 to 10:90.
The range of (weight ratio) is preferable, and more preferably 1: 9.
9-5: 95.
【0017】上述の各成分を溶媒に溶解することによ
り、接着剤樹脂混合物溶液を得る。接着剤各成分を溶解
する溶媒としては、トルエン、キシレン、クロルベンゼ
ン、ベンジルアルコールなどの芳香族系溶媒とメタノー
ル、エタノール、イソプロピルアルコール、ブチルアル
コールなどのアルコール系溶媒との混合溶媒が適してい
る。An adhesive resin mixture solution is obtained by dissolving the above components in a solvent. As a solvent for dissolving each component of the adhesive, a mixed solvent of an aromatic solvent such as toluene, xylene, chlorobenzene, and benzyl alcohol and an alcohol solvent such as methanol, ethanol, isopropyl alcohol, and butyl alcohol is suitable.
【0018】また、本発明においては、必要に応じ、接
着剤層の上に、保護フィルムが形成される。保護フィル
ムは、防塵あるいは取扱い性の目的から使用されるもの
で、ポリエチレンテレフタレート、ポリプロピレン、ポ
リエチレン、ポリフェニレンスルフィド、ポリエチレン
ナフタレートなどが好ましく使用される。中でも、ポリ
エチレンテレフタレート、ポリプロピレン、ポリエチレ
ン、ポリフェニレンスルフィドが好ましい。Further, in the present invention, a protective film is formed on the adhesive layer, if necessary. The protective film is used for the purpose of preventing dust or handling, and polyethylene terephthalate, polypropylene, polyethylene, polyphenylene sulfide, polyethylene naphthalate, etc. are preferably used. Among them, polyethylene terephthalate, polypropylene, polyethylene and polyphenylene sulfide are preferable.
【0019】リードフレーム用接着剤付きテープは、通
常次に示す方法で作製される。The adhesive tape for lead frame is usually produced by the following method.
【0020】すなわち、有機絶縁フィルム上に、上記接
着剤樹脂混合物溶液を塗布、乾燥する。このとき乾燥後
の膜厚が5〜50μm程度になるように塗布することが
好ましい。また乾燥条件としては、通常、100〜20
0℃、1〜5分の範囲である。さらに、有機絶縁フィル
ムの両面に接着剤層を有する場合には、上記と同様に、
もう一方の面にも接着剤層を形成する。これに必要に応
じて、離型性のある保護フィルムを張り合わせ、目的と
する幅、大きさにスリットする。That is, the adhesive resin mixture solution is applied onto the organic insulating film and dried. At this time, it is preferable to apply so that the film thickness after drying is about 5 to 50 μm. The drying condition is usually 100 to 20.
The range is 0 ° C. and 1 to 5 minutes. Furthermore, in the case of having an adhesive layer on both sides of the organic insulating film, in the same manner as above,
An adhesive layer is also formed on the other surface. If necessary, a protective film having releasability is attached and slit to a desired width and size.
【0021】本発明にかかるリードフレーム用接着剤付
きテープの模式的断面図を図1および図2に示す。図1
は、有機絶縁フィルム1と、その片面に接着剤層2を介
して接着された保護フィルム3とから成っている。図2
は、有機絶縁フィルム1と、その両面に接着剤層2を介
して接着された保護フィルム3とから成っている。A schematic cross-sectional view of the adhesive tape for lead frames according to the present invention is shown in FIGS. 1 and 2. Figure 1
Is composed of an organic insulating film 1 and a protective film 3 adhered to one surface of the organic insulating film 1 via an adhesive layer 2. Figure 2
Is composed of an organic insulating film 1 and a protective film 3 adhered to both surfaces thereof via an adhesive layer 2.
【0022】[0022]
【実施例】以下、本発明を実施例で説明する。なお、本
実施例における各試験は、次のようにして行なった。EXAMPLES The present invention will be described below with reference to examples. Each test in this example was performed as follows.
【0023】<絶縁性測定方法> 性能検討用接着テープ 幅 2mm,長さ 10mm リードフレーム 42アロイ,ピッチ 300
μm 接着テープを130℃、85%、100Vの条件下にお
けるリードフレーム間の抵抗値を連続的に測定する。短
絡までの時間は150時間以上が必要であり、200時
間以上が特に好ましい。<Insulation measurement method> Adhesive tape for performance study Width 2 mm, length 10 mm Lead frame 42 alloy, pitch 300
The resistance value between the lead frames of the μm adhesive tape is continuously measured under the conditions of 130 ° C., 85% and 100V. The time to short circuit is required to be 150 hours or longer, and particularly preferably 200 hours or longer.
【0024】<接着力測定方法> 性能検討用接着テープ 幅 2mm,長さ 10mm リードフレーム 42アロイ 測定機 オリエンテック製 引っ張り試験機 接着テープのポリイミドフィルムを90°方向に速度5
0mm/minでひきはがし、そのときの応力を測定す
る。一般的には、0.5kg/cm以上が必要である。<Adhesive force measurement method> Adhesive tape for performance examination Width 2 mm, length 10 mm Lead frame 42 alloy measuring machine Orientec tensile tester Adhesive tape polyimide film at speed 90 ° direction 5
Peel off at 0 mm / min and measure the stress at that time. Generally, 0.5 kg / cm or more is required.
【0025】実施例1 厚さ50μmのポリイミドフィルム(東レ・デュポン製
“カプトン”100V)に、下記組成物を固形分の重量
が20%になるようにメタノール/モノクロルベンゼン
混合溶液に溶解した後、得られた接着剤溶液を乾燥膜厚
が20μmとなるように塗布し,エヤオーブンを使用し
100℃で1分,150℃で2分乾燥した。Example 1 A polyimide film having a thickness of 50 μm (“Kapton” 100V manufactured by DuPont Toray Co., Ltd.) was dissolved in a mixed solution of methanol / monochlorobenzene so that the weight of the solid content was 20%. The obtained adhesive solution was applied so that the dry film thickness was 20 μm, and dried using an air oven at 100 ° C. for 1 minute and 150 ° C. for 2 minutes.
【0026】 <接着剤組成> アクリロニトリルブタジエン樹脂 100重量部 (日本合成ゴム社製PNR−1HA) 熱硬化型アルキルフェノール樹脂 80重量部 (昭和高分子社製CKM1282、常温固体、R=t−ブチル基) シリカ 20重量部 (電気化学社製FB−5S(X)、 遠心沈降法による粒径4μm、電導度4.8μS/cm) このテープから幅2mm,長さ10mmの小片を作りリ
ードフレームの固定テープとした。このフィルム片によ
りピン間を固定したリードフレームに半導体を搭載し、
半導体をフレームに固定後、フレームのピンと半導体端
子とを接合し、エポキシ樹脂で封止してサンプルの性能
検討用接着テープとした。<Adhesive composition> 100 parts by weight of acrylonitrile butadiene resin (PNR-1HA manufactured by Japan Synthetic Rubber Co., Ltd.) 80 parts by weight of thermosetting alkylphenol resin (CKM1282 manufactured by Showa Polymer Co., Ltd., solid at room temperature, R = t-butyl group) 20 parts by weight of silica (FB-5S (X) manufactured by Denki Kagaku KK, particle size of 4 μm by centrifugal sedimentation method, conductivity of 4.8 μS / cm) A piece of 2 mm in width and 10 mm in length is made from this tape to fix the lead frame. And The semiconductor is mounted on the lead frame whose pins are fixed by this film piece,
After fixing the semiconductor to the frame, the pins of the frame and the semiconductor terminals were joined and sealed with an epoxy resin to obtain an adhesive tape for examining the performance of the sample.
【0027】実施例2 接着剤成分が下記の通りである以外は,実施例1と同じ
方法で性能検討用接着テープを作成した。Example 2 An adhesive tape for performance study was prepared in the same manner as in Example 1 except that the adhesive components were as follows.
【0028】 <接着剤組成> ポリアミド樹脂 100重量部 (Unichema社製ナイロン6・36“PRIADIT”2053、 ダイマー酸とヘキサメチレンジアミンが主成分、重量平均分子量10万、 175℃でのMI値10gr/分) 熱硬化型アルキルフェノール樹脂 100重量部 (群栄化学社製PS2780、常温固体、R=t−ブチル基) シリカ 20重量部 (電気化学社製FB−5S(X)) 実施例3 接着剤成分が下記の通りである以外は,実施例1と同じ
方法で性能検討用接着テープを作成した。<Adhesive Composition> 100 parts by weight of polyamide resin (Nylon 6.36 “PRIADIT” 2053 manufactured by Unichema, dimer acid and hexamethylenediamine as main components, weight average molecular weight of 100,000, MI value at 175 ° C. of 10 gr / Min) Thermosetting alkylphenol resin 100 parts by weight (Gunei Chemical Co., Ltd. PS2780, normal temperature solid, R = t-butyl group) Silica 20 parts by weight (Electrochemical Co., Ltd. FB-5S (X)) Example 3 Adhesive component An adhesive tape for performance study was prepared in the same manner as in Example 1, except that
【0029】 <接着剤組成> ポリアミド樹脂 100重量部 (Unichema社製ナイロン6・36“PRIADIT”2053) 熱可塑型アルキルフェノール樹脂 40重量部 (群栄化学社製PSM4326) シリカ 40重量部 (電気化学社製FB−5S(X)) 比較例1 接着剤成分が下記の通りである以外は、実施例1と同じ
方法で性能検討用接着テープを作成した。<Adhesive Composition> Polyamide resin 100 parts by weight (Unichema nylon 6.36 “PRIADIT” 2053) Thermoplastic alkylphenol resin 40 parts by weight (PSM4326 manufactured by Gunei Chemical Co., Ltd.) Silica 40 parts by weight (Electrochemical Company) FB-5S (X) manufactured by Comparative Example 1 An adhesive tape for performance study was prepared in the same manner as in Example 1 except that the adhesive components were as follows.
【0030】 <接着剤組成> アクリロニトリルブタジエン樹脂 100重量部 (日本合成ゴム社製PNR−1HA) 熱可塑型フェノール樹脂 80重量部 (群栄化学社製PSM4326、常温固体) 水酸化アルミニウム 20重量部 (昭和電工社製H−34、 比重天秤法による粒径3.5μm、電導度150μS/cm) 比較例2 接着剤成分が下記の通りである以外は、実施例1と同じ
方法で性能検討用接着テープを作成した。<Adhesive composition> 100 parts by weight of acrylonitrile butadiene resin (PNR-1HA manufactured by Japan Synthetic Rubber Co., Ltd.) 80 parts by weight of thermoplastic phenol resin (PSM4326 manufactured by Gunei Chemical Co., solid at room temperature) 20 parts by weight of aluminum hydroxide ( Showa Denko H-34, particle size 3.5 μm by specific gravity balance method, conductivity 150 μS / cm) Comparative Example 2 Adhesion for performance study by the same method as in Example 1 except that the adhesive components are as follows. I made a tape.
【0031】 <接着剤組成> アクリロニトリルブタジエン樹脂 100重量部 (日本合成ゴム社製PNR−1HA) 熱可塑型フェノール樹脂 80重量部 (群栄化学社製PSM4326、常温固体) 比較例3接着剤成分が下記の通りである以外は、実施例
1と同じ方法で性能検討用接着テープを作成した。<Adhesive composition> 100 parts by weight of acrylonitrile butadiene resin (PNR-1HA manufactured by Japan Synthetic Rubber Co., Ltd.) 80 parts by weight of thermoplastic phenolic resin (PSM4326 manufactured by Gunei Chemical Co., Ltd., solid at room temperature) Comparative Example 3 An adhesive tape for performance study was prepared in the same manner as in Example 1 except as described below.
【0032】 <接着剤組成> アクリロニトリルブタジエン樹脂 100重量部 (日本合成ゴム社製PNR−1HA) 熱硬化型フェノール樹脂 100重量部 (住友化学社製PR50087、常温液状) 実施例および比較例で得られた性能検討用接着テープに
ついて、絶縁性および接着力を測定した。テスト結果は
表1に示す通りである。<Adhesive Composition> 100 parts by weight of acrylonitrile butadiene resin (PNR-1HA manufactured by Japan Synthetic Rubber Co., Ltd.) 100 parts by weight of thermosetting phenolic resin (PR50087 manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd., liquid at room temperature) Obtained in Examples and Comparative Examples. The insulating property and the adhesive strength of the adhesive tape for performance examination were measured. The test results are shown in Table 1.
【0033】[0033]
【表1】 [Table 1]
【0034】[0034]
【発明の効果】本発明にかかるリードフレーム用接着剤
付きテープは、従来よりリードフレーム用接着剤付きテ
ープとして必要とされた接着力、耐熱性などを有すると
共に、不飽和プレッシャークッカーバイアステストによ
る短絡までの時間が長く、高絶縁信頼性を有するので、
樹脂封止型半導体用の接着テープとして実用性の高いも
のである。The tape with an adhesive for lead frames according to the present invention has the adhesive strength, heat resistance and the like conventionally required as a tape with an adhesive for lead frames, and has a short circuit due to an unsaturated pressure cooker bias test. Since it takes a long time to have high insulation reliability,
It is highly practical as an adhesive tape for resin-sealed semiconductors.
【図1】本発明のリードフレーム用接着剤付きテープの
一例を示す模式的断面図である。FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing an example of a tape with an adhesive for lead frames of the present invention.
【図2】本発明のリードフレーム用接着剤付きテープの
一例を示す模式的断面図である。FIG. 2 is a schematic cross-sectional view showing an example of the adhesive tape for lead frames of the present invention.
【図3】リードフレーム用接着剤付きテープによりリー
ドフレームのピン間を固定する場合の一例を示す模式図
である。FIG. 3 is a schematic view showing an example in which the pins of the lead frame are fixed by a tape with an adhesive for the lead frame.
【図4】リードフレーム用接着剤付きテープによりリー
ドフレームのピン間を固定する場合の他の例を示す模式
図である。FIG. 4 is a schematic view showing another example in which the pins of the lead frame are fixed by the tape with the adhesive for the lead frame.
【図5】リードフレーム用接着剤付きテープによりリー
ドフレームと半導体チップを接着する場合の一例を示す
模式図である。FIG. 5 is a schematic view showing an example of a case where a lead frame and a semiconductor chip are bonded together with an adhesive tape for a lead frame.
1:有機絶縁フィルム 2:接着剤層 3:保護フィルム 4:リードフレーム用接着剤付きテープ 5:リードフレーム 6:ワイヤー 7:半導体チップ 1: Organic insulating film 2: Adhesive layer 3: Protective film 4: Adhesive tape for lead frame 5: Lead frame 6: Wire 7: Semiconductor chip
Claims (7)
上の少なくとも片面に形成された接着剤層とを有するリ
ードフレーム用接着剤付きテープにおいて、該接着剤層
が(a)フェノール樹脂および(b)絶縁性無機フィラ
ーを必須成分として含むことを特徴とするリードフレー
ム用接着剤付きテープ。1. A tape with an adhesive for a lead frame, which comprises an organic insulating film and an adhesive layer formed on at least one surface of the organic insulating film, wherein the adhesive layer comprises (a) a phenol resin and (b). A tape with an adhesive for a lead frame, which contains an insulating inorganic filler as an essential component.
化型のフェノール樹脂を含むことを特徴とする請求項1
記載のリードフレーム用接着剤付きテープ。2. The phenol resin includes a thermosetting phenol resin that is solid at room temperature as the phenol resin.
Adhesive tape for lead frame as described above.
が、一般式(1) 【化1】 (式中、Rは水素または炭素数1〜12の炭化水素基を
表す。)で表される構造単位を含むことを特徴とする請
求項2記載のリードフレーム用接着剤付きテープ。3. A thermosetting phenolic resin which is solid at room temperature is represented by the general formula (1): The tape with an adhesive for lead frames according to claim 2, comprising a structural unit represented by the formula (wherein R represents hydrogen or a hydrocarbon group having 1 to 12 carbon atoms).
0μS/cm以下であることを特徴とする請求項1〜3
記載のいずれかであるリードフレーム用接着剤付きテー
プ。4. The conductivity of the extracted water of the insulating inorganic filler is 5
It is 0 micro S / cm or less, The Claims 1-3 characterized by the above-mentioned.
Tape with an adhesive for lead frames according to any of the above.
タジエン重合体および/またはポリアミド樹脂を必須成
分として含むことを特徴とする請求項1〜4記載のいず
れかであるリードフレーム用接着剤付きテープ。5. The tape with an adhesive for a lead frame according to claim 1, wherein the adhesive layer further contains an acrylonitrile butadiene polymer and / or a polyamide resin as an essential component.
を特徴とする請求項1〜5記載のいずれかであるリード
フレーム用接着剤付きテープ。6. The adhesive tape for lead frames according to claim 1, further comprising a protective film on the adhesive layer.
レート、ポリプロピレン、ポリエチレンまたはポリフェ
ニレンスルフィドであることを特徴とする請求項6記載
のリードフレーム用接着剤付きテープ。7. The adhesive tape for lead frames according to claim 6, wherein the protective film is polyethylene terephthalate, polypropylene, polyethylene or polyphenylene sulfide.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5010542A JPH06220410A (en) | 1993-01-26 | 1993-01-26 | Adhesive tape for lead frame |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5010542A JPH06220410A (en) | 1993-01-26 | 1993-01-26 | Adhesive tape for lead frame |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06220410A true JPH06220410A (en) | 1994-08-09 |
Family
ID=11753151
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5010542A Pending JPH06220410A (en) | 1993-01-26 | 1993-01-26 | Adhesive tape for lead frame |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH06220410A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008178197A (en) * | 2007-01-17 | 2008-07-31 | Nitto Shinko Kk | Insulating paper for motors |
-
1993
- 1993-01-26 JP JP5010542A patent/JPH06220410A/en active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2008178197A (en) * | 2007-01-17 | 2008-07-31 | Nitto Shinko Kk | Insulating paper for motors |
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