JPH061809U - Fluid pressure actuator with flow controller - Google Patents

Fluid pressure actuator with flow controller

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JPH061809U JP4833492U JP4833492U JPH061809U JP H061809 U JPH061809 U JP H061809U JP 4833492 U JP4833492 U JP 4833492U JP 4833492 U JP4833492 U JP 4833492U JP H061809 U JPH061809 U JP H061809U
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 流量調節器の交換が容易な流体圧アクチュエ
ータを提供する。 【構成】 流量調節器4を組み付けるベース3に、入力
ポート10a,10bと、これらのポートを流量調節器
4の入口ポート15a,15bに連通させる連通路11
a,11bと、流量調節器の出口ポート16a,16b
を流体圧アクチュエータ1の給排ポート7a,7bに連
通させる導通路12a,12bを設け、このベース3を
流体圧アクチュエータ1 に取付ける。 【効果】 流量調節器を、配管に関係なく交換できる。
(57) [Summary] [Purpose] To provide a fluid pressure actuator in which a flow rate controller can be easily replaced. [Structure] The base 3 to which the flow rate controller 4 is assembled is provided with input ports 10a and 10b, and a communication passage 11 for communicating these ports with the inlet ports 15a and 15b of the flow rate controller 4.
a, 11b and outlet ports 16a, 16b of the flow controller
Are provided with communication paths 12a and 12b for communicating with the supply / discharge ports 7a and 7b of the fluid pressure actuator 1, and the base 3 is attached to the fluid pressure actuator 1. [Effect] The flow rate controller can be replaced regardless of the piping.

Description

【考案の詳細な説明】[Detailed description of the device]

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】[Industrial applications]

本考案は、流量調節器を有する流体圧アクチュエータに関するものである。 The present invention relates to a fluid pressure actuator having a flow rate controller.

【0002】[0002]

【従来の技術】[Prior art]

従来、流体圧アクチュエータの駆動速度は、該流体圧アクチュエータの配管、 または流体圧アクチュエータ自体に流量調節器を設け、この流量調節器で供給流 体の流量を調節することによって制御している。 しかしながら、上記アクチュエータの速度制御手段は、流量調節器に圧力流体 の配管を接続するために、流量調節器の交換に際しては配管を着脱しなければな らないので、交換が面倒である。 Conventionally, the drive speed of a fluid pressure actuator is controlled by providing a flow rate controller in the piping of the fluid pressure actuator or in the fluid pressure actuator itself, and adjusting the flow rate of the supply fluid with this flow rate controller. However, the speed control means of the actuator is troublesome to replace because the piping for pressure fluid is connected to the flow rate controller and therefore the tube must be attached and detached when the flow rate controller is replaced.

【0003】[0003]

【考案が解決しようとする課題】[Problems to be solved by the device]

本考案が解決しようとする課題は、流量調節器の交換が容易な流量調節器付き 流体圧アクチュエータを提供することにある。 The problem to be solved by the present invention is to provide a fluid pressure actuator with a flow rate controller in which the flow rate controller can be easily replaced.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】[Means for Solving the Problems]

上記課題を解決するため、本考案は、複数の給排ポートを有し、これらのポー トから給排される圧力流体によって駆動する流体圧アクチュエータと、該流体圧 アクチュエータに給排する圧力流体の流量を調節する流量調節器とを備えた流量 調節器付き流体圧アクチュエータにおいて、上記流量調節器を、上記流体圧アク チュエータに取付けたベースに取外し可能に組み付け、上記ベースが、配管が接 続される複数の入力ポートと、これらのポートを上記流量調節器の複数の入口ポ ートに個別に連通させる複数の連通路と、該流量調節器の複数の出口ポートを上 記複数の給排ポートに個別に連通させる複数の導通路とを備えていることを特徴 としている。 また、同様の課題を解決するため、上記流量調節器付き流体圧アクチュエータ において、ベースに、配管が接続される圧力流体の供給口を設け、上記ベースに 設置した電磁弁を、上記供給口から供給される圧力流体をベースに設けた複数の 連通路に切換えて連通させるものとしたことを特徴としている。 さらに、流体圧アクチュエータの駆動方向を変えるために、これらの流量調節 器付き流体圧アクチュエータに取付けたベースに、取付姿勢の変更によって複数 の導通路と給排ポート相互間の連通を切換える複数の流路を有するポート切換板 を設けたことを特徴としている。 In order to solve the above problems, the present invention provides a fluid pressure actuator that has a plurality of supply / discharge ports and is driven by the pressure fluid supplied / discharged from these ports, and a pressure fluid supplied / discharged to / from the fluid pressure actuator. In a fluid pressure actuator with a flow controller, which includes a flow controller for adjusting the flow rate, the flow controller is detachably assembled to a base attached to the fluid pressure actuator, and the base is connected to a pipe. A plurality of input ports, a plurality of communication passages for individually communicating these ports with a plurality of inlet ports of the flow rate regulator, and a plurality of outlet ports of the flow rate regulator. It is characterized in that it is provided with a plurality of conducting paths which are individually communicated with each other. Further, in order to solve the same problem, in the above fluid pressure actuator with a flow controller, a base is provided with a pressure fluid supply port to which a pipe is connected, and an electromagnetic valve installed in the base is supplied from the supply port. The feature is that the pressure fluid to be communicated is switched to a plurality of communication passages provided in the base. Furthermore, in order to change the drive direction of the fluid pressure actuator, the bases attached to these fluid pressure actuators with flow rate regulators are connected to a plurality of flow paths that change the communication between the multiple communication paths and the supply / discharge ports by changing the mounting orientation. The feature is that a port switching plate having a passage is provided.

【0005】[0005]

【作用】[Action]

流量調節器を組み付けたベースを流体圧アクチュエータに取付け、或いは流体 圧アクチュエータに取付けたベースに流量調節器を組み付けると、ベースに設け た複数の連通路と導通路によって、ベースの複数の入力ポートと流体圧アクチュ エータの複数の給排ポートとが、流量調整器を介して連通する。 したがって、配管と関係なく流量調節器を着脱できるので、流量調節器の交換 が容易である。 また、ベースに設置した電磁弁によって、流体圧アクチュエータに圧力流体を 給排することができる。 When the base with the flow controller attached is attached to the fluid pressure actuator, or when the flow controller is attached to the base attached to the fluid actuator, the multiple communication passages and conduction paths provided in the base make it possible to connect the base with multiple input ports. A plurality of supply / discharge ports of the fluid pressure actuator communicate with each other via a flow rate regulator. Therefore, since the flow rate controller can be attached and detached regardless of the piping, it is easy to replace the flow rate controller. In addition, the solenoid valve installed on the base can supply and discharge the pressure fluid to and from the fluid pressure actuator.

【0006】 さらに、ポート切換板の取付姿勢の変更によって複数の導通路と給排ポート相 互間の連通を切換えることができるので、入力ポートまたは供給口への配管の接 続を変えないで、流体圧アクチュエータの駆動方向を逆にすることができる。Furthermore, since the communication between the plurality of conduction paths and the supply / discharge ports can be switched by changing the mounting attitude of the port switching plate, the connection of the pipe to the input port or the supply port can be changed. The driving direction of the fluid pressure actuator can be reversed.

【0007】[0007]

【実施例】【Example】

図1ないし図3は本考案の第1実施例を示し、第1実施例は、流体圧アクチュ エータ1と、該流体圧アクチュエータ1のボディ2に取付けたベース3と、ベー ス3に組み付けた流量調節器4と、ベース3に取付けたポート切換板5とを備え ている。 1 to 3 show a first embodiment of the present invention. In the first embodiment, a fluid pressure actuator 1, a base 3 attached to a body 2 of the fluid pressure actuator 1, and a base 3 are assembled. A flow rate controller 4 and a port switching plate 5 attached to the base 3 are provided.

【0008】 図においてシリンダ形アクチュエータとして示す上記流体圧アクチュエータ1 は、ボディ2に該アクチュエータ1の一対の圧力室に個別に連通する給排ポート 7a,7bを有し、これらのポートから給排される圧縮空気によって台座8を往 復動させるものとして構成されている。しかしながら、本考案の流体圧アクチュ エータはシリンダ形アクチュエータに限定されるものではなく、例えばベーン形 等の他の流体圧アクチュエータを含むものである。The fluid pressure actuator 1 shown as a cylinder type actuator in the drawing has a body 2 having supply / discharge ports 7a and 7b which individually communicate with a pair of pressure chambers of the actuator 1, and the supply / discharge is performed through these ports. The pedestal 8 is configured to move back and forth by compressed air. However, the fluid pressure actuator of the present invention is not limited to the cylinder type actuator, but includes other fluid pressure actuators such as a vane type actuator.

【0009】 上記ベース3は、ボディ2への取付面3aと背向する面に、圧縮空気の配管( 図示省略)が接続される入力ポート10a,10bが開設され、取付面3aと直 交する1つの面に流量調節器4が取付けられる。 またベース3は、入力ポート10a,10bと流量調節器4を構成する調節器 4a,4bの入口ポート15a,15bとを個別に連通させる連通路11a,1 1b、調節器4a,4bの出口ポート16a,16bと給排ポート7a,7bと を個別に連通させる導通路12a,12b、及び取付面3aにおける導通路12 a,12bの開口部に形設した、ポート切換板の取付部13とを備えている(図 2参照)。The base 3 has input ports 10a and 10b, which are connected to compressed air pipes (not shown), on the surface facing the mounting surface 3a of the body 2 and is directly connected to the mounting surface 3a. The flow controller 4 is attached to one surface. Further, the base 3 includes communication passages 11a, 11b for individually communicating the input ports 10a, 10b with the inlet ports 15a, 15b of the regulators 4a, 4b constituting the flow rate regulator 4, and the outlet ports of the regulators 4a, 4b. 16a, 16b and the supply / discharge ports 7a, 7b are individually connected to each other, and the mounting portions 13 of the port switching plate formed in the openings of the mounting passages 3a, 12b. It is equipped (see Figure 2).

【0010】 上記流量調節器4は、調節器4a,4bを調節器収納ボディ14に一体に収納 したものとして構成されており、各入口ポート15a,15bと出口ポート16 a,16bの間に、それぞれ逆止弁17,17と可変絞り18,18が並設され ている(図2参照)。そして、逆止弁17は、図示のように流体圧アクチュエー タ1への圧縮空気の排出のみを許容するメータイン制御、または図示を省略して いる流体圧アクチュエータからの圧縮空気の供給のみを許容するメータアウト制 御のいずれにもすることができる。The flow rate controller 4 is configured such that the controllers 4a and 4b are integrally housed in the controller housing body 14, and between the inlet ports 15a and 15b and the outlet ports 16a and 16b. Check valves 17 and 17 and variable throttles 18 and 18 are arranged in parallel, respectively (see FIG. 2). Then, the check valve 17 permits meter-in control in which only compressed air is discharged to the fluid pressure actuator 1 as shown in the figure, or allows only compressed air to be supplied from a fluid pressure actuator (not shown). It can be either meter-out control.

【0011】 ポート切換板5に設けた流路20a,20bは、取付部13に図1に示す姿勢 で取付けたときは、導通路12a,12b、即ち入力ポート10a,10bと給 排ポート7a,7bとをそれぞれ連通させ(図2参照)、表裏を反転させて取付 部13に取付けると、図3に示すように、導通路12a,12b、即ち入力ポー ト10a,10bと給排ポート7b,7aをそれぞれ連通させるものとして構成 されている。したがって、入力ポート10a,10bへの配管の接続を変えなく ても、ポート切換板5の切換板取付部13への取付姿勢の反転によって、流体圧 アクチュエータ1の駆動方向を逆にすることができる。When the flow paths 20a and 20b provided in the port switching plate 5 are attached to the attachment portion 13 in the posture shown in FIG. 1, the conduction paths 12a and 12b, that is, the input ports 10a and 10b and the supply / discharge port 7a, 7b to communicate with each other (see FIG. 2), and the front and back are inverted and attached to the attachment portion 13, as shown in FIG. 3, the conduction paths 12a and 12b, that is, the input ports 10a and 10b and the supply / discharge port 7b, are connected. 7a are configured to communicate with each other. Therefore, even if the connection of the piping to the input ports 10a and 10b is not changed, the driving direction of the fluid pressure actuator 1 can be reversed by reversing the mounting posture of the port switching plate 5 to the switching plate mounting portion 13. .

【0012】 上記第1実施例は、ガスケット23を介して流量調節器4を取付ねじ22,2 2によってベース3に組み付け、この組立体にポート切換板5を組み込んで、取 付ボルト24,24によってボディ2に取付けると、流量調節器4が、入力ポー ト10a,10bに接続される配管と関係なく流体圧アクチュエータ1に組み付 けられ、ベース3に設けた連通路11a,11bと導通路12a,12bによっ て、入力ポート10a,10bと給排ポート7a,7bが調節器4a,4bを介 してそれぞれ連通する。 入力ポート10a,10bから圧縮空気を給排すると、流体圧アクチュエータ 1が駆動され、その駆動速度は、調節器4a,4bの可変絞り18,18で供給 流量を増減することによって制御することができる。 流量調節器4を交換する場合は、取付ねじ22,22を外すと、ベース3の入 力ポート10a,10bに接続した配管と関係なく流量調節器4のみを取外すこ とができるので、流量調節器4の交換が容易である。 また、ポート切換板5の表裏を反転させてベース3の切換板取付部13に取付 けると、流体圧アクチュエータ1の駆動方向を逆にすることができる。In the first embodiment, the flow rate controller 4 is attached to the base 3 by the mounting screws 22 and 22 via the gasket 23, the port switching plate 5 is incorporated into this assembly, and the mounting bolts 24 and 24 are attached. When it is attached to the body 2 by means of, the flow rate controller 4 is attached to the fluid pressure actuator 1 regardless of the pipes connected to the input ports 10a and 10b, and the communication passages 11a and 11b provided in the base 3 and the conduction passages. The input ports 10a, 10b and the supply / drain ports 7a, 7b communicate with each other via the regulators 4a, 4b by 12a, 12b. When compressed air is supplied or discharged from the input ports 10a and 10b, the fluid pressure actuator 1 is driven, and the driving speed thereof can be controlled by increasing or decreasing the supply flow rate by the variable throttles 18 and 18 of the regulators 4a and 4b. . When replacing the flow rate controller 4, by removing the mounting screws 22 and 22, only the flow rate controller 4 can be removed regardless of the piping connected to the input ports 10a and 10b of the base 3. It is easy to replace the container 4. Further, when the port switching plate 5 is turned upside down and attached to the switching plate mounting portion 13 of the base 3, the driving direction of the fluid pressure actuator 1 can be reversed.

【0013】 図4ないし図6は本考案の第2実施例を示し、第2実施例のベース30には、 電磁弁31が設置されている。 上記ベース30は、第1実施例のベース3と同様に、連通路11a,11b、 導通路12a,12b、及び取付部13を備え、さらに、配管が接続される圧縮 空気の供給口33と、該供給口33に連通する供給開口34と、連通路11a, 11bに連通する出力連通口35a,35bと、排出連通口36a,36bと、 これらの排出連通口が連通する共通の排出口37とを備えている。FIGS. 4 to 6 show a second embodiment of the present invention, in which a solenoid valve 31 is installed on a base 30 of the second embodiment. Similar to the base 3 of the first embodiment, the base 30 includes communication passages 11a and 11b, conduction passages 12a and 12b, and a mounting portion 13, and further has a compressed air supply port 33 to which piping is connected, A supply opening 34 that communicates with the supply port 33, output communication ports 35a and 35b that communicate with the communication passages 11a and 11b, discharge communication ports 36a and 36b, and a common discharge port 37 that communicates with these discharge communication ports. Is equipped with.

【0014】 一方電磁弁31は、圧縮空気の供給ポートP、出力ポートA,B及び排出ポー トEA,EBを有し、ソレノイド31aへの通電及びその解除により、出力ポー トAとBを供給ポートPと排出ポートEA,EBとに切換えて連通させる周知の 5ポート電磁弁として構成されている(図5参照)。そして,該電磁弁31は、 取付ねじ39,39によってベース30に取付けられると、供給ポートPが供給 口34に、出力ポートA,Bが出力連通口35a,35bに、排出ポートEA, EBが排出連通口36a,36bに、それぞれ連通する。On the other hand, the solenoid valve 31 has a supply port P for compressed air, output ports A and B, and discharge ports EA and EB, and supplies output ports A and B by energizing and deenergizing the solenoid 31a. It is configured as a well-known 5-port solenoid valve that connects the port P and the discharge ports EA and EB by switching them (see FIG. 5). When the solenoid valve 31 is attached to the base 30 with the mounting screws 39, 39, the supply port P is connected to the supply port 34, the output ports A and B are connected to the output communication ports 35a and 35b, and the discharge ports EA and EB are connected. The discharge communication ports 36a and 36b communicate with each other.

【0015】 第2実施例の他の構成及び作用は、電磁弁31から圧縮空気が流体圧アクチュ エータ1に給排されること、及び図示の例においては流量調節器4をメータアウ ト制御としていること以外は、第1実施例と同じであるから、図の主要な箇所に 同一の符号を付して、詳細な説明は省略する。Another configuration and operation of the second embodiment is that compressed air is supplied to and discharged from the fluid pressure actuator 1 from the solenoid valve 31, and in the illustrated example, the flow rate controller 4 is meter-out controlled. Except for this, it is the same as the first embodiment, and therefore, the same reference numerals are given to the main parts of the drawing, and detailed description will be omitted.

【0016】[0016]

【考案の効果】[Effect of device]

本考案は、流体圧アクチュエータに取付けたベースに流量調節器を組み付ける と、ベースに設けた複数の入力ポートまたは供給口と流体圧アクチュエータの複 数の給排ポートが、流量調節器を介してまたは電磁弁と流量調節器を介して連通 するので、流体圧アクチュエータの駆動速度を制御する流量調節器を、圧力流体 の配管と関係なく着脱することができ、したがって、流量調節器の交換が容易で ある。 また、ポート切換板に設けた流路によって、配管の接続を変えないで、流体圧 アクチュエータの駆動方向を逆にすることができる。 According to the present invention, when the flow rate controller is assembled to the base attached to the fluid pressure actuator, a plurality of input ports or supply ports provided on the base and a plurality of supply / discharge ports of the fluid pressure actuator are connected via the flow rate controller or Since it communicates with the solenoid valve via the flow rate controller, the flow rate controller that controls the drive speed of the fluid pressure actuator can be attached and detached regardless of the pressure fluid piping, and therefore the flow rate controller can be easily replaced. is there. Further, the flow direction provided in the port switching plate can reverse the driving direction of the fluid pressure actuator without changing the connection of the piping.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】第1実施例の分解斜視図である。FIG. 1 is an exploded perspective view of a first embodiment.

【図2】同じく構成図である。FIG. 2 is a configuration diagram of the same.

【図3】同じくポート切換板の通路を切換えた構成図で
ある。
FIG. 3 is a configuration diagram in which passages of the port switching plate are similarly switched.

【図4】第2実施例の分解斜視図である。FIG. 4 is an exploded perspective view of a second embodiment.

【図5】同じく構成図である。FIG. 5 is a configuration diagram of the same.

【図6】同じくポート切換板の通路を切換えた構成図で
ある。
FIG. 6 is a configuration diagram in which the passages of the port switching plate are similarly switched.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 流体圧アクチュエータ 3,30 ベース 4 流量調節器 5 ポート切換板 7a,7b 給排ポート 10a,10b 入力ポート 11a,11b 連通路 12a,12b 導通路 15a,15b 入口ポート 16a,16b 出口ポート 20a,20b 流路 31 電磁弁 1 Fluid Pressure Actuator 3, 30 Base 4 Flow Controller 5 Port Switching Plate 7a, 7b Supply / Discharge Port 10a, 10b Input Port 11a, 11b Communication Passage 12a, 12b Conducting Passage 15a, 15b Inlet Port 16a, 16b Outlet Port 20a, 20b Flow path 31 Solenoid valve

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)考案者 芳 村 親 一 茨城県筑波郡谷和原村絹の台4−2−2 エスエムシー株式会社筑波技術センター内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Creator Shinichi Yoshimura 4-2-2 Kinnodai, Taniwahara-mura, Tsukuba-gun, Ibaraki SMC Tsukuba Technology Center

Claims (3)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] 【請求項1】 複数の給排ポートを有し、これらのポー
トから給排される圧力流体によって駆動する流体圧アク
チュエータと、該流体圧アクチュエータに給排する圧力
流体の流量を調節する流量調節器とを備えた流量調節器
付き流体圧アクチュエータにおいて、 上記流量調節器を、上記流体圧アクチュエータに取付け
たベースに取外し可能に組み付け、 上記ベースが、配管が接続される複数の入力ポートと、
これらのポートを上記流量調節器の複数の入口ポートに
個別に連通させる複数の連通路と、該流量調節器の複数
の出口ポートを上記複数の給排ポートに個別に連通させ
る複数の導通路とを備えている、 ことを特徴とする流量調節器付き流体圧アクチュエー
タ。
1. A fluid pressure actuator having a plurality of supply / discharge ports, driven by pressure fluid supplied / discharged from these ports, and a flow rate controller for adjusting the flow rate of the pressure fluid supplied / discharged to / from the fluid pressure actuator. In a fluid pressure actuator with a flow regulator, the flow regulator is detachably assembled to a base attached to the fluid pressure actuator, and the base has a plurality of input ports to which pipes are connected,
A plurality of communication passages for individually communicating these ports with a plurality of inlet ports of the flow rate regulator; and a plurality of communication paths for individually communicating a plurality of outlet ports of the flow rate regulator with the plurality of supply / discharge ports. A fluid pressure actuator with a flow controller, comprising:
【請求項2】ベースに、配管が接続される圧力流体の供
給口を設け、 上記ベースに設置した電磁弁を、上記供給口から供給さ
れる圧力流体をベースに設けた複数の連通路に切換えて
連通させるものとした、 ことを特徴とする請求項1に記載した流量調節器付き流
体圧アクチュエータ。
2. A base is provided with a pressure fluid supply port to which a pipe is connected, and a solenoid valve installed in the base is switched to a plurality of communication passages provided with the pressure fluid supplied from the supply port in the base. The fluid pressure actuator with a flow controller according to claim 1, characterized in that the fluid pressure actuator has a fluid pressure actuator.
【請求項3】ベースに、取付姿勢の変更によって複数の
導通路と給排ポート相互間の連通を切換える複数の流路
を有するポート切換板を設けた、 ことを特徴とする請求項1または2に記載した流量調節
器付き流体圧アクチュエータ。
3. The base is provided with a port switching plate having a plurality of flow paths for switching communication between a plurality of conduction paths and supply / discharge ports by changing a mounting posture. A fluid pressure actuator with a flow controller described in.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2008062679A1 (en) * 2006-11-22 2008-05-29 Fujikin Incorporated Fluid coupling
JP2013531199A (en) * 2010-06-21 2013-08-01 ロス エウロパ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング Interchangeable valves for valve blocks used in glass making machines

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2008062679A1 (en) * 2006-11-22 2008-05-29 Fujikin Incorporated Fluid coupling
JP2013531199A (en) * 2010-06-21 2013-08-01 ロス エウロパ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング Interchangeable valves for valve blocks used in glass making machines

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