JPH06194606A - ミラーアライメント装置 - Google Patents
ミラーアライメント装置Info
- Publication number
- JPH06194606A JPH06194606A JP35690892A JP35690892A JPH06194606A JP H06194606 A JPH06194606 A JP H06194606A JP 35690892 A JP35690892 A JP 35690892A JP 35690892 A JP35690892 A JP 35690892A JP H06194606 A JPH06194606 A JP H06194606A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mirror
- alignment
- vacuum container
- center
- alignment device
- Prior art date
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- Pending
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- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】真空容器を大気解放することにより発生する悪
影響や発振器の大型化を招くことの無い、別置きのミラ
ーアライメント装置を提供する。 【構成】ミラーアライメント用の光源のＨｅ−Ｎｅレー
ザ８と、アライメントを行う共振器を備えた真空容器１
の間に、反射鏡１１と１２を回転可能に支持したミラー
アライメント装置を配置する。この装置の回転部１４を
Ｈｅ−Ｎｅレーザ８の光軸を回転中心として回転させる
ことで、真空容器１のノゾキ窓１０から見て中央付近に
合わせたＨｅ−Ｎｅレーザ光をミラー径に近い半径で円
弧状に移動させ、ミラー外周部と比較しその中心が合っ
ているか否かを判断する。
影響や発振器の大型化を招くことの無い、別置きのミラ
ーアライメント装置を提供する。 【構成】ミラーアライメント用の光源のＨｅ−Ｎｅレー
ザ８と、アライメントを行う共振器を備えた真空容器１
の間に、反射鏡１１と１２を回転可能に支持したミラー
アライメント装置を配置する。この装置の回転部１４を
Ｈｅ−Ｎｅレーザ８の光軸を回転中心として回転させる
ことで、真空容器１のノゾキ窓１０から見て中央付近に
合わせたＨｅ−Ｎｅレーザ光をミラー径に近い半径で円
弧状に移動させ、ミラー外周部と比較しその中心が合っ
ているか否かを判断する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザ発振器等の光学
系のミラーアライメントに関する。
系のミラーアライメントに関する。
【０００２】
【従来の技術】レーザ発振器は、共振器を構成する複数
のミラーをアライメントすることで誘導放出した光を共
振させ、その一部をレーザ光として取り出す。ミラーの
アライメントはミラーの取付時に調整されて以後、狂わ
ないように工夫されている。ところが、保持機構が不十
分な場合にミラーが傾いてミラー中心と光軸がズレたり
すると、レーザ光のモードが変化してレーザ光が異方性
を持ったり発振効率が低下し、著しい場合には発振しな
くなってしまうので、再度のアライメントが必要にな
る。
のミラーをアライメントすることで誘導放出した光を共
振させ、その一部をレーザ光として取り出す。ミラーの
アライメントはミラーの取付時に調整されて以後、狂わ
ないように工夫されている。ところが、保持機構が不十
分な場合にミラーが傾いてミラー中心と光軸がズレたり
すると、レーザ光のモードが変化してレーザ光が異方性
を持ったり発振効率が低下し、著しい場合には発振しな
くなってしまうので、再度のアライメントが必要にな
る。
【０００３】一般的なミラーのアライメント方法は、図
６に示すようなＨｅ−Ｎｅレーザ８の光軸調整段階と図
７に示すようなミラーの傾き調整段階とに分けられる。
Ｈｅ−Ｎｅレーザ８の光軸調整手順を順に説明する。
（１）真空容器１の一部を開け、真空容器１内を大気解
放する。（２）真空容器１内にある全反射鏡４を角度可
変に支持している全反射鏡ホルダー５に、ガイド穴７が
中心に明いたアライメント用リング６を取り付ける。
（３）半透過式出力鏡２を角度可変に支持している出力
鏡ホルダー３に、全反射鏡４の場合と同様なアライメン
ト用リング６を取り付ける。（４）Ｈｅ−Ｎｅレーザ８
の光軸９が２つのアライメント用リング６のガイド穴７
を通る様に調整する。（５）２つのアライメント用リン
グ６を取り外す。（６）真空容器１を再び発振可能な状
態にする。ところが一度、真空容器１内を大気解放する
と真空容器１内へ粉塵が混入したり水分が浸入し、発振
状態を元に戻すのに時間がかかるだけでなく、ミラーの
劣化を早めるという問題がある。そこで、この対策とし
て、真空容器１の内部に取り付けるアライメント用リン
グ６を真空容器１の外部から大気解放すること無く操作
して付け外しするミラーアライメント装置がある。
６に示すようなＨｅ−Ｎｅレーザ８の光軸調整段階と図
７に示すようなミラーの傾き調整段階とに分けられる。
Ｈｅ−Ｎｅレーザ８の光軸調整手順を順に説明する。
（１）真空容器１の一部を開け、真空容器１内を大気解
放する。（２）真空容器１内にある全反射鏡４を角度可
変に支持している全反射鏡ホルダー５に、ガイド穴７が
中心に明いたアライメント用リング６を取り付ける。
（３）半透過式出力鏡２を角度可変に支持している出力
鏡ホルダー３に、全反射鏡４の場合と同様なアライメン
ト用リング６を取り付ける。（４）Ｈｅ−Ｎｅレーザ８
の光軸９が２つのアライメント用リング６のガイド穴７
を通る様に調整する。（５）２つのアライメント用リン
グ６を取り外す。（６）真空容器１を再び発振可能な状
態にする。ところが一度、真空容器１内を大気解放する
と真空容器１内へ粉塵が混入したり水分が浸入し、発振
状態を元に戻すのに時間がかかるだけでなく、ミラーの
劣化を早めるという問題がある。そこで、この対策とし
て、真空容器１の内部に取り付けるアライメント用リン
グ６を真空容器１の外部から大気解放すること無く操作
して付け外しするミラーアライメント装置がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述したミラーアライ
メント装置では発振器全体が大きくなり、取扱いが不便
であったり、コスト高になるという問題があった。本発
明は上述した事情から成されたものであり、本発明の目
的は、別置きのミラーアライメント装置を提供すること
にある。
メント装置では発振器全体が大きくなり、取扱いが不便
であったり、コスト高になるという問題があった。本発
明は上述した事情から成されたものであり、本発明の目
的は、別置きのミラーアライメント装置を提供すること
にある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、レーザ発振器
等の光学系のミラーアライメントに関するものであり、
本発明の上記目的は、入射したレーザ光の光軸を回転中
心として回転可能な回転部と、前記回転部に装着され、
前記レーザ光を平行に、かつ同方向に折り曲げる折り曲
げ部とを具備することによって達成される。
等の光学系のミラーアライメントに関するものであり、
本発明の上記目的は、入射したレーザ光の光軸を回転中
心として回転可能な回転部と、前記回転部に装着され、
前記レーザ光を平行に、かつ同方向に折り曲げる折り曲
げ部とを具備することによって達成される。
【０００６】
【作用】本発明にあっては、本発明の装置をＨｅ−Ｎｅ
レーザと真空容器の間に配置し、調整用ビームを折曲げ
て元の光軸回りに回転させることで、真空容器内の全反
射鏡の中心と調整用ビームの中心が一致していることを
確認することができるので、真空容器の内部においてア
ライメント用リングなどを付け外しする必要が無い。
レーザと真空容器の間に配置し、調整用ビームを折曲げ
て元の光軸回りに回転させることで、真空容器内の全反
射鏡の中心と調整用ビームの中心が一致していることを
確認することができるので、真空容器の内部においてア
ライメント用リングなどを付け外しする必要が無い。
【０００７】
【実施例】図１（Ａ）は本発明のミラーアライメント装
置の一例を示す断面側面図であり、同図（Ｂ）はその平
面図である。本発明のミラーアライメント装置は支持部
１３と回転部１４から成る。支持部１３はマグネットス
タンド１５に取り付けられており、高さと向きを変え固
定できるようになっている。回転部１４は大別してケー
シング１７、フタ２７、反射鏡１１、１２及び反射鏡の
支持機構から成る。ケーシング１７の凸部が支持部１３
内の軸受１６に嵌合され、回転部１４が回転可能に支持
されている。ケーシング１７の凸部の内部には入射口２
５が回転部１４の回転中心と同軸で貫通されている。
置の一例を示す断面側面図であり、同図（Ｂ）はその平
面図である。本発明のミラーアライメント装置は支持部
１３と回転部１４から成る。支持部１３はマグネットス
タンド１５に取り付けられており、高さと向きを変え固
定できるようになっている。回転部１４は大別してケー
シング１７、フタ２７、反射鏡１１、１２及び反射鏡の
支持機構から成る。ケーシング１７の凸部が支持部１３
内の軸受１６に嵌合され、回転部１４が回転可能に支持
されている。ケーシング１７の凸部の内部には入射口２
５が回転部１４の回転中心と同軸で貫通されている。
【０００８】第１反射鏡１１は第１反射鏡固定部材１８
に取付られ、回転部１４の回転中心と第１反射鏡１１の
中心が一致するように、ケーシング１７内に固定されて
いる。 第１反射鏡１１の反射面は回転中心に対して４
５度の角度を持っている。第２反射鏡１２はその反射面
が第１反射鏡１１の反対面と平行に対向するように第２
反射鏡固定部材１９に取り付けられている。第２反射鏡
固定部材１９は半径方向を除く自由度が、Ｌ型の２平面
を持つガイド２３とそれぞれの平面方向に第２反射鏡固
定部材１９を押し付けるボールプランジャー２４で制限
されている。一方、半径方向には圧縮バネ２１、調整ボ
ルト２０及び調整ナット２２で移動可能に固定されてい
る。フタ２７には，第２反射鏡１２が移動する範囲を超
える大きさの出射口２６が設けられている。
に取付られ、回転部１４の回転中心と第１反射鏡１１の
中心が一致するように、ケーシング１７内に固定されて
いる。 第１反射鏡１１の反射面は回転中心に対して４
５度の角度を持っている。第２反射鏡１２はその反射面
が第１反射鏡１１の反対面と平行に対向するように第２
反射鏡固定部材１９に取り付けられている。第２反射鏡
固定部材１９は半径方向を除く自由度が、Ｌ型の２平面
を持つガイド２３とそれぞれの平面方向に第２反射鏡固
定部材１９を押し付けるボールプランジャー２４で制限
されている。一方、半径方向には圧縮バネ２１、調整ボ
ルト２０及び調整ナット２２で移動可能に固定されてい
る。フタ２７には，第２反射鏡１２が移動する範囲を超
える大きさの出射口２６が設けられている。
【０００９】図２（Ａ）及び（Ｂ）は本発明のミラーア
ライメント装置の付属品である傾き調整キャップの一例
を示す平面図及び断面側面図である。これはミラーアラ
イメント装置の芯だし作業時に出射口２６にはめ込み使
用する。傾き調整キャップ３１には半透明なスクリーン
３３が貼られており、調整目盛り３２がこのスクリーン
３３に印刷されている。次に本実施例の作用について説
明する。図３に示すようにミラーアライメント装置の入
射口２５から入ったＨｅ−Ｎｅレーザ８の調整用ビーム
９は、第１反射鏡１１で第２反射鏡１２の方向に９０度
折り曲げられ、ついで第２反射鏡１２でも再度９０度折
り曲げられ、調整用ビーム９に対し調整ボルト２０と調
整ナット２２で決まる距離だけ隔て平行に出射口２６か
ら出射される。このとき出てくる出射光を調整用折曲げ
ビーム２８と呼ぶ。
ライメント装置の付属品である傾き調整キャップの一例
を示す平面図及び断面側面図である。これはミラーアラ
イメント装置の芯だし作業時に出射口２６にはめ込み使
用する。傾き調整キャップ３１には半透明なスクリーン
３３が貼られており、調整目盛り３２がこのスクリーン
３３に印刷されている。次に本実施例の作用について説
明する。図３に示すようにミラーアライメント装置の入
射口２５から入ったＨｅ−Ｎｅレーザ８の調整用ビーム
９は、第１反射鏡１１で第２反射鏡１２の方向に９０度
折り曲げられ、ついで第２反射鏡１２でも再度９０度折
り曲げられ、調整用ビーム９に対し調整ボルト２０と調
整ナット２２で決まる距離だけ隔て平行に出射口２６か
ら出射される。このとき出てくる出射光を調整用折曲げ
ビーム２８と呼ぶ。
【００１０】ミラーアライメント装置の回転部１４を手
で回転させると調整用折曲げビーム２８は、あらかじめ
各装置の寸法で決められた範囲内の任意の半径を持つ円
筒表面上の線として移動し、ある面に照射された場合は
円周上の点として移動する。図４（Ａ）及び（Ｂ）は調
整用折曲げビーム２８及び調整用ビーム９が真空容器１
の内部の全反射鏡４に照射している状態を示す図であ
る。調整用ビーム９を使用した場合には比較対象である
全反射鏡ホルダー５がビーム照射点から遠いのに対し
て、調整用折曲げビーム２８を使用した場合には全反射
鏡ホルダー５がビーム照射点から近く、中心が一致して
いるか否かをノゾキ窓１０からの観察で容易に判断でき
る。
で回転させると調整用折曲げビーム２８は、あらかじめ
各装置の寸法で決められた範囲内の任意の半径を持つ円
筒表面上の線として移動し、ある面に照射された場合は
円周上の点として移動する。図４（Ａ）及び（Ｂ）は調
整用折曲げビーム２８及び調整用ビーム９が真空容器１
の内部の全反射鏡４に照射している状態を示す図であ
る。調整用ビーム９を使用した場合には比較対象である
全反射鏡ホルダー５がビーム照射点から遠いのに対し
て、調整用折曲げビーム２８を使用した場合には全反射
鏡ホルダー５がビーム照射点から近く、中心が一致して
いるか否かをノゾキ窓１０からの観察で容易に判断でき
る。
【００１１】図５は調整用ビーム９の光軸がミラーアラ
イメント装置の回転部１４の回転中心に対して傾いてい
る場合の影響を示したものである。同図（Ａ）に示すよ
うに光軸と回転中心が一致している場合には、調整用折
曲げビーム２８の移動する円筒の半径はＲａと回転角度
によらず一定で、この円筒の中心が光軸と一致するのに
対して、同図（Ｂ）に示すように光軸が回転中心に対し
て傾いている場合には、調整用折曲げビーム２８の移動
する円筒の半径はＲｂからＲｃと回転角度に伴い変化し
て、円筒の見かけ上の中心は光軸と一致しない。このと
き調整用折曲げビーム２８のフタ２７面上の点である出
光部３０から回転部１４の回転中心までの距離がＲｅ、
Ｒｆと変化する性質を利用して、ミラーアライメント装
置の傾きを修正する。すなわち、ミラーアライメント装
置の使用に先立ち、フタ２７の出射口２６に付属の傾き
調整キャップ３１を挿入する。ついでミラーアライメン
ト装置を回転させながら、調整目盛り３２を参照しスク
リーン３３に映る調整用折曲げビーム２８が移動しない
ようにミラーアライメント装置全体の向きを調整する。
また調整用ビーム９の光軸がミラーアライメント装置の
回転部１４と平行にズレている場合にも、傾いた場合と
同じ方法で調整が可能である。
イメント装置の回転部１４の回転中心に対して傾いてい
る場合の影響を示したものである。同図（Ａ）に示すよ
うに光軸と回転中心が一致している場合には、調整用折
曲げビーム２８の移動する円筒の半径はＲａと回転角度
によらず一定で、この円筒の中心が光軸と一致するのに
対して、同図（Ｂ）に示すように光軸が回転中心に対し
て傾いている場合には、調整用折曲げビーム２８の移動
する円筒の半径はＲｂからＲｃと回転角度に伴い変化し
て、円筒の見かけ上の中心は光軸と一致しない。このと
き調整用折曲げビーム２８のフタ２７面上の点である出
光部３０から回転部１４の回転中心までの距離がＲｅ、
Ｒｆと変化する性質を利用して、ミラーアライメント装
置の傾きを修正する。すなわち、ミラーアライメント装
置の使用に先立ち、フタ２７の出射口２６に付属の傾き
調整キャップ３１を挿入する。ついでミラーアライメン
ト装置を回転させながら、調整目盛り３２を参照しスク
リーン３３に映る調整用折曲げビーム２８が移動しない
ようにミラーアライメント装置全体の向きを調整する。
また調整用ビーム９の光軸がミラーアライメント装置の
回転部１４と平行にズレている場合にも、傾いた場合と
同じ方法で調整が可能である。
【００１２】
【発明の効果】以上のように本発明のミラーアライメン
ト装置によれば，発振器の大型化を回避でき、かつ装置
自体が別置きであるので取扱いが容易であり、また従来
のミラーアライメント装置に比べ低コストであるので導
入が容易となる。
ト装置によれば，発振器の大型化を回避でき、かつ装置
自体が別置きであるので取扱いが容易であり、また従来
のミラーアライメント装置に比べ低コストであるので導
入が容易となる。
【図１】本発明のミラーアライメント装置の一例を示す
図である。
図である。
【図２】本発明のミラーアライメント装置の付属品の一
例を示す図である。
例を示す図である。
【図３】本発明のミラーアライメント装置の作用を説明
するための第１の図である。
するための第１の図である。
【図４】本発明のミラーアライメント装置の作用を説明
するための第２の図である。
するための第２の図である。
【図５】本発明のミラーアライメント装置の作用を説明
するための第３の図である。
するための第３の図である。
【図６】一般的なミラーのアライメント方法を説明する
ための第１の図である。
ための第１の図である。
【図７】一般的なミラーのアライメント方法を説明する
ための第２の図である。
ための第２の図である。
１ 真空容器 ２ 半透過式出力鏡 ３ 出力鏡ホルダー ４ 全反射鏡 ５ 全反射鏡ホルダー ６ アライメント用リング ７ ガイド穴 ８ Ｈｅ−Ｎｅレーザ ９ 調整用ビーム １０ ノゾキ窓 １１ 第１反射鏡 １２ 第２反射鏡 １３ 支持部 １４ 回転部 １５ マグネットスタンド １６ 軸受 １７ ケーシング １８ 第１反射鏡固定部材 １９ 第２反射鏡固定部材 ２０ 調整ボルト ２１ 圧縮バネ ２２ 調整ナット ２３ ガイド ２４ ボールプランジャー ２５ 入射口 ２６ 出射口 ２７ フタ ２８ 調整用折曲げビーム ２９ 回転軸 ３０ 出光部 ３１ 傾き調整キャップ ３２ 調整目盛り ３３ スクリーン
Claims (1)
- 【請求項１】 入射したレーザ光の光軸を回転中心とし
て回転可能な回転部と、前記回転部に装着され、前記レ
ーザ光を平行に、かつ同方向に折り曲げる折り曲げ部と
を備えたことを特徴とするミラーアライメント装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35690892A JPH06194606A (ja) | 1992-12-22 | 1992-12-22 | ミラーアライメント装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35690892A JPH06194606A (ja) | 1992-12-22 | 1992-12-22 | ミラーアライメント装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06194606A true JPH06194606A (ja) | 1994-07-15 |
Family
ID=18451367
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35690892A Pending JPH06194606A (ja) | 1992-12-22 | 1992-12-22 | ミラーアライメント装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06194606A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4855592A (en) * | 1987-08-10 | 1989-08-08 | Yoshida Kogyo K. K. | Apparatus using optical fibers for inspecting slide fastener elements |
| US4863551A (en) * | 1987-08-10 | 1989-09-05 | Yoshido Kogyo K.K. | Marking apparatus |
| JP2006024596A (ja) * | 2004-07-06 | 2006-01-26 | Komatsu Ltd | レーザ装置の調整方法 |
| JP2009224583A (ja) * | 2008-03-17 | 2009-10-01 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ発振器及びレーザ加工装置 |
| CN112894352A (zh) * | 2021-01-25 | 2021-06-04 | 黄浩 | 一种摄像模组高清光学镜头组装装配方法 |
-
1992
- 1992-12-22 JP JP35690892A patent/JPH06194606A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4855592A (en) * | 1987-08-10 | 1989-08-08 | Yoshida Kogyo K. K. | Apparatus using optical fibers for inspecting slide fastener elements |
| US4863551A (en) * | 1987-08-10 | 1989-09-05 | Yoshido Kogyo K.K. | Marking apparatus |
| JP2006024596A (ja) * | 2004-07-06 | 2006-01-26 | Komatsu Ltd | レーザ装置の調整方法 |
| JP2009224583A (ja) * | 2008-03-17 | 2009-10-01 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ発振器及びレーザ加工装置 |
| CN112894352A (zh) * | 2021-01-25 | 2021-06-04 | 黄浩 | 一种摄像模组高清光学镜头组装装配方法 |
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