JPH06194543A - Optical waveguide part and their production - Google Patents
Optical waveguide part and their productionInfo
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- JPH06194543A JPH06194543A JP5253419A JP25341993A JPH06194543A JP H06194543 A JPH06194543 A JP H06194543A JP 5253419 A JP5253419 A JP 5253419A JP 25341993 A JP25341993 A JP 25341993A JP H06194543 A JPH06194543 A JP H06194543A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、端面に光ファイバコネ
クタを接続して使用する光導波路部品とその製造方法に
関し、更に詳しくは、無調心で光ファイバコネクタを接
続して使用する光導波路部品とその製造方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical waveguide component used by connecting an optical fiber connector to an end face and a method for manufacturing the same, and more specifically, an optical waveguide used by connecting an optical fiber connector without alignment. The present invention relates to parts and manufacturing methods thereof.
【0002】[0002]
【従来の技術】所定パターンの光導波路コア部がクラッ
ド部内に埋設されている光導波路部品は、その両端面
に、単心または多心の光ファイバコネクタを接続して使
用に供される。この場合の光ファイバコネクタの接続方
法としては、光導波路部品の端面に光ファイバコネクタ
の端面を当接し、光導波路コアの各光軸と光ファイバの
各光軸とを調心したのち両者を接着または溶接して固定
する方式と、後述する無調心の接続方式とがある。2. Description of the Related Art An optical waveguide component in which an optical waveguide core portion having a predetermined pattern is embedded in a clad portion is used by connecting a single-core or multi-core optical fiber connector to both end faces thereof. In this case, the optical fiber connector is connected by abutting the end face of the optical fiber connector to the end face of the optical waveguide component, aligning each optical axis of the optical waveguide core and each optical axis of the optical fiber, and then bonding the both. Alternatively, there are a method of welding and fixing and a method of connecting without alignment described later.
【0003】無調心の接続は、例えば図11で示したよ
うな光導波路部品に対して行われる。図において、光導
波路部品Aでは、所定厚みのSi基板のような導波路基
板1の上に、石英ガラスの光導波路コア2aが基板1の
幅方向に所定のピッチで配列されて成る導波路コア部2
が、同じく石英ガラス(コアの石英ガラスより屈折率は
小さい)のクラッド部3に埋設された状態で存在してい
る。An unaligned connection is made to, for example, an optical waveguide component as shown in FIG. In the figure, in an optical waveguide component A, a waveguide core formed by arranging silica glass optical waveguide cores 2a at a predetermined pitch in a width direction of a substrate 1 on a waveguide substrate 1 such as a Si substrate having a predetermined thickness. Part 2
However, it also exists in a state of being embedded in the cladding portion 3 of quartz glass (having a smaller refractive index than the quartz glass of the core).
【0004】そして、クラッド部3の上面から基板1の
底部にかけて、例えばダイサを用いることにより、所定
の幅と深さを有し、部品1の長手方向に延びる2本の溝
3a,3bが、前記した光導波路コア部2を位置決めの
基準にして刻設されている。これら溝3a,3bには、
所定径のガイドピン4a,4bがそれぞれ配置され、全
体は、例えば石英ガラス板のような押え板5で押圧さ
れ、そのことにより、ガイドピン4a,4bは溝3a,
3bの中に固定される。Then, by using a dicer, for example, from the upper surface of the clad portion 3 to the bottom portion of the substrate 1, two grooves 3a, 3b having a predetermined width and depth and extending in the longitudinal direction of the component 1 are formed. The optical waveguide core portion 2 described above is engraved with reference to positioning. In these grooves 3a and 3b,
Guide pins 4a and 4b having a predetermined diameter are arranged respectively, and the whole is pressed by a holding plate 5 such as a quartz glass plate, whereby the guide pins 4a and 4b are inserted into the grooves 3a and 4a.
It is fixed in 3b.
【0005】一方、光ファイバコネクタ6,6には、光
導波路部品Aの光導波路コア部2の各コア2aと同じピ
ッチで整列された光ファイバが内蔵され、また、両脇に
は、ガイドピン4a,4bと同軸的となるようにピン孔
6a,6bが形成されている。光導波路部品Aに光ファ
イバコネクタ6,6を接続するときには、ガイドピン4
a,4bを光ファイバコネクタ6,6のピン孔6a,6
bに挿通し、光導波路部品Aの端面と光ファイバコネク
タ6の端面を接触させ、両者を例えばバネクリップ7を
用いて圧接する。On the other hand, the optical fiber connectors 6 and 6 have built-in optical fibers aligned at the same pitch as the cores 2a of the optical waveguide core portion 2 of the optical waveguide component A, and guide pins are provided on both sides. Pin holes 6a and 6b are formed so as to be coaxial with 4a and 4b. When connecting the optical fiber connectors 6 and 6 to the optical waveguide part A, the guide pin 4
a and 4b are pin holes 6a and 6 of the optical fiber connectors 6 and 6, respectively.
The end surface of the optical waveguide component A and the end surface of the optical fiber connector 6 are brought into contact with each other through b, and they are pressed against each other using, for example, a spring clip 7.
【0006】光導波路コア部2と光ファイバコネクタ6
の光ファイバとは、光軸が一致して、ここに調心作業を
行うことなく光接続が完了する。The optical waveguide core portion 2 and the optical fiber connector 6
The optical axis of the optical fiber coincides with that of the optical fiber, and the optical connection is completed without performing the aligning work there.
【0007】[0007]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た無調心の接続方式においては、ガイドピンを脱着する
ときや、光導波路部品と光ファイバコネクタとを接続し
たのちに、その接続部にわずかでも負荷が加わると、そ
の接続部では、光導波路部品の溝3a,3bの近辺に亀
裂の発生することがある。However, in the above-mentioned unaligned connection method, even if the guide pin is detached or attached, or after the optical waveguide component and the optical fiber connector are connected, even a small amount of the connection portion is present. When a load is applied, a crack may occur near the grooves 3a and 3b of the optical waveguide component at the connecting portion.
【0008】また、光導波路部品Aの溝3a,3bは、
クラッド部3の上面から、用いるガイドピン4a,4b
を配置できる程度の深さにまで刻設されるが、例えば、
基板1が1mm程度の厚みの場合には、この基板の厚みに
比べて基板に切りこまれる溝3a,3bの深さは相対的
に深くなるため、基板1の強度低下を引き起こすことが
ある。The grooves 3a and 3b of the optical waveguide part A are
Guide pins 4a, 4b used from the upper surface of the clad portion 3
It is engraved to a depth that can be placed, for example,
When the substrate 1 has a thickness of about 1 mm, the depth of the grooves 3a, 3b cut into the substrate becomes relatively deeper than the thickness of the substrate, which may cause a decrease in the strength of the substrate 1.
【0009】更には、光導波路コア部2のコア2aのパ
ターンが光導波路部品に二次元的な広がりをもって自由
に形成してあるような部品では、溝3a,3bの刻設時
にその二次元的に広がっているコアパターンを寸断して
しまう場合がある。このような問題を回避しようとする
と、溝刻設時の加工コストの増加や、光導波路部品Aの
全体を大型寸法にしなければならなくなる。Furthermore, in a component in which the pattern of the core 2a of the optical waveguide core portion 2 is freely formed in the optical waveguide component with a two-dimensional spread, the two-dimensional pattern is obtained when the grooves 3a and 3b are engraved. There is a case that the core pattern that spreads over is cut off. In order to avoid such a problem, it is necessary to increase the processing cost at the time of engraving the groove and to increase the size of the entire optical waveguide part A.
【0010】本発明は、光ファイバコネクタを接続する
ためのガイドピン用の溝が、クラッド部の上面から基板
にかけて刻設することなく形成され、また、光ファイバ
コネクタとの接続後に、その接続部に負荷が加わって
も、光導波路部品の基板やガイドピン挿入孔の近辺で亀
裂,破壊などが起こりにくく、更に、光導波路部品に、
二次元的な広がりをもつ光導波路コア部が形成されてい
る場合であっても、この光導波路コア部を損傷すること
なく、ガイドピン挿入孔を形成することができる光導波
路部品とその製造方法を提供することを目的とする。According to the present invention, the groove for the guide pin for connecting the optical fiber connector is formed without carving from the upper surface of the clad portion to the substrate, and after the connection with the optical fiber connector, the connecting portion is formed. Even if a load is applied to the optical waveguide component, it is difficult for cracks or breakage to occur near the substrate or guide pin insertion hole of the optical waveguide component.
An optical waveguide component capable of forming a guide pin insertion hole without damaging the optical waveguide core portion even when the optical waveguide core portion having a two-dimensional expansion is formed, and a method of manufacturing the same. The purpose is to provide.
【0011】[0011]
【課題を解決するための手段】上記した目的を達成する
ために、本発明においては、端面がガイドピンを介して
光ファイバコネクタと接続される光導波路部品であっ
て、光導波路コア部が形成されている光導波路部品本体
と、前記光導波路部品本体の端面以外の周囲を被包して
形成されている樹脂モールド部とから成り、前記樹脂モ
ールド部の端面には、前記光導波路コア部を位置基準に
してガイドピン挿入孔が形成されていることを特徴とす
る光導波路部品が提供される。In order to achieve the above-mentioned object, according to the present invention, an optical waveguide component whose end face is connected to an optical fiber connector through a guide pin, wherein an optical waveguide core portion is formed. The optical waveguide component body and a resin mold portion formed by enclosing the periphery of the optical waveguide component body other than the end face, and the optical waveguide core portion is provided on the end face of the resin mold portion. Provided is an optical waveguide component having a guide pin insertion hole formed on the basis of a position.
【0012】また、本発明においては、基板の表面に、
光導波路コア部が埋設されているクラッド部を形成した
のち、前記クラッド部の上または前記基板の裏面に押え
板部材を密着固定して光導波路部品本体を形成したの
ち、前記光導波路部品本体の押え板部材の上に、前記光
導波路コア部を位置基準にしてマーカー部を形成し、つ
いで、前記光導波路部品本体を、前記マーカー部を位置
基準にして配設されたガイドピン用の中子を有する金型
の中に収納したのち、前記金型内にモールド樹脂を注型
したのち、得られた注型品を金型から取り出し、前記中
子を抜脱して、前記光導波路部品の端面以外の周囲を被
包する樹脂モールド部の端面にガイドピン挿入孔を形成
することを特徴とする光導波路部品の製造方法が提供さ
れ、更に、微小運動が可能な少なくとも3本のピンロッ
ドが底部に設けられている金型の上部に、ガイドピン
と、光ファイバがセットされている光ファイバフェルー
ルとを互いに位置決めした状態で配設したのち、光導波
路コア部が埋設されている光導波路部品本体を、その光
導波路コア部の端面と前記光ファイバフェルールの端面
とが対向するようにして、前記少なくとも3本のピンロ
ッドの上に載せ、ついで、前記ピンロッドの動きを微調
整して、前記光導波路コア部と前記光ファイバフェルー
ルの光ファイバとを軸心調整したのち金型内にモールド
樹脂を注型したのち、得られた注型品を前記金型から取
り出し、前記ガイドピンを抜脱して、前記光導波路部本
体の端面以外の周囲を被包する樹脂モールド部の端面に
ガイドピン挿入孔を形成することを特徴とする光導波路
部品の製造方法が提供される。In the present invention, the surface of the substrate is
After forming a clad portion in which the optical waveguide core portion is embedded, after forming a light guide component body by closely fixing a holding plate member on the clad portion or on the back surface of the substrate, to form the optical waveguide component body, A core for a guide pin is formed on the holding plate member by forming a marker portion with the optical waveguide core portion as a position reference, and then disposing the optical waveguide component body with the marker portion as a position reference. After being housed in a mold having, after casting a mold resin in the mold, the resulting cast product is taken out of the mold, the core is removed, and the end face of the optical waveguide component is removed. There is provided a method for manufacturing an optical waveguide component, characterized in that guide pin insertion holes are formed in an end surface of a resin mold portion that encloses the surroundings other than the above, and further, at least three pin rods capable of minute movement are provided in the bottom portion. Provided After disposing the guide pin and the optical fiber ferrule in which the optical fiber is set on the upper part of the mold, the optical waveguide component main body in which the optical waveguide core is embedded The optical fiber ferrule is placed on the at least three pin rods so that the end surface of the core portion and the end surface of the optical fiber ferrule face each other, and then the movements of the pin rods are finely adjusted so that the optical waveguide core portion and the optical waveguide After adjusting the axis of the optical fiber of the fiber ferrule and then casting the mold resin into the mold, the resulting cast product is taken out of the mold, and the guide pin is pulled out, and the optical waveguide body There is provided a method for manufacturing an optical waveguide component, characterized in that a guide pin insertion hole is formed in an end surface of a resin mold portion that encloses a periphery other than the end surface.
【0013】[0013]
【作用】本発明の光導波路部品では、光ファイバコネク
タと接続すべき両端面を除いた光導波路部品本体の周
囲、すなわち上面,下面,両側面は弾力性に富む樹脂で
被包されることにより樹脂モールド部が形成されてい
る。そして、この樹脂モールド部の端面には、光導波路
部品の光導波路コア部を位置決め基準にしてガイドピン
挿入孔が形成されている。In the optical waveguide component of the present invention, the periphery of the optical waveguide component main body excluding both end faces to be connected to the optical fiber connector, that is, the upper surface, the lower surface and both side surfaces are covered with the resin having high elasticity. A resin mold portion is formed. A guide pin insertion hole is formed on the end surface of the resin mold portion with the optical waveguide core portion of the optical waveguide component as a positioning reference.
【0014】光ファイバコネクタとの接続時には、上記
ガイドピン挿入孔にガイドピンを挿入し、更にそれを光
ファイバコネクタのピン孔に挿入した状態で光導波路部
品本体の端面と光ファイバコネクタの端面を当接して両
者を例えばバネクリップで圧接固定する。このように、
本発明における光導波路部品には、図11の場合のよう
に基板1に深い溝3a,3bが刻設されていないのでそ
の強度低下はなく、また、ガイドピン挿入孔が形成され
ている樹脂モールド部は弾力性に富むため、例えば、接
続後にこの接続部に負荷がかかっても、その負荷は樹脂
モールド部に吸収されることにもなり、基板や挿入孔に
おける亀裂,破壊などの発生は抑制される。At the time of connection with the optical fiber connector, the guide pin is inserted into the guide pin insertion hole, and the end face of the optical waveguide component body and the end face of the optical fiber connector are inserted with the guide pin inserted into the pin hole of the optical fiber connector. The two are brought into contact with each other and fixed by pressure contact with, for example, a spring clip. in this way,
Unlike the case of FIG. 11, the optical waveguide component according to the present invention does not have the deep grooves 3a and 3b formed in the substrate 1 so that the strength thereof does not decrease and the resin mold in which the guide pin insertion hole is formed is formed. Since the part is highly elastic, even if a load is applied to this connection part after connection, the load will also be absorbed by the resin mold part, and the occurrence of cracks, breakage, etc. in the substrate and insertion hole will be suppressed. To be done.
【0015】また、樹脂モールド部にガイドピン挿入孔
を形成する場合、樹脂のモールド時にガイドピン挿入孔
の位置決め基準としては、押え板部材の表面につけられ
る目印であればよく、従来のようにクラッド上面に深く
刻設する溝でなくてもよいため、光導波路コア部が二次
元的に広がるパターンであっても、それを寸断すること
もなくなり、それだけ光導波路部品を小型化することが
できるようになる。Further, when the guide pin insertion hole is formed in the resin mold portion, the guide pin insertion hole positioning reference at the time of molding the resin may be a mark attached to the surface of the pressing plate member, as in the conventional case. Since the groove does not have to be deeply carved on the upper surface, even if the optical waveguide core portion has a two-dimensionally spreading pattern, it is not cut into pieces and the optical waveguide component can be downsized accordingly. become.
【0016】以下に、本発明の光導波路部品およびその
製造方法を、図面に示した実施例に則して詳細に説明す
る。The optical waveguide component and the method for producing the same according to the present invention will be described below in detail with reference to the embodiments shown in the drawings.
【0017】[0017]
【発明の実施例】以下に、本発明の光導波路部品および
その製造方法を、図面に則して説明する。 実施例1 図1は、本発明の光導波路部品例を示す斜視図である。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION An optical waveguide component and a method for manufacturing the same according to the present invention will be described below with reference to the drawings. Example 1 FIG. 1 is a perspective view showing an example of an optical waveguide component of the present invention.
【0018】図において、光導波路部品Aは、光導波路
部品本体A1 とその端面以外の周囲を被包する樹脂モー
ルド部A2 とで構成されている。光導波路部品本体A1
は、例えばSiから成る基板1と、この基板上に位置す
るクラッド部3と、クラッド部3の中に埋設され、端面
では所定のピッチで整列するコア2aから成る光導波路
コア部2によって構成され、更に、クラッド部3の上面
には、押え板部材として例えば所望厚みの石英ガラス板
8が接着剤で接着されている。In the figure, an optical waveguide component A is composed of an optical waveguide component main body A 1 and a resin mold portion A 2 which covers the periphery other than the end face thereof. Optical waveguide component body A 1
Is composed of a substrate 1 made of, for example, Si, a cladding portion 3 located on the substrate, and an optical waveguide core portion 2 embedded in the cladding portion 3 and having cores 2a aligned at a predetermined pitch on the end face. Further, a quartz glass plate 8 having a desired thickness, for example, as a pressing plate member is bonded to the upper surface of the clad portion 3 with an adhesive.
【0019】この石英ガラス板8の上面には、光導波路
コア部2を位置決めの基準にして2本の適当な深さのV
字溝8a,8bが刻設されていて、このV字溝8a,8
bが、樹脂モールド時に後述するガイドピン挿入孔の位
置決め基準、すなわちマーカー部として機能する。光導
波路部品本体A1 の周囲を被包する樹脂モールド部A2
の端面には、所定径,所定長さのガイドピン挿入孔9
a,9bが形成されている。On the upper surface of the quartz glass plate 8, two Vs of appropriate depth are formed with the optical waveguide core portion 2 as a positioning reference.
V-shaped grooves 8a, 8b are engraved, and these V-shaped grooves 8a, 8b are formed.
b functions as a positioning reference for guide pin insertion holes, which will be described later, at the time of resin molding, that is, as a marker portion. Resin mold part A 2 that encloses the periphery of the optical waveguide component body A 1.
On the end face of the guide pin insertion hole 9 having a predetermined diameter and a predetermined length.
a and 9b are formed.
【0020】光ファイバコネクタとの接続時には、これ
らガイドピン挿入孔9a,9bにガイドピンを挿入し、
また、光ファイバコネクタの端面に上記ガイドピン挿入
孔と同じ位置に形成されているピン孔に、上記ガイドピ
ンの残りの部分を挿入して両者を当接すればよい。ガイ
ドピン挿入孔9a,9bはV字溝8a,8bを位置決め
基準にして形成され、これらV字溝8a,8bは光導波
路コア部2を位置決め基準にして刻設されているので、
結局、ガイドピン挿入孔9a,9bは光導波路コア部を
位置決め基準にして形成されたことと同等になり、光フ
ァイバコネクタの光ファイバと光導波路コア部2の各コ
ア2aとは互いに光軸を一致させた状態で接続される。At the time of connection with the optical fiber connector, guide pins are inserted into these guide pin insertion holes 9a and 9b,
Further, the remaining portion of the guide pin may be inserted into a pin hole formed at the same position as the guide pin insertion hole on the end face of the optical fiber connector, and both may be brought into contact with each other. The guide pin insertion holes 9a, 9b are formed with the V-shaped grooves 8a, 8b as the positioning reference, and these V-shaped grooves 8a, 8b are carved with the optical waveguide core portion 2 as the positioning reference.
After all, the guide pin insertion holes 9a and 9b are equivalent to those formed with the optical waveguide core portion as a positioning reference, and the optical fiber of the optical fiber connector and each core 2a of the optical waveguide core portion 2 have their optical axes mutually. Connected in a matched state.
【0021】この光導波路部品Aは次のようにして製造
することができる。まず、図2で示したように、基板1
の表面に、常法に従って、例えば石英ガラスでクラッド
部3とそこに埋設された光導波路コア部2を形成し、更
にクラッド部3の上に例えば耐熱性エポキシ樹脂接着剤
を用いて押え板部材としての石英ガラス板8を接着して
固定する。このときの石英ガラス板8の厚みは適宜でよ
く、例えば、基板1の厚みが1mm,クラッド部3の厚み
が50μm程度の場合、約0.5mm程度でよい。The optical waveguide component A can be manufactured as follows. First, as shown in FIG. 2, the substrate 1
A cladding portion 3 and an optical waveguide core portion 2 embedded in the cladding portion 3 are formed on the surface of the substrate in accordance with a conventional method, for example, and a pressing plate member is formed on the cladding portion 3 by using, for example, a heat-resistant epoxy resin adhesive. The quartz glass plate 8 is bonded and fixed. At this time, the thickness of the quartz glass plate 8 may be arbitrary, and for example, when the thickness of the substrate 1 is 1 mm and the thickness of the cladding portion 3 is about 50 μm, it may be about 0.5 mm.
【0022】ついで、図3で示したように、石英ガラス
板8の上面に、光導波路コア部2を位置決め基準にし
て、2条のV字溝8a,8bをダイサなどの加工手段で
刻設する。このV字溝は後述する樹脂モールド時におけ
るガイドピン挿入孔の位置決め基準であるため、要は、
光導波路コア部2との位置関係が表示されていればよ
く、例えば、深さがクラッド部3の上面にまで到達しな
い浅い溝であれば充分である。Next, as shown in FIG. 3, two V-shaped grooves 8a and 8b are formed on the upper surface of the quartz glass plate 8 with the optical waveguide core portion 2 as a positioning reference by a processing means such as a dicer. To do. Since this V-shaped groove is a positioning reference for the guide pin insertion hole at the time of resin molding described later,
It suffices if the positional relationship with the optical waveguide core portion 2 is displayed. For example, a shallow groove whose depth does not reach the upper surface of the cladding portion 3 is sufficient.
【0023】この光導波路本体A1 は次のようにして製
造される。それを、図4、および図4のV−V線に沿う
断面図である図5に基づいて説明する。すなわち、例え
ばSiウエハのような基板1の上に、通常の火炎堆積法
により、コア2aから成る光導波路コア部2が埋設され
ているクラッド部3が形成される。This optical waveguide main body A 1 is manufactured as follows. It will be described based on FIG. 4 and FIG. 5 which is a sectional view taken along the line VV of FIG. 4. That is, the cladding portion 3 in which the optical waveguide core portion 2 made of the core 2a is embedded is formed on the substrate 1 such as a Si wafer by a normal flame deposition method.
【0024】このとき、光導波路コア部2を構成するコ
ア2a群の一部の上の長手方向ではクラッドを形成せ
ず、この光導波路コア部2それ自体が自らの位置を表出
できるようにしておく。そして、このクラッド部3の全
表面に、押え板部材として例えば厚みが1mmの石英ガラ
ス板8を熱硬化性の接着剤で貼着する。At this time, no clad is formed in the longitudinal direction on a part of the core 2a group constituting the optical waveguide core portion 2 so that the optical waveguide core portion 2 itself can express its own position. Keep it. Then, a quartz glass plate 8 having a thickness of 1 mm, for example, as a pressing plate member is attached to the entire surface of the clad portion 3 with a thermosetting adhesive.
【0025】その後、石英ガラス板8から視認される光
導波路コア部2の一部コア群を基準にして、石英ガラス
板8の表面に、光導波路コア部2の長手方向に延び、深
さが0.2mm程度である2条のV字溝8a,8bをマーカ
ー部として刻設する。V字溝8a,8bの深さは、光導
波路コア部2と直交する方向に刻印されている高さ方向
マーカー10a,10bを利用することによって調整す
ればよい。Thereafter, with reference to the partial core group of the optical waveguide core portion 2 visually recognized from the quartz glass plate 8, the surface of the quartz glass plate 8 extends in the longitudinal direction of the optical waveguide core portion 2, and the depth is Two V-shaped grooves 8a and 8b of about 0.2 mm are engraved as a marker portion. The depths of the V-shaped grooves 8a and 8b may be adjusted by using the height direction markers 10a and 10b engraved in the direction orthogonal to the optical waveguide core portion 2.
【0026】その後、V字溝8a,8bを位置基準にし
て、基板1をダイサなどを用いることにより光導波路コ
ア部2の長手方向に沿って切断し、図3で示したような
光導波路部品本体A1 を個々に切出す。ついで、得られ
た光導波路部品本体を金型の中にセットする。このと
き、金型には、前記したV字溝8a,8bに相当する位
置に例えば直径0.3mm程度のピンを配置しておき、この
ピンに光導波路部品本体のV字溝8a,8bを押し当て
て、光導波路部品本体を金型内にセッティングする。After that, the substrate 1 is cut along the longitudinal direction of the optical waveguide core portion 2 by using a dicer or the like with the V-shaped grooves 8a and 8b as reference positions, and the optical waveguide component as shown in FIG. Cut out the main body A 1 individually. Then, the obtained optical waveguide component body is set in a mold. At this time, a pin having a diameter of, for example, about 0.3 mm is arranged in the mold at a position corresponding to the above-described V-shaped grooves 8a and 8b, and the V-shaped grooves 8a and 8b of the optical waveguide component main body are arranged on the pins. Press to set the optical waveguide component body in the mold.
【0027】そして、更に、前記ピンを位置基準にし
て、例えば直径0.7mm程度のガイドピン用中子を金型内
に配設したのち、モールド樹脂を金型に充填する。樹脂
硬化が終了したのち全体を金型から取り出し、中子を抜
き去れば、図1で示したように、V字溝8a,8bを埋
め込んだ状態で、光導波路部品本体A1 と、その外周を
被包し、両端面には、光導波路コア部2に対して定めら
れた位置に開口するガイドピン挿入孔9a,9bが形成
されている樹脂モールドA2 とから成る光導波路部品A
が得られる。Further, with the pin as a position reference, a core for a guide pin having a diameter of, for example, 0.7 mm is arranged in the mold, and then the mold resin is filled in the mold. After the resin curing is completed, the whole body is taken out of the mold and the core is removed. As shown in FIG. 1, the optical waveguide part body A 1 and its outer periphery are filled with the V-shaped grooves 8a and 8b. And a resin mold A 2 in which guide pin insertion holes 9a and 9b are formed on both end surfaces of the optical waveguide core portion 2 at predetermined positions.
Is obtained.
【0028】実施例2 図6は他の実施例を示す斜視図で、この場合は、基板1
の裏面に押え板部材としての石英ガラス板8を接着し、
そこにV字溝8a,8bを刻設して全体を樹脂モールド
したものである。 実施例3 図7は、実施例1において、クラッド部3の表面に貼着
する石英ガラス板8を2枚の石英ガラス板8c,8dに
分割し、それぞれを、光導波路コア部2の長手方向に別
々に貼着した状態を示している。Embodiment 2 FIG. 6 is a perspective view showing another embodiment, in this case, the substrate 1
Adhere a quartz glass plate 8 as a pressing plate member to the back surface of
V-shaped grooves 8a and 8b are engraved therein and the whole is resin-molded. Example 3 In FIG. 7, the quartz glass plate 8 adhered to the surface of the clad portion 3 in Example 1 is divided into two quartz glass plates 8c and 8d, each of which is formed in the longitudinal direction of the optical waveguide core portion 2. It shows the state where they are separately attached.
【0029】この場合も、実施例1と同様にして目的と
する光導波路部品を製造することができる。この実施例
3の場合は、金型内で樹脂モールドするときに、2枚の
石英ガラス板8c,8dがモールド樹脂に噛み込み、光
導波路部品本体の引き抜けを有効に防止できるという効
果が得られる。Also in this case, the desired optical waveguide component can be manufactured in the same manner as in Example 1. In the case of the third embodiment, when the resin is molded in the mold, the two quartz glass plates 8c and 8d are caught in the molding resin, and it is possible to effectively prevent the optical waveguide component body from being pulled out. To be
【0030】なお、実施例1〜3において、クラッド部
3の表面に押え板部材として貼着する石英ガラス板8
は、光導波路部品本体を金型内にセッティングするとき
の位置基準として機能するマーカー部であるV字溝8
a,8bが、光導波路コア部2まで切り込まれないよう
にするためのもの、すなわち、光導波路コア部2を保護
するために設けられるものである。したがって、この目
的を達成できるものであれば、押え板部材の厚みや材質
は格別限定されない。Incidentally, in Examples 1 to 3, the quartz glass plate 8 to be attached to the surface of the clad portion 3 as a pressing plate member.
Is a V-shaped groove 8 that is a marker portion that functions as a position reference when setting the optical waveguide component body in the mold.
The a and 8b are provided to prevent the optical waveguide core portion 2 from being cut, that is, provided to protect the optical waveguide core portion 2. Therefore, the thickness and material of the pressing plate member are not particularly limited as long as this object can be achieved.
【0031】また、この押え板部材は、上記したような
板に限定されるものではなく、例えば、水ガラスを所望
の厚みでクラッド部3の表面に塗布したり、または、公
知の火炎堆積法でクラッドを厚く堆積して形成してもよ
い。更に、以上の実施例では、マーカー部としてV字溝
を示したが、本発明では、マーカー部の形状はこれに限
定されるものではなく、例えば、光導波路コア部が延び
る方向に、円錐状の凹部などを複数個形成してもよい。
要は、光導波路コア部を基準にして位置が決められてい
る目印であれば何であってもよい。The pressing plate member is not limited to the plate as described above, and for example, water glass is applied to the surface of the clad portion 3 in a desired thickness, or a known flame deposition method is used. The clad may be formed by thickly depositing. Further, although the V-shaped groove is shown as the marker portion in the above embodiments, the shape of the marker portion is not limited to this in the present invention, and for example, a conical shape may be formed in the direction in which the optical waveguide core portion extends. A plurality of concave portions may be formed.
In short, any mark may be used as long as the position is determined with reference to the optical waveguide core.
【0032】実施例4 図8は、別の製造方法を示す斜視図である。図8におい
ては、実施例1と同様にして形成された光導波路コア部
2を有する光導波路部品本体A1 が用意される。そし
て、この光導波路部品本体A1 は、X,Y,Z,θx ,
θy ,θz 方向に微小運動ができる図示しない微調台の
上にセッティングされる。Embodiment 4 FIG. 8 is a perspective view showing another manufacturing method. In FIG. 8, an optical waveguide component body A 1 having an optical waveguide core portion 2 formed in the same manner as in Example 1 is prepared. Then, the optical waveguide component body A 1 has X, Y, Z, θ x ,
It is set on a fine adjustment stand (not shown) that can make small movements in the θ y and θ z directions.
【0033】光導波路部品本体A1 の上には、例えば石
英ガラス板片8のような押え板部材が紫外線硬化型接着
剤11で貼着される。この石英ガラス板片8の表面に
は、ポッチ孔8e,8fがマーカー部として穿設されて
いて、ここに、調心すべき光ファイバ12,12と位置
合わせされているポッチ孔押えピン13が嵌め込まれる
ことにより、石英ガラス板片8は光ファイバ12,12
に対して位置決めされている。On the optical waveguide component body A 1 , a holding plate member such as a quartz glass plate piece 8 is attached with an ultraviolet curable adhesive 11. On the surface of the quartz glass plate piece 8, there are formed poch holes 8e and 8f as marker portions, and there are pinch hole pressing pins 13 aligned with the optical fibers 12 and 12 to be aligned. By being fitted, the quartz glass plate piece 8 becomes the optical fibers 12, 12
Is positioned relative to.
【0034】ここで、図示しない微調台を作動させる。
石英ガラス板片8は、光導波路部品本体A1 にポッチ孔
押えピン13で固定されているので、光導波路部品本体
A1に対しては動きうるが、光ファイバ12,12に対
しては不変の位置を保つ。このようにして、光ファイバ
12,12の光軸と光導波路コア部2の各コア2aとの
軸調心を行ったのち、紫外線硬化性樹脂に紫外線を照射
して樹脂を硬化することにより、石英ガラス板片8を光
導波路部品本体A1 に固着する。Here, a fine adjustment table (not shown) is operated.
Since the quartz glass plate piece 8 is fixed to the optical waveguide component body A 1 by the Poch hole pressing pin 13, it can move with respect to the optical waveguide component body A 1, but does not change with respect to the optical fibers 12 and 12. Keep the position. In this way, after the optical axes of the optical fibers 12 and 12 and the cores 2a of the optical waveguide core portion 2 are aligned, the ultraviolet curable resin is irradiated with ultraviolet rays to cure the resin. The quartz glass plate piece 8 is fixed to the optical waveguide component body A 1 .
【0035】ついで、ポッチ孔押えピン13を抜き取
り、石英ガラス板片8のみが固着している光導波路部品
本体A1 を金型の中にいれ、ポッチ孔8e,8fを位置
基準にしてガイドピン用の中子を配設して樹脂モールド
を行い、モールド樹脂の硬化後、中子を抜脱する。その
結果、光導波路コア部2を位置基準にして形成されたマ
ーカー部であるポッチ孔8e,8fを位置基準にするガ
イドピン挿入孔が形成されている光導波路部品が得られ
る。Next, the potch hole pressing pin 13 is pulled out, the optical waveguide component body A 1 to which only the quartz glass plate piece 8 is fixed is put in a mold, and the guide pin is set with the potch holes 8e and 8f as position references. A core for use is arranged, resin molding is performed, and after the molding resin is cured, the core is removed. As a result, it is possible to obtain an optical waveguide component in which guide pin insertion holes whose position reference is the potch holes 8e and 8f which are marker parts formed with the optical waveguide core 2 as the position reference are formed.
【0036】実施例5 図9,図10は、マーカー部を形成することなく、光導
波路部品本体を金型に直接セッティングして本発明の光
導波路部品を製造する方法を説明するための斜視図であ
る。まず、上部が開口する金型14の両側壁の上部は切
欠かれて、大きなV字溝14a,14a;14b,14
bが設けられ、また、これらV字溝の間には、小さなV
字溝14c,14c;14d,14dが設けられてい
る。そして、大きなV字溝14a,14a;14b,1
4bには、それぞれ、2本のガイドピン4a,4bが懸
架された状態で固着されている。また、小さなV字溝1
4c,14c,14d,14dには、それぞれ、光の入
出力用の光ファイバフェルール15,15,15,15
が4個固着されている。Embodiment 5 FIGS. 9 and 10 are perspective views for explaining a method for manufacturing an optical waveguide component of the present invention by directly setting the optical waveguide component main body in a mold without forming a marker portion. Is. First, the upper portions of both side walls of the mold 14 having the upper opening are cut out to form large V-shaped grooves 14a, 14a; 14b, 14
b is provided, and a small V is provided between these V-shaped grooves.
Character grooves 14c, 14c; 14d, 14d are provided. And the large V-shaped grooves 14a, 14a; 14b, 1
Two guide pins 4a and 4b are fixed to each 4b in a suspended state. Also, a small V-shaped groove 1
4c, 14c, 14d and 14d respectively have optical fiber ferrules 15, 15, 15, 15 for inputting / outputting light.
4 are fixed.
【0037】ここで、ガイドピン4a,4bと光ファイ
バフェルール15,15,15,15の間では、互いの
軸心が所定の位置関係をなして整列するように、各V字
溝の刻設がなされている。そして、金型14の底部に
は、例えばダイヤルゲージの先端指針のように、垂直方
向に微小運動が可能なピンロッド16が3本以上(図で
は6本)突出しており、これらのピンロッドはそれぞれ
X,Y,Z,θy 方向に微小運動ができるようになって
いる。Here, between the guide pins 4a and 4b and the optical fiber ferrules 15, 15, 15 and 15, the respective V-shaped grooves are engraved so that their axial centers are aligned in a predetermined positional relationship. Has been done. Then, three or more (6 in the figure) pin rods 16 capable of minute movement in the vertical direction are projected from the bottom of the mold 14 such as the tip pointer of a dial gauge, and these pin rods are respectively X-shaped. , Y, Z, and θ y directions can be micro-moved.
【0038】この状態にある金型14において、図10
で示したように、前記したピンロッド16の上に、光導
波路コア部2が埋設されている光導波路部品本体A1 を
載せて光導波路部品本体A1 を中空保持し、光導波路コ
ア部2のコアの端面と各光ファイバフェルール15の端
面とを対向させる。その後、光ファイバフェルール1
5,15,15,15内にセットされている光ファイバ
12,12,12,12と光導波路コア部2の各コア2
aとの軸調心を、各ピンロッド16の突出長と、ピンロ
ッドのそれぞれを微調整することによって行う。In the die 14 in this state, as shown in FIG.
As shown in, the optical waveguide component body A 1 in which the optical waveguide core portion 2 is embedded is placed on the pin rod 16 to hold the optical waveguide component body A 1 in the hollow, and The end face of the core and the end face of each optical fiber ferrule 15 are opposed to each other. After that, the optical fiber ferrule 1
5, 15, 15, 15 and the optical fibers 12, 12, 12, 12 set in the respective cores 2 of the optical waveguide core portion 2.
The axial alignment with a is performed by finely adjusting the protruding length of each pin rod 16 and each pin rod.
【0039】そして、調心終了後、光導波路部品本体A
1 が動かないように軽く押えながら、金型14の中にモ
ールド樹脂を注型する。樹脂の硬化後、注型品を金型1
4から離型し、かつ、ガイドピン4a,4bと光ファイ
バフェルール15,15,15,15を抜脱する。その
結果、光導波路部品本体A1 の周囲はモールド樹脂で被
包され、そのモールド樹脂部には、光導波路コア部2に
対して位置決めされたガイドピン挿入孔が形成される。After the alignment is completed, the optical waveguide component body A
While lightly pressing so that 1 does not move, mold resin is poured into the mold 14. After curing the resin, cast the product into the mold 1
4, and the guide pins 4a, 4b and the optical fiber ferrules 15, 15, 15, 15 are removed. As a result, the periphery of the optical waveguide component body A 1 is covered with the mold resin, and the guide resin insertion hole positioned with respect to the optical waveguide core portion 2 is formed in the mold resin portion.
【0040】このように、以上の実施例においては、い
ずれも、光導波路コア部を位置基準にしてガイドピン挿
入孔を形成することにより、光ファイバコネクタとの無
調心接続が可能になる。なお、樹脂モールド部の端面へ
ガイドピン挿入孔を形成するときに、そのガイドピン挿
入孔の孔径が嵌合するガイドピンの直径よりも若干大き
くなることもあるが、そのときには、例えばガイドピン
挿入孔の中に接着剤などを充填してここに光ファイバコ
ネクタのガイドピンを挿入・嵌合し、ついで光ファイバ
コネクタと光導波路部品との間で微小な調心を行ったの
ち、前記接着剤を硬化すればよい。As described above, in any of the above embodiments, by forming the guide pin insertion hole with the optical waveguide core portion as the position reference, it is possible to perform an unaligned connection with the optical fiber connector. When the guide pin insertion hole is formed in the end surface of the resin mold portion, the hole diameter of the guide pin insertion hole may be slightly larger than the diameter of the guide pin to be fitted. After filling the hole with an adhesive etc. and inserting / fitting the guide pin of the optical fiber connector here, and then performing a fine alignment between the optical fiber connector and the optical waveguide part, the adhesive Can be cured.
【0041】[0041]
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明の
光導波路部品は、光ファイバコネクタと接続するときの
ガイドピン挿入孔が、光導波路部品本体を被包する樹脂
モールド部に形成されているので、接続後に負荷が加わ
っても、ガイドピン挿入孔の破壊や、基板の破損などの
発生は抑制される。As is apparent from the above description, in the optical waveguide component of the present invention, the guide pin insertion hole for connecting with the optical fiber connector is formed in the resin mold portion enclosing the optical waveguide component main body. Therefore, even if a load is applied after the connection, the occurrence of damage to the guide pin insertion hole, damage to the board, etc. is suppressed.
【0042】また、従来のようにクラッド部の上面から
深い溝を刻設してその溝をガイドピン配置用にすること
が不要になるので、二次元的なひろがりをもつ光導波路
コア部のパターンを有する部品の場合でも、そのコアパ
ターンを寸断することはない。Further, since it is not necessary to engrave a deep groove from the upper surface of the clad portion and use the groove for the guide pin arrangement as in the conventional case, the pattern of the optical waveguide core portion having a two-dimensional expansion is required. Even in the case of a component having, the core pattern is not cut off.
【図1】本発明の光導波路部品例を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing an example of an optical waveguide component of the present invention.
【図2】本発明の光導波路部品本体の例を示す斜視図で
ある。FIG. 2 is a perspective view showing an example of an optical waveguide component body of the present invention.
【図3】V字溝を刻設した光導波路部品本体例を示す斜
視図である。FIG. 3 is a perspective view showing an example of an optical waveguide component body having a V-shaped groove formed therein.
【図4】Siウエハ(基板)の上で、直接、本発明の光
導波路部品本体を製造する方法を示す斜視図である。FIG. 4 is a perspective view showing a method for directly manufacturing the optical waveguide component body of the present invention on a Si wafer (substrate).
【図5】図4のV−V線に沿う断面図である。5 is a cross-sectional view taken along the line VV of FIG.
【図6】本発明の他の光導波路部品を示す斜視図であ
る。FIG. 6 is a perspective view showing another optical waveguide component of the present invention.
【図7】Siウエハ(基板)の上で、直接、本発明の光
導波路部品本体を製造する他の方法を示す斜視図であ
る。FIG. 7 is a perspective view showing another method of directly manufacturing the optical waveguide component body of the present invention on a Si wafer (substrate).
【図8】光ファイバに対して位置決めされているポッチ
孔をマーカー部として本発明の光導波路部品本体を製造
する方法を示す斜視図である。FIG. 8 is a perspective view showing a method of manufacturing the optical waveguide component body of the present invention, using the Poch hole positioned with respect to the optical fiber as a marker portion.
【図9】本発明の光導波路部品を製造する別の方法で用
いる金型例を示す斜視図である。FIG. 9 is a perspective view showing an example of a mold used in another method of manufacturing the optical waveguide component of the present invention.
【図10】図9の金型に光導波路部品本体を中空保持し
た状態を示す斜視図である。10 is a perspective view showing a state where the optical waveguide component body is hollowly held in the mold of FIG.
【図11】従来の光導波路部品に光ファイバコネクタを
接続する状態を示す斜視図である。FIG. 11 is a perspective view showing a state in which an optical fiber connector is connected to a conventional optical waveguide component.
A 光導波路部品 A1 光導波路部品本体 A2 樹脂モールド部 1 基板 2 光導波路コア部 2a コア 3 クラッド部 4a,4b ガイドピン 5 押え板(石英ガラス板) 6 光ファイバコネクタ 6a,6b 光ファイバコネクタ6のピン孔 7 バネクリップ 8 石英ガラス板 8a,8b V字溝 8c,8d 分離した石英ガラス板 8e,8f ポッチ孔 9a,9b ガイドピン挿入孔 10a,10b 高さ方向マーカー 11 紫外線硬化型接着剤 12 光ファイバ 13 ポッチ孔押えピン 14 金型 14a,14b V字溝(大) 14c,14d V字溝(小) 15 光ファイバフェルール 16 ピンロッドA Optical waveguide component A 1 Optical waveguide component main body A 2 Resin mold part 1 Substrate 2 Optical waveguide core part 2a Core 3 Clad part 4a, 4b Guide pin 5 Holding plate (quartz glass plate) 6 Optical fiber connector 6a, 6b Optical fiber connector 6 pin holes 7 spring clips 8 quartz glass plates 8a, 8b V-shaped grooves 8c, 8d separated quartz glass plates 8e, 8f potch holes 9a, 9b guide pin insertion holes 10a, 10b height direction marker 11 UV curable adhesive 12 optical fiber 13 potch hole holding pin 14 mold 14a, 14b V-shaped groove (large) 14c, 14d V-shaped groove (small) 15 optical fiber ferrule 16 pin rod
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 清水 健男 東京都千代田区丸の内2丁目6番1号 古 河電気工業株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued Front Page (72) Inventor Takeo Shimizu 2-6-1 Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo Furukawa Electric Co., Ltd.
Claims (3)
ネクタと接続される光導波路部品であって、光導波路コ
ア部が形成されている光導波路部品本体と、前記光導波
路部品本体の端面以外の周囲を被包して形成されている
樹脂モールド部とから成り、前記樹脂モールド部の端面
には、前記光導波路コア部を位置基準にしてガイドピン
挿入孔が形成されていることを特徴とする光導波路部
品。1. An optical waveguide component whose end face is connected to an optical fiber connector via a guide pin, the optical waveguide component body having an optical waveguide core portion formed thereon, and other than the end face of the optical waveguide component body. And a resin mold portion formed so as to cover the periphery, and a guide pin insertion hole is formed on an end surface of the resin mold portion with the optical waveguide core portion as a position reference. Optical waveguide component.
れているクラッド部を形成したのち、前記クラッド部の
上または前記基板の裏面に押え板部材を密着固定して光
導波路部品本体を形成したのち、前記光導波路部品本体
の押え板部材の上に、前記光導波路コア部を位置基準に
してマーカー部を形成し、ついで、前記光導波路部品本
体を、前記マーカー部を位置基準にして配設されたガイ
ドピン用の中子を有する金型の中に収納したのち前記金
型内にモールド樹脂を注型し、ついで、得られた注型品
を金型から取り出し、前記中子を抜脱して、前記光導波
路部品の端面以外の周囲を被包する樹脂モールド部の端
面にガイドピン挿入孔を形成することを特徴とする光導
波路部品の製造方法。2. The optical waveguide component body is formed by forming a clad portion in which an optical waveguide core portion is embedded on the surface of a substrate, and then closely fixing a holding plate member on the clad portion or on the back surface of the substrate. After forming, on the pressing plate member of the optical waveguide component body, a marker portion is formed with the optical waveguide core portion as a position reference, and then the optical waveguide component body with the marker portion as a position reference. After being housed in a mold having a core for the arranged guide pin, a mold resin is cast into the mold, and then the obtained cast product is taken out from the mold and the core is removed. A method for manufacturing an optical waveguide component, which is formed by withdrawing and forming a guide pin insertion hole in an end face of a resin mold portion that covers the periphery other than the end face of the optical waveguide component.
ロッドが底部に設けられている金型の上部に、ガイドピ
ンと、光ファイバがセットされている光ファイバフェル
ールとを互いに位置決めした状態で配設したのち、光導
波路コア部が埋設されている光導波路部品本体を、その
光導波路コア部の端面と前記光ファイバフェルールの端
面とが対向するようにして、前記少なくとも3本のピン
ロッドの上に載せ、ついで、前記ピンロッドの動きを微
調整して、前記光導波路コア部と前記光ファイバフェル
ールの光ファイバとを軸心調整したのち金型内にモール
ド樹脂を注型し、ついで、得られた注型品を前記金型か
ら取り出し、前記ガイドピンを抜脱して、前記光導波路
部本体の端面以外の周囲を被包する樹脂モールド部の端
面にガイドピン挿入孔を形成することを特徴とする光導
波路部品の製造方法。3. A guide pin and an optical fiber ferrule in which an optical fiber is set are arranged in a state of being positioned on the upper part of a mold having at least three pin rods capable of micromovement at the bottom. Then, the optical waveguide component main body in which the optical waveguide core portion is embedded is placed on the at least three pin rods so that the end surface of the optical waveguide core portion and the end surface of the optical fiber ferrule face each other. Then, finely adjusting the movement of the pin rod, after adjusting the axis of the optical waveguide core portion and the optical fiber of the optical fiber ferrule, mold resin is poured into the mold, and then the obtained casting Take out the mold product from the mold, remove the guide pin, and insert the guide pin into the end face of the resin mold part that covers the periphery other than the end face of the optical waveguide part body. A method of manufacturing an optical waveguide component, which comprises forming a hole.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5253419A JPH06194543A (en) | 1992-10-09 | 1993-10-08 | Optical waveguide part and their production |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27151192 | 1992-10-09 | ||
JP4-271511 | 1992-10-09 | ||
JP5253419A JPH06194543A (en) | 1992-10-09 | 1993-10-08 | Optical waveguide part and their production |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JPH06194543A true JPH06194543A (en) | 1994-07-15 |
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ID=26541188
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP5253419A Pending JPH06194543A (en) | 1992-10-09 | 1993-10-08 | Optical waveguide part and their production |
Country Status (1)
Country | Link |
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