JPH06211504A - Production of corona discharger - Google Patents

Production of corona discharger

Info

Publication number
JPH06211504A
JPH06211504A JP5247576A JP24757693A JPH06211504A JP H06211504 A JPH06211504 A JP H06211504A JP 5247576 A JP5247576 A JP 5247576A JP 24757693 A JP24757693 A JP 24757693A JP H06211504 A JPH06211504 A JP H06211504A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electrode
voltage
corona discharger
product
electrodes
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP5247576A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2606785B2 (en
Inventor
Yuji Aso
雄二 麻生
Toshiya Watabe
俊也 渡部
Eiichi Kojima
栄一 小島
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toto Ltd
Original Assignee
Toto Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from US07/953,356 external-priority patent/US5407639A/en
Application filed by Toto Ltd filed Critical Toto Ltd
Publication of JPH06211504A publication Critical patent/JPH06211504A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP2606785B2 publication Critical patent/JP2606785B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B13/00Oxygen; Ozone; Oxides or hydroxides in general
    • C01B13/10Preparation of ozone
    • C01B13/11Preparation of ozone by electric discharge
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B2201/00Preparation of ozone by electrical discharge
    • C01B2201/20Electrodes used for obtaining electrical discharge
    • C01B2201/22Constructional details of the electrodes

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Electrostatic Charge, Transfer And Separation In Electrography (AREA)
  • Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
  • Disinfection, Sterilisation Or Deodorisation Of Air (AREA)

Abstract

PURPOSE:To mass-produce a corona discharger capable of stably and precisely generating a minute amt. of ozone (e.g. about 0.2ppm in the air current at the flow rate of 100l/min) over a long period and appropriate to deodorization. CONSTITUTION:The intermediabe product of a corona discharger provided with a floating electrode 64 for interconnecting internal electrodes 54 and 56 with reference to capacitance and a protective layer 68 for covering the floating electrode is fabricated. A high-frequency voltage higher than the initial break- down voltage of of the intermediate product is impressed between the internal electrodes 54 and 56 for a short time to run in the intermediate product, and the end product of a corona discharger is obtained. The protective layer is modified by the running-in operation, the initial break-down voltage of the end product is made lower than that of the intermediate product, and the variance in the initial break-down voltage is remarkably reduced in every product.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の目的】[Object of the Invention]

【産業上の利用分野】本発明は、脱臭用のオゾナイザー
(オゾン発生器)として使用可能なコロナ放電器の製造
方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of manufacturing a corona discharger which can be used as an ozonizer (ozone generator) for deodorization.

【0002】[0002]

【従来の技術】トイレットや台所のような悪臭発生源の
ある居住空間をオゾンにより脱臭して快適な生活環境を
実現するため、オゾナイザーが使用されている。オゾナ
イザーはコロナ放電によりオゾンを人工的に発生させる
もので、悪臭成分として硫化水素を例に取れば、オゾン
による脱臭反応は次のように行われる。
2. Description of the Related Art An ozonizer is used to deodorize a living space, such as a toilet or a kitchen, which has a bad odor generating source, by ozone to realize a comfortable living environment. The ozonizer artificially generates ozone by corona discharge, and if hydrogen sulfide is taken as an example of a malodorous component, the deodorization reaction by ozone is performed as follows.

【0003】 H2S + 3O3 → SO2 + H2O + 3O2 オゾナイザーの歴史は今から百年以上も前に遡るもの
で、その原型は1857年に開発された“ジーメンス
管”に見ることができる。ジーメンス管は空気通路が形
成されたガラスの二重管を備えてなり、この空気通路に
は乾燥空気が循環されるようになっている。ガラス管の
中央には棒状の内側電極が配置してあり、ガラス管を囲
繞するケーシングは外側電極として使用される。これら
の電極間に交番高電圧を印加すると、二重ガラス管内の
空気通路を横切ってコロナ放電の形の無声放電が発生
し、酸素をオゾンに変換する。ジーメンス管において
は、コロナ放電はガラス管の内側表面に沿って広がって
生起するもので、この現象は“沿面放電”として知られ
ている。沿面放電は、ガラス管が電極間の絶縁バリヤー
として作用し、電子のなだれからなる放電柱をガラス管
表面に沿って分散させることに因るものと考えられてい
る。
The history of H 2 S + 3O 3 → SO 2 + H 2 O + 3O 2 ozonizers goes back more than 100 years, and its prototype can be seen in the “Siemens tube” developed in 1857. You can The Siemens tube comprises a double glass tube provided with an air passage, through which dry air is circulated. A rod-shaped inner electrode is arranged in the center of the glass tube, and a casing surrounding the glass tube is used as an outer electrode. When an alternating high voltage is applied between these electrodes, a silent discharge in the form of a corona discharge occurs across the air passage in the double glass tube, converting oxygen to ozone. In the Siemens tube, the corona discharge spreads along the inner surface of the glass tube, and this phenomenon is known as "creeping discharge". It is considered that the creeping discharge is caused by the glass tube acting as an insulating barrier between the electrodes and dispersing a discharge column consisting of an avalanche of electrons along the surface of the glass tube.

【0004】最近のオゾナイザーは、固体デバイス製造
技術を用いて製造されることが多く、従って、電極は平
らに形成するのが一般的である。しかし、作動原理は前
述したジーメンス管と異なるところがない。
Modern ozonizers are often manufactured using solid state device manufacturing techniques and, therefore, electrodes are typically formed flat. However, the operating principle is no different from the Siemens tube described above.

【0005】例えば、特開昭60-157183号の第2図およ
び特開昭61-231573号に記載されたコロナ放電器は、
“対向電極型”とも言うべきもので、本出願の図1に図
解したように、対向配置された1対の平面電極を備えて
いる。内部電極10は誘電性セラミック材料からなる基
板12に埋め込んであり、基板の表面にはタングステン
・ペースト印刷などのメタライズ技術により外部電極1
4が形成してある。電源16により電極間に高周波電圧
を印加すると、図1に示したように、電極10と14と
の間には誘電体層およびエアギャップを横切って電界が
発生する。電界は等電位面20(細実線)に垂直な電気
力線18(破線)に沿って作用するものと考えることが
できる。外部電極14が内部電極10より狭く、その結
果、等電位面20は図の如く上方に湾曲するので、電界
の一部はエアギャップを横切ることになる。エアギャッ
プに加わる電圧がエアギャップの絶縁破壊電圧を超える
と、エアギャップにおいて空気の絶縁破壊が起こり、図
1に太線22で示したように電気力線に沿って放電が起
こる。コロナ放電は、相次いで発生する多数の個々の放
電柱の集合として観測されるもので、前述した沿面放電
現象により、誘電体基板の表面に沿って若干の広がりを
呈する。
For example, the corona discharger disclosed in FIG. 2 of JP-A-60-157183 and JP-A-61-231573 is
It should be called "opposing electrode type", and as shown in FIG. 1 of the present application, it is provided with a pair of opposed planar electrodes. The internal electrodes 10 are embedded in a substrate 12 made of a dielectric ceramic material, and the external electrodes 1 are formed on the surface of the substrate by a metallizing technique such as tungsten paste printing.
4 is formed. When a high frequency voltage is applied between the electrodes by the power supply 16, an electric field is generated between the electrodes 10 and 14 across the dielectric layer and the air gap, as shown in FIG. It can be considered that the electric field acts along the electric force line 18 (broken line) perpendicular to the equipotential surface 20 (thin solid line). Since the outer electrode 14 is narrower than the inner electrode 10 and as a result the equipotential surface 20 curves upward as shown, part of the electric field will cross the air gap. When the voltage applied to the air gap exceeds the dielectric breakdown voltage of the air gap, dielectric breakdown of air occurs in the air gap, and electric discharge occurs along the lines of electric force as indicated by a thick line 22 in FIG. The corona discharge is observed as a set of a large number of individual discharge columns that are successively generated, and due to the creeping discharge phenomenon described above, the corona discharge exhibits a slight spread along the surface of the dielectric substrate.

【0006】図1に示した対向電極型オゾナイザーの問
題点は、外部電極への電気結線部の耐久性が充分でない
ことである。即ち、対向電極型においては、電源16か
らのリード線の一方を外部電極の上方に配置すると共
に、リード線端部をハンダ付けなどにより外部電極14
の表面に接合する必要があるが、リード線とハンダ付け
部は外部電極上方のオゾンに富んだ領域に位置するの
で、オゾンによって容易に酸化され、劣化する。さら
に、外部電極自体もオゾンに侵される。
The problem with the counter electrode type ozonizer shown in FIG. 1 is that the durability of the electrical connection to the external electrode is not sufficient. That is, in the counter electrode type, one of the lead wires from the power source 16 is arranged above the external electrode, and the end portion of the lead wire is soldered or the like so that the external electrode 14 is formed.
However, since the lead wire and the soldered portion are located in the ozone-rich region above the external electrode, they are easily oxidized and deteriorated by ozone. Furthermore, the external electrode itself is also attacked by ozone.

【0007】特開昭64-33004号および特開平1-246104号
には、外部電極が保護層で被覆された対向電極型のオゾ
ナイザーが開示されている。セラミックからなるこの保
護層は、外部電極を酸化から保護するという利点がある
が、リード線とハンダ付け部の劣化を防止できないとい
う点では変わりがない。
Japanese Unexamined Patent Publication No. 64-33004 and Japanese Unexamined Patent Publication No. 1-246104 disclose counter electrode type ozonizers in which external electrodes are covered with a protective layer. Although this protective layer made of ceramic has an advantage of protecting the external electrodes from oxidation, it is still the same in that the deterioration of the lead wire and the soldered portion cannot be prevented.

【0008】特開昭58-108559号および米国特許4、783、7
16号には、誘電体層中に1対の内部電極を並置してなる
コロナ放電器が記載されている。このコロナ放電器の断
面を本出願の図2に示す。この構造の利点は、内部電極
が並置されているので、リード線をオゾン・リッチ領域
から離して装置の下側に配置できることである。従っ
て、リード線がオゾンによる化学的侵食を受けることが
ない。しかし、この放電器は実用化されていないようで
ある。これは、電極24と26とが横方向に離間されて
おり、電極24と26との間に発生する電界の大部分は
図2に示したように誘電体層中に閉じ込められるので、
コロナ放電を発生させるに充分な強さの電界をエアギャ
ップを横切って発生させるのが困難であり、その結果、
オゾン発生量が充分でないことによるものと考えられ
る。
Japanese Patent Laid-Open No. 58-108559 and US Pat. No. 4,783,7
No. 16 describes a corona discharger having a pair of internal electrodes juxtaposed in a dielectric layer. A cross section of this corona discharger is shown in FIG. 2 of the present application. The advantage of this structure is that the internal electrodes are juxtaposed so that the leads can be placed under the device away from the ozone rich region. Therefore, the lead wire is not chemically corroded by ozone. However, this discharger has not been put to practical use. This is because the electrodes 24 and 26 are laterally separated and most of the electric field generated between the electrodes 24 and 26 is confined in the dielectric layer as shown in FIG.
It is difficult to generate an electric field of sufficient strength across the air gap to generate a corona discharge, which results in
It is thought that this is due to insufficient ozone generation.

【0009】特開昭60-157183号の第4図から第8図に
開示された固体放電装置においては、並置された1対の
内部電極の上に中間電極が部分的に重ねてあり、交番電
圧は1対の内部電極間に印加されるようになっている。
同様の放電装置は特開昭62-51463号の第3図から第13
図および特開平3-190077号の第1図から第4図に開示さ
れている。これらの放電装置の断面構造を本出願の図3
に掲載する。図3から分かるように、中間電極28は内
部電極30および32と夫々部分的に重なり合っている
ので、内部電極30と32との間に電圧が印加された時
には、この中間電極28は内部電極30と32とを互い
に電気容量的に結合する浮動電極として作用する。従っ
て、電界は、図示したように、一方において浮動電極2
8と内部電極30との間に形成されると共に、他方にお
いて浮動電極28と内部電極32との間に形成される。
その結果、等電位面は図1の場合と同様に上方に湾曲
し、電気力線は図2の構造に比べて遥かに高くエアギャ
ップの方に持ち上げられることになるので、電極28と
30との間、および、電極28と32との間のエアギャ
ップにはより強力なコロナ放電が発生する。
In the solid-state discharge device disclosed in FIGS. 4 to 8 of JP-A-60-157183, an intermediate electrode is partially overlapped with a pair of juxtaposed internal electrodes, and an alternating electrode is provided. The voltage is adapted to be applied between the pair of internal electrodes.
A similar discharge device is shown in FIGS. 3 to 13 of JP-A-62-51463.
And FIGS. 1 to 4 of Japanese Patent Laid-Open No. 3-190077. The cross-sectional structure of these discharge devices is shown in FIG.
To publish. As can be seen from FIG. 3, since the intermediate electrode 28 partially overlaps the internal electrodes 30 and 32, respectively, when the voltage is applied between the internal electrodes 30 and 32, the intermediate electrode 28 is And 32 act as floating electrodes that capacitively couple each other. Therefore, the electric field, on the one hand, is shown in FIG.
8 and the internal electrode 30 and, on the other hand, between the floating electrode 28 and the internal electrode 32.
As a result, the equipotential surface curves upwards as in the case of FIG. 1 and the lines of electric force are much higher than in the structure of FIG. A stronger corona discharge is generated between the electrodes and the air gap between the electrodes 28 and 32.

【0010】しかしながら、図3のコロナ放電装置の問
題点は、作動に伴いオゾン発生量が経時的に減少するこ
とである。即ち、浮動電極28は発生したオゾンによる
化学的な攻撃を受けるだけでなく、コロナ放電による電
気的な攻撃を受けるので、浮動電極28は次第に酸化す
る。さらに、浮動電極はスパッタリングによっても損傷
する。その結果、浮動電極の電気抵抗が経時的に増大
し、コロナ放電を誘起させるに必要な放電開始電圧が上
昇する。このコロナ放電装置を所定の常規運転電圧で作
動させる場合には、放電開始電圧の経時的上昇に伴いコ
ロナ放電は次第に弱まり、或いは部分的に欠如し、終に
は必要な量のオゾンが発生しなくなる。
However, a problem with the corona discharge device of FIG. 3 is that the amount of ozone generated decreases with the operation. That is, the floating electrode 28 is not only chemically attacked by the generated ozone, but also electrically attacked by corona discharge, so that the floating electrode 28 is gradually oxidized. Furthermore, the floating electrodes are also damaged by sputtering. As a result, the electric resistance of the floating electrode increases with time, and the discharge starting voltage required to induce corona discharge rises. When operating this corona discharge device at a predetermined normal operating voltage, the corona discharge gradually weakens or partially lacks as the discharge start voltage rises with time, and the required amount of ozone is generated at the end. Disappear.

【0011】[0011]

【発明が解決しようとする課題】ところで、オゾナイザ
ーを利用した脱臭技術には、先ず、脱臭力が大きいこと
が要求される。従って、オゾナイザーには、脱臭に必要
な充分な量のオゾンを発生させることができることが要
求される。
By the way, the deodorizing technique utilizing the ozonizer is required to have a large deodorizing power. Therefore, the ozonizer is required to be able to generate a sufficient amount of ozone necessary for deodorization.

【0012】しかし、オゾンは特有の臭いを有すると共
に、濃度が高い場合には呼吸器系に悪影響を与える。従
って、オゾン脱臭装置から放出される処理済みの空気に
はオゾンが残存していないことが望ましい。このため、
オゾナイザーを作動させる際には、実開平1-128822号に
記載されているように、オゾン分解触媒を併用すること
が好ましい。オゾン分解触媒は、TiO2やMnOなど
を例えばハニカム構造の多孔質担体に担持させたもの
で、脱臭装置の空気通路内に配置され、その上流にオゾ
ナイザーが配置される。悪臭を含んだ空気をファンによ
って循環させ、発臭物質を触媒表面に捕捉させると共
に、オゾナイザーに高周波電圧を印加してコロナ放電を
生起させ、オゾンを人工的に発生させる。発生したオゾ
ンはオゾン分解触媒に接触すると酸素分子と活性酸素原
子に分解され、活性酸素原子は触媒に捕捉された発臭物
質を酸化して無臭の物質に転換する。オゾン分解触媒
は、また、余剰オゾンを次のように無害な酸素に分解す
るという役割も果たす。
However, ozone has a peculiar odor, and when it is in a high concentration, it adversely affects the respiratory system. Therefore, it is desirable that ozone does not remain in the treated air discharged from the ozone deodorizing device. For this reason,
When operating the ozonizer, it is preferable to use an ozone decomposition catalyst together, as described in Japanese Utility Model Laid-Open No. 1-128822. The ozone decomposition catalyst is, for example, TiO 2 or MnO supported on a porous carrier having a honeycomb structure. The ozone decomposition catalyst is arranged in the air passage of the deodorizing device, and the ozonizer is arranged upstream thereof. Air containing malodor is circulated by a fan to capture odorous substances on the surface of the catalyst, and high frequency voltage is applied to the ozonizer to cause corona discharge to artificially generate ozone. When the generated ozone comes into contact with the ozone decomposition catalyst, it is decomposed into oxygen molecules and active oxygen atoms, and the active oxygen atoms oxidize the odorant substances captured by the catalyst and convert them into odorless substances. The ozone decomposition catalyst also plays a role of decomposing surplus ozone into harmless oxygen as follows.

【0013】2O3 → 3O2 ところで、脱臭装置をできるだけ小型化したいという要
請を考慮すれば、必ずしも充分な量のオゾン分解触媒を
脱臭装置に充填できるとは限らないので、オゾン分解触
媒の効率は通常は約90%程度に留まるのが実情であ
る。その場合には、オゾナイザーで生成されたオゾンの
約10%は、分解されることなく、残存オゾンとして周
囲の空気中に放出されることになる。本発明者の知見に
よれば、人間の呼吸器系は、100l/分の流量で流れる
空気流中の僅かに0.02ppmの残存オゾンを感知す
ることができるので、この観点からは、残存オゾンを
0.02ppm以下に抑えることが好ましい。従って、
オゾン分解触媒の効率を90%と仮定した場合には、残
存オゾンの量を知覚可能な0.02ppm以下に抑える
ためには、オゾナイザーのオゾン発生量は流量100l/
分の空気流中0.2ppm以下にすることが望ましい。
2O 3 → 3O 2 By the way, considering the demand for miniaturization of the deodorizing device as much as possible, it is not always possible to fill the deodorizing device with a sufficient amount of ozone decomposing device. In reality, it is usually about 90%. In that case, about 10% of the ozone generated by the ozonizer will be released into the surrounding air as residual ozone without being decomposed. According to the knowledge of the present inventor, the human respiratory system can detect only 0.02 ppm of residual ozone in the air flow flowing at a flow rate of 100 l / min. Is preferably suppressed to 0.02 ppm or less. Therefore,
Assuming that the efficiency of the ozone decomposition catalyst is 90%, in order to keep the amount of residual ozone below 0.02 ppm which is perceptible, the ozone generation amount of the ozonizer is 100 l / flow rate.
It is desirable that the air flow rate be 0.2 ppm or less.

【0014】従って、生活環境で使用される脱臭用オゾ
ナイザーには、第1に、例えば100l/分の流量の空気
流中僅かに0.2ppmという非常に微小量のオゾン
を、しかも高精度で発生させることができなければなら
ないという品質が要求される。高精度のオゾン発生量が
要求されるのは、オゾン発生量が所望量より少なすぎれ
ば、脱臭力が不充分となるからである。
Therefore, in the deodorizing ozonizer used in the living environment, firstly, a very small amount of ozone of, for example, only 0.2 ppm in an air flow having a flow rate of 100 l / min is generated with high accuracy. The quality that must be able to be achieved is required. The highly accurate ozone generation amount is required because if the ozone generation amount is less than the desired amount, the deodorizing power becomes insufficient.

【0015】次に、オゾン脱臭装置は脱臭力が長期間持
続するものでなければならない。従って、オゾナイザー
には、第2に、長年にわたって微小量のオゾンを高精度
で発生させ続けることができることが要求される。特
に、トイレットのような環境では、オゾナイザーは塩酸
などを含有する洗剤やアンモニアなどによる侵食を受け
るので、充分な耐環境性能を備えていることが望まし
い。
Next, the ozone deodorizing device must have a deodorizing power that lasts for a long period of time. Therefore, secondly, the ozonizer is required to be capable of continuously generating a minute amount of ozone with high accuracy for many years. In particular, in an environment such as a toilet, the ozonizer is corroded by a detergent containing hydrochloric acid or the like, ammonia, etc., and therefore it is desirable that the ozonizer has sufficient environmental resistance.

【0016】本発明の目的は、広義には、所望の非常に
微小な管理された量のオゾンを、長期間にわたり安定し
て、高精度で発生させることの可能な、オゾン脱臭に適
したコロナ放電器を提供することである。本発明の目的
は、特に、斯る性能を備えたコロナ放電器を大量生産方
式で製造するのに適した製造方法を提供することにあ
る。
Broadly speaking, the object of the present invention is to provide a corona suitable for ozone deodorization, which can generate a desired very minute controlled amount of ozone stably over a long period of time with high accuracy. It is to provide a discharger. An object of the present invention is to provide a manufacturing method particularly suitable for manufacturing a corona discharger having such performance by a mass production method.

【0017】[0017]

【発明の構成】[Constitution of the invention]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するべ
く、本発明者は図3に示した浮動電極を備えた形式のコ
ロナ放電器について一連の試験研究を行った。本発明
は、斯る研究により得られた知見に基づくものである。
In order to achieve the above object, the present inventor conducted a series of test studies on a corona discharger of the type having a floating electrode shown in FIG. The present invention is based on the findings obtained by such research.

【0018】即ち、本発明者は、図3に示したコロナ放
電器の浮動電極を前述の酸化およびスパッタリングから
保護するため、浮動電極28をセラミックの保護膜で被
覆し、装置を作動させながら放電開始電圧の経時的変化
を観測した。なお、本明細書において“放電開始電圧”
とは、電圧印加後、数秒程度の許容し得ない遅れを伴う
ことなくほぼ瞬間的に、エアギャップにコロナ放電を発
生させるに必要な最小限の電圧を意味する。また、“初
期放電開始電圧”とは、未使用の新たなコロナ放電器を
初めて作動させる時に計測される放電開始電圧を意味す
る。放電開始電圧の計測に際しては、コロナ放電器に印
加する高周波電流の電圧を徐々に上げて行き、電圧上昇
からほぼ瞬間的に放電が観測された時の電圧を放電開始
電圧と定めるものとする。
That is, in order to protect the floating electrode of the corona discharger shown in FIG. 3 from the above-mentioned oxidation and sputtering, the present inventor coated the floating electrode 28 with a ceramic protective film, and discharged it while operating the device. The change in the starting voltage with time was observed. In the present specification, "discharge starting voltage"
Means a minimum voltage required to generate corona discharge in the air gap almost instantaneously without an unacceptable delay of about several seconds after the voltage is applied. The "initial discharge starting voltage" means the discharge starting voltage measured when the unused new corona discharger is first operated. When measuring the discharge start voltage, the voltage of the high frequency current applied to the corona discharger is gradually increased, and the voltage at which discharge is observed almost instantaneously from the voltage rise is defined as the discharge start voltage.

【0019】試験によれば、予想した通り、浮動電極が
セラミック保護層で被覆された放電器においては、図3
に示したように浮動電極が露出している装置に較べて、
初期放電開始電圧はかなり高くなった。これは、セラミ
ック保護層の存在により浮動電極からの電子の供給が妨
げられるので、所与の電圧においてコロナ放電が誘起さ
れるまでにかなりの遅れを要することによるものと考え
られる。
Tests have shown that, as expected, in a discharge vessel in which the floating electrode is coated with a ceramic protective layer, FIG.
Compared to the device with floating electrodes exposed as shown in
The initial discharge firing voltage was considerably higher. It is believed that this is due to the fact that the presence of the ceramic protective layer hinders the supply of electrons from the floating electrode, thus requiring a considerable delay before the corona discharge is induced at a given voltage.

【0020】しかしながら、試験により判ったことは、
第1に、初期放電開始電圧が製品毎に大幅にバラツクと
いうことである。これは全く予期していなかったこと
で、コロナ放電器を大量生産し、それらを共通の所定の
常規運転電圧で作動させる上では、このような初期放電
開始電圧の大幅なバラツキは好ましくない。このバラツ
キは、セラミック保護層の表面粗さに関連があるものと
考えられる。
However, the findings of the test are:
First, the initial discharge firing voltage varies greatly from product to product. This is completely unexpected, and in the case of mass-producing corona dischargers and operating them at a common predetermined normal operating voltage, such a large variation in the initial discharge starting voltage is not preferable. This variation is considered to be related to the surface roughness of the ceramic protective layer.

【0021】より重要なことには、装置を作動させるに
つれて放電開始電圧が次第に低下することが見出され
た。この現象は、従来装置において前述の如く放電開始
電圧が経時的に上昇するという事実に全く相反するもの
である。
More importantly, it has been found that the firing voltage gradually decreases as the device is operated. This phenomenon is completely contrary to the fact that the discharge start voltage rises with time in the conventional device as described above.

【0022】斯る知見を契機として、初期放電開始電圧
よりも高い高周波電圧を印加したところ、驚くべきこと
に、初期放電開始電圧の製品毎のバラツキが著しく減少
すると共に、初期放電開始電圧の絶対値が低下すること
が判った。この理由は必ずしも明らかではないが、コロ
ナ放電によって保護層が或る種のエージングを受け、そ
の表面粗さが改善されることに因るものではないかと考
えられる。
When a high frequency voltage higher than the initial discharge firing voltage was applied on the basis of such knowledge, surprisingly, the variation in the initial discharge firing voltage among products was remarkably reduced and the absolute value of the initial discharge firing voltage was changed. It was found that the value decreased. The reason for this is not necessarily clear, but it is considered that it may be because the protective layer undergoes some aging due to corona discharge and its surface roughness is improved.

【0023】本発明は、上記知見に基づくもので、本発
明のコロナ放電器の製造方法は、コロナ放電器の中間製
品を製作する工程と、この中間製品を高電圧でならし運
転して最終製品を得る工程からなる。中間製品は、誘電
体基板に埋設された互いに離間された第1および第2の
平面電極と、前記電極間に高周波電圧を印加するための
端子手段と、前記第1電極と第2電極とを電気容量的に
結合するべく基板に配置された第3電極(浮動電極)
と、第3電極を被覆する耐食性で電気絶縁性の保護層と
を備えてなる。中間製品から最終製品を得るならし運転
工程では、中間製品の初期放電開始電圧より高い電圧の
高周波電圧を第1電極と第2電極との間に所定時間印加
する。
The present invention is based on the above findings, and the method of manufacturing a corona discharger of the present invention comprises a step of manufacturing an intermediate product of a corona discharger and a final operation by smoothing the intermediate product at a high voltage. The process consists of obtaining the product. The intermediate product includes first and second planar electrodes embedded in a dielectric substrate and spaced from each other, terminal means for applying a high frequency voltage between the electrodes, and the first and second electrodes. Third electrode (floating electrode) arranged on the substrate for capacitive coupling
And a corrosion-resistant and electrically insulating protective layer for covering the third electrode. In the break-in operation step of obtaining the final product from the intermediate product, a high frequency voltage higher than the initial discharge starting voltage of the intermediate product is applied for a predetermined time between the first electrode and the second electrode.

【0024】中間製品の初期放電開始電圧より高い電圧
の高周波電圧を印加することにより、保護層は改質或い
はエージングされ、製品毎の初期放電開始電圧のバラツ
キの無い最終製品が得られると共に、初期放電開始電圧
の低い最終製品が得られる。
By applying a high frequency voltage higher than the initial discharge starting voltage of the intermediate product, the protective layer is modified or aged, and a final product having no variation in the initial discharge starting voltage for each product is obtained, and at the same time, the initial product is obtained. A final product with a low discharge start voltage can be obtained.

【0025】このように、本発明の製造方法によれば、
初期放電開始電圧が製品毎にバラツクことがないので、
本発明の方法によって大量生産したコロナ放電器を初期
放電開始電圧よりやゝ高い所望の常規運転電圧で作動さ
せると、第3電極が第1および第2電極と重なる輪郭に
沿って安定したコロナ放電が誘起される。オゾン発生量
はコロナ放電の沿面放電長に比例するので、第3電極が
第1および第2電極と重なる輪郭の長さを適切に設定す
ることにより、オゾン発生量を微少量に管理することが
できる。
Thus, according to the manufacturing method of the present invention,
Since the initial discharge start voltage does not vary from product to product,
When the corona discharger mass-produced by the method of the present invention is operated at a desired normal operation voltage slightly higher than the initial discharge start voltage, a stable corona discharge occurs along the contour where the third electrode overlaps the first and second electrodes. Is induced. Since the ozone generation amount is proportional to the creeping discharge length of corona discharge, it is possible to manage the ozone generation amount to a very small amount by appropriately setting the length of the contour where the third electrode overlaps the first and second electrodes. it can.

【0026】また、本発明の方法によって製造されたコ
ロナ放電器は、第3電極(浮動電極)が保護層によって
酸化およびスパッタリングから保護されているので、所
望の微量のオゾンを長期間にわたって安定して発生させ
ることができる。
In the corona discharger manufactured by the method of the present invention, since the third electrode (floating electrode) is protected from oxidation and sputtering by the protective layer, a desired amount of ozone can be stabilized for a long period of time. Can be generated.

【0027】中間製品への電圧の印加はできるだけ高い
電圧で行うのが効果的であるが、絶縁破壊を避けるた
め、第1電極と第2電極との間の誘電体層の絶縁破壊電
圧よりも低い電圧で行わなければならない。中間製品へ
の電圧の印加は少なくとも約5秒間行うのが好ましい。
It is effective to apply a voltage to the intermediate product at a voltage as high as possible, but in order to avoid dielectric breakdown, it is necessary to apply a voltage higher than the dielectric breakdown voltage of the dielectric layer between the first electrode and the second electrode. Must be done at low voltage. The application of voltage to the intermediate product is preferably for at least about 5 seconds.

【0028】コロナ放電器を約6kVPP以下の常規運転
電圧で作動させるためには、第1電極および第2電極と
第3電極との間の誘電体層の有効厚さは約25−70μ
mにし、保護層の有効厚さは約7−20μmにするのが
好ましい。
In order to operate the corona discharger at a normal operating voltage of about 6 kV PP or less, the effective thickness of the dielectric layer between the first and second electrodes and the third electrode is about 25-70 μm.
m, and the effective thickness of the protective layer is preferably about 7-20 μm.

【0029】本発明の上記特徴や効果、ならびに、他の
特徴や利点は、以下の実施例の記載に従い更に明らかと
なろう。
The above-mentioned features and effects of the present invention, as well as other features and advantages, will be more apparent according to the description of the following embodiments.

【0030】[0030]

【実施例】初めに、図4から図7を参照しながら、本発
明のコロナ放電器の構造と作動の概要を説明する。図4
から図6に示したように、コロナ放電器50はアルミナ
・セラミックのような誘電体材料からなる基板52を備
え、この基板の内部には1対の内部平面電極54と56
が配置されている。夫々の内部電極54および56は、
コロナ放電に関与する例えば矩形の内側部分58と、円
形のターミナル部分60とを備え、これらの部分は細長
い連結部62によって電気接続されている。誘電体基板
52の上面には丸い両端を有する外部電極64が配置し
てある。この外部電極64は内部電極54および56の
夫々の内側部分58と部分的に重なるように位置決めし
てあり、外部電極64と内部電極54および56との間
には誘電体層66が介在させてある。理解を容易にする
ため図面では誇張してあるが、誘電体層66の有効厚さ
Dは好ましくは約25−75μmであり、この厚さは内
部電極54と56との間の距離(約1mm)よりも極め
て小さい。外部電極64はアルミナ・セラミックなどの
ような耐食性で電気絶縁性の材料からなる保護層68に
よって被覆されており、この保護層の厚さは好ましくは
約7−20μmである。
First, the outline of the structure and operation of the corona discharger of the present invention will be described with reference to FIGS. Figure 4
6, the corona discharger 50 comprises a substrate 52 made of a dielectric material such as alumina ceramic, inside which a pair of internal planar electrodes 54 and 56 are provided.
Are arranged. The respective inner electrodes 54 and 56 are
It comprises an inner part 58, for example of rectangular shape, which participates in the corona discharge, and a circular terminal part 60, which are electrically connected by an elongated connecting part 62. External electrodes 64 having rounded ends are arranged on the upper surface of the dielectric substrate 52. The outer electrode 64 is positioned so as to partially overlap the inner portions 58 of the inner electrodes 54 and 56, respectively, and the dielectric layer 66 is interposed between the outer electrode 64 and the inner electrodes 54 and 56. is there. Although exaggerated in the drawings for ease of understanding, the effective thickness D of the dielectric layer 66 is preferably about 25-75 μm, which is the distance between the inner electrodes 54 and 56 (about 1 mm. ) Is much smaller than The outer electrode 64 is covered with a protective layer 68 made of a corrosion-resistant and electrically insulating material such as alumina ceramic, and the thickness of this protective layer is preferably about 7-20 μm.

【0031】図5に示したように、基板52を貫ぬいて
1対の金属導体70および72が配置してあり、それら
の一端は内部電極54および56のターミナル部分60
に夫々電気接続してある。導体70および72の他端は
基板52の下面に設けた1対の端子74および76に夫
々接続してある。
As shown in FIG. 5, a pair of metal conductors 70 and 72 are disposed through the substrate 52, one end of which is the terminal portion 60 of the internal electrodes 54 and 56.
They are electrically connected to each. The other ends of the conductors 70 and 72 are connected to a pair of terminals 74 and 76 provided on the lower surface of the substrate 52, respectively.

【0032】使用時には、図5に示したように、コロナ
放電器50はリード線78および80により高周波電源
82に接続され、内部電極54と56との間に高周波電
圧が印加される。外部電極64は内部電極54および5
6と部分的に重なっており、外部電極と内部電極との間
には誘電体層66が介在しているので、一方において外
部電極64と内部電極54との間に電気容量が誘起され
ると共に、他方において外部電極64と内部電極56と
の間に電気容量が誘起され、外部電極64は内部電極5
4と56とを電気容量的に結合する浮動電極として作用
する。従って、浮動電極64と夫々の内部電極54およ
び56との間に交番電界が形成され、浮動電極と内部電
極との間のエアギャップには図5および図6に円弧状の
矢印で示したようにコロナ放電が誘起される。
In use, as shown in FIG. 5, the corona discharger 50 is connected to the high frequency power supply 82 by the lead wires 78 and 80, and the high frequency voltage is applied between the internal electrodes 54 and 56. The outer electrode 64 is the inner electrodes 54 and 5
6 partially overlaps with each other, and the dielectric layer 66 is interposed between the external electrode and the internal electrode. Therefore, at the same time, an electric capacitance is induced between the external electrode 64 and the internal electrode 54. On the other hand, electric capacitance is induced between the external electrode 64 and the internal electrode 56, and the external electrode 64 is
It acts as a floating electrode that capacitively couples 4 and 56. Therefore, an alternating electric field is formed between the floating electrode 64 and the respective inner electrodes 54 and 56, and the air gap between the floating electrode and the inner electrodes is formed as shown by the arc-shaped arrows in FIGS. 5 and 6. Corona discharge is induced in.

【0033】コロナ放電は、浮動電極64が内部電極5
4および56と重なる輪郭に沿って発生する。浮動電極
は内部電極54および56と夫々別々に重なっており、
図示した実施例では浮動電極64の両端は図7からよく
分かるように丸くなっているので、コロナ放電は別々の
2つのU字形の領域に沿って起こる。セラミック保護層
68があるので、コロナ放電は図7に斜線で示したよう
に保護層68の表面に沿ってやゝ広がった沿面放電とな
る。コロナ放電器50が発生するオゾンの量は沿面放電
の表面積にほぼ比例し、故に、浮動電極64が内部電極
54および56と重なる輪郭の長さ(沿面放電長)に比
例する。従って、浮動電極64の長さを適切に設定する
ことにより、コロナ放電器50のオゾン発生量を極めて
高精度に管理することができる。従って、本発明のコロ
ナ放電器50は、微小な量のオゾンを高精度で発生させ
るに適している。
In the corona discharge, the floating electrode 64 is the inner electrode 5
It occurs along a contour that overlaps 4 and 56. The floating electrodes overlap the inner electrodes 54 and 56 separately,
In the illustrated embodiment, the ends of the floating electrode 64 are rounded, as best seen in FIG. 7, so that corona discharge occurs along two separate U-shaped regions. Due to the presence of the ceramic protective layer 68, the corona discharge becomes a creeping discharge that spreads slightly along the surface of the protective layer 68 as shown by the diagonal lines in FIG. The amount of ozone generated by the corona discharger 50 is approximately proportional to the surface area of the creeping discharge, and thus proportional to the length of the contour where the floating electrode 64 overlaps the internal electrodes 54 and 56 (creeping discharge length). Therefore, by appropriately setting the length of the floating electrode 64, the ozone generation amount of the corona discharger 50 can be managed with extremely high accuracy. Therefore, the corona discharger 50 of the present invention is suitable for generating a minute amount of ozone with high accuracy.

【0034】次に、図8および図9の流れ図を参照しな
がら本発明のコロナ放電器50の製造方法を説明する。
Next, a method of manufacturing the corona discharger 50 of the present invention will be described with reference to the flow charts of FIGS. 8 and 9.

【0035】先ず、アルミナのようなセラミック形成誘
電体材料のスラリーを作り、このスラリーを用いてドク
ター・ブレード法などによりグリーンシートを製作す
る。次に、グリーンシートを穿孔して、導電体70およ
び72(図5)を配置するための1対のスルーホール8
4を形成し、粉末状タングステンなどを含有する導電性
ペースト86をスクリーン印刷などの印刷技法によりス
ルーホールに充填する。ペーストを乾燥させた後、同様
の導電性ペーストを用いて、内部電極54および56用
の電極パターン88と端子74および76用の端子パタ
ーン90を、スルーホールに充填したペースト86に接
触するように、グリーンシートの表裏に夫々印刷する。
グリーンシートの裏面には、後述する電気ヒーター用の
端子パターン92を同時に印刷しておくのが好ましい。
ペーストを乾燥させたならば、グリーンシートをホット
プレスでプレスし、表面を平滑化する。
First, a slurry of a ceramic-forming dielectric material such as alumina is prepared, and the slurry is used to prepare a green sheet by a doctor blade method or the like. Next, a pair of through holes 8 for piercing the green sheet and disposing conductors 70 and 72 (FIG. 5).
4, the conductive paste 86 containing powdered tungsten or the like is filled in the through holes by a printing technique such as screen printing. After the paste is dried, the same conductive paste is used so that the electrode patterns 88 for the internal electrodes 54 and 56 and the terminal patterns 90 for the terminals 74 and 76 are brought into contact with the paste 86 filled in the through holes. , Print on the front and back of the green sheet respectively.
It is preferable to simultaneously print a terminal pattern 92 for an electric heater, which will be described later, on the back surface of the green sheet.
Once the paste has dried, the green sheet is pressed with a hot press to smooth the surface.

【0036】次に、グリーンシートと同様の組成を有す
るセラミック形成誘電体材料のペーストを用いて、誘電
体層66をスクリーン印刷する。乾燥後、外部浮動電極
64用の電極パターン94を導電性ペーストにより誘電
体層66の上に印刷し、再び乾燥させる。次に、耐食性
で電気絶縁性の材料のペーストをスクリーン印刷するこ
とにより保護層68を形成する。アルミナ・セラミック
は耐食性を有すると共に電気絶縁性を有するので、保護
層68を形成するためには、誘電体層66を形成するペ
ーストと同じペーストを用いることができる。乾燥後、
還元性雰囲気で焼成し、コロナ放電器の中間製品96を
得る。リード線のハンダ付けを容易にするため、好まし
くは端子74、76、92をニッケルでメッキする。
Next, the dielectric layer 66 is screen-printed using a paste of a ceramic-forming dielectric material having the same composition as the green sheet. After drying, an electrode pattern 94 for the external floating electrode 64 is printed on the dielectric layer 66 with a conductive paste and dried again. Next, the protective layer 68 is formed by screen-printing a paste of a corrosion resistant and electrically insulating material. Since the alumina ceramic has corrosion resistance and electrical insulation, the same paste as the dielectric layer 66 can be used to form the protective layer 68. After drying
The intermediate product 96 of the corona discharger is obtained by firing in a reducing atmosphere. The terminals 74, 76, 92 are preferably plated with nickel to facilitate soldering of the leads.

【0037】次に、このように製作したコロナ放電器の
中間製品96の内部電極54と56との間に高周波電圧
を短時間の間だけ印加して暫定的にコロナ放電を発生さ
せることにより中間製品のならし運転を行い、保護層6
8を改質する。ならし運転時の印加電圧は、できるだけ
高いことが望ましいが、誘電体層66の絶縁破壊を生じ
させる程高くしてはならない。しかし、印加電圧は中間
製品の初期放電開始電圧よりも高くしなければならな
い。好ましくは、内部電極54と56との間の誘電体層
66の絶縁破壊電圧より僅かに低い電圧でならし運転を
行う。ならし運転は、最終製品の初期放電開始電圧が実
質的に低下し、かつ、最終製品の初期放電開始電圧のバ
ラツキが無くなるまで行う。ならし運転は少なくとも5
秒間、好ましくは10−300秒間行うのが好ましい。
Next, a high-frequency voltage is applied for a short time between the internal electrodes 54 and 56 of the intermediate product 96 of the corona discharger manufactured in this way to generate a corona discharge provisionally, thereby generating an intermediate discharge. Protective layer 6 after running the product in
Modify 8. The applied voltage during the run-in is preferably as high as possible, but should not be so high as to cause dielectric breakdown of the dielectric layer 66. However, the applied voltage must be higher than the initial firing voltage of the intermediate product. Preferably, the break-in operation is performed at a voltage slightly lower than the breakdown voltage of the dielectric layer 66 between the inner electrodes 54 and 56. The break-in operation is performed until the initial discharge start voltage of the final product is substantially lowered and the variation of the initial discharge start voltage of the final product is eliminated. At least 5 run-in
It is preferable to carry out for 2 seconds, preferably 10-300 seconds.

【0038】中間製品のならし運転を行ったならば、チ
ップ抵抗97などからなる電気ヒーターを基板52に実
装し、ヒーター端子92に接続する。電気ヒーター97
を設けるのは、コロナ放電器の非作動時に水分が基板に
凝結するのを防止し、多湿の環境においてもコロナ放電
器のオゾン発生量が一定に維持されるようにするためで
ある。最後にリード線を夫々の端子に接続した後、電気
接続部をポッティング樹脂で封止し、コロナ放電器の最
終製品50を得る。
After the break-in operation of the intermediate product is performed, an electric heater including a chip resistor 97 is mounted on the substrate 52 and connected to the heater terminal 92. Electric heater 97
The purpose is to prevent moisture from condensing on the substrate when the corona discharger is not operating, and to keep the ozone generation amount of the corona discharger constant even in a humid environment. Finally, after connecting the lead wires to the respective terminals, the electrical connection portion is sealed with potting resin to obtain the final product 50 of the corona discharger.

【0039】次に本発明の方法の好適な実施例を説明す
るに、約99.5%のAl23を含有する高純度アルミナ粉
末859重量部と、約98.6%のカオリナイトを含有するカ
オリン122重量部と、12重量部のMgCO3と、7重量部
のCaCO3と、700重量部の水とを混合し、この混合物
を平均粒径が約3μmになるまでアルミナ・ボールミル
で粉砕した後、水分が0.3%以下になるまで乾燥した。
この材料225重量部に、18重量部のポリビニルブチラー
ルと、15重量部のジブチルフタレートと、1重量部の解
膠剤と、62重量部のトルエンと、26重量部のイロプロピ
ルアルコールを添加し、アルミナ・ボールミルで約20
時間混合し、真空によりガス抜きをした後、約20時間
ねかせて、セラミック形成材料のスラリーを得た。この
スラリーをドクターブレード法で圧延して、厚さ約0.83
mmのグリーン長尺体を製作し、これをプレスで打ち抜
いてグリーンシートを得た。プレスでは、同時にスルー
ホールを穿孔した。このように形成したグリーンシート
の1部は別途保存し、後述するアルミナペーストの調整
に使用した。
A preferred embodiment of the method of the present invention will now be described. 859 parts by weight of high purity alumina powder containing about 99.5% Al 2 O 3 and kaolin 122 containing about 98.6% kaolinite. 1 part by weight, 12 parts by weight of MgCO 3 , 7 parts by weight of CaCO 3 and 700 parts by weight of water were mixed, and this mixture was pulverized with an alumina ball mill until the average particle size became about 3 μm. It was dried until the water content was 0.3% or less.
To 225 parts by weight of this material, 18 parts by weight of polyvinyl butyral, 15 parts by weight of dibutyl phthalate, 1 part by weight of a peptizer, 62 parts by weight of toluene, and 26 parts by weight of isopropyl alcohol are added, About 20 with alumina ball mill
After mixing for a period of time and degassing by vacuum, the mixture was aged for about 20 hours to obtain a slurry of a ceramic forming material. This slurry was rolled by the doctor blade method to a thickness of about 0.83.
A long green sheet having a size of mm was produced and punched with a press to obtain a green sheet. The press simultaneously drilled through holes. A part of the green sheet thus formed was separately stored and used for preparing an alumina paste described later.

【0040】次に、グリーンシートのスルーホールにス
クリーン印刷によりタングステンペーストを充填し、乾
燥後、グリーンシートの片面に同様にタングステンペー
ストで端子パターンを印刷し、乾燥させた。さらに、グ
リーンシートの他の面に内部電極の印刷パターンを形成
し、乾燥させた。得られたものを60℃で約20秒ホッ
トプレスした。次に、誘電体層を形成するため、スクリ
ーン印刷により内部電極をアルミナペーストで被覆し
た。誘電体層とその下層の基板の粒径を等しくするた
め、誘電体層の印刷に使用したアルミナペーストは、前
述したグリーンシートの1部を加熱して揮発成分を蒸発
させ、これにペースト形成用のベヒクルを添加すること
により調整した。誘電体層形成用のアルミナペーストを
乾燥させた後、タングステンペーストを用いて外部浮動
電極用の電極パターンをスクリーン印刷し、得られたも
のを乾燥させた。次に、保護層を形成するため、外部浮
動電極用の印刷パターンをスクリーン印刷により同様の
アルミナペーストで被覆し、再び乾燥させた。このよう
にして得た素材を、300℃から1580℃の温度勾配を有す
る連続焼成炉で窒素存在下の還元性雰囲気で約30時間焼
成し、一連のコロナ放電器の中間製品を得た。
Next, the through holes of the green sheet were filled with a tungsten paste by screen printing and dried, and then a terminal pattern was similarly printed with the tungsten paste on one surface of the green sheet and dried. Further, a printed pattern of the internal electrodes was formed on the other surface of the green sheet and dried. The obtained product was hot pressed at 60 ° C. for about 20 seconds. Next, in order to form a dielectric layer, the internal electrodes were coated with alumina paste by screen printing. In order to make the particle diameters of the dielectric layer and the underlying substrate equal, the alumina paste used for printing the dielectric layer was heated to a portion of the green sheet to evaporate the volatile components, and to form a paste on this. It was adjusted by adding the vehicle. After drying the alumina paste for forming the dielectric layer, an electrode pattern for an external floating electrode was screen-printed using a tungsten paste, and the obtained product was dried. Next, in order to form a protective layer, the print pattern for the external floating electrodes was coated with the same alumina paste by screen printing and dried again. The material thus obtained was fired in a reducing atmosphere in the presence of nitrogen for about 30 hours in a continuous firing furnace having a temperature gradient of 300 ° C to 1580 ° C to obtain a series of intermediate products for corona discharger.

【0041】夫々の中間製品においては、誘電体層66
の平均厚さD(図5)は約50μmであり、保護層68
の平均厚さdは約10μmであった。誘電体層66と保
護層68を形成するアルミナセラミックの組成は、Al
23約92.5%、SiO2約5.7%、CaO約1.0%、Mg
O約0.6%(以上、重量%。残部不純物)であった。
In each intermediate product, the dielectric layer 66
The average thickness D (FIG. 5) of the protective layer 68 is about 50 μm.
The average thickness d of was about 10 μm. The composition of the alumina ceramic forming the dielectric layer 66 and the protective layer 68 is Al
2 O 3 about 92.5%, SiO 2 about 5.7%, CaO about 1.0%, Mg
O was about 0.6% (above, weight%, balance impurities).

【0042】次に、このように製作した中間製品を、な
らし運転を行わないで、或いは後述する異なる種々の条
件で電圧を印加することによりならし運転を行いなが
ら、放電開始電圧の変動を計測した。
Next, the intermediate product manufactured in this manner is subjected to a change in the discharge starting voltage without performing a leveling operation or while performing a leveling operation by applying a voltage under various different conditions described later. Measured.

【0043】また、比較試験のため、保護層の無い一連
のコロナ放電器を試作し、試験した。これらの比較試験
用の試作品は、外部浮動電極64が保護層68で被覆さ
れていない点を除き、前記中間製品と同様の方法で製作
した。
For comparison, a series of corona dischargers without a protective layer were prototyped and tested. The prototypes for these comparative tests were manufactured in the same manner as the above intermediate product, except that the external floating electrode 64 was not covered with the protective layer 68.

【0044】中間製品および比較試験用試作品への電圧
印加と放電開始電圧の計測は、図10に示した装置を用
いて行った。商用交流電源100を交流安定化電源10
2により安定化させた後、出力電圧値を可変調節可能な
高周波高圧電源104に供給した。この高周波高圧電源
104の出力周波数は固定(15kHz)である。高周
波高圧電源104の出力はリード線を介して試験中の個
々のコロナ放電器の内部電極54と56との間に印加し
た。高周波高圧電源104の出力電圧を計測するため、
リード線間に高電圧プローブ(岩崎通信機、HV-P30)を
接続し、その出力をオシロスコープ108の第1チャン
ネルに送って、ピーク・ツー・ピーク電圧を読み取っ
た。コロナ放電器を流れる電流は一方のリード線に配置
したカレントプローブ110で検出し、その出力を増幅
器112で増幅した後、オシロスコープ108の第2チ
ャンネルに送り、電流値を読み取った。
The voltage application to the intermediate product and the prototype for comparative test and the measurement of the discharge start voltage were carried out by using the apparatus shown in FIG. Commercial AC power supply 100 is AC stabilized power supply 10
After being stabilized by 2, the output voltage value was supplied to the high frequency high voltage power source 104 capable of variably adjusting. The output frequency of the high frequency high voltage power supply 104 is fixed (15 kHz). The output of the high frequency high voltage power supply 104 was applied between the inner electrodes 54 and 56 of the individual corona discharger under test via leads. To measure the output voltage of the high frequency high voltage power supply 104,
A high voltage probe (Iwasaki Tsushinki Co., Ltd., HV-P30) was connected between the lead wires, and the output was sent to the first channel of the oscilloscope 108 to read the peak-to-peak voltage. The current flowing through the corona discharger was detected by the current probe 110 arranged on one of the lead wires, its output was amplified by the amplifier 112, and then sent to the second channel of the oscilloscope 108 to read the current value.

【0045】中間製品のならし運転は、或るシリーズの
中間製品を所定の電圧で所定時間作動させ、他のシリー
ズの中間製品は同じ電圧で異なる時間作動させ、さらに
他のシリーズの中間製品は異なる電圧で異なる時間作動
させる、というやり方で行った。さらに他のシリーズの
中間製品は、ならし運転を行うことなく試験した。
In the intermediate product run-in operation, one series of intermediate products is operated at a predetermined voltage for a predetermined time, another series of intermediate products is operated at the same voltage for a different time, and yet another series of intermediate products is operated. This was done by operating at different voltages for different times. Still other series of intermediate products were tested without run-in.

【0046】個々のコロナ放電器の放電開始電圧の変動
は次のようにして計測した。即ち、高周波高圧電源10
4に電源を投入した後、その電圧調整ダイヤルを手で操
作し、ダイヤル操作から約10秒以内にコロナ放電が生
起するまで電圧を上昇させた。コロナ放電の発生は、コ
ロナ放電器を流れる電流をカレントプローブ110によ
って検出して第2チャンネルを介してオシロスコープ1
08の画面に表示させ、オシロスコープの電流波形に基
づいて判断すると共に、目でコロナ放電を確認した。コ
ロナ放電の発生が確認されると、オシロスコープを第1
チャンネルに切換え、高電圧プローブ106によって検
出された電圧値を読み取り、これを放電開始電圧とし
た。前述したように、未使用のコロナ放電器を初めて作
動させる時に計測される放電開始電圧を初期放電開始電
圧と定義する。次に、夫々のコロナ放電器を約5.4kV
PP(ピーク・ツー・ピーク電圧)の運転電圧で最大約20
00秒間作動させた。作動は時々中断させ、前述のやり方
と同様にして各時点での放電開始電圧を計測した。
The fluctuation of the discharge starting voltage of each corona discharger was measured as follows. That is, the high frequency high voltage power supply 10
After turning on the power supply to No. 4, the voltage adjusting dial was manually operated, and the voltage was increased until corona discharge occurred within about 10 seconds after the dial operation. The corona discharge is generated by detecting the current flowing through the corona discharger by the current probe 110, and detecting the current through the second channel.
It was displayed on the screen of No. 08 and judged based on the current waveform of the oscilloscope, and the corona discharge was visually confirmed. When the occurrence of corona discharge is confirmed, the
The channel was switched to, the voltage value detected by the high-voltage probe 106 was read, and this was used as the discharge start voltage. As described above, the discharge start voltage measured when the unused corona discharger is first operated is defined as the initial discharge start voltage. Next, use about 5.4 kV for each corona discharger.
Maximum of about 20 at operating voltage of PP (peak-to-peak voltage)
Operated for 00 seconds. The operation was occasionally interrupted, and the discharge starting voltage at each time point was measured in the same manner as described above.

【0047】放電開始電圧の変動を示す図11から図1
7のグラフに基づいて、保護層の効果とならし運転の効
果を説明する。これらのグラフにおいて、縦軸は放電開
始電圧(kVPP)を示し、横軸は前記運転電圧(約5.4
kVPP)での積算運転時間を表す。また、白丸、三角
形、黒丸でプロットした結果は、夫々、5個から10個
の一連のコロナ放電器について計測された放電開始電圧
の最大値、最小値、平均値を表す。
FIG. 11 to FIG. 1 showing changes in the discharge start voltage
Based on the graph of 7, the effect of the protective layer and the effect of the leveling operation will be described. In these graphs, the vertical axis represents the discharge start voltage (kV PP ) and the horizontal axis represents the operating voltage (about 5.4 V).
Represents the cumulative operating time in kV PP ). The results plotted with white circles, triangles, and black circles represent the maximum value, minimum value, and average value of the discharge start voltage measured for a series of 5 to 10 corona dischargers, respectively.

【0048】先ず、図11のグラフを参照するに、この
グラフには、ならし運転をする前の一連のコロナ放電器
の中間製品において、放電開始電圧が積算運転時間に応
じてどのように変動したかが示してある。このグラフか
ら分かるように、保護層が改質されていない中間製品に
おいては、初期放電開始電圧(即ち、積算運転時間がゼ
ロの時の放電開始電圧)は、製品毎に、約4.4kVPP
ら約5.1kVPPまでの範囲で大幅なバラツキを示してい
る。初期放電開始電圧がこのように製品毎に大幅にバラ
ツクのは、多分、保護層68がセラミック形成材料を焼
成することにより形成されるので、その表面粗さが製品
毎に変動することに起因するものと考えられる。また、
図11のグラフからよく分かるように、所定の運転電圧
(約5.4kVPP)で作動させるにつれて、放電開始電圧
のバラツキが急激に減少すると共に、放電開始電圧の平
均値が次第に低下する。これは、コロナ放電のエネルギ
によってセラミック保護層の表面に存在する顕微鏡的な
凹凸が改質されることに因るものと考えられる。
First, referring to the graph of FIG. 11, this graph shows how the discharge start voltage changes in accordance with the cumulative operating time in the series of intermediate products of the corona discharger before the run-in operation. It shows how you did it. As can be seen from this graph, in the intermediate product in which the protective layer is not modified, the initial discharge start voltage (that is, the discharge start voltage when the integrated operation time is zero) is about 4.4 kV PP for each product. It shows a large variation in the range up to about 5.1 kV PP . Such a large variation in the initial discharge inception voltage for each product is probably because the protective layer 68 is formed by firing the ceramic forming material, so that the surface roughness thereof varies for each product. It is considered to be a thing. Also,
As can be seen from the graph of FIG. 11, the variation in the discharge starting voltage sharply decreases and the average value of the discharge starting voltage gradually decreases as the operation is performed at a predetermined operating voltage (about 5.4 kV PP ). It is considered that this is because the microscopic unevenness existing on the surface of the ceramic protective layer is modified by the energy of the corona discharge.

【0049】図12のグラフには、外部浮動電極が保護
層で被覆されていない比較試験用のコロナ放電器におけ
る放電開始電圧の変動が示してある。保護層が無いの
で、図11のグラフに示した結果に較べ、初期放電開始
電圧がかなり低く、かつ、製品毎のバラツキも小さい。
しかし、積算運転時間が増すにつれて放電開始電圧が次
第に上昇している。これは、明らかに、酸化とスパッタ
リングによって浮動電極の電気抵抗が増大することに因
るものである。
The graph of FIG. 12 shows the variation of the firing voltage in the corona discharger for the comparative test in which the external floating electrode is not covered with the protective layer. Since there is no protective layer, the initial discharge firing voltage is considerably lower and the product-to-product variations are smaller than the results shown in the graph of FIG.
However, the discharge start voltage gradually increases as the integrated operation time increases. This is apparently due to the increased electrical resistance of the floating electrode due to oxidation and sputtering.

【0050】図13から図17のグラフは、本発明に基
づいてならし運転を行なったコロナ放電器の試験結果を
示すもので、ならし運転は異なる条件で行なった。
The graphs of FIG. 13 to FIG. 17 show the test results of the corona discharger which was run-in according to the present invention, and the run-in was performed under different conditions.

【0051】図13のグラフは、印加電圧約7kVPP
約3秒間ならし運転を行なったシリーズの結果を示す。
図11のグラフと比較すれば判るように、放電開始電圧
に評価し得る程の変化は見られない。約3秒間のならし
運転は保護層の特性を改善するには不充分であったと考
えられる。
The graph of FIG. 13 shows the results of a series in which the applied voltage was about 7 kV PP and the run-in operation was performed for about 3 seconds.
As can be seen from comparison with the graph of FIG. 11, there is no appreciable change in discharge starting voltage. It is considered that the run-in for about 3 seconds was insufficient to improve the properties of the protective layer.

【0052】図14のグラフは、約7kVPPの印加電圧
で約30秒間ならし運転を行なった他のシリーズの結果
を示す。図11および図13のグラフと比べれば判るよ
うに、初期放電開始電圧のバラツキは著しく減少してい
る。さらに、初期放電開始電圧自体も大幅に低下してい
る。約5.4kVPPの運転電圧で作動させるにつれて、最
初は放電開始電圧は若干のドリフトを示したが、やがて
次第に低下した。
The graph of FIG. 14 shows the results of another series in which a break-in operation was performed for about 30 seconds with an applied voltage of about 7 kV PP . As can be seen from comparison with the graphs of FIGS. 11 and 13, the variation in the initial discharge firing voltage is significantly reduced. Furthermore, the initial discharge starting voltage itself has dropped significantly. At the time of operating at an operating voltage of about 5.4 kV PP, the discharge start voltage showed a slight drift at first, but then gradually decreased.

【0053】図15のグラフは、印加電圧約7kVPP
約300秒間ならし運転を行なった更に他のシリーズの
結果を示す。初期放電開始電圧の平均値は図14の値よ
りも小さいが、これに対応してドリフトが高くなってい
る。
The graph of FIG. 15 shows the results of a further series in which the applied voltage was about 7 kV PP and a break-in operation was performed for about 300 seconds. Although the average value of the initial discharge start voltage is smaller than the value in FIG. 14, the drift is correspondingly high.

【0054】図16および図17のグラフは、夫々、約
8kVPPの印加電圧で約30秒間および約120秒間な
らし運転を行なったシリーズの結果を示す。これらのグ
ラフは、斯る条件におけるならし運転も、初期放電開始
電圧を低下させ、かつ、初期放電開始電圧のバラツキを
低減する上で効果的であることを示している。
The graphs of FIGS. 16 and 17 show the results of a series of run-in runs for about 30 seconds and about 120 seconds with an applied voltage of about 8 kV PP , respectively. These graphs show that the break-in operation under such conditions is also effective in lowering the initial discharge starting voltage and reducing variations in the initial discharge starting voltage.

【0055】次に、印加電圧約7kVPPで約30秒間な
らし運転を行なって得たコロナ放電器について6000
時間相当の加速寿命試験を行なった。この試験では、コ
ロナ放電器を10l/分の流量で流れる乾燥空気流中で
作動させながら、オゾン発生量を測定した。その結果を
図18のグラフに示す。このグラフから分かるように、
保護層の改質に充分なならし運転を行なったコロナ放電
器は、6000時間相当の作動時間を通じて、約2pp
m(流量が100l/分の場合の0.2ppmに相当)
という微小のオゾン発生量を維持することができた。6
000時間運転後も、オゾン発生量の減少は約30%に
留まっている。
Next, a corona discharger obtained by performing a break-in operation for about 30 seconds with an applied voltage of about 7 kV PP was 6000.
An accelerated life test corresponding to time was performed. In this test, the amount of ozone generated was measured while operating the corona discharger in a stream of dry air flowing at a flow rate of 10 l / min. The results are shown in the graph of FIG. As you can see from this graph,
The corona discharger, which had been run-in sufficiently for reforming the protective layer, showed about 2 pp over the operating time of 6000 hours.
m (equivalent to 0.2 ppm when the flow rate is 100 l / min)
It was possible to maintain a minute amount of ozone generation. 6
Even after 000 hours of operation, the reduction in ozone generation amount was only about 30%.

【0056】[0056]

【発明の効果】このように、本発明の方法によれば、製
品毎の初期放電開始電圧のバラツキが大幅に低減するの
で、流量100l/分の空気流中例えば0.2ppmという
非常に微小量のオゾンを高精度で発生させることの可能
なコロナ放電器を大量生産することができる。
As described above, according to the method of the present invention, the variation in the initial discharge starting voltage for each product is significantly reduced, and therefore, a very small amount of, for example, 0.2 ppm in the air flow of 100 l / min. It is possible to mass-produce a corona discharger capable of highly accurately generating ozone.

【0057】また、本発明の方法によって製造されたコ
ロナ放電器は、外部浮動電極64が保護層68によって
酸化およびスパッタリングから保護されているので、所
望の微量のオゾンを長期間にわたって安定して発生させ
ることができる。
Further, in the corona discharger manufactured by the method of the present invention, since the external floating electrode 64 is protected from oxidation and sputtering by the protective layer 68, a desired trace amount of ozone is stably generated for a long period of time. Can be made.

【0058】他の観点においては、保護層の改質により
初期放電開始電圧が低下し、コロナ放電器をより低い常
規運転電圧で作動させることが可能となるので、本発明
の方法によって製造されたコロナ放電器は小型で安価な
高周波電源装置によって駆動することが可能である。
In another aspect, the modification of the protective layer lowers the initial discharge onset voltage and allows the corona discharger to operate at a lower normal operating voltage, thus being produced by the method of the present invention. The corona discharger can be driven by a small and inexpensive high frequency power supply.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】図1は、従来の対向電極型コロナ放電器の模式
的断面図である。
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of a conventional counter electrode type corona discharger.

【図2】図2は、従来の並置電極型コロナ放電器の模式
的断面図である。
FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of a conventional side-by-side electrode type corona discharger.

【図3】図3は、従来の浮動電極型コロナ放電器の模式
的断面図である。
FIG. 3 is a schematic sectional view of a conventional floating electrode type corona discharger.

【図4】図4は、本発明のコロナ放電器の拡大平面図で
ある。
FIG. 4 is an enlarged plan view of the corona discharger of the present invention.

【図5】図5は、図4のV−V線に沿った模式的断面図
である。
5 is a schematic cross-sectional view taken along the line VV of FIG.

【図6】図6は、図4のVI−VI線に沿った模式的断面図
である。
6 is a schematic cross-sectional view taken along the line VI-VI of FIG.

【図7】図7は、図4のコロナ放電器の一部拡大平面図
である。
FIG. 7 is a partially enlarged plan view of the corona discharger of FIG.

【図8】図8は、本発明のコロナ放電器の製造方法の流
れ図である。
FIG. 8 is a flow chart of a method for manufacturing a corona discharger of the present invention.

【図9】図9は、図8の流れ図の続きを示す。FIG. 9 shows a continuation of the flowchart of FIG.

【図10】図10は、コロナ放電器のの試験と放電開始
電圧の測定に用いた装置のブロック図である。
FIG. 10 is a block diagram of an apparatus used for testing a corona discharger and measuring a discharge start voltage.

【図11】図11は、ならし運転をしなかったコロナ放
電器の放電開始電圧の変動を示すグラフである。
FIG. 11 is a graph showing changes in the discharge start voltage of the corona discharger that was not subjected to the break-in operation.

【図12】図12は、保護層の無いコロナ放電器の放電
開始電圧の変動を示すグラフである。
FIG. 12 is a graph showing a change in discharge starting voltage of a corona discharger without a protective layer.

【図13】図13は、約7kVPPの印加電圧で約3秒間
ならし運転を行なったシリーズの放電開始電圧の変動を
示すグラフである。
FIG. 13 is a graph showing fluctuations in the discharge start voltage of a series that was run-in for about 3 seconds with an applied voltage of about 7 kV PP .

【図14】図14は、約7kVPPの印加電圧で約30秒
間ならし運転を行なったシリーズの放電開始電圧の変動
を示すグラフである。
FIG. 14 is a graph showing fluctuations in the discharge start voltage of a series that was run-in for about 30 seconds with an applied voltage of about 7 kV PP .

【図15】図15は、約7kVPPの印加電圧で約300
秒間ならし運転を行なったシリーズの放電開始電圧の変
動を示すグラフである。
FIG. 15 shows about 300 kV at an applied voltage of about 7 kV PP .
It is a graph which shows the variation of the discharge start voltage of the series which performed a run-in for a second.

【図16】図16は、約8kVPPの印加電圧で約30秒
間ならし運転を行なったシリーズの放電開始電圧の変動
を示すグラフである。
FIG. 16 is a graph showing fluctuations in the discharge start voltage of a series that was run-in for about 30 seconds with an applied voltage of about 8 kV PP .

【図17】図17は、約8kVPPの印加電圧で約120
秒間ならし運転を行なったシリーズの放電開始電圧の変
動を示すグラフである。
Figure 17 is approximately at an applied voltage of about 8kV PP 120
It is a graph which shows the variation of the discharge start voltage of the series which performed a run-in for a second.

【図18】図18は、加速寿命試験の結果を示すグラフ
である。
FIG. 18 is a graph showing the results of an accelerated life test.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

50: コロナ放電器 52: 基板 54、56: 内部電極 64: 外部電極(浮動電極) 68: セラミック保護層 70/72/74/76: 端子手段 96: コロナ放電器の中間製品 50: Corona Discharger 52: Substrate 54, 56: Internal Electrode 64: External Electrode (Floating Electrode) 68: Ceramic Protective Layer 70/72/74/76: Terminal Means 96: Intermediate Product of Corona Discharger

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 誘電体基板に埋設された互いに離間され
た第1および第2の平面電極と、前記電極間に高周波電
圧を印加するための端子手段と、前記第1電極と第2電
極とを電気容量的に結合するべく前記基板に配置された
第3電極と、前記第3電極を被覆する耐食性で電気絶縁
性の保護層とを備えたコロナ放電器の中間製品を製作
し、 前記中間製品の初期放電開始電圧より高い電圧の高周波
電圧を前記中間製品の第1電極と第2電極との間に所定
時間印加することによりコロナ放電器の最終製品を得る
ことを特徴とするコロナ放電器の製造方法。
1. A first and a second flat electrode embedded in a dielectric substrate and separated from each other, a terminal means for applying a high frequency voltage between the electrodes, the first electrode and the second electrode. An intermediate product of a corona discharger provided with a third electrode disposed on the substrate to capacitively couple the electrodes and a corrosion-resistant and electrically insulating protective layer that covers the third electrode, The final product of the corona discharger is obtained by applying a high frequency voltage higher than the initial discharge start voltage of the product between the first electrode and the second electrode of the intermediate product for a predetermined time. Manufacturing method.
【請求項2】 前記中間製品の第1電極と第2電極との
間に印加する電圧は前記第1電極と第2電極との間の絶
縁破壊電圧よりも僅かに低いことを特徴とする請求項1
に基づくコロナ放電器の製造方法。
2. The voltage applied between the first electrode and the second electrode of the intermediate product is slightly lower than the dielectric breakdown voltage between the first electrode and the second electrode. Item 1
Of manufacturing corona discharger based on.
【請求項3】 前記中間製品への電圧の印加は少なくと
も約5秒間行うことを特徴とする請求項1又は2に基づ
くコロナ放電器の製造方法。
3. The method of manufacturing a corona discharger according to claim 1, wherein the voltage application to the intermediate product is performed for at least about 5 seconds.
【請求項4】 最終製品を約6kVPPの運転電圧で作動
させるため、前記第1電極および第2電極と第3電極と
の間の誘電体の有効厚さは約25−70μmとし、前記
保護層の有効厚さは約7−20μmとしたことを特徴と
する請求項1から3のいづれかに基づくコロナ放電器の
製造方法。
4. The effective thickness of the dielectric between the first electrode and the second electrode and the third electrode is about 25-70 μm for operating the final product at an operating voltage of about 6 kV PP , and the protection is provided. 4. The method of manufacturing a corona discharger according to claim 1, wherein the effective thickness of the layer is about 7-20 [mu] m.
【請求項5】 誘電体基板に埋設された互いに離間され
た第1および第2の平面電極と、前記電極間に高周波電
圧を印加するための端子手段と、前記第1電極と第2電
極とを電気容量的に結合するべく前記基板に配置された
第3電極と、前記第3電極を被覆する耐食性で電気絶縁
性の保護層とを備えたコロナ放電器の中間製品を製作
し、 前記中間製品の初期放電開始電圧より高い電圧の高周波
電圧を前記中間製品の第1電極と第2電極との間に所定
時間印加することにより前記保護層を改質し、前記中間
製品の初期放電開始電圧より低い初期放電開始電圧をも
ったコロナ放電器の最終製品を得ることを特徴とするコ
ロナ放電器の製造方法。
5. A first and a second flat electrode embedded in a dielectric substrate and separated from each other, a terminal means for applying a high frequency voltage between the electrodes, the first electrode and the second electrode. An intermediate product of a corona discharger provided with a third electrode disposed on the substrate to capacitively couple the electrodes and a corrosion-resistant and electrically insulating protective layer that covers the third electrode, An initial discharge start voltage of the intermediate product is modified by applying a high frequency voltage higher than the initial discharge start voltage of the product between the first electrode and the second electrode of the intermediate product for a predetermined time to modify the protective layer. A method of manufacturing a corona discharger, which comprises obtaining a final product of a corona discharger having a lower initial discharge firing voltage.
JP5247576A 1992-09-30 1993-09-08 Method of manufacturing corona discharger Expired - Fee Related JP2606785B2 (en)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US07/953356 1992-09-30
US7/953356 1992-09-30
US07/953,356 US5407639A (en) 1991-10-14 1992-09-30 Method of manufacturing a corona discharge device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH06211504A true JPH06211504A (en) 1994-08-02
JP2606785B2 JP2606785B2 (en) 1997-05-07

Family

ID=25493864

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5247576A Expired - Fee Related JP2606785B2 (en) 1992-09-30 1993-09-08 Method of manufacturing corona discharger
JP5247577A Pending JPH076856A (en) 1992-09-30 1993-09-08 Ozone generating corona discharger

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5247577A Pending JPH076856A (en) 1992-09-30 1993-09-08 Ozone generating corona discharger

Country Status (1)

Country Link
JP (2) JP2606785B2 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001210448A (en) * 2000-01-24 2001-08-03 Masuda Kenkyusho:Kk Corona discharger and gas processor using the same and ozonizer
JP2009029647A (en) * 2007-07-25 2009-02-12 Murata Mfg Co Ltd Ozone generation element and method for producing the same

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5311271B2 (en) * 2008-03-10 2013-10-09 ウシオ電機株式会社 Excimer lamp and method of manufacturing the excimer lamp

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2750470B2 (en) * 1990-08-24 1998-05-13 日本特殊陶業株式会社 Manufacturing method of alumina multilayer wiring board
JPH04232764A (en) * 1990-12-28 1992-08-21 Koufu Nippon Denki Kk Preheating device of thermal printer
JP3124586B2 (en) * 1991-09-30 2001-01-15 株式会社リコー Facsimile storage and switching device and facsimile storage and switching method

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001210448A (en) * 2000-01-24 2001-08-03 Masuda Kenkyusho:Kk Corona discharger and gas processor using the same and ozonizer
JP2009029647A (en) * 2007-07-25 2009-02-12 Murata Mfg Co Ltd Ozone generation element and method for producing the same

Also Published As

Publication number Publication date
JP2606785B2 (en) 1997-05-07
JPH076856A (en) 1995-01-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5407639A (en) Method of manufacturing a corona discharge device
Falkenstein et al. Microdischarge behaviour in the silent discharge of nitrogen-oxygen and water-air mixtures
KR100901986B1 (en) Ion generator and method for controlling amount of ozone generated in the same
US5777207A (en) Gas sensor and method for fabricating the same
JP2606785B2 (en) Method of manufacturing corona discharger
JPH0324634B2 (en)
WO2005073702A1 (en) Decomposed gas sensor for gas-insulated apparatus, insulating gas decomposition detector, and decomposed gas detecting method
JP4036600B2 (en) Plasma decomposition apparatus and gas plasma decomposition method
Okamoto et al. Partial discharge characteristics in phase domain for various cylindrical voids
JP3857570B2 (en) Coating film deterioration acceleration method and coating film deterioration acceleration device
Slepian et al. Spark gaps with short time lag
JPH03164404A (en) Ozone generating device
Chalmers et al. Formative time lags in nitrogen and dry air
US5484515A (en) Device for generating an electric signal linearly dependent upon the oxygen content of a gaseous mixture
DE19932546A1 (en) Gas burner
RU2173906C2 (en) Ac surface-discharge color gas panel
SU1169043A1 (en) Electrode system of gaseous-discharge display panel
DE19734650B4 (en) Device for emission of electromagnetic radiation by gas discharge, method for its production and use of the device
KR100455738B1 (en) Electric power-saving discharge-electrode
JP3884675B2 (en) Evaluation method of humidity controller
JP2000149799A (en) Discharge electrode
JP2002228615A (en) Leak detection sensor for hydrogen gas
Ionescu et al. Polarization effects in SnO2 thick‐film sintered sensors
SU1627926A1 (en) Method of checking porosity distribution over dielectric films having conductive base
GB2167928A (en) Electric discharge apparatus

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees