JPH06205158A - Solid-state image pickup device - Google Patents

Solid-state image pickup device

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JPH06205158A
JPH06205158A JP5015082A JP1508293A JPH06205158A JP H06205158 A JPH06205158 A JP H06205158A JP 5015082 A JP5015082 A JP 5015082A JP 1508293 A JP1508293 A JP 1508293A JP H06205158 A JPH06205158 A JP H06205158A
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Japan
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photoelectric conversion
solid
optical signal
region
electric signal
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Itsuo Ozu
逸男 大図
Akira Ishizaki
明 石崎
Shigetoshi Sugawa
成利 須川
Mamoru Miyawaki
守 宮脇
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Abstract

PURPOSE:To prevent crosstalk between signals of both elements by making a 1st element separate means between 1st photoelectric conversion elements and a 2nd element separate means between 2nd photoelectric conversion elements different from each other in configuration, thereby excellently detecting an optical signal over a wide wavelength region from a visible ray region to an invisible ray region. CONSTITUTION:The thickness of an epitaxial layer 103 is selected to obtain an excellent sensitivity from a visible region to an infrared ray region. Infrared ray elements are so structured that a high concentration imbeded layer 106 of opposite conduction type to that of the substrate is formed not to discharge all carriers generated at a position deeper from the surface to the substrate but to be collected by a photodiode. A high concentration implantation layer 105 of the same conduction type as that of the substrate is formed between visible elements and the infrared ray elements. Carriers generated at a deeper position from the surface and going to be leaked to the visible elements are absorbed in the high concentration implantation layer at the time of passing the carriers there through and discharged to the substrate side. Thus, leakage to the adjacent elements is prevented.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、ファクシミリ、イメー
ジスキャナー、複写機等の画像情報処理装置に用いられ
る固体撮像装置に関し、特に、可視光だけではなく非可
視光領域の光信号を電気信号に変換する固体撮像装置に
関連する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a solid-state image pickup device used in an image information processing device such as a facsimile machine, an image scanner, a copying machine, etc., and more particularly to an optical signal in an invisible light region as well as a visible light. It relates to a solid-state imaging device for conversion.

【0002】[0002]

【背景技術の説明】従来の固体撮像装置としては電荷結
合素子(CCD)型、MOS型或は発明者大見忠弘及び
田中信義に付与された米国特許第4,791,469号
の明細書に記載されている光トランジスタのエミッタに
容量負荷を接続した増幅型の装置が知られている。
2. Description of the Background Art A conventional solid-state imaging device is a charge-coupled device (CCD) type, a MOS type, or the specification of U.S. Pat. No. 4,791,469 assigned to the inventors Tadahiro Omi and Nobuyoshi Tanaka. Amplification type devices are known in which a capacitive load is connected to the emitter of the described phototransistor.

【0003】最近ではその用途も多様化しており、新し
い機能をもつ固体撮像装置が要求されている。
Recently, its applications have been diversified, and solid-state image pickup devices having new functions are required.

【0004】例えば、複写機の高画質化、カラー化に加
えて、目に見えない画像を認識し、それを再生し記録す
ることが要求されてきている。
For example, in addition to high image quality and colorization of a copying machine, it is required to recognize an invisible image and reproduce and record it.

【0005】そのような画像即ち非可視光画像としては
例えば、赤外線を吸収する特性をもつインクで形成され
た画像等がある。
Examples of such an image, that is, an invisible light image, include an image formed of ink having a characteristic of absorbing infrared rays.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする技術課題】一般に、非可視光
を検出するセンサは個別デバイスであり画像等の検出を
可視光検出用のセンサと併せて用いるには何らかの新し
い設計思想が必要となる。
Generally, a sensor for detecting invisible light is an individual device, and some new design concept is required to use detection of an image or the like together with a sensor for detecting visible light.

【0007】本発明者らは基本的な設計思想としてま
ず、可視光検出用のセンサと非可視光検出用のセンサと
をモノリシックに一つの半導体チップに収めるという技
術を見い出した。
As a basic design concept, the present inventors first found out a technique of monolithically incorporating a sensor for detecting visible light and a sensor for detecting invisible light in one semiconductor chip.

【0008】しかしながら、上記技術には更なる改善の
余地が残されている。
However, there is room for further improvement in the above technique.

【0009】[0009]

【発明の目的】本発明の目的は可視光領域から非可視光
領域に亘る広い波長領域での光信号検知が良好に行え、
両信号のクロストークが防止できる小型の固体撮像装置
を提供することにある。
It is an object of the present invention to favorably detect an optical signal in a wide wavelength range from the visible light region to the invisible light region,
It is an object of the present invention to provide a small solid-state imaging device capable of preventing crosstalk between both signals.

【0010】上記目的は、光信号を電気信号に光電変換
する固体撮像装置において、可視光領域の光信号を複数
の色分解信号を含む第一の電気信号に変換する複数の第
1の光電変換要素と、非可視光領域の光信号を第二の電
気信号に変換する第2の光電変換要素と、が同一基板上
に設けられており、前記複数の第1の光電変換要素間の
第1の素子分離手段と、前記第1の光電変換素子と前記
第2の光電変換素子との間の第2の素子分離手段と、が
異なる構成であることを特徴とする固体撮像装置により
達成される。
In the solid-state image pickup device for photoelectrically converting an optical signal into an electric signal, a plurality of first photoelectric conversions for converting an optical signal in the visible light region into a first electric signal including a plurality of color separation signals are provided. The element and a second photoelectric conversion element for converting an optical signal in the invisible light region into a second electric signal are provided on the same substrate, and the first photoelectric conversion element between the plurality of first photoelectric conversion elements is provided. And a second element separating means between the first photoelectric conversion element and the second photoelectric conversion element have different configurations. .

【0011】[0011]

【作用】波長の違いによるキャリアの発生位置に応じた
素子分離を行うことが出来るので、解像度を殆ど低下さ
せることなく効果的な素子分離を行うことが出来る。
Since the elements can be separated according to the carrier generation position due to the difference in wavelength, effective element separation can be performed with almost no deterioration in resolution.

【0012】[0012]

【好適な実施態様の説明】本発明は可視光領域の光信号
を複数の色分解信号に変換する第1の光電変換要素間の
分離構造と、非可視光領域の光信号を電気信号に変換す
る第2の光電変換要素と前記第1の光電変換要素との間
の分離構造と、を異ならしめるものである。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention relates to a separation structure between first photoelectric conversion elements for converting an optical signal in the visible light region into a plurality of color separation signals, and an optical signal in the invisible light region to an electric signal. And a separation structure between the second photoelectric conversion element and the first photoelectric conversion element.

【0013】こうすることにより可視光信号と非可視光
信号とが効率良く得られるとともに両信号間のクロスト
ークが低減され得る。こうして可視光領域から非可視光
領域に亘る広範囲な光信号を良好に検出することがで
き、高性能な固体撮像装置が得られる。
By doing so, the visible light signal and the invisible light signal can be efficiently obtained, and the crosstalk between both signals can be reduced. In this way, a wide range of optical signals from the visible light region to the invisible light region can be satisfactorily detected, and a high-performance solid-state imaging device can be obtained.

【0014】本発明に用いられる素子分離構造について
説明する前に、前提となる第1の光電変換要素と第2の
光電変換要素との配置について一例を挙げて説明する。
Before describing the element isolation structure used in the present invention, the arrangement of the first photoelectric conversion element and the second photoelectric conversion element, which are prerequisites, will be described with an example.

【0015】図1の固体撮像装置1の主面側には可視光
領域の光信号を電気信号に変換する第1の光電変換要素
(R、G、B)と非可視光領域の光信号を電気信号に変
換する第2の光電変換要素(IR)がほぼ一直線状に並
んでいる。
On the main surface side of the solid-state image pickup device 1 of FIG. 1, a first photoelectric conversion element (R, G, B) for converting an optical signal in the visible light region into an electric signal and an optical signal in the invisible light region are provided. The second photoelectric conversion elements (IR) for converting into electric signals are arranged in a substantially straight line.

【0016】本発明においては、第1の光電変換要素間
の分離構造22、23と、第1及び第2の光電変換要素
間の分離構造21とを異ならしめるものであり、それら
要素の配置は図1に示すものに限定されるものではな
い。
In the present invention, the separation structures 22 and 23 between the first photoelectric conversion elements and the separation structure 21 between the first and second photoelectric conversion elements are different, and the arrangement of these elements is different. It is not limited to the one shown in FIG.

【0017】本発明に用いられる分離手段の構造として
は、1)分離すべき半導体層と同一導電型で且つ不純物
濃度の高い半導体領域、2)分離すべき半導体層と反対
導電型の半導体領域、3)誘電体による分離、4)トレ
ンチ溝による分離等の構造が用いられる。
The structure of the separating means used in the present invention is 1) a semiconductor region having the same conductivity type as the semiconductor layer to be separated and having a high impurity concentration, 2) a semiconductor region having the opposite conductivity type to the semiconductor layer to be separated, Structures such as 3) separation by a dielectric and 4) separation by a trench groove are used.

【0018】より好ましくは可視光用の要素間は上記1
を用いて、可視光と非可視光要素間は上記2又は3、或
は4を用いることが望ましい。
More preferably, the distance between the elements for visible light is 1 above.
It is desirable to use the above 2 or 3 or 4 between the visible light and the invisible light element.

【0019】そして、本発明の光電変換要素としてはホ
トダイオードやホトトランジスタのような光起電力素子
又は光導電素子が好適に用いられる。
As the photoelectric conversion element of the present invention, a photovoltaic element such as a photodiode or a phototransistor or a photoconductive element is preferably used.

【0020】そして、可視光領域の光信号を電気信号に
変換する光電変換要素としては、可視光領域の光信号の
みを選択的に吸収することのできる材料からなる要素又
は、可視光領域を透過し非可視光領域のうち他の光電変
換要素での光電変換に用いられる波長領域の光を遮断す
るフィルタを具えた要素が用いられる。
As the photoelectric conversion element for converting an optical signal in the visible light region into an electric signal, an element made of a material capable of selectively absorbing only the optical signal in the visible light region or transmitting the visible light region. However, an element having a filter that blocks light in a wavelength region used for photoelectric conversion in another photoelectric conversion element in the invisible light region is used.

【0021】具体的には白黒信号を得る為には、可視光
領域としての400nmから700nmに亘る波長領域
に選択的な感度をもつように、要素の構成材料を選択す
るか、上記波長領域の光を選択的に透過するフィルター
を要素に具備させる。又、可視光領域のなかでも特定の
領域の光信号を得る為にはその特定の領域に選択的に感
度をもつ材料で要素を構成するか、該特定の領域の光を
選択的に透過するフィルターを要素に具備させる。
Specifically, in order to obtain a black-and-white signal, the constituent materials of the elements are selected so as to have a selective sensitivity in the wavelength region from 400 nm to 700 nm as the visible light region, or the above-mentioned wavelength region is selected. The element is provided with a filter that selectively transmits light. Further, in order to obtain an optical signal in a specific region in the visible light region, an element is made of a material having a selective sensitivity in the specific region, or light in the specific region is selectively transmitted. The element is equipped with a filter.

【0022】そして、例えば赤色(R)、緑色(G)、
青色(B)のようなカラー信号を得る為には、R領域
(例えば580nmから700nmの波長領域)に選択
的な感度をもつ要素(R要素)、G領域(例えば480
nmから580nmの波長領域)に選択的な感度をもつ
要素(G要素)及びB領域(例えば400nmから48
0nmの波長領域)に選択的な感度をもつ要素(B要
素)の複数の種類の要素を用いる。
Then, for example, red (R), green (G),
In order to obtain a color signal such as blue (B), an element (R element) having a selective sensitivity in the R region (for example, a wavelength region of 580 nm to 700 nm) and a G region (for example, 480 nm).
nm element (G element) and B area (for example, 400 nm to 48 nm) with selective sensitivity in the wavelength range of 580 nm to 580 nm.
A plurality of types of elements (element B) having selective sensitivity in the wavelength region of 0 nm) are used.

【0023】勿論この場合も、材料自体が上記R、G、
B各領域の光を選択的に吸収するもの、即ち選択感度を
もつもので各要素を構成してもよいし、R、G、Bの全
ての領域に感度をもつ要素に各R、G、B領域の光をそ
れぞれ選択的に透過するフィルターを具備させて各要素
を構成する。
Of course, in this case as well, the material itself is R, G,
Each element may be configured by one that selectively absorbs light in each region of B, that is, one that has selective sensitivity, or each element having sensitivity in all regions of R, G, and B may have R, G, Each element is configured by including a filter that selectively transmits light in the B region.

【0024】図2はフィルターの代表的な透過光の分光
特性を示すグラフであり、縦軸の相対感度が可視光の透
過率に対応する。材料の選択により各要素に選択的な感
度をもたせる場合には例えば、図2に示すような相対感
度にあたる光吸収特性をもつ材料を用いて各要素を形成
する。
FIG. 2 is a graph showing typical spectral characteristics of transmitted light of a filter, and the relative sensitivity on the vertical axis corresponds to the transmittance of visible light. When each element is given a selective sensitivity by selecting the material, for example, each element is formed by using a material having a light absorption characteristic corresponding to the relative sensitivity as shown in FIG.

【0025】又、本発明における、可視光領域、非可視
光領域更にはR、G、Bの各波長領域は、波長の値によ
って明確に区別されるものではなく、本発明に用いられ
る光電変換要素は必要な各信号を得る為に紫外、青色、
緑色、赤色、赤外各光を必要な量だけ光電変換し、不要
な光を実質的に光電変換しないように構成されていれば
よい。
Further, in the present invention, the visible light region, the invisible light region, and the R, G, B wavelength regions are not clearly distinguished by the value of the wavelength, and photoelectric conversion used in the present invention is performed. The elements are UV, blue, to get each required signal
It suffices that the green light, the red light, and the infrared light are photoelectrically converted by a necessary amount, and unnecessary light is not substantially photoelectrically converted.

【0026】一方非可視光領域の光信号を電気信号に変
換する光電変換要素としては、例えば紫外線又は赤外線
に対して選択的な感度をもつ要素が用いられる。この場
合も、材料自体が非可視光領域の光に対して選択的な感
度をもつもので要素を構成するか、該非可視光領域を含
む広い波長領域に感度を有する材料に非可視光領域の光
に対して選択的な透過率をもつフィルターを組み合わせ
て構成することが望ましい。
On the other hand, as a photoelectric conversion element for converting an optical signal in the invisible light region into an electric signal, for example, an element having a selective sensitivity to ultraviolet rays or infrared rays is used. In this case as well, the material itself constitutes an element with selective sensitivity to light in the invisible light region, or a material having sensitivity in a wide wavelength region including the invisible light region is added to the invisible light region. It is desirable to combine filters having a selective transmittance with respect to light.

【0027】例えば、図3は上記フィルターの代表的な
透過光の分光特性を示すグラフであり、縦軸の相対感度
が非可視光の透過率に対応している。ここでは、赤外領
域(例えば750nm以上の波長領域)に選択的な感度
を有するフィルターの例を挙げているがこれに限定され
ることはない。
For example, FIG. 3 is a graph showing typical spectral characteristics of transmitted light of the above filter, in which the relative sensitivity on the vertical axis corresponds to the transmittance of invisible light. Here, an example of a filter having selective sensitivity in the infrared region (for example, a wavelength region of 750 nm or more) is given, but the present invention is not limited to this.

【0028】本発明の固体撮像装置は、図1に示したよ
うにR、G、B、IRの各要素をライン状に周期的に配
列してカラーラインセンサを構成することができる。好
ましくは、カラー信号としての解像度における1画素が
それぞれR領域に選択的な感度を有する要素(R要
素)、G領域に選択的な感度を有する要素(G要素)、
B領域に選択的な感度を有する要素(B要素)、非可視
光領域に選択的な感度を有する要素(IR要素)を含む
ように構成する。検出すべき光信号を発生するものとし
ては、3次元映像又は2次元像があり、2次元像の代表
的な例は原稿などの平面画像である。従って原稿の画像
を読み取るようなシステムに用いる場合には原稿面を照
明する為の照明手段を設けることが望ましい。このよう
な照明手段としては、発光ダイオードやキセノンラン
プ、ハロゲンランプ等の光源がある。図4に光源の代表
的な発光分布特性を示す。光源としては検出すべき光信
号に応じて必要な波長領域の光を発生するものであれば
よく、図4の特性をもつものに限定されることはない。
少なくとも図4に示すような特性の光を発生する光源を
用いれば、R、G、B及び非可視光領域としての赤外光
を得ることができる。
The solid-state image pickup device of the present invention can construct a color line sensor by periodically arranging R, G, B, and IR elements in a line as shown in FIG. Preferably, an element in which each pixel in the resolution as a color signal has a selective sensitivity in the R region (R element), an element having a selective sensitivity in the G region (G element),
It is configured to include an element (B element) having a selective sensitivity in the B region and an element (IR element) having a selective sensitivity in the non-visible light region. A three-dimensional image or a two-dimensional image is used to generate an optical signal to be detected, and a typical example of the two-dimensional image is a plane image of a document or the like. Therefore, when used in a system for reading an image of a document, it is desirable to provide an illumination means for illuminating the document surface. Examples of such illumination means include light sources such as light emitting diodes, xenon lamps, and halogen lamps. FIG. 4 shows typical light emission distribution characteristics of the light source. The light source is not limited to the one having the characteristics shown in FIG. 4 as long as it can generate the light in the required wavelength region according to the optical signal to be detected.
If at least a light source that emits light having the characteristics shown in FIG. 4 is used, infrared light in the R, G, B and invisible light regions can be obtained.

【0029】図5は、図1とは異なる光電変換要素の配
置を示す模式的上面図であり、可視光領域の光信号を複
数の色分解信号を含む第一の電気信号に変換する光電変
換要素2と、非可視光領域の光信号を第二の電気信号に
変換する光電変換要素3と、はそれぞれAA′方向に複
数アレイ状に並列に配置されている。
FIG. 5 is a schematic top view showing the arrangement of photoelectric conversion elements different from that in FIG. 1, and photoelectric conversion for converting an optical signal in the visible light region into a first electric signal containing a plurality of color separation signals. The element 2 and the photoelectric conversion element 3 for converting an optical signal in the invisible light region into a second electric signal are arranged in parallel in a plurality of arrays in the AA ′ direction.

【0030】つまり、第1のアレイは可視光領域の複数
の色分解信号を発生する為のものであり、第2のアレイ
は非可視光領域の信号を発生する為のものである。従っ
て、図5の例においては第2のアレイは非可視光領域の
信号を発生する光電変換要素のみで構成されているが、
第1のアレイを構成する1つの要素(R又はG又はB)
を第2のアレイとして配置してもよい。ここでも素子分
離構造21と素子分離構造22、23とは異なる。
That is, the first array is for generating a plurality of color separation signals in the visible light region, and the second array is for generating signals in the invisible light region. Therefore, in the example of FIG. 5, the second array is composed only of photoelectric conversion elements that generate signals in the invisible light region.
One element that makes up the first array (R or G or B)
May be arranged as a second array. Here again, the element isolation structure 21 and the element isolation structures 22 and 23 are different.

【0031】[0031]

【実施例】(実施例1)図6は、本発明による実施例1
の固体撮像装置を示したものである。図6において、エ
ピタキシャル層103の厚みは可視から赤外領域にわた
って良好な感度が得られる様、例えば、10μm程度の
厚みとなっている。各可視用要素の構造は同じものであ
る。赤外用要素の構造は、表面から深い所で発生するキ
ャリアが全部基板側へ排出されず、フォトダイオードに
集められる様に、表面方向への電界を形成するための基
板の逆タイプの高濃度埋め込み層106が形成されてい
る。図6において、可視用要素と赤外用要素の間には、
基板と同一導電型の高濃度埋め込み層105が形成され
ている。表面から深い所で発生し、可視用要素へもれ込
もうとしたキャリアは、高濃度埋め込み層を通過する際
にそこに吸収され、基板側へ排出される。よって隣接要
素へのもれ込みを防止することができる。
(Embodiment 1) FIG. 6 shows an embodiment 1 according to the present invention.
2 shows the solid-state image pickup device of FIG. In FIG. 6, the thickness of the epitaxial layer 103 is, for example, about 10 μm so that good sensitivity can be obtained from the visible region to the infrared region. The structure of each visible element is the same. The structure of the infrared element is a reverse-type high-concentration embedding of the substrate for forming an electric field in the surface direction so that all carriers generated deep from the surface are not discharged to the substrate side but are collected by the photodiode. The layer 106 is formed. In FIG. 6, between the visible element and the infrared element,
A high-concentration buried layer 105 having the same conductivity type as the substrate is formed. The carriers generated at a depth from the surface and trying to leak into the visible element are absorbed by the high-concentration buried layer when passing through the high-concentration buried layer, and discharged to the substrate side. Therefore, it is possible to prevent leakage into the adjacent element.

【0032】(実施例2)図7は、本発明による実施例
2の固体撮像装置を示したものである。図7において、
エピタキシャル層103の厚みは可視から赤外領域にわ
たり良好な感度が得られる様、例えば10μm程度の厚
みとなっている。本実施例では基板の導電型とエピタキ
シャル層の導電型と同じになっている。可視用要素の構
造について説明する。エピタキシャル層と基板との導電
型が同じ場合には、エピタキシャル層側から基板方向へ
の電界が形成されないため、表面から深い所で発生した
キャリアの隣接要素へのもれ込みを防止するために、基
板と逆導電型の高濃度埋め込み層107及び前記埋め込
み層へ電位を与えるための表面からの拡散層108が形
成されている。この構造により、可視用要素の特性とし
ては、前記実施例1と同等のものが得られる。一方、赤
外用の要素の構造は、表面から深い所で発生したキャリ
アが基板側からエピタキシャル層方向への電界によって
表面方向へ集められる様になっているため良好な赤外感
度が実現される。
(Second Embodiment) FIG. 7 shows a solid-state image pickup device according to a second embodiment of the present invention. In FIG.
The thickness of the epitaxial layer 103 is, for example, about 10 μm so that good sensitivity can be obtained from the visible region to the infrared region. In this embodiment, the conductivity type of the substrate is the same as that of the epitaxial layer. The structure of the visible element will be described. When the epitaxial layer and the substrate have the same conductivity type, an electric field from the epitaxial layer side to the substrate direction is not formed, so in order to prevent leakage of carriers generated deep from the surface to adjacent elements, A high-concentration buried layer 107 having a conductivity type opposite to that of the substrate and a diffusion layer 108 from the surface for applying a potential to the buried layer are formed. With this structure, the characteristics of the visible element are the same as those of the first embodiment. On the other hand, in the structure of the element for infrared rays, carriers generated at a deep position from the surface are collected in the surface direction by the electric field from the substrate side to the epitaxial layer direction, so that good infrared sensitivity is realized.

【0033】また、前記拡散層108は、可視用要素と
赤外用要素との間に形成されており、両者間のキャリア
のもれ込みを防止することができる。
Further, the diffusion layer 108 is formed between the visible light element and the infrared light element, and can prevent the leakage of carriers between them.

【0034】(実施例3)図8は、本発明による実施例
3の固体撮像装置を示している。本実施例は、可視用要
素の構造が実施例2と異なっている。基板と逆導電型の
高濃度埋め込み層が形成されていない代わりに、基板と
同一導電型の高濃度層109が、表面からのインク注入
により形成されている。本構造では可視用要素の深い所
で発生したキャリアは高濃度層109の電位バリヤによ
り表面のフォトダイオード方向へ移動が阻止される。ま
た、可視用要素と赤外用要素との分離に関しては、基板
と逆導電型の高濃度埋め込み層105と拡散層108の
形成により実施例2と同等の効果が得られる。
(Third Embodiment) FIG. 8 shows a solid-state image pickup device according to a third embodiment of the present invention. In this embodiment, the structure of the visible element is different from that of the second embodiment. Instead of forming the high-concentration buried layer having the opposite conductivity type to the substrate, the high-concentration layer 109 having the same conductivity type as the substrate is formed by injecting ink from the surface. In this structure, carriers generated in a deep portion of the visible element are prevented from moving toward the photodiode on the surface by the potential barrier of the high concentration layer 109. In addition, regarding the separation of the visible light element and the infrared light element, the same effect as that of the second embodiment can be obtained by forming the high-concentration buried layer 105 and the diffusion layer 108 of the conductivity type opposite to that of the substrate.

【0035】(実施例4)図9は、本発明による実施例
4の固体撮像装置を示したものである。本実施例では表
面からの深い高濃度拡散層を形成するために、表面から
溝をほった後に拡散層を形成する構造が示されている。
本構造を用いれば可視用要素と赤外用要素との分離間隔
も著しく小さくすることが可能となる。この様な構造の
拡散層は、他の全ての実施例にも適用することができ
る。
(Embodiment 4) FIG. 9 shows a solid-state image pickup device according to Embodiment 4 of the present invention. In this embodiment, in order to form a deep high-concentration diffusion layer from the surface, a structure is shown in which the diffusion layer is formed after grooving the surface.
By using this structure, the separation distance between the visible element and the infrared element can be significantly reduced. The diffusion layer having such a structure can be applied to all the other embodiments.

【0036】(実施例5)図10は、本発明による実施
例5の固体撮像装置を示したものである。第1の実施例
に比べて、可視用要素と赤外用要素との間に分離のため
の拡散層108が形成されている。
(Fifth Embodiment) FIG. 10 shows a solid-state image pickup device according to a fifth embodiment of the present invention. Compared to the first embodiment, a diffusion layer 108 for separation is formed between the visible element and the infrared element.

【0037】(実施例6)図11は本発明の実施例6に
よる固体撮像装置を示す模式的上面図であり、図11に
おけるZZ′線による断面を図12に示す。
(Sixth Embodiment) FIG. 11 is a schematic top view showing a solid-state image pickup device according to a sixth embodiment of the present invention. FIG. 12 shows a cross section taken along line ZZ 'in FIG.

【0038】図11では各フィルタR、G、B、IRが
示されているが、図12ではそれらを省略して示してい
る。
Although the filters R, G, B and IR are shown in FIG. 11, they are omitted in FIG.

【0039】本実施例では、可視用要素間の分離はn+
領域102で行い、可視用要素と赤外用要素との間はp
- 領域108とp+ 領域105とで行っている。
In this embodiment, the separation between visible elements is n +
This is performed in the area 102, and p is used between the visible element and the infrared element.
- it is carried out in the region 108 and the p + region 105.

【0040】(実施例7)図13は本実施例による固体
撮像装置の模式的断面図であり、本実施例は前記実施例
6とその断面構造のみが異なっている。
(Embodiment 7) FIG. 13 is a schematic sectional view of a solid-state image pickup device according to the present embodiment. This embodiment is different from the sixth embodiment only in its sectional structure.

【0041】ここでは素子分離領域にトレンチ溝を形成
した後に不純物拡散により分離領域を形成する為狭く且
つ深い分離領域が得られる。
Here, since the isolation region is formed by impurity diffusion after forming the trench groove in the element isolation region, a narrow and deep isolation region can be obtained.

【0042】(実施例8)図14は本実施例による固体
撮像装置の模式的上面図であり、実施例6におけるIR
要素の有効面積を大きくしたものである。
(Embodiment 8) FIG. 14 is a schematic top view of a solid-state image pickup device according to this embodiment.
The effective area of the element is increased.

【0043】従って、非可視光に対する感度を向上させ
たい場合に有効である。又、可視光用要素と非可視光用
の副走査方向の長さを等しくすることにより、副走査方
向の信号処理が容易になる。
Therefore, it is effective when it is desired to improve the sensitivity to invisible light. Further, by making the lengths of the visible light element and the invisible light in the sub-scanning direction equal, signal processing in the sub-scanning direction becomes easy.

【0044】(実施例9)図15は、R、G、Bから成
る可視光用要素列とIRの赤外用要素列とを2ラインに
分けて配置し、R、G、B要素とIR要素との間隔を1
ライン分隔てた構成である。本実施例では、可視、赤外
ともに高感度にするとともに、可視と赤外との分離も十
分に行うことができる。
(Embodiment 9) In FIG. 15, a visible light element array consisting of R, G and B and an IR infrared element array are arranged in two lines, and the R, G, B and IR elements are arranged. And the interval is 1
The line is separated. In this embodiment, both visible and infrared have high sensitivity, and visible and infrared can be sufficiently separated.

【0045】(実施例10)図16は本発明の実施例1
0による固体撮像装置を示す模式的上面図である。
(Embodiment 10) FIG. 16 shows Embodiment 1 of the present invention.
2 is a schematic top view showing a solid-state imaging device according to 0. FIG.

【0046】本例では、可視光用の要素間は図12の符
号102で示したような分離領域としたのに対して、可
視光用の要素と非可視光用の要素との間は距離fを充分
大きくとることによって実質的な素子分離を行ってい
る。
In this example, the visible light elements are separated from each other as shown by reference numeral 102 in FIG. 12, while the visible light elements and the invisible light elements are separated by a distance. Substantial element isolation is achieved by making f sufficiently large.

【0047】(走査回路)以上説明した実施例1乃至9
の固体撮像装置は、光電変換要素を含む画素アレイと共
に読出し回路としての走査回路が同一基板上に一体的に
集積された集積回路として構成することが望ましい。こ
のような走査回路としては、CCD型のシフトレジス
タ、CCD型の転送ゲート、トランジスタを用いたシフ
トレジスタ、トランジスタを用いた転送ゲートが単独或
いは適宜組み合わされて用いられる。又、必要に応じて
光電変換された電気信号を蓄積する蓄積容量が設けられ
てもよい。
(Scanning Circuit) Embodiments 1 to 9 described above
It is desirable that the solid-state image pickup device of (1) be configured as an integrated circuit in which a scanning circuit as a readout circuit is integrally integrated on the same substrate together with a pixel array including photoelectric conversion elements. As such a scanning circuit, a CCD type shift register, a CCD type transfer gate, a shift register using a transistor, and a transfer gate using a transistor are used alone or in appropriate combination. Further, a storage capacitor for storing the photoelectrically converted electric signal may be provided if necessary.

【0048】図17の構成では、図1で示した各フォト
ダイオードの信号をCCDレジスタへ転送した後、例え
ば、R、G、B、IRの順にシリアル形式で信号が順次
読み出される。
In the configuration of FIG. 17, after the signals of the photodiodes shown in FIG. 1 are transferred to the CCD register, the signals are sequentially read out in a serial format in the order of R, G, B, IR.

【0049】図13は、図5に示したものに好適に用い
られる構成であり、各フォトダイオードの信号のうち、
R、G、B信号は可視用CCDレジスタ、IR信号は反
対側の赤外用CCDレジスタへ各々転送した後、R、
G、Bのシリアル形式出力とIR出力が個別に並列読出
しされる。
FIG. 13 shows a configuration which is preferably used for the one shown in FIG. 5, and among the signals of the respective photodiodes,
After transferring the R, G, and B signals to the visible CCD register and the IR signal to the infrared CCD register on the opposite side,
The G and B serial format outputs and the IR output are individually read in parallel.

【0050】図19は、更に別の構成であり、各フォト
ダイオードアレイの信号は、各フォトダイオードに対応
する各蓄積容量へ同時に転送され一旦蓄積された後、選
択走査回路により順次読出される。この際、蓄積容量か
らの出力は、各フォトダイオードごとに独立に行えるた
め、R、G、B、IRの各信号はパラレル形式で読み出
すことができる。
FIG. 19 shows still another configuration. The signals of the respective photodiode arrays are simultaneously transferred to the respective storage capacitors corresponding to the respective photodiodes, temporarily stored therein, and then sequentially read by the selective scanning circuit. At this time, since the output from the storage capacitor can be independently performed for each photodiode, each signal of R, G, B, and IR can be read in a parallel format.

【0051】図20は、更に他の構成であり、可視用の
R、G、B信号と赤外用のIR信号が上下に分けられて
読み出される。
FIG. 20 shows still another configuration, in which visible R, G, B signals and infrared IR signals are read out separately in the upper and lower parts.

【0052】(画像情報処理装置)以下、本発明による
画像情報処理装置について説明する。
(Image Information Processing Apparatus) The image information processing apparatus according to the present invention will be described below.

【0053】図21はそのブロック図を示しており、前
述してきた各実施例の固体撮像装置(センサ)1からの
信号は画像処理部1003及び判別手段としての識別部
1001に入力される。そして、その情報は記録制御部
1004によって駆動される記録部1005によって再
生記録される。
FIG. 21 is a block diagram thereof, in which the signal from the solid-state image pickup device (sensor) 1 of each of the above-described embodiments is input to the image processing unit 1003 and the discrimination unit 1001 as the discrimination means. Then, the information is reproduced and recorded by the recording unit 1005 driven by the recording control unit 1004.

【0054】センサ1は原稿のほぼ同一点をそれぞれR
(レッド)、G(グリーン)、B(ブルー)、それに加
え約1000nm付近に感度を有する赤外成分に分解し
て400dpiの画素密度で読み取る。
The sensor 1 uses the R
(Red), G (green), B (blue), and in addition, it is decomposed into an infrared component having a sensitivity of about 1000 nm and read at a pixel density of 400 dpi.

【0055】該センサ出力は白色板及び赤外光基準板を
用いて、いわゆるシェーティング補正を施され、各8b
itの画像信号として識別部1001及び画像処理部1
003に入力される。画像処理部1003は一般のカラ
ー複写機で行われる変倍マスキング、OCR等の処理を
行い記録信号であるC、M、Y、Kの4色信号を生成す
る。
The sensor output is subjected to so-called shading correction using a white plate and an infrared light reference plate, and each 8b
As the image signal of it, the identification unit 1001 and the image processing unit 1
003 is input. The image processing unit 1003 performs processing such as variable-magnification masking and OCR performed in a general color copying machine, and generates four color signals of C, M, Y and K which are recording signals.

【0056】一方識別部1001では、本発明の特徴と
する原稿中の特定パターンの検出を行い、その結果を記
録制御部4に出力して必要に応じて、特定色によるぬり
つぶし等記録信号に加工を加えて記録部1005で記録
紙上に記録し、あるいは記録動作を中止するなどによ
り、忠実な画像再生を禁止する。
On the other hand, the identifying section 1001 detects a specific pattern in the original document, which is a feature of the present invention, and outputs the result to the recording control section 4 and, if necessary, processes it into a recording signal such as filling with a specific color. In addition, recording on the recording paper by the recording unit 1005 or by stopping the recording operation, faithful image reproduction is prohibited.

【0057】次に本発明で検出しようとする画像パター
ンについて図22、23を用いて概説する。
Next, the image pattern to be detected in the present invention will be outlined with reference to FIGS.

【0058】図22は、可視領域ではほぼ透過し、80
0nm付近の赤外光を吸収する透明色素の分光特性を示
しており、例えば三井東圧化学(株)のSIR−159
等が代表的である。
FIG. 22 shows that the light is almost transparent in the visible region.
It shows the spectral characteristics of a transparent dye that absorbs infrared light near 0 nm, for example, SIR-159 from Mitsui Toatsu Chemicals, Inc.
Etc. are typical.

【0059】図23は上記透明赤外吸収色素で構成され
る透明インクを用いて作られたパターン例である。すな
わち、ある特定のすなわち赤外光を反射するインクaで
記録された三角形のパターンの上に1辺が約120μm
の正方形の微小パターンbを上記透明インクを用いて印
刷してある。同パターンは図で示す様に可視域ではほと
んど同色であるためbのパターンは人の目では識別不能
であるが、赤外域において検出が可能となる。尚、以後
の説明の為に1例として約120μm口のパターンを図
示したが400dpiでこのbの領域を読めば図示する
ごとく約4画素の大きさとなる。尚、該パターンの形成
法はこの例に限定されるものではない。
FIG. 23 shows an example of a pattern made by using the transparent ink composed of the transparent infrared absorbing dye. That is, one side is approximately 120 μm on a triangular pattern recorded with a specific, ie, infrared-reflecting ink a.
The square minute pattern b is printed with the transparent ink. Since the pattern has almost the same color in the visible range as shown in the figure, the pattern of b cannot be recognized by human eyes, but can be detected in the infrared range. Incidentally, for the sake of the following description, a pattern of about 120 μm opening is shown as an example, but if this area b is read at 400 dpi, it becomes about 4 pixels in size as shown. The method of forming the pattern is not limited to this example.

【0060】図24を用いてさらに図21の識別部10
01の詳細について説明する。図24の10−1〜10
−4はFiFoで構成される画像データ遅延部であり、
それぞれ32bit(8bit×4成分)の画像データ
を1ライン分づつ遅延する。
The identifying unit 10 shown in FIG. 21 is further described with reference to FIG.
The details of 01 will be described. 24, 10-1 to 10
-4 is an image data delay unit composed of FiFo,
Image data of 32 bits (8 bits × 4 components) is delayed by one line.

【0061】入力画像信号はまずフリップフロップ11
−1、11−2で2画素分遅延保持してAの画素データ
を、メモリ10−1、10−2で2ラインさらに遅延し
たC画素データを、さらにFF11−3、11−4で2
画素分遅延させた注目画素データXを、FF11−5、
11−6で2画素分遅延させたBの画素データを、同様
にしてDの画素データをそれぞれ同時に判定部12に入
力する。ここで注目画素位置Xに対するその近傍A、
B、C、D4画素の位置関係は図25のごとくなる。
First, the input image signal is the flip-flop 11
-1, 11-2 holds the pixel data of A delayed by 2 pixels, the C pixel data further delayed by 2 lines in the memories 10-1, 10-2, and further 2 by the FFs 11-3, 11-4.
The target pixel data X delayed by the number of pixels is set to FF11-5,
Similarly, the pixel data of B delayed by two pixels in 11-6 and the pixel data of D are simultaneously input to the determination unit 12. Here, the neighborhood A of the pixel position of interest X,
The positional relationship among the B, C, and D4 pixels is as shown in FIG.

【0062】すなわち今注目画素Xが、図23のbの部
分のインクを読んでいたとするならば、上記A、B、
C、Dはいずれもその周囲に位置するaパターンの画像
を読んでいる事になる。
That is, if the pixel X of interest is reading the ink in the portion b in FIG. 23, the above A, B,
Both C and D are reading the image of a pattern located around it.

【0063】(判定アルゴリズム)今Aの画素信号を構
成するR成分をAR 、G成分をAG 、B成分をAB 、赤
外成分をAIRとし、同様にB、C、Dの各画素信号を構
成するR、G、B、IRの各成分を定義する。そして、
同色成分の平均値YR 、YG 、YB 、YIRを次式で求め
る。
(Judgment Algorithm) The R component which constitutes the pixel signal of A is A R , the G component is A G , the B component is A B , and the infrared component is A IR. Each component of R, G, B, and IR which constitutes a pixel signal is defined. And
The average values Y R , Y G , Y B and Y IR of the same color components are calculated by the following formula.

【0064】[0064]

【外1】 [Outer 1]

【0065】目的のパターンの判定は、それぞれ上式で
求めた平均値Yと注目画素Xの差に従う。すなわち、 ΔR=|YR −XR |、ΔG=|YG −XG |、ΔB=
|YB −XB |、ΔIR=YIR−XIR としたとき、 ΔR<K ΔG<K (K、Lは定数) ΔB<K ΔIR>L が成立すれば、パターン有りと判定する。
The determination of the target pattern follows the difference between the average value Y and the target pixel X obtained by the above equations. That is, ΔR = | Y R −X R |, ΔG = | Y G −X G |, ΔB =
When | Y B −X B | and ΔIR = Y IR −X IR , if ΔR <K ΔG <K (K and L are constants) ΔB <K ΔIR> L, then it is determined that there is a pattern.

【0066】すなわち、注目画素がその周辺画素と比べ
て可視域では色味に差が小であり、赤外特性において定
数L以上の差を有すると判断出来る。
That is, it can be determined that the pixel of interest has a small difference in tint in the visible region as compared with its peripheral pixels and that the infrared characteristic has a difference of a constant L or more.

【0067】図26は上記判定アルゴリズムを実施した
ハードウェア例である。加算器121はそれぞれ4画素
分の各色成分を単純加算し、その上位8bit分を出力
し、それぞれYR 、YG 、YB 、YIRを得る。減算器1
22はそれぞれ注目画素信号の各成分との差を求め、
R、G、Bの3成分はその絶対値を基準信号としての定
数Kと比較器123、124、125で比較する。一方
赤外成分は基準信号としての定数Lと比較器126によ
って比較する。上記、各比較器出力がアンドゲート12
7に入力され、その出力端子におて“1”の場合、パタ
ーンを判定した事になる。
FIG. 26 shows an example of hardware that implements the above determination algorithm. The adder 121 simply adds the respective color components of 4 pixels and outputs the upper 8 bits thereof to obtain Y R , Y G , Y B and Y IR , respectively. Subtractor 1
22 obtains the difference from each component of the pixel signal of interest,
The absolute values of the three components of R, G and B are compared with a constant K as a reference signal by comparators 123, 124 and 125. On the other hand, the infrared component is compared with a constant L as a reference signal by a comparator 126. The output of each comparator is AND gate 12
When the data is input to 7 and is "1" at the output terminal, it means that the pattern is determined.

【0068】[0068]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば可
視光から非可視光に亘る広い波長範囲の光信号検出がで
きる小型の装置を提供することができる。
As described above, according to the present invention, it is possible to provide a small apparatus capable of detecting an optical signal in a wide wavelength range from visible light to invisible light.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施態様による固体撮像装置の模式
的上面図。
FIG. 1 is a schematic top view of a solid-state imaging device according to an embodiment of the present invention.

【図2】本発明に用いられるカラーフィルターの分光特
性を示す線図。
FIG. 2 is a diagram showing a spectral characteristic of a color filter used in the present invention.

【図3】本発明に用いられる可視光カットフィルターの
分光特性を示す線図。
FIG. 3 is a diagram showing a spectral characteristic of a visible light cut filter used in the present invention.

【図4】本発明に用いられる光源の発光特性を示す線
図。
FIG. 4 is a diagram showing a light emission characteristic of a light source used in the present invention.

【図5】本発明の別の実施態様による固体撮像装置の模
式的上面図。
FIG. 5 is a schematic top view of a solid-state imaging device according to another embodiment of the present invention.

【図6】本発明の実施例1による固体撮像装置の模式的
断面図。
FIG. 6 is a schematic cross-sectional view of the solid-state imaging device according to the first embodiment of the present invention.

【図7】本発明の実施例2による固体撮像装置の模式的
断面図。
FIG. 7 is a schematic sectional view of a solid-state imaging device according to a second embodiment of the present invention.

【図8】本発明の実施例3による固体撮像装置の模式的
断面図。
FIG. 8 is a schematic sectional view of a solid-state imaging device according to a third embodiment of the present invention.

【図9】本発明の実施例4による固体撮像装置の模式的
断面図。
FIG. 9 is a schematic cross-sectional view of a solid-state imaging device according to Example 4 of the present invention.

【図10】本発明の実施例5による固体撮像装置の模式
的断面図。
FIG. 10 is a schematic cross-sectional view of a solid-state imaging device according to Example 5 of the present invention.

【図11】本発明の実施例6による固体撮像装置の模式
的上面図。
FIG. 11 is a schematic top view of a solid-state imaging device according to Example 6 of the present invention.

【図12】本発明の実施例6による固体撮像装置の模式
的断面図。
FIG. 12 is a schematic sectional view of a solid-state imaging device according to a sixth embodiment of the present invention.

【図13】本発明の実施例7による固体撮像装置の模式
的断面図。
FIG. 13 is a schematic cross-sectional view of a solid-state imaging device according to Example 7 of the present invention.

【図14】本発明の実施例8による固体撮像装置の模式
的上面図。
FIG. 14 is a schematic top view of a solid-state imaging device according to Example 8 of the present invention.

【図15】本発明の実施例9による固体撮像装置の模式
的上面図。
FIG. 15 is a schematic top view of a solid-state imaging device according to Example 9 of the present invention.

【図16】本発明の実施例10による固体撮像装置の模
式的上面図。
FIG. 16 is a schematic top view of a solid-state imaging device according to example 10 of the invention.

【図17】本発明に用いられる固体撮像装置の走査回路
を示すブロック図。
FIG. 17 is a block diagram showing a scanning circuit of the solid-state imaging device used in the present invention.

【図18】本発明に用いられる固体撮像装置の走査回路
の別の例を示すブロック図。
FIG. 18 is a block diagram showing another example of the scanning circuit of the solid-state imaging device used in the present invention.

【図19】本発明に用いられる固体撮像装置の走査回路
のまた別の例を示すブロック図。
FIG. 19 is a block diagram showing still another example of the scanning circuit of the solid-state imaging device used in the present invention.

【図20】本発明に用いられる固体撮像装置の走査回路
の更に別の例を示すブロック図。
FIG. 20 is a block diagram showing still another example of the scanning circuit of the solid-state imaging device used in the present invention.

【図21】本発明の画像情報処理装置の制御系のブロッ
ク図。
FIG. 21 is a block diagram of a control system of the image information processing apparatus of the invention.

【図22】本発明の画像情報処理装置により読み取るこ
とのできる原稿に用いられる赤外光吸収色素の分光特性
を示す線図。
FIG. 22 is a diagram showing a spectral characteristic of an infrared light absorbing dye used for a document that can be read by the image information processing apparatus of the present invention.

【図23】本発明の画像情報処理装置により読み取るこ
とのできる原稿を示す模式図。
FIG. 23 is a schematic diagram showing a document that can be read by the image information processing apparatus of the present invention.

【図24】本発明の画像情報処理装置における判別手段
の構成を示すブロック図。
FIG. 24 is a block diagram showing the configuration of a discrimination means in the image information processing apparatus of the present invention.

【図25】本発明の画像情報処理装置における判別動作
を説明するための模式図。
FIG. 25 is a schematic diagram for explaining a discrimination operation in the image information processing apparatus of the present invention.

【図26】図24に示した判別手段の詳細な構成を示す
ブロック図。
FIG. 26 is a block diagram showing a detailed configuration of the discriminating means shown in FIG. 24.

フロントページの続き (72)発明者 宮脇 守 東京都大田区下丸子3丁目30番2号キヤノ ン株式会社内Front Page Continuation (72) Inventor Mamoru Miyawaki 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Canon Inc.

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 光信号を電気信号に光電変換する固体撮
像装置において、 可視光領域の光信号を複数の色分解信号を含む第一の電
気信号に変換する複数の第1の光電変換要素と、非可視
光領域の光信号を第二の電気信号に変換する第2の光電
変換要素と、が同一基板上に設けられており、 前記複数の第1の光電変換要素間の第1の素子分離手段
と、前記第1の光電変換素子と前記第2の光電変換素子
との間の第2の素子分離手段と、が異なる構成であるこ
とを特徴とする固体撮像装置。
1. A solid-state imaging device for photoelectrically converting an optical signal into an electric signal, and a plurality of first photoelectric conversion elements for converting an optical signal in a visible light region into a first electric signal including a plurality of color separation signals. A second photoelectric conversion element for converting an optical signal in the invisible light region into a second electric signal are provided on the same substrate, and a first element between the plurality of first photoelectric conversion elements. A solid-state imaging device, wherein the separating means and the second element separating means between the first photoelectric conversion element and the second photoelectric conversion element have different configurations.
【請求項2】 前記複数の第1の光電変換素子は第1導
電型の共通の半導体層と第2導電層の個別の半導体領域
とを含み、前記第1の素子分離手段は前記個別の半導体
領域の間にある第1導電型で前記半導体層よりも不純物
濃度の高い半導体からなる素子分離領域であり、前記第
2の素子分離手段は前記第1および第2の光電変換要素
間にある第2導電型の半導体からなる素子分離領域であ
ることを特徴とする請求項1に記載の固体撮像装置。
2. The plurality of first photoelectric conversion elements include a common semiconductor layer of a first conductivity type and individual semiconductor regions of a second conductive layer, and the first element isolation means includes the individual semiconductors. An element isolation region made of a semiconductor of a first conductivity type and having an impurity concentration higher than that of the semiconductor layer, the second element isolation means being located between the first and second photoelectric conversion elements. The solid-state imaging device according to claim 1, wherein the solid-state imaging device is an element isolation region made of a two-conductivity type semiconductor.
【請求項3】 前記可視光領域の光信号を第一の電気信
号に変換する複数の光電変換要素は赤色、青色及び緑色
の3つの色分解信号を発生することを特徴とする請求項
1に記載の固体撮像装置。
3. A plurality of photoelectric conversion elements for converting an optical signal in the visible light region into a first electric signal generate three color separation signals of red, blue and green. The solid-state imaging device described.
【請求項4】 前記非可視光領域の光信号を第二の電気
信号に変換する光電変換要素は赤外線を吸収し赤外信号
を発生することを特徴とする請求項1に記載の固体撮像
装置。
4. The solid-state imaging device according to claim 1, wherein the photoelectric conversion element that converts the optical signal in the invisible light region into a second electric signal absorbs infrared light and generates an infrared signal. .
【請求項5】 前記可視光領域の光信号を第一の電気信
号に変換する複数の光電変換要素は赤色、青色及び緑色
の3つの色分解信号を発生するとともに、前記非可視光
領域の光信号を第二の電気信号に変換する光電変換要素
は赤外線を吸収し赤外信号を発生することを特徴とする
請求項1に記載の固体撮像装置。
5. A plurality of photoelectric conversion elements for converting an optical signal in the visible light region into a first electric signal generate three color separation signals of red, blue and green, and light in the invisible light region. The solid-state imaging device according to claim 1, wherein a photoelectric conversion element that converts a signal into a second electric signal absorbs infrared light and generates an infrared signal.
【請求項6】 前記光電変換要素は光ダイオードまたは
光トランジスタを含むことを特徴とする請求項1に記載
の固体撮像装置。
6. The solid-state imaging device according to claim 1, wherein the photoelectric conversion element includes a photo diode or a photo transistor.
【請求項7】 光信号を得るために原稿を照明する照明
手段と、 可視光領域の光信号を複数の色分解信号を含む第一の電
気信号に変換する複数の第1の光電変換要素と、非可視
光領域の光信号を第二の電気信号に変換する第2の光電
変換要素と、が同一基板上に設けられており、前記複数
の第1の光電変換要素間の第1の素子分離手段と、前記
第1の光電変換素子と前記第2の光電変換素子との間の
第2の素子分離手段と、が異なる構成である撮像手段
と、 を具備することを特徴とする画像情報処理装置。
7. Illuminating means for illuminating an original to obtain an optical signal, and a plurality of first photoelectric conversion elements for converting an optical signal in a visible light region into a first electric signal including a plurality of color separation signals. , A second photoelectric conversion element for converting an optical signal in the non-visible light region into a second electric signal, and the first element between the plurality of first photoelectric conversion elements. Image information comprising: a separating unit; and an image pickup unit having a second element separating unit between the first photoelectric conversion element and the second photoelectric conversion element, which have different configurations. Processing equipment.
【請求項8】 光信号を得るために原稿を照明する照明
手段と、 可視光領域の光信号を複数の色分解信号を含む第一の電
気信号に変換する複数の第1の光電変換要素と、非可視
光領域の光信号を第二の電気信号に変換する第2の光電
変換要素と、が同一基板上に設けられており、前記複数
の第1の光電変換要素間の第1の素子分離手段と、前記
第1の光電変換素子と前記第2の光電変換素子との間の
第2の素子分離手段と、が異なる構成である撮像手段
と、 前記第一の電気信号に基づき画像を形成する画像形成手
段と、 前記第二の電気信号を基準信号を基に判別する判別手段
と、 前記判別手段の出力に基づいて前記画像形成手段の動作
を制御する制御手段と、 を具備することを特徴とする画像情報処理装置。
8. Illumination means for illuminating an original to obtain an optical signal, and a plurality of first photoelectric conversion elements for converting an optical signal in a visible light region into a first electric signal including a plurality of color separation signals. , A second photoelectric conversion element for converting an optical signal in the non-visible light region into a second electric signal, and the first element between the plurality of first photoelectric conversion elements. An image pickup unit having a configuration in which a separation unit and a second element separation unit between the first photoelectric conversion element and the second photoelectric conversion element are different from each other, and an image based on the first electric signal is displayed. An image forming unit for forming the image, a discriminating unit for discriminating the second electric signal based on a reference signal, and a control unit for controlling the operation of the image forming unit based on the output of the discriminating unit. An image information processing device characterized by:
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