JPH06220159A - Epoxy resin composition and sealed semiconductor device - Google Patents

Epoxy resin composition and sealed semiconductor device

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JPH06220159A
JPH06220159A JP3287293A JP3287293A JPH06220159A JP H06220159 A JPH06220159 A JP H06220159A JP 3287293 A JP3287293 A JP 3287293A JP 3287293 A JP3287293 A JP 3287293A JP H06220159 A JPH06220159 A JP H06220159A
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JP
Japan
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group
epoxy resin
resin composition
formula
inorganic filler
Prior art date
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Application number
JP3287293A
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Japanese (ja)
Inventor
Kazuhiro Sawai
和弘 沢井
Tomonori Tajima
友徳 田嶋
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Kyocera Chemical Corp
Original Assignee
Toshiba Chemical Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Chemical Corp filed Critical Toshiba Chemical Corp
Priority to JP3287293A priority Critical patent/JPH06220159A/en
Publication of JPH06220159A publication Critical patent/JPH06220159A/en
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  • Epoxy Resins (AREA)
  • Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
  • Injection Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)

Abstract

PURPOSE:To obtain the subject composition, comprising a specific epoxy resin, a specified phenolic resin and a specific inorganic filler in a prescribed amount, excellent in moisture and solder heat resistance and useful as sealed semiconductor devices, etc. CONSTITUTION:The objective composition comprises (A) an epoxy resin expressed by formula I (R<1> to R<4> are H or alkyl), (b) a phenolic resin expressed by formula II (R<5> and R<6> are H or alkyl) and (C) an inorganic filler such as silica powder as essential components. The content of the component (C) is 25-90wt.% based on the resin composition.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、耐湿性、半田耐熱性に
優れたエポキシ樹脂組成物および半導体封止装置に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an epoxy resin composition having excellent moisture resistance and solder heat resistance, and a semiconductor encapsulation device.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、半導体集積回路の分野において、
高集積化、高信頼性化の技術開発と同時に半導体装置の
実装工程の自動化が推進されている。例えばフラットパ
ッケージ型の半導体装置を回路基板に取り付ける場合
に、従来、リードピン毎に半田付けを行っていたが、最
近では半田浸漬方式や半田リフロー方式が採用されてい
る。
2. Description of the Related Art In recent years, in the field of semiconductor integrated circuits,
At the same time as technology development for high integration and high reliability, automation of the mounting process of semiconductor devices is being promoted. For example, when mounting a flat package type semiconductor device on a circuit board, conventionally, soldering is performed for each lead pin, but recently, a solder dipping method or a solder reflow method has been adopted.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】従来のノボラック型エ
ポキシ樹脂等のエポキシ樹脂、ノボラック型フェノール
樹脂およびシリカ粉末からなる樹脂組成物によって封止
した半導体装置は、装置全体の半田浴浸漬を行うと耐湿
性が低下するという欠点があった。特に吸湿した半導体
装置を浸漬すると、封止樹脂と半導体装置、あるいは封
止樹脂とリードフレームとの間の剥がれや、内部樹脂ク
ラックが生じて著しい耐湿性劣化を起こし、電極の腐蝕
による断線や水分によるリーク電流を生じ、その結果、
半導体装置は、長期間の信頼性を保証することができな
いという欠点があった。
A semiconductor device sealed with a conventional resin composition comprising an epoxy resin such as a novolac type epoxy resin, a novolac type phenolic resin and silica powder has a moisture resistance when the entire device is immersed in a solder bath. There was a drawback that the property deteriorated. In particular, when a semiconductor device that has absorbed moisture is dipped, peeling between the encapsulation resin and the semiconductor device, or between the encapsulation resin and the lead frame, and internal resin cracks cause significant deterioration in moisture resistance, causing disconnection and moisture due to electrode corrosion. Leakage current due to
The semiconductor device has a drawback in that it cannot guarantee long-term reliability.

【0004】本発明は、上記の欠点を解消するためにな
されたもので、吸湿の影響が少なく、特に半田浴浸漬後
の耐湿性、半田耐熱性に優れ、封止樹脂と半導体装置あ
るいは封止樹脂とリードフレームの間の剥がれや、内部
樹脂クラックの発生がなく、また電極の腐蝕による断線
や水分によるリーク電流の発生もなく、長期信頼性を保
証できるエポキシ樹脂組成物および半導体封止装置を提
供しようとするものである。
The present invention has been made in order to solve the above-mentioned drawbacks, has little influence of moisture absorption, and is particularly excellent in moisture resistance and solder heat resistance after being immersed in a solder bath. Epoxy resin composition and semiconductor encapsulation device capable of ensuring long-term reliability without peeling between resin and lead frame, generation of internal resin cracks, disconnection due to electrode corrosion and leakage current due to moisture. It is the one we are trying to provide.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記の目
的を達成しようと鋭意研究を重ねた結果、特定のエポキ
シ樹脂、特定のフェノール性樹脂を用いることによっ
て、耐湿性、半田耐熱性等に優れた樹脂組成物が得られ
ることを見いだし、本発明を完成したものである。
Means for Solving the Problems As a result of intensive studies to achieve the above object, the present inventors have found that by using a specific epoxy resin or a specific phenolic resin, moisture resistance and solder heat resistance can be improved. It was found that a resin composition excellent in the above properties can be obtained, and the present invention has been completed.

【0006】即ち、本発明は、 (A)次の一般式で示されるエポキシ樹脂、That is, the present invention provides (A) an epoxy resin represented by the following general formula:

【0007】[0007]

【化5】 (但し、式中R1 はCj 2j+1基を、R2 はCk 2k+1
基を、R3 はCl 2l+1基を、R4 はCm 2m+1基をそ
れぞれ表し、各基におけるj 、k 、l 、m およびn は 0
又は 1以上の整数を表す) (B)次の一般式で示されるフェノール性樹脂および
[Chemical 5] (However, in the formula, R 1 is a C j H 2j + 1 group, and R 2 is C k H 2k + 1.
R 3 represents a C 1 H 2l + 1 group, R 4 represents a C m H 2m + 1 group, and j, k, l, m and n in each group are 0.
Or represents an integer of 1 or more) (B) a phenolic resin represented by the following general formula and

【0008】[0008]

【化6】 (但し、式中R5 はCj 2j+1基を、R6 はCk 2k+1
基をそれぞれ表し、各基におけるj およびk は 0又は 1
以上の整数を表す) (C)無機質充填剤 を必須成分とし、樹脂組成物に対して前記(C)の無機
質充填剤を25〜90重量%の割合で含有してなることを特
徴とするエポキシ樹脂組成物である。また、このエポキ
シ樹脂組成物の硬化物によって、半導体装置が封止され
てなることを特徴とする半導体封止装置である。
[Chemical 6] (However, in the formula, R 5 is a C j H 2j + 1 group and R 6 is a C k H 2k + 1 group.
Represents a group, and j and k in each group are 0 or 1
The above-mentioned integer is represented) (C) An inorganic filler is an essential component, and the inorganic filler of (C) is contained in a proportion of 25 to 90% by weight with respect to the resin composition. It is a resin composition. A semiconductor encapsulation device is obtained by encapsulating a semiconductor device with a cured product of this epoxy resin composition.

【0009】以下、本発明を詳細に説明する。The present invention will be described in detail below.

【0010】本発明に用いる(A)エポキシ樹脂は、前
記の一般式で示されるものが使用され、その分子量等に
制限されることなく使用することができる。具体的な化
合物として例えば
As the epoxy resin (A) used in the present invention, the one represented by the above general formula is used, and the epoxy resin can be used without being limited by its molecular weight and the like. As a specific compound, for example,

【0011】[0011]

【化7】 (但し、式中n は 0又は 1以上の整数を表す)、[Chemical 7] (However, in the formula, n represents 0 or an integer of 1 or more),

【0012】[0012]

【化8】 (但し、式中n は 0又は 1以上の整数を表す)等が挙げ
られ、これらは単独又は混合して使用することができ
る。また、このエポキシ樹脂には、ノボラック系エポキ
シ樹脂やエピビス系エポキシ樹脂、その他一般に公知の
エポキシ樹脂を併用することができる。
[Chemical 8] (Wherein n represents 0 or an integer of 1 or more) and the like, and these can be used alone or in combination. In addition, a novolac-based epoxy resin, an epibis-based epoxy resin, and other generally known epoxy resins can be used in combination with this epoxy resin.

【0013】本発明に用いる(B)フェノール性樹脂
は、シクロヘキサンジオンとフェノール類との反応によ
って得られ、前記の一般式化6で示されるフェノール性
樹脂を使用することができる。具体的な化合物として
は、例えば
The (B) phenolic resin used in the present invention is obtained by the reaction of cyclohexanedione and phenols, and the phenolic resin represented by the above general formula 6 can be used. As a specific compound, for example,

【0014】[0014]

【化9】 [Chemical 9]

【0015】[0015]

【化10】 等を挙げることができる。また、このフェノール性樹脂
にはフェノール、アルキルフェノール等のフェノール類
とホルムアルデヒドあるいはパラホルムアルデヒドとを
反応させて得られるノボラック型フェノール樹脂および
これらの変性樹脂を併用することができる。
[Chemical 10] Etc. can be mentioned. Further, a novolac type phenol resin obtained by reacting phenols such as phenol and alkylphenol with formaldehyde or paraformaldehyde and modified resins thereof can be used in combination with the phenolic resin.

【0016】本発明に用いる(C)無機質充填剤として
は、一般に使用されているものが広く使用されるが、そ
れらの中でも不純物濃度が低く、平均粒径30μm 以下の
シリカ粉末が好ましく使用される。平均粒径30μm を超
えると耐湿性および成形性が劣り好ましくない。無機質
充填剤の配合割合は、全体の樹脂組成物に対して25〜90
重量%含有するように配合することか好ましい。その割
合が25重量%未満では樹脂組成物の吸湿性が高く、半田
浸漬後の耐湿性に劣り、また90重量%を超えると極端に
流動性が悪くなり、成形性に劣り好ましくない。
As the inorganic filler (C) used in the present invention, generally used ones are widely used. Among them, silica powder having a low impurity concentration and an average particle diameter of 30 μm or less is preferably used. . If the average particle size exceeds 30 μm, the moisture resistance and moldability are poor, which is not preferable. The blending ratio of the inorganic filler is 25 to 90 with respect to the entire resin composition.
It is preferable to mix them so as to contain them by weight. When the proportion is less than 25% by weight, the hygroscopicity of the resin composition is high and the moisture resistance after solder immersion is poor, and when it exceeds 90% by weight, the fluidity is extremely deteriorated and the moldability is poor, which is not preferable.

【0017】本発明のエポキシ樹脂組成物は、前述した
特定のエポキシ樹脂、特定のフェノール性樹脂および無
機質充填剤を必須成分とするが、本発明の目的に反しな
い限度において、また必要に応じて、例えば天然ワック
ス類、合成ワックス類、直鎖脂肪酸の金属塩、酸アミド
類、エステル類、パラフィン類等の離型剤、三酸化アン
チモン等の難燃剤、カーボンブラック等の着色剤、シラ
ンカップリング剤、種々の硬化促進剤、ゴム系やシリコ
ーン系の低応力付与剤等を適宜添加配合することができ
る。
The epoxy resin composition of the present invention contains the above-mentioned specific epoxy resin, specific phenolic resin and inorganic filler as essential components, but to the extent not deviating from the object of the present invention, and if necessary. For example, natural waxes, synthetic waxes, metal salts of straight chain fatty acids, acid amides, esters, paraffins and other release agents, antimony trioxide and other flame retardants, carbon black and other colorants, silane coupling Agents, various curing accelerators, rubber-based and silicone-based low stress imparting agents, and the like can be appropriately added and blended.

【0018】本発明のエポキシ樹脂組成物を成形材料と
して調製する場合の一般的方法は、前述した特定のエポ
キシ樹脂、特定のフェノール性樹脂、無機質充填剤およ
びその他成分を配合し、ミキサー等によって十分均一に
混合した後、さらに熱ロールによる溶融混合処理または
ニーダ等による混合処理を行い、次いで冷却固化させ適
当な大きさに粉砕して成形材料とすることができる。こ
うして得られた成形材料は、半導体装置をはじめとする
電子部品或いは電気部品の封止・被覆・絶縁等に適用す
れば優れた特性と信頼性を付与させることができる。
A general method for preparing the epoxy resin composition of the present invention as a molding material is to mix the above-mentioned specific epoxy resin, specific phenolic resin, inorganic filler and other components, and mix well with a mixer or the like. After uniformly mixing, a melt mixing process using a hot roll or a mixing process using a kneader or the like is further performed, and then the mixture is cooled and solidified and crushed to an appropriate size to obtain a molding material. When the molding material thus obtained is applied to sealing, coating, insulation, etc. of electronic parts or electric parts such as semiconductor devices, excellent properties and reliability can be imparted.

【0019】また、本発明の半導体封止装置は、上述の
成形材料を用いて半導体装置を封止することにより容易
に製造することができる。封止を行う半導体装置として
は、例えば集積回路、大規模集積回路、トランジスタ、
サイリスタ、ダイオード等で特に限定されるものではな
い。封止の最も一般的な方法としては、低圧トランスフ
ァー成形法があるが、射出成形、圧縮成形、注形等によ
る封止も可能である。成形材料で封止後加熱して硬化さ
せ、最終的にはこの硬化物によって封止された半導体封
止装置が得られる。加熱による硬化は、150 ℃以上に加
熱して硬化させることが望ましい。
The semiconductor encapsulation device of the present invention can be easily manufactured by encapsulating the semiconductor device using the molding material described above. Examples of the semiconductor device for sealing include integrated circuits, large-scale integrated circuits, transistors,
The thyristor and the diode are not particularly limited. The most common method of sealing is a low-pressure transfer molding method, but sealing by injection molding, compression molding, casting or the like is also possible. After sealing with a molding material, it is heated and cured, and finally a semiconductor sealing device sealed with this cured product is obtained. For curing by heating, it is desirable to heat and cure at 150 ° C or higher.

【0020】[0020]

【作用】本発明のエポキシ樹脂組成物および半導体封止
装置は、特定のエポキシ樹脂、特定のフェノール性樹脂
を用いることによって、樹脂組成物のガラス転移温度が
上昇し、熱機械的特性と低応力性が向上し、半田浸漬、
半田リフロー後の樹脂クラックの発生がなくなり、耐湿
性劣化が少なくなるものである。
In the epoxy resin composition and the semiconductor encapsulation device of the present invention, the glass transition temperature of the resin composition is increased by using the specific epoxy resin and the specific phenolic resin, and the thermomechanical properties and the low stress are low. Improved, solder immersion,
The generation of resin cracks after solder reflow is eliminated, and the deterioration of moisture resistance is reduced.

【0021】[0021]

【実施例】次に本発明を実施例によって説明するが、本
発明はこれらの実施例によって限定されるものではな
い。以下の実施例および比較例において「%」とは「重
量%」を意味する。
EXAMPLES Next, the present invention will be described with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples. In the following examples and comparative examples, “%” means “% by weight”.

【0022】実施例1 次の化11に示したエポキシ樹脂10%、Example 1 Epoxy resin 10% shown in the following chemical formula 11,

【0023】[0023]

【化11】 (但し、式中n は 0又は 1以上の整数を表す)次の化1
2に示したフェノール性樹脂 8%、
[Chemical 11] (However, in the formula, n represents 0 or an integer of 1 or more.)
2% phenolic resin shown in 2

【0024】[0024]

【化12】 (但し、式中n は 0又は 1以上の整数を表す)シリカ粉
末81%、硬化促進剤 0.3%、エステルワックス類 0.3%
およびシランカップリング剤 0.4%を常温で混合し、さ
らに90〜95℃で混練冷却した後、粉砕して成形材料
(A)を製造した。
[Chemical 12] (However, in the formula, n represents 0 or an integer of 1 or more.) Silica powder 81%, curing accelerator 0.3%, ester waxes 0.3%
And 0.4% of the silane coupling agent were mixed at room temperature, further kneaded and cooled at 90 to 95 ° C., and then pulverized to produce a molding material (A).

【0025】実施例2 実施例1で用いたと同じ化11のエポキシ樹脂11%、化
12で示されるフェノール性樹脂 3.5%、ノボラック型
フェノール樹脂 3.5%、シリカ粉末81%、硬化促進剤
0.3%、エステルワックス類 0.3%およびシランカップ
リング剤 0.4%を常温で混合し、さらに90〜95℃で混練
冷却した後、粉砕して成形材料(B)を製造した。
Example 2 Epoxy resin of the same chemical formula 11 used in Example 1 11%, phenolic resin of the chemical formula 12 3.5%, novolac type phenolic resin 3.5%, silica powder 81%, curing accelerator
0.3%, ester waxes 0.3% and silane coupling agent 0.4% were mixed at room temperature, kneaded and cooled at 90 to 95 ° C., and then pulverized to produce a molding material (B).

【0026】比較例1 o-クレゾールノボラック型エポキシ樹脂12%、ノボラッ
ク型フェノール樹脂 6%、シリカ粉末81%、硬化促進剤
0.3%、エステルワックス類 0.3%およびシランカップ
リング剤 0.4%を常温で混合し、さらに90〜95℃で混練
冷却した後、粉砕して成形材料(C)を製造した。
Comparative Example 1 o-Cresol novolac type epoxy resin 12%, novolac type phenol resin 6%, silica powder 81%, curing accelerator
0.3%, ester waxes 0.3%, and silane coupling agent 0.4% were mixed at room temperature, further kneaded and cooled at 90 to 95 ° C., and then pulverized to produce a molding material (C).

【0027】比較例2 エピビス型エポキシ樹脂(エポキシ当量 450)14%、ノ
ボラック型フェノール樹脂 3%、シリカ粉末81%、硬化
促進剤 0.3%、エステルワックス類 0.3%およびシラン
カップリング剤 0.4%を常温で混合し、さらに90〜95℃
で混練冷却した後、粉砕して成形材料(D)を製造し
た。
Comparative Example 2 Epibis type epoxy resin (epoxy equivalent 450) 14%, novolac type phenolic resin 3%, silica powder 81%, curing accelerator 0.3%, ester waxes 0.3% and silane coupling agent 0.4% were used at room temperature. And mix at 90-95 ℃
After kneading and cooling with, the mixture was pulverized to produce a molding material (D).

【0028】こうして製造した成形材料(A)〜(D)
を用いて 170℃に加熱した金型内にトランスファー注
入、半導体装置を封止し硬化させて半導体封止装置を製
造した。これらの半導体封止装置について、諸試験を行
ったのでその結果を表1に示したが、本発明のエポキシ
樹脂組成物および半導体封止装置は、耐湿性、半田耐熱
性に優れており、本発明の顕著な効果を確認することが
できた。
Molding materials (A) to (D) thus produced
A semiconductor encapsulation device was manufactured by injecting transfer into a mold heated to 170 ° C., encapsulating the semiconductor device and curing it. Various tests were conducted on these semiconductor encapsulation devices, and the results are shown in Table 1. The epoxy resin composition and the semiconductor encapsulation device of the present invention are excellent in moisture resistance and solder heat resistance. The remarkable effect of the invention could be confirmed.

【0029】[0029]

【表1】 *1 :トランスファー成形によって直径50mm、厚さ3mm
の成形品を作り、これを127 ℃, 2.5気圧の飽和水蒸気
中に24時間放置し、増加した重量によって測定した。 *2 :吸水率の場合と同様な成形品を作り、175 ℃,8
時間の後硬化を行い、適当な大きさの試験片とし、熱機
械分析装置を用いて測定した。 *3 :JIS−K−6911に準じて試験した。 *4 :成形材料を用いて、2 本以上のアルミニウム配線
を有するシリコン製チップを、通常の42アロイフレーム
に接着し、175 ℃,2 分間トランスファー成形した後、
175 ℃,8 時間の後硬化を行った。こうして得た成形品
を、予め40℃,95%RH,100 時間の吸湿処理した後、
250 ℃の半田浴に10秒間浸漬した。その後、127 ℃,
2.5気圧の飽和水蒸気中でPCTを行い、アルミニウム
の腐蝕による50%断線を不良として評価した。 *5 :8 ×8mm ダミーチップをQFP(14×14× 1.4m
m)パッケージに納め、成形材料を用いて175 ℃,2 分
間トランスファー成形した後、175 ℃,8 時間の後硬化
を行った。こうして得た半導体封止装置を85℃,85%,
24時間の吸湿処理した後、240 ℃の半田浴に 1分間浸漬
した。その後、実体顕微鏡でパッケージ表面を観察し、
外部樹脂クラックの発生の有無を評価した。
[Table 1] * 1: Diameter 50 mm, thickness 3 mm by transfer molding
A molded article of the above was prepared, and the molded article was allowed to stand in saturated steam at 127 ° C. and 2.5 atm for 24 hours and measured by the increased weight. * 2: Make a molded product similar to the case of water absorption, 175 ℃, 8
After post-curing for a certain time, a test piece of an appropriate size was prepared and measured using a thermomechanical analyzer. * 3: Tested according to JIS-K-6911. * 4: Using a molding material, a silicon chip with two or more aluminum wires is bonded to a normal 42 alloy frame and transfer molded at 175 ° C for 2 minutes.
Post-curing was performed at 175 ° C for 8 hours. The molded product thus obtained is subjected to moisture absorption treatment at 40 ° C., 95% RH for 100 hours in advance, and then
It was immersed in a solder bath at 250 ° C for 10 seconds. After that, 127 ℃,
PCT was performed in saturated steam of 2.5 atm and 50% disconnection due to corrosion of aluminum was evaluated as defective. * 5: QFP (14 × 14 × 1.4m) with 8 × 8mm dummy chip
m) It was placed in a package, transfer molding was performed for 2 minutes at 175 ° C using the molding material, and then post-curing was performed at 175 ° C for 8 hours. The semiconductor encapsulation device obtained in this way is 85 ℃, 85%,
After absorbing moisture for 24 hours, it was immersed in a solder bath at 240 ° C for 1 minute. After that, observe the package surface with a stereomicroscope,
The occurrence of external resin cracks was evaluated.

【0030】[0030]

【発明の効果】以上の説明および表1から明らかなよう
に、本発明のエポキシ樹脂組成物および半導体封止装置
は、耐湿性、半田耐熱性に優れ、吸湿による影響が少な
く、電極の腐蝕による断線や水分によるリーク電流の発
生等を著しく低減することができ、しかも長期間にわた
って信頼性を保証することができる。
As is clear from the above description and Table 1, the epoxy resin composition and the semiconductor encapsulation device of the present invention have excellent moisture resistance and solder heat resistance, are less affected by moisture absorption, and are not affected by electrode corrosion. It is possible to remarkably reduce the generation of leakage current due to disconnection and moisture, and it is possible to guarantee the reliability for a long period of time.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01L 23/31 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 5 Identification code Internal reference number FI technical display location H01L 23/31

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 (A)次の一般式に示されるエポキシ樹
脂、 【化1】 (但し、式中R1 はCj 2j+1基を、R2 はCk 2k+1
基を、R3 はCl 2l+1基を、R4 はCm 2m+1基をそ
れぞれ表し、各基におけるj 、k 、l 、m およびn は 0
又は 1以上の整数を表す) (B)次の一般式に示されるフェノール性樹脂および 【化2】 (但し、式中R5 はCj 2j+1基を、R6 はCk 2k+1
基をそれぞれ表し、各基におけるj およびk は 0又は 1
以上の整数を表す) (C)無機質充填剤 を必須成分とし、樹脂組成物に対して前記(C)の無機
質充填剤を25〜90重量%の割合で含有してなることを特
徴とするエポキシ樹脂組成物。
1. An epoxy resin represented by the following general formula (A): (However, in the formula, R 1 is a C j H 2j + 1 group, and R 2 is C k H 2k + 1.
R 3 represents a C 1 H 2l + 1 group, R 4 represents a C m H 2m + 1 group, and j, k, l, m and n in each group are 0.
Or represents an integer of 1 or more) (B) A phenolic resin represented by the following general formula and (However, in the formula, R 5 is a C j H 2j + 1 group and R 6 is a C k H 2k + 1 group.
Represents a group, and j and k in each group are 0 or 1
The above-mentioned integer is represented) (C) An inorganic filler is an essential component, and the inorganic filler of (C) is contained in a proportion of 25 to 90% by weight with respect to the resin composition. Resin composition.
【請求項2】 (A)次の一般式で示されるエポキシ樹
脂、 【化3】 (但し、式中R1 はCj 2j+1基を、R2 はCk 2k+1
基を、R3 はCl 2l+1基を、R4 はCm 2m+1基をそ
れぞれ表し、各基におけるj 、k 、l 、m およびn は 0
又は 1以上の整数を表す) (B)次の一般式で示されるフェノール性樹脂および 【化4】 (但し、式中R5 はCj 2j+1基を、R6 はCk 2k+1
基をそれぞれ表し、各基におけるj およびk は 0又は 1
以上の整数を表す) (C)無機質充填剤 を必須成分とし、樹脂組成物に対して前記(C)の無機
質充填剤を25〜90重量%の割合で含有したエポキシ樹脂
組成物の硬化物によって、半導体装置が封止されてなる
ことを特徴とする半導体封止装置。
2. An epoxy resin represented by the following general formula (A): (However, in the formula, R 1 is a C j H 2j + 1 group, and R 2 is C k H 2k + 1.
R 3 represents a C 1 H 2l + 1 group, R 4 represents a C m H 2m + 1 group, and j, k, l, m and n in each group are 0.
Or represents an integer of 1 or more) (B) A phenolic resin represented by the following general formula and (However, in the formula, R 5 is a C j H 2j + 1 group and R 6 is a C k H 2k + 1 group.
Represents a group, and j and k in each group are 0 or 1
It represents the above integers) (C) With an inorganic filler as an essential component, a cured product of an epoxy resin composition containing the inorganic filler of (C) in a proportion of 25 to 90% by weight with respect to the resin composition. A semiconductor encapsulation device, wherein the semiconductor device is encapsulated.
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