JPH06215371A - Apparatus for production and production of magnetic recording medium - Google Patents

Apparatus for production and production of magnetic recording medium

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JPH06215371A
JPH06215371A JP15862092A JP15862092A JPH06215371A JP H06215371 A JPH06215371 A JP H06215371A JP 15862092 A JP15862092 A JP 15862092A JP 15862092 A JP15862092 A JP 15862092A JP H06215371 A JPH06215371 A JP H06215371A
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JP
Japan
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film
roll
tension
recording medium
speed
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Application number
JP15862092A
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Japanese (ja)
Inventor
Masayuki Ueki
正行 植木
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Tokin Corp
Original Assignee
Tokin Corp
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To provide the high-quality magnetic recording medium which curls less by providing a roll driving device having a positive relation between the rotating speed and rotating torque of a roll for impressing tension in a transporting direction of a film. CONSTITUTION:The film 2 is sent via rolls 3, 4 to a can 11 and is formed with a magnetic film on one surface. The film is sent via a roll 15 to a roll 13. The film 2 is then sent to a can 12 where the magnetic film is formed on its rear surface. The film is taken up on a roll 8. The constant speed transportation of the film 2 is executed by the pinch roll 13 mounted to a driving motor 10 and, therefore, the tension of the film 2 on the can 11 is controlled by a brake 9 which is mounted to the feeding roll 3 and for which an eddy current brake is used. On the other hand, a differential gear 17 mounted with a driving motor 18 of an induction system and a brake 19 is connected to the shaft of the roll 8. The rotating speed of the motor 18 is kept constant at a speed at which the motor rotates faster by 20% than the speed at which the rotating speed of the take-up roll 8 synchronizes with the transporting speed of the film 2.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、磁気記録媒体の製造装
置と製造方法に関係する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic recording medium manufacturing apparatus and method.

【0002】[0002]

【従来の技術】一般に連続磁性体を記録媒体とする磁気
記録媒体の製造は真空装置の中でスパッタ法や蒸着法を
用いて行われている。従来の連続磁性体を記録媒体とす
るフロッピーディスクや磁気テープの製造は、図4に示
すような製造装置を用いて製造していた。即ち、真空容
器中1で長尺のフィルム2が送り出しロール3からガイ
ドロール4、キャン5へと搬送され、キャン5上でター
ゲット6のスパッタによりフィルム2の片面に磁性膜が
形成され、その後、ガイドロール7を介して、巻き取り
ロール8に巻き取られる。ここで、送り出しロール3に
はブレーキ9が取り付けられており、フィルム2にテン
ションを印加している。又、巻き取りロール8には、イ
ンダクションモータを用いたドライブモータ10が取り
付けられており、磁性膜形成中のフィルム2の搬送及び
巻き取りを行っている。例えば、製造する記録媒体がフ
ロッピーディスクや磁気テープで片面媒体の場合はフィ
ルムと磁性膜間の熱膨張などの差によるカールの発生を
防止するため、裏面に金属膜等を形成したり、両面媒体
の場合には裏面にも磁性膜を形成するために、片面に磁
性膜が形成され、巻き取りロールに巻き取られたフィル
ムを再度送り出しロール側に設定しなおして、第1の面
と同様に、送り出しロール3からガイドロール4、キャ
ン5へと搬送され、キャン5上でフィルム2の第2の面
へ磁性膜を形成する。両面に膜を形成した後、ガイドロ
ール7を介して巻き取りロール8に巻き取られたフィル
ムは、プレスやスリットなどの後工程を経てフロッピー
ディスクや磁気テープが製造される。ここで、製造され
るフロッピーディスクや磁気テープには、磁気特性が所
定の値であること等の他に、磁気記録再生時にモジュレ
ーションエラーの原因となるカール量が小さいことが求
められる。特に高記録密度用フロッピーディスク等では
重要な品質となる。このカール量はキャン上で磁性膜を
形成した後の冷却やテンションの開放などによって、フ
ィルムと磁性膜とが各々縮もうとする力のバランスで発
生する。そこで、フィルムの搬送時のテンションを変え
てフィルムの片面に磁性膜や金属膜等の薄膜を形成する
と、図5(a)に示すように、膜形成時のフィルムに加
えられたテンションと膜形成後のカール量の間には相関
関係があり、テンションでカール量が制御できる。次
に、第1の片面に膜を形成した後のカール量と両面に膜
を形成した後のカール量を見ると、図5(b)に示すよ
うに、片面形成後のカール量と両面形成後のカール量と
の間には関係があり、第1の片面に膜を形成したときの
カールの量が少なければ両面を形成した後のカールの量
を少なく制御できる。このように、磁性膜を形成する際
のフィルムのテンションがカールの量に大きく寄与する
ために、テンションの安定性、即ち、フィルムのテンシ
ョンの変動が少ないことが、カール量制御のために重要
な課題となる。搬送中のフィルムのテンションは、一般
に、送り出しロールにブレーキを取り付けてフィルムの
搬送に逆らう回転トルクを発生させてフィルムにテンシ
ョンを与える方法や、巻き取りロールのドライブモータ
に渦電流モータ(トルクモータ)を取り付けて回転トル
クを発生させてフィルムにテンションを与える方法や、
巻き取りロールのドライブモータにインダクションモー
タを取り付けてフィルムの搬送速度との速度差を設けて
フィルムにテンションを発生させる方法に大別される。
これらの中で巻き取りロールのドライブモータにインダ
クションモータを取り付ける方法は、フィルムのテンシ
ョンを測定する検出機構が必要であるが、真空中で充分
に信頼性を持つフィルムのテンションの検出機構が実用
化の域に達していない為に、真空を利用した磁気記録媒
体の製造方法には適当ではない。又、ブレーキを取り付
ける方法と、渦電流モータ(トルクモータ)を取り付け
る方法を比較すると、図6(a)に示す巻き取りロール
に渦電流モータによるテンションを印加したフィルムの
テンションの経時的変動よりも、図6(b)に示す送り
出しロールに渦電流ブレーキ等のブレーキを用いてテン
ションを印加したフィルムのテンションの経時的変動の
方が、最大値と最小値の差、即ち、テンションのばらつ
きが少ないことから、より安定したテンション制御がで
きるため、真空を利用した磁気記録媒体の製造において
はブレーキを取り付けた装置を用いる方が適している。
以上述べた従来の技術では、フィルムの両面に磁性膜を
形成するには、片面を形成した後、フィルムを設定し直
し、再度排気するなどの工程が必要であるため、生産性
が低かった。
2. Description of the Related Art Generally, a magnetic recording medium using a continuous magnetic material as a recording medium is manufactured by a sputtering method or a vapor deposition method in a vacuum apparatus. A conventional floppy disk or magnetic tape using a continuous magnetic material as a recording medium has been manufactured using a manufacturing apparatus as shown in FIG. That is, a long film 2 is conveyed from a delivery roll 3 to a guide roll 4 and a can 5 in a vacuum container 1, and a magnetic film is formed on one surface of the film 2 by sputtering of a target 6 on the can 5, and then, It is wound around the winding roll 8 via the guide roll 7. Here, a brake 9 is attached to the delivery roll 3 to apply tension to the film 2. A drive motor 10 using an induction motor is attached to the winding roll 8 to convey and wind the film 2 during formation of the magnetic film. For example, when the recording medium to be manufactured is a single-sided medium such as a floppy disk or a magnetic tape, a metal film or the like is formed on the back side or a double-sided medium in order to prevent curling due to a difference in thermal expansion between the film and the magnetic film. In the case of, in order to form a magnetic film on the back side as well, a magnetic film is formed on one side, and the film wound on the winding roll is set again on the delivery roll side, and the same as the first surface. Then, it is conveyed from the delivery roll 3 to the guide roll 4 and the can 5, and a magnetic film is formed on the second surface of the film 2 on the can 5. The film, which has been formed on both sides and then wound around the winding roll 8 via the guide roll 7, undergoes post-processes such as pressing and slitting to produce a floppy disk and a magnetic tape. Here, the manufactured floppy disk or magnetic tape is required to have a small amount of curl that causes a modulation error during magnetic recording / reproduction, in addition to a predetermined magnetic property. This is especially important for floppy disks for high recording density. This curl amount is generated by the balance of the forces that the film and the magnetic film try to shrink due to the cooling after the magnetic film is formed on the can and the release of the tension. Therefore, when a thin film such as a magnetic film or a metal film is formed on one surface of the film by changing the tension at the time of transporting the film, the tension applied to the film at the time of film formation and the film formation are formed as shown in FIG. 5A. There is a correlation between the subsequent curl amounts, and the curl amount can be controlled by the tension. Next, looking at the curl amount after forming the film on the first one side and the curl amount after forming the film on both sides, as shown in FIG. There is a relationship with the amount of curl after that, and if the amount of curl when the film is formed on the first side is small, the amount of curl after forming both sides can be controlled to be small. As described above, since the tension of the film when forming the magnetic film greatly contributes to the amount of curl, it is important for the stability of the tension, that is, the fluctuation of the tension of the film is small, for controlling the curl amount. It becomes an issue. Regarding the tension of the film during conveyance, in general, a method is used in which a brake is attached to the feed roll to generate a rotational torque that opposes the conveyance of the film to give tension to the film, or an eddy current motor (torque motor) is applied to the drive motor of the winding roll How to attach and to generate a rotating torque to give tension to the film,
The method is roughly classified into a method in which an induction motor is attached to a drive motor of a take-up roll and a tension is generated in the film by providing a speed difference with the transport speed of the film.
Among these, the method of attaching the induction motor to the drive motor of the take-up roll requires a detection mechanism for measuring the film tension, but a film tension detection mechanism with sufficient reliability in vacuum has been put to practical use. Therefore, it is not suitable for a method of manufacturing a magnetic recording medium using vacuum. In addition, comparing the method of attaching the brake with the method of attaching the eddy current motor (torque motor), it is better than the variation with time of the tension of the film when the tension of the eddy current motor is applied to the winding roll shown in FIG. The time-dependent fluctuation of the tension of the film in which tension is applied to the feed roll shown in FIG. 6 (b) by using a brake such as an eddy current brake has a smaller difference between the maximum value and the minimum value, that is, less variation in tension. Therefore, since more stable tension control can be performed, it is more suitable to use a device equipped with a brake in the manufacture of a magnetic recording medium utilizing vacuum.
In the conventional technique described above, in order to form the magnetic films on both sides of the film, it is necessary to perform the steps of forming the one side, resetting the film, and evacuating again, so that the productivity is low.

【0003】片面形成後のフィルムの再設定や排気の時
間を不要とし、製造時間の短縮をするために、図7に示
すように、キャンをキャンA11とキャンB12の2個
とし、キャンA11とキャンB12との間にピンチロー
ル13を設け、送り出しロール3でキャンA11のテン
ション、巻き取りロール8でキャンB12のテンション
を各々制御して両面に連続して同時に形成することが試
みられてはいるが、フィルムのテンションの制御が不十
分で特に第2の面に膜を形成するキャン上のフィルムの
テンションの制御が不完全なため歩留が悪くなるという
問題があった。即ち、このような装置を用いる方法にお
いては、キャンA11上のフィルムのテンションは、従
来と同様に、送り出しロール3で加えるために、フィル
ム2の搬送方向と逆の方向にテンションを印加するのに
対し、キャンB12上のフィルムのテンションは巻き取
りロール8で加えるために、フィルム2の搬送方向と同
方向からテンションを印加することが必要となる。この
ため、巻き取りロール8のドライブモータ14に渦電流
モータ(トルクモータ)を取り付けて、テンションを印
可し、且つフィルム2の巻き取りを行っていた。ところ
が、渦電流モータを取り付けてテンションを印加する方
法では、先にも述べたように(図6(a)参照)、テン
ションの変動が大きいために、カール量を0とするテン
ションの制御が充分にできず、良品率が低いという問題
がある。
In order to eliminate the need for film resetting and exhausting time after forming one side and shortening the manufacturing time, as shown in FIG. 7, there are two cans A11 and B12, each of which has a can A11. It has been attempted to provide a pinch roll 13 between the can B12 and the feed roll 3 to control the tension of the can A11 and the take-up roll 8 to control the tension of the can B12 so that both sides are continuously and simultaneously formed. However, there is a problem that the control of the film tension is insufficient and the yield is deteriorated because the tension control of the film on the can for forming the film on the second surface is incompletely controlled. That is, in the method using such a device, the tension of the film on the can A11 is applied by the delivery roll 3 in the same manner as in the conventional case. On the other hand, the tension of the film on the can B12 is applied by the take-up roll 8, so it is necessary to apply the tension from the same direction as the transport direction of the film 2. For this reason, an eddy current motor (torque motor) is attached to the drive motor 14 of the winding roll 8 to apply tension and to wind the film 2. However, in the method in which the eddy current motor is attached and the tension is applied, as described above (see FIG. 6A), since the fluctuation of the tension is large, the control of the tension for setting the curl amount to 0 is sufficient. Therefore, there is a problem that the yield rate is low.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】従って、本発明の課題
は、上述の問題を解消して、各々のキャン上でのテンシ
ョンを充分に小さな変動量内で制御し、両面を同一真空
容器内で続けてスパッタできるようにして、フィルムの
両面に磁性膜や金属膜を形成し、製造時間の短縮と品質
を向上した、即ち、生産性を向上した磁気記録媒体の製
造装置と製造方法を供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION Therefore, an object of the present invention is to solve the above-mentioned problems and to control the tension on each can within a sufficiently small amount of fluctuation so that both surfaces are kept in the same vacuum container. To provide a magnetic recording medium manufacturing apparatus and a manufacturing method in which a magnetic film and a metal film are formed on both surfaces of a film so that sputtering can be continuously performed and manufacturing time is shortened and quality is improved, that is, productivity is improved. It is in.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】本発明は、1つの真空容
器中にキャンが2個以上と、その両側に長尺のフィルム
を送り出す送り出しロールと収納する巻き取りロールが
設けられ、それらのキャンの間に設けたピンチロールに
よって、長尺フィルムが一定速度で搬送され、各々のキ
ャン上のフィルムのテンションが独立に制御された状態
で、スパッタあるいは蒸着によりフィルム上に磁性膜を
形成してなる磁気記録媒体の製造方法において、フィル
ムの搬送方向にテンションを印加する為のロールの回転
速度と回転トルクの関係が、少なくとも制御範囲におい
て、正の関係を持つロール駆動装置を有することを特徴
とする磁気記録媒体の製造装置と、該製造装置を用いて
製造する磁気記録媒体の製造方法である。
According to the present invention, one vacuum container is provided with two or more cans, and a sending roll for sending out a long film and a winding roll for accommodating the long film are provided on both sides of the can. A long film is conveyed at a constant speed by a pinch roll provided between the cans, and a magnetic film is formed on the film by sputtering or vapor deposition while the tension of the film on each can is independently controlled. A method of manufacturing a magnetic recording medium, characterized in that a roll driving device having a positive relationship between a rotational speed of a roll for applying a tension in a film transport direction and a rotational torque is at least in a control range. An apparatus for manufacturing a magnetic recording medium, and a method for manufacturing a magnetic recording medium manufactured using the apparatus.

【0006】[0006]

【作用】本発明者らは、フィルムのテンションの印加方
法で、渦電流モータ(トルクモータ)を取り付けてテン
ションを印加する方法がブレーキを取り付けてテンショ
ンを印加する方法に比べ、テンションの変動量が大きく
なってしまう原因について検討を重ねた結果、その原因
がテンションを伝達するロールの回転速度とその回転ト
ルクの大きさの関係の相違にあることを究明した。即
ち、ブレーキを取り付けた場合の、ロールの回転速度と
回転トルクの関係は、図8(a)に示すように回転速度
に比例してトルク量が増加するのに対し、渦電流モータ
を取り付けた場合には、図8(b)に示すように、回転
速度が増加してもトルク量は逆に減少の傾向を示す。フ
ィルムは、テンションが何等かの原因で急に小さくなる
と、その搬送速度が早くなる。この時、ブレーキを取り
付けた場合には、フィルムの搬送速度が早くなった分ロ
ールの回転速度が早くなり、回転速度とトルクの量の関
係からトルクが大きくなるため、フィルムのテンション
はもとに戻る。一方、フィルムの搬送方向からテンショ
ンを印加するために、渦電流モータが取り付けられた場
合には、ロールの回転速度が早くなっても、回転速度と
トルク量の関係から、トルク量は逆により小さくなる傾
向のために、変動したテンションはそのまま変わらない
か又は変動量が大きくなる。従って、フィルムの搬送方
向からテンションを印加する場合、巻き取りロール側の
ロールの回転速度が増加すれば、トルク量も増加する関
係を持つようにすれば、テンションの変動は小さくでき
る。
The present inventors have found that, in the method of applying tension to the film, the method of applying the tension by attaching the eddy current motor (torque motor) has a smaller fluctuation amount of the tension than the method of applying the tension by attaching the brake. As a result of repeated studies on the cause of the increase, it was found that the cause was the difference in the relationship between the rotation speed of the roll transmitting the tension and the magnitude of the rotation torque. That is, regarding the relationship between the rotation speed of the roll and the rotation torque when the brake is attached, the torque amount increases in proportion to the rotation speed as shown in FIG. 8A, while the eddy current motor is attached. In this case, as shown in FIG. 8B, even if the rotation speed increases, the torque amount tends to decrease. When the tension of the film suddenly becomes small due to some reason, the conveyance speed of the film becomes high. At this time, if the brake is attached, the roll speed increases due to the increase in the film transport speed, and the torque increases due to the relationship between the rotation speed and the amount of torque. Return. On the other hand, if an eddy current motor is attached to apply tension from the film transport direction, the torque amount will be smaller due to the relationship between the rotation speed and the torque amount, even if the rotation speed of the roll increases. Due to this tendency, the changed tension remains unchanged or the amount of fluctuation increases. Therefore, when the tension is applied in the film transport direction, if the rotation speed of the roll on the take-up roll side is increased, the torque amount is also increased.

【0007】[0007]

【実施例】以下、本発明の一実施例について図面を参照
して説明する。図1は、本発明の一実施例の磁気記録媒
体の製造方法に用いる製造装置の構成を示す。本発明に
おいては、フィルム2が、送り出しロール3からガイド
ロール4を介してキャンA11に送られ、フィルム2の
片面に磁性膜が形成される。キャンA11でフィルム2
の第1の片面に磁性膜が形成されたフィルム2は、ガイ
ドロール15を介して、ピンチロール13に送られる。
ピンチロール13を通過したフィルム2は、ガイドロー
ル16等を介してキャンB12に搬送され、フィルム2
の第2の片面(裏面)に磁性膜が形成される。キャンB
12までで両面に磁性膜が形成されたフィルム2は、ガ
イドロール7などを介して、巻き取りロール8に巻き取
られる。ここで、フィルムの定速搬送はインダクション
モータを用いたドライブモータ10の取り付けられたピ
ンチロール13によって行っている。従って、キャンA
11上のフィルムのテンションは、送り出しロール3に
取り付けられた渦電流ブレーキを用いたブレーキ9によ
り制御している。一方、巻き取りロール8の軸にはデフ
レンシャルギア17が接続され、このデフレンシャルギ
ア17には、ドライブモータ18とブレーキ19が取り
付けられている。ドライブモータ18はインダクション
モータを用い、ドライブモータの回転速度は、ブレーキ
19がロックした状態で巻き取りロール8の回転速度が
フィルムの搬送速度に同期する速度よりも20%早く回
転する速度で一定とした。又ブレーキ19は渦電流ブレ
ーキを用いた。この状態で、巻き取りロール8を回転さ
せてフィルム2を巻き取り、そのテンション制御はブレ
ーキ19の発生トルク量の制御により行った。従って、
第2のキャンB12上のフィルム2のテンションを制御
する巻き取りロール8の駆動はインダクションモータと
渦電流ブレーキをデフレンシャルギアを組み合わせたロ
ール駆動装置で行い、本装置においてはロールの回転速
度は回転トルクの関係は正の関係を持つように設定され
ている。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 shows the configuration of a manufacturing apparatus used in a method of manufacturing a magnetic recording medium according to an embodiment of the present invention. In the present invention, the film 2 is sent from the delivery roll 3 to the can A11 via the guide roll 4, and a magnetic film is formed on one surface of the film 2. Film A2 with Can A11
The film 2 having the magnetic film formed on the first one surface thereof is sent to the pinch roll 13 via the guide roll 15.
The film 2 that has passed through the pinch roll 13 is conveyed to the can B 12 via the guide roll 16 and the like,
A magnetic film is formed on the second one surface (back surface) of the. Can B
The film 2 having magnetic films formed on both sides up to 12 is wound up by the winding roll 8 via the guide roll 7 and the like. Here, the constant speed conveyance of the film is performed by the pinch roll 13 to which the drive motor 10 using the induction motor is attached. Therefore, can A
The tension of the film on 11 is controlled by a brake 9 using an eddy current brake attached to the delivery roll 3. On the other hand, a differential gear 17 is connected to the shaft of the take-up roll 8, and a drive motor 18 and a brake 19 are attached to the differential gear 17. An induction motor is used as the drive motor 18, and the rotation speed of the drive motor is constant at a speed at which the rotation speed of the winding roll 8 rotates 20% faster than the speed at which the rotation speed of the take-up roll 8 is synchronized with the film transport speed while the brake 19 is locked. did. The brake 19 is an eddy current brake. In this state, the winding roll 8 was rotated to wind the film 2, and the tension thereof was controlled by controlling the amount of torque generated by the brake 19. Therefore,
The winding roll 8 that controls the tension of the film 2 on the second can B12 is driven by a roll driving device that combines an induction motor and an eddy current brake with a differential gear. In this device, the rotation speed of the roll is The torque relationship is set to have a positive relationship.

【0008】実施例として、上述の製造装置により表1
に示す条件により、Co−Cr合金磁性膜を両面に付け
た3.5インチフロッピーディスクを作成した。又比較
のため、比較例1として図4に示す従来のキャン1個の
製造装置により表1に示す条件により実施例と同様に作
成した試料と、比較例2として図7に示す構成のキャン
が2個の製造装置、即ち、実施例の装置の巻き取りロー
ル8の部分から、デフレンシャルギア17と、インダク
ションモータを用いたドライブモータ18及び渦電流ブ
レーキを用いたブレーキ19を外し、渦電流モータ14
を巻き取りロール8に取り付けて、キャンBからのフィ
ルムの巻き取りとテンション制御を渦電流モータのみで
行った製造装置を用いて作製した試料の3.5インチフ
ロッピーディスクを準備した。これら、各々の方法で作
成した試料について、カール量のばらつきを測定した。
尚、各々のテンション条件は片面形成時、裏面形成時の
双方ともカール量が0となる条件に設定して行った。こ
こで、カール量は、3.5インチマイクロフロッピーデ
ィスクにプレスし、その外周端部の反りの高さとした。
この時、カールの高さが0.4mm以内のものを良品と
した。試料作成の諸元を表1に、結果を図2に示す。図
2からわかるように、カールの高さのばらつきについ
て、比較例1と実施例とで同様の結果となった。又、比
較例2と実施例とを比べると、実施例では良品の割合が
4倍以上となった。更に、比較例1と実施例について、
作製時間と良品の生産量の関係を図3に示す。図3から
わかるように、実施例では、フィルムの設定や排気時間
などの待ち時間が比較例1の約半分となり、しかも良品
率も高いため、その後の単位時間当りの生産量も倍とな
り、生産性が向上している。
As an example, Table 1 was obtained by the above-mentioned manufacturing apparatus.
Under the conditions shown in (3), a 3.5-inch floppy disk having Co-Cr alloy magnetic films on both sides was prepared. For comparison, a sample prepared in the same manner as the embodiment under the conditions shown in Table 1 by the conventional can manufacturing apparatus shown in FIG. 4 as Comparative Example 1 and a can having the configuration shown in FIG. 7 as Comparative Example 2. The differential gear 17, the drive motor 18 using an induction motor and the brake 19 using an eddy current brake are removed from the two manufacturing devices, that is, the winding roll 8 of the device of the embodiment, and the eddy current motor is removed. 14
Was attached to the take-up roll 8 to prepare a 3.5-inch floppy disk as a sample produced by using a production apparatus in which the winding of the film from the can B and the tension control were performed only by the eddy current motor. The variation in curl amount was measured for the samples prepared by each of these methods.
The tension conditions were set such that the curl amount was 0 both when forming the one side and when forming the back side. Here, the curl amount was the height of the warp at the outer peripheral end of a 3.5-inch micro floppy disk which was pressed.
At this time, a curl having a height of 0.4 mm or less was regarded as a good product. The specifications of the sample preparation are shown in Table 1 and the results are shown in FIG. As can be seen from FIG. 2, with respect to the variation in curl height, the same result was obtained in Comparative Example 1 and Example. Further, when comparing Comparative Example 2 and the example, the ratio of non-defective products in the example is four times or more. Further, regarding Comparative Example 1 and Example,
The relationship between the production time and the production amount of non-defective products is shown in FIG. As can be seen from FIG. 3, in the example, the waiting time such as the film setting and the exhaust time is about half that of the comparative example 1, and since the non-defective rate is high, the production amount per unit time after that also doubles. The nature is improving.

【0009】[0009]

【表1】 [Table 1]

【0010】[0010]

【発明の効果】以上、本発明によれば、生産性が向上し
たカール等の少ない高品質の磁気記録媒体が得られる製
造装置と製造方法が提供できる。以上、本発明をスパッ
タ法による磁気記録媒体の製造に用いた例により説明し
たが、薄膜の形成方法はスパッタ法に限らず、真空蒸着
法や、イオンプレーティング法によっても同じ効果を有
することは明白である。又、発明の用途も、磁気記録媒
体の製造に限らず、フィルムの両面に薄膜を形成する装
置ならば、本発明が効果を有することは明白である。
又、実施例ではロールの回転速度と回転トルクの関係が
正のロール駆動装置として、デフレンシャルギアで結合
したインダクションモータと渦電流ブレーキの組み合わ
せたもので説明したが単体のモータでもこの関係を満た
すものであれば本発明の効果が得られる。
As described above, according to the present invention, it is possible to provide a manufacturing apparatus and a manufacturing method capable of obtaining a high-quality magnetic recording medium with improved productivity and less curl. Although the present invention has been described above with reference to an example in which the magnetic recording medium is manufactured by the sputtering method, the thin film forming method is not limited to the sputtering method, and the same effect can be obtained by the vacuum deposition method or the ion plating method. It's obvious. Further, the application of the invention is not limited to the production of a magnetic recording medium, and it is obvious that the present invention has an effect if it is an apparatus for forming thin films on both sides of a film.
Further, in the embodiment, as the roll driving device in which the relationship between the rotation speed of the roll and the rotation torque is positive, the combination of the induction motor coupled with the differential gear and the eddy current brake has been described, but this relationship is satisfied even with a single motor. If so, the effect of the present invention can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例の磁気記録媒体の製造装置の
構成を示す説明図。
FIG. 1 is an explanatory diagram showing a configuration of a magnetic recording medium manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention.

【図2】作製した媒体のカールの高さのばらつきを示す
図で、図2(a)は実施例、図2(b)は比較例1、図
2(c)は比較例2について示す。
2A and 2B are diagrams showing variations in curl height of manufactured media. FIG. 2A shows an example, FIG. 2B shows a comparative example 1, and FIG. 2C shows a comparative example 2.

【図3】装置の駆動時間と生産量の関係を示す図。FIG. 3 is a diagram showing the relationship between the drive time of the device and the production amount.

【図4】従来の製造方法で用いた製造装置の構成を示す
説明図。
FIG. 4 is an explanatory diagram showing a configuration of a manufacturing apparatus used in a conventional manufacturing method.

【図5】従来の製造装置を用いた場合のカール量とテン
ションの関係を示す図で、図5(a)は第1の面への膜
形成時のテンションとカール量の関係、図5(b)は両
面に膜形成後のカール量と第1の面への形成後のカール
量の関係を示す。
FIG. 5 is a diagram showing a relationship between a curl amount and a tension when a conventional manufacturing apparatus is used. FIG. 5A is a relationship between the tension and the curl amount when a film is formed on the first surface. b) shows the relationship between the amount of curl after film formation on both surfaces and the amount of curl after formation on the first surface.

【図6】ブレーキとモータトルクによるテンションの印
加方法とテンションの変動量を比較した図で、図6
(a)は渦電流モータによるフィルムのテンションの変
化、図6(b)は渦電流ブレーキによるフィルムテンシ
ョンの変化を示す。
FIG. 6 is a diagram comparing a tension applying method with a brake and a motor torque and a variation amount of the tension.
FIG. 6A shows a change in film tension caused by an eddy current motor, and FIG. 6B shows a change in film tension caused by an eddy current brake.

【図7】従来の製造装置の一例で、両面連続同時作製の
製造装置の構成を示す説明図。
FIG. 7 is an explanatory diagram showing a configuration of a manufacturing apparatus for simultaneous simultaneous production of both surfaces, which is an example of a conventional manufacturing apparatus.

【図8】ブレーキ又はモータによるフィルムへのテンシ
ョンを印加する方法において、ロールの回転速度とトル
クの関係を示す図で、図8(a)は渦電流ブレーキを用
いた場合、図8(b)は渦電流モータを用いた場合を示
す。
FIG. 8 is a diagram showing a relationship between a rotation speed of a roll and a torque in a method of applying a tension to a film by a brake or a motor. FIG. 8A shows a case where an eddy current brake is used, and FIG. Shows the case where an eddy current motor is used.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 真空容器中 2 フィルム 3 送り出しロール 4 ガイドロール 5 キャン 6 ターゲット 7 ガイドロール 8 巻き取りロール 9 ブレーキ 10 ドライブモータ 11 キャンA 12 キャンB 13 ピンチロール 14 ドライブモータ 15 ガイドロール 16 ガイドロール 17 デフレンシャルギア 18 ドライブモータ 19 ブレーキ 1 in a vacuum container 2 film 3 feed roll 4 guide roll 5 can 6 target 7 guide roll 8 take-up roll 9 brake 10 drive motor 11 can A 12 can B 13 pinch roll 14 drive motor 15 guide roll 16 guide roll 17 differential gear 18 Drive motor 19 Brake

─────────────────────────────────────────────────────
─────────────────────────────────────────────────── ───

【手続補正書】[Procedure amendment]

【提出日】平成5年12月9日[Submission date] December 9, 1993

【手続補正1】[Procedure Amendment 1]

【補正対象書類名】図面[Document name to be corrected] Drawing

【補正対象項目名】全図[Correction target item name] All drawings

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction content]

【図1】 [Figure 1]

【図3】 [Figure 3]

【図2】 [Fig. 2]

【図4】 [Figure 4]

【図5】 [Figure 5]

【図6】 [Figure 6]

【図7】 [Figure 7]

【図8】 [Figure 8]

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 1つの真空容器中にキャンが2個以上
と、その両側に長尺のフィルムを送り出す送り出しロー
ルと収納する巻き取りロールが設けられ、それらのキャ
ンの間に設けたピンチロールによって、長尺フィルムが
一定速度で搬送され、各々のキャン上のフィルムのテン
ションが独立に制御された状態で、スパッタあるいは蒸
着によりフィルム上に磁性膜を形成してなる磁気記録媒
体の製造方法において、フィルムの搬送方向にテンショ
ンを印加する為のロールの回転速度と回転トルクの関係
が、少なくとも制御範囲において、正の関係を持つロー
ル駆動装置を有することを特徴とする磁気記録媒体の製
造装置。
1. A vacuum container is provided with two or more cans, and on both sides thereof a delivery roll for delivering a long film and a winding roll for accommodating the cans, and a pinch roll provided between the cans. In a method for producing a magnetic recording medium, in which a long film is conveyed at a constant speed and the tension of the film on each can is independently controlled, a magnetic film is formed on the film by sputtering or vapor deposition, An apparatus for manufacturing a magnetic recording medium, comprising a roll driving device having a positive relationship between a rotational speed and a rotational torque of a roll for applying a tension in a film transport direction, at least within a control range.
【請求項2】 請求項1記載の装置を用いて製造する磁
気記録媒体の製造方法。
2. A method for manufacturing a magnetic recording medium, which is manufactured by using the apparatus according to claim 1.
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