JPH06216444A - Laser oscillator - Google Patents

Laser oscillator

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Publication number
JPH06216444A
JPH06216444A JP2047393A JP2047393A JPH06216444A JP H06216444 A JPH06216444 A JP H06216444A JP 2047393 A JP2047393 A JP 2047393A JP 2047393 A JP2047393 A JP 2047393A JP H06216444 A JPH06216444 A JP H06216444A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
laser
laser beam
optical axis
temperature sensor
light receiving
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2047393A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yoichi Kawai
洋一 川井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Okuma Corp
Original Assignee
Okuma Machinery Works Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Okuma Machinery Works Ltd filed Critical Okuma Machinery Works Ltd
Priority to JP2047393A priority Critical patent/JPH06216444A/en
Publication of JPH06216444A publication Critical patent/JPH06216444A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE:To make automatic adjustment of the optical axis in a laser oscillator. CONSTITUTION:Four through-holes 14 are provided on a circle whose center is the center of a laser beam 8 directed to a light receiving part 11 having the function of an external shutter, and a temperature sensor 15 to receive a beam passing through the through-holes 14 is provided. Each mirror is so adjusted that the temperature of the temperature sensor 15 becomes uniform.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、主に板金切断分野で利
用されているレーザ発振装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a laser oscillator mainly used in the field of sheet metal cutting.

【0002】[0002]

【従来の技術】レーザ発振装置の安定性を高めるには、
レーザ出力とビーム横モードを共に一定に制御する必要
がある。発振状態でのレーザ出力の制御は、図4に示す
ように、NC装置3が微少な透過率を持った全反射鏡1
の後方に配置された出力検出センサー2からの信号を監
視しながら、高圧電源5から放電電極6に流す放電電流
をあらかじめ入力された設定出力になるように放電電流
を制御することにより行っている。ビーム横モードの制
御は、オペレータが共振器を構成する各ミラーの手動の
角度調整ツマミ4の操作により光軸を調整することで行
っている。すなわち、部分反射鏡7を透過したレーザビ
ーム8が図5に示すようなビーム強度を持つ横モードに
なるように調整すれば良い。
2. Description of the Related Art To improve the stability of a laser oscillator,
Both the laser output and the transverse beam mode must be controlled to be constant. As shown in FIG. 4, the NC device 3 controls the laser output in the oscillating state by the total reflection mirror 1 having a slight transmittance.
While monitoring the signal from the output detection sensor 2 arranged at the rear of the discharge current, the discharge current flowing from the high-voltage power supply 5 to the discharge electrode 6 is controlled by controlling the discharge current so as to reach a preset output. . The control of the beam transverse mode is performed by the operator adjusting the optical axis by manually operating the angle adjusting knob 4 of each mirror constituting the resonator. That is, the laser beam 8 transmitted through the partial reflecting mirror 7 may be adjusted so as to be in the transverse mode having the beam intensity as shown in FIG.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】上述した従来のレーザ
発振装置では、振動やレーザ光学系にかかる応力により
光軸がズレてしまった場合にビーム横モードを制御でき
ないという問題があった。本発明は上述した事情から成
されたものであり、本発明の目的は、光軸のズレを自動
調整する事ができるレーザ発振装置を提供することにあ
る。
The above-described conventional laser oscillator has a problem that the beam transverse mode cannot be controlled when the optical axis is displaced due to vibration or stress applied to the laser optical system. The present invention has been made under the circumstances described above, and an object of the present invention is to provide a laser oscillation device capable of automatically adjusting the deviation of the optical axis.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】本発明は、励起されたレ
ーザ媒質中にてレーザビームを発振させるレーザ発振装
置に関するものであり、本発明の上記目的は、出射され
たレーザビームを任意に遮蔽し、前記レーザビームの中
心から同心円上に穿設された少なくとも3つ以上の貫通
穴を通過したレーザビームを温度センサーで受光する受
光部を有する光軸調整装置を備え、前記温度センサーの
出力によりレーザ光学系の光軸を調整することによって
達成される。
The present invention relates to a laser oscillating device for oscillating a laser beam in an excited laser medium, and the above object of the present invention is to shield an emitted laser beam arbitrarily. An optical axis adjusting device having a light receiving section for receiving a laser beam passing through at least three or more through holes formed concentrically from the center of the laser beam with a temperature sensor is provided. This is achieved by adjusting the optical axis of the laser optical system.

【0005】[0005]

【作用】本発明にあっては、レーザビームのビーム横モ
ードが、同心円上でほぼ同じビーム強度を有することに
着目して、レーザビームの同心円上の各点でのビーム強
度を測定する手段を外部シャッターの機能を有する受光
部に設置するようにしているので、光軸のズレを自動調
整することができる。
In the present invention, focusing on the fact that the beam transverse modes of the laser beam have almost the same beam intensity on the concentric circle, a means for measuring the beam intensity at each point on the concentric circle of the laser beam is provided. Since it is installed in the light receiving portion having the function of the external shutter, the deviation of the optical axis can be automatically adjusted.

【0006】[0006]

【実施例】図1は本発明のレーザ発振装置に備えられて
いる光軸調整装置の一例を示す図であり、同図(A)は
平面図、同図(B)は側面図、同図(C)はその主要部
の背面図である。受光部11はロータリーソレノイド1
2によって揺動可能に設けられており、外部シャッター
の機能を有している。受光部11が同図(A)の二点鎖
線の状態即ち外部シャッターが開いている状態では、レ
ーザビーム8は図示しない加工機に向けて出力され、受
光部11が同図(A)の実線の状態、即ち外部シャッタ
ーが閉じている状態では、レーザビーム8は受光部11
に遮蔽される。このとき受光部11は内部を通る図示し
ない冷却水によって冷却される。受光部11には、照射
されたレーザビーム8の中心から同心円上に4つの貫通
穴14が設けられている。貫通穴14を通過したレーザ
ビームが温度センサー15に照射すると、温度センサー
15からの出力信号はNC装置に送られる。
1 is a diagram showing an example of an optical axis adjusting device provided in a laser oscillator according to the present invention. FIG. 1A is a plan view, FIG. 1B is a side view, and FIG. (C) is a rear view of the main part. The light receiving unit 11 is a rotary solenoid 1
It is provided so as to be swingable by 2 and has a function of an external shutter. In the state of the light receiving unit 11 indicated by the chain double-dashed line in FIG. 7A, that is, in the state where the external shutter is open, the laser beam 8 is output toward the processing machine not shown, and the light receiving unit 11 is in the solid line in FIG. In this state, that is, when the external shutter is closed, the laser beam 8 is emitted from the light receiving unit
To be shielded by. At this time, the light receiving unit 11 is cooled by cooling water (not shown) passing through the inside. The light receiving unit 11 is provided with four through holes 14 concentrically from the center of the irradiated laser beam 8. When the temperature sensor 15 is irradiated with the laser beam that has passed through the through hole 14, the output signal from the temperature sensor 15 is sent to the NC device.

【0007】図2は本発明のレーザ発振装置に備えられ
ているミラーの角度調整装置の一例を示す斜視図であ
る。全反射鏡1又は部分反射鏡7を取り付けるミラー取
付板22には、1つの固定支点23と2つのモータ内蔵
の可動支点24と押さえバネ25が備えられ、可動支点
24を図示矢印の方向に稼動させることにより、自由に
全反射鏡1又は部分反射鏡7の角度を変えるえることが
できる。図3は本発明のレーザ発振装置の全体の概略図
である。NC装置31は外部シャッターが閉じられた状
態で、4つの温度センサー15の温度差を監視する。そ
して温度差がある決められた設定範囲を超えた場合に
は、出力検出センサー2からの信号が急激に落ち込まな
いように監視しながら、温度差が設定範囲内に戻るよう
に、ミラー取付板22の可動支点24を稼動して全反射
鏡1又は部分反射鏡7の角度を調整する。これにより一
定のビーム横モードを持つレーザビームを出力すること
ができる。尚、上述した実施例では受光部11に設けた
貫通穴14は同心円上の4カ所としたがこれに限られる
ものではなく、例えば同心円上の3カ所に設けたり、4
カ所であって対角の2カ所づつを別の同心円上に設ける
など、その個数や位置が違う場合でも上記と同様の効果
を得ることができる。また、ミラーの角度調整装置を備
えることで光軸調整を自動化するようにしたが、ミラー
の角度調整を手動で行っても光軸調整を行うことができ
る。
FIG. 2 is a perspective view showing an example of a mirror angle adjusting device provided in the laser oscillator of the present invention. The mirror mounting plate 22 to which the total reflection mirror 1 or the partial reflection mirror 7 is attached is provided with one fixed fulcrum 23, two movable fulcrums 24 with a built-in motor, and a pressing spring 25. By doing so, the angle of the total reflection mirror 1 or the partial reflection mirror 7 can be freely changed. FIG. 3 is a schematic view of the entire laser oscillator of the present invention. The NC device 31 monitors the temperature difference between the four temperature sensors 15 with the external shutter closed. When the temperature difference exceeds the predetermined set range, the mirror mounting plate 22 is set so that the temperature difference returns to the set range while monitoring the signal from the output detection sensor 2 so as not to drop suddenly. The movable fulcrum 24 is operated to adjust the angle of the total reflection mirror 1 or the partial reflection mirror 7. As a result, a laser beam having a constant beam transverse mode can be output. In the above-described embodiment, the through holes 14 provided in the light receiving portion 11 are provided at four concentric circles, but the number is not limited to this. For example, the through holes 14 may be provided at three concentric circles or four.
Even if the number and the position are different, for example, by providing two diagonal positions on different concentric circles, the same effect as above can be obtained. Although the optical axis adjustment is automated by providing the mirror angle adjusting device, the optical axis adjustment can be performed by manually adjusting the mirror angle.

【0008】[0008]

【発明の効果】以上のように本発明のレーザ発振装置に
よれば、光軸のズレを自動調整することができるので、
メンテナンスに掛かる工数や費用を大幅に削減すること
ができる。
As described above, according to the laser oscillator of the present invention, the deviation of the optical axis can be automatically adjusted.
The number of man-hours and costs required for maintenance can be significantly reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明のレーザ発振装置に備えられている光軸
調整装置の一例を示す図である。
FIG. 1 is a diagram showing an example of an optical axis adjusting device provided in a laser oscillator of the present invention.

【図2】本発明のレーザ発振装置に備えられているミラ
ーの角度調整装置の一例を示す斜視図である。
FIG. 2 is a perspective view showing an example of a mirror angle adjusting device provided in the laser oscillating device of the present invention.

【図3】本発明のレーザ発振装置の全体の概略図であ
る。
FIG. 3 is a schematic view of the entire laser oscillator of the present invention.

【図4】従来のレーザ発振装置の全体の概略図である。FIG. 4 is a schematic view of an entire conventional laser oscillation device.

【図5】一般的なレーザビームのビーム横モードを示す
図。
FIG. 5 is a diagram showing a beam transverse mode of a general laser beam.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 全反射鏡 2 出力検出センサー 3,31 NC装置 4 手動ミラー角度調整ツマミ 5 高圧電源 6 放電電極 7 部分反射鏡 8 レーザビーム 11 受光部 12 ロータリーソレノイド 14 貫通穴 15 温度センサー 22 ミラー取付板 23 固定支点 24 可動支点 25 バネ 1 Total Reflector 2 Output Detection Sensor 3,31 NC Device 4 Manual Mirror Angle Adjustment Knob 5 High Voltage Power Supply 6 Discharge Electrode 7 Partial Reflector 8 Laser Beam 11 Light Receiver 12 Rotary Solenoid 14 Through Hole 15 Temperature Sensor 22 Mirror Mounting Plate 23 Fixed Fulcrum 24 movable fulcrum 25 spring

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 励起されたレーザ媒質中にてレーザビー
ムを発振させるレーザ発振装置において、出射されたレ
ーザビームを任意に遮蔽し、前記レーザビームの中心か
ら同心円上に穿設された少なくとも3つ以上の貫通穴を
通過したレーザビームを温度センサーで受光する受光部
を有する光軸調整装置を備え、前記温度センサーの出力
によりレーザ光学系の光軸を調整するようにしたことを
特徴とするレーザ発振装置。
1. A laser oscillating device for oscillating a laser beam in an excited laser medium, wherein at least three emitted laser beams are shielded in a concentric circle from the center of the laser beam. A laser characterized by comprising an optical axis adjusting device having a light receiving section for receiving a laser beam passing through the above through hole with a temperature sensor, and adjusting the optical axis of the laser optical system by the output of the temperature sensor. Oscillator.
JP2047393A 1993-01-13 1993-01-13 Laser oscillator Pending JPH06216444A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2047393A JPH06216444A (en) 1993-01-13 1993-01-13 Laser oscillator

Applications Claiming Priority (1)

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JP2047393A JPH06216444A (en) 1993-01-13 1993-01-13 Laser oscillator

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Publication Number Publication Date
JPH06216444A true JPH06216444A (en) 1994-08-05

Family

ID=12028080

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Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2047393A Pending JPH06216444A (en) 1993-01-13 1993-01-13 Laser oscillator

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JP (1) JPH06216444A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7690238B2 (en) 2003-10-23 2010-04-06 Komatsu Ltd. Work carrying device of pressing machine

Cited By (1)

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US7690238B2 (en) 2003-10-23 2010-04-06 Komatsu Ltd. Work carrying device of pressing machine

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