JPH06171906A - Decaborane vaporizer - Google Patents
Decaborane vaporizerInfo
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- JPH06171906A JPH06171906A JP32805292A JP32805292A JPH06171906A JP H06171906 A JPH06171906 A JP H06171906A JP 32805292 A JP32805292 A JP 32805292A JP 32805292 A JP32805292 A JP 32805292A JP H06171906 A JPH06171906 A JP H06171906A
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- H01L21/265—Bombardment with radiation with high-energy radiation producing ion implantation
- H01L21/2658—Bombardment with radiation with high-energy radiation producing ion implantation of a molecular ion, e.g. decaborane
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は、デカボラン蒸発装置
に関するものである。さらに詳しくは、この発明は、人
体、環境等への安全性を高め、デカボランガスを安定に
使用設備に供給し、かつその供給を円滑に停止させるこ
とのできるデカボラン蒸発装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a decaborane evaporator. More specifically, the present invention relates to a decaborane evaporation device capable of improving safety to human body, environment, etc., stably supplying decaborane gas to equipment for use, and smoothly stopping the supply.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来より、取扱に特別の注意が必要とさ
れるジボランに代表されるボロン化合物の一つのデカボ
ラン（Ｂ10Ｈ14）については、常温で固体状であり、通
常、石英ガラス瓶や茶色のガラス瓶などの試料瓶に入れ
られて販売、運搬されてきている。Conventionally, for a decaborane boron compound represented by diborane special attention is required for handling (B 10 H 14), is solid at ordinary temperature, usually, a quartz glass bottle Ya It has been sold and transported in sample bottles such as brown glass bottles.
【０００３】このデカボランを気化させ、たとえば半導
体ドーピング等に使用する場合には、従来では、図６に
示したように、石英ガラス試料瓶等から固体状のデカボ
ラン（ア）を取り出し、デカボラン容器（イ）に入れて
密閉し、電気オーブン（ウ）等により加熱する。そし
て、デカボランガスが発生した段階で、仕切弁（エ）を
開け、デカボラン使用設備（オ）へデカボランガスを供
給する。一方、緊急時等においては、電気オーブン
（ウ）等の加熱を停止し、自然冷却や備えつけのファン
（カ）による強制冷却を行い、デカボランガスの発生を
停止させる。When this decaborane is vaporized and used for, for example, semiconductor doping, conventionally, as shown in FIG. 6, a solid decaborane (a) is taken out from a quartz glass sample bottle or the like, and a decaborane container ( Put it in b) and seal it, and heat it with an electric oven (c). Then, when the decaborane gas is generated, the sluice valve (d) is opened, and the decaborane gas is supplied to the equipment for using decaborane (e). On the other hand, in an emergency or the like, heating of the electric oven (c) is stopped, natural cooling or forced cooling by a fan (f) provided is performed, and generation of decaborane gas is stopped.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、デカボ
ランの取扱、すなわちデカボランを石英ガラス瓶や茶色
のガラス瓶などの試料瓶から取り出す際には、毒性や人
体への影響などのデカボランの物理的および化学的性質
を考慮し、長時間作業する場合には、手袋、保護服、空
気呼吸器等を装着する必要があり、一方、短時間の作業
の場合には、保護服、防毒マスク等を装着し、人体への
安全対策を行わなければならないという問題があった。
これと同時に、デカボランを取り扱う環境等にも充分な
配慮が必要とされていた。However, when handling decaborane, that is, when removing decaborane from a sample bottle such as a quartz glass bottle or a brown glass bottle, the physical and chemical properties of decaborane such as toxicity and effects on the human body. In consideration of the above, it is necessary to wear gloves, protective clothing, air respirator, etc. when working for a long time, while wearing protective clothing, gas mask, etc. for a short working time. There was a problem that safety measures had to be taken.
At the same time, sufficient consideration was required for the environment in which decaborane is handled.
【０００５】また図６に例示した従来のデカボランのガ
ス化方法では、デカボラン容器（イ）内の空気等を完全
に排気することができないため、デカボランガスの純度
が低下してしまうという欠点がある。しかもデカボラン
ガスの発生を停止させる場合には、自然冷却やファン
（カ）による強制冷却しか行うことができないため、常
温まで冷却するにはかなりの時間を要していた。Further, the conventional gasification method for decaborane illustrated in FIG. 6 has a drawback that the purity of the decaborane gas is lowered because the air or the like in the decaborane container (a) cannot be completely exhausted. Moreover, in order to stop the generation of decaborane gas, only natural cooling or forced cooling by a fan (power) can be performed, so that it took a considerable time to cool to room temperature.
【０００６】このように、デカボランのガス化について
は改善されるべき課題が少なくなく、固体状のデカボラ
ンを直接取り扱うことなく、安全にしかも安定してデカ
ボランガスを発生および停止させることのできる方策が
望まれていた。特に、核融合装置において、ヘリウムガ
ス中にデカボランガスを混入させ、グロー放電中に分
解、反応させて核融合装置の真空容器内面にボロン被膜
を生成させる場合には、デカボランガスを安定に供給
し、しかもグロー放電停止時等にその供給を確実に停止
させることが不可欠であった。As described above, there are many problems to be solved in gasification of decaborane, and there is a demand for a method capable of safely and stably generating and stopping decaborane gas without directly handling solid decaborane. It was rare. Particularly, in a fusion device, when decaborane gas is mixed in helium gas and decomposed and reacted during glow discharge to generate a boron film on the inner surface of the vacuum vessel of the fusion device, decaborane gas is stably supplied, and It was essential to surely stop the supply when the glow discharge was stopped.
【０００７】この発明は、以上の通りの事情に鑑みてな
されたものであり、従来のデカボランのガス化について
の欠点を解消し、人体、環境等への安全性を高め、デカ
ボランガスを安定に使用設備に供給し、かつ円滑にその
供給を停止させることのできるデカボラン蒸発装置を提
供することを目的としている。The present invention has been made in view of the above circumstances, solves the disadvantages of conventional decaborane gasification, enhances the safety to the human body and the environment, and stably uses decaborane gas. An object of the present invention is to provide a decaborane evaporation device that can be supplied to equipment and can be smoothly stopped.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】この発明は、上記の課題
を解決するものとして、出入口を有してデカボランの入
った試料瓶が挿入される蒸発容器において、この容器に
は、試料瓶を蒸発容器内部で逆さに固定する固定具と、
試料瓶のフィルムパッキンを突き破り蒸発容器内にデカ
ボランを飛散させるカッターと、デカボランを気化させ
てデカボランガスを発生させるヒータと、デカボランガ
スの発生を停止させる冷却器と、ガス供給部および排気
部との接続部とを備えてなることを特徴とするデカボラ
ン蒸発装置を提供する。Means for Solving the Problems The present invention is to solve the above-mentioned problems by providing an evaporation container in which a sample bottle containing decaborane is inserted and which is provided with an evaporation port for evaporating the sample bottle. A fixture that fixes it upside down inside the container,
A cutter that breaks through the film packing of the sample bottle and scatters decaborane into the evaporation container, a heater that vaporizes decaborane to generate decaborane gas, a cooler that stops the generation of decaborane gas, and a connection between the gas supply part and the exhaust part. There is provided a decaborane evaporation device comprising:
【０００９】[0009]
【作 用】この発明のデカボラン蒸発装置は、出入口を
有し、デカボランの入った試料瓶が挿入される蒸発容器
に、試料瓶を蒸発容器内部で逆さに固定する固定具と、
試料瓶のフィルムパッキンを突き破り蒸発容器内にデカ
ボランを飛散させるカッターと、デカボランを気化させ
て、デカボランガスを発生させるヒータと、デカボラン
ガスの発生を停止させる冷却器と、ガス供給部および排
気部との接続部とを備えているため、試料瓶からデカボ
ランを直接取り出さずに、容器内で間接的に取り出して
ガス化させることができる。また、デカボランガスを高
純度でしかも安定に使用設備へ供給するとともに、緊急
時等にその供給を短時間で確実に停止させることができ
る。[Operation] The decaborane evaporation device of the present invention comprises an evaporation container having a doorway, into which a sample bottle containing decaborane is inserted, and a fixture for fixing the sample bottle upside down inside the evaporation container,
A cutter that breaks through the film packing of the sample bottle and scatters decaborane into the evaporation container, a heater that vaporizes decaborane to generate decaborane gas, a cooler that stops decaborane gas generation, and a connection between the gas supply part and the exhaust part. Since the decaborane is not directly taken out from the sample bottle, it can be indirectly taken out in the container and gasified. Further, it is possible to stably supply decaborane gas with high purity to the facility to be used, and to reliably stop the supply in an emergency in a short time.
【００１０】[0010]
【実施例】以下、図面に沿って実施例を示し、この発明
のデカボラン蒸発装置についてさらに詳しく説明する。
図１の＜ａ＞＜ｂ＞は、各々、この発明のデカボラン蒸
発装置の一実施例を示した断面図およびその使用状態を
例示した断面図である。EXAMPLES Examples of the decaborane evaporation apparatus of the present invention will be described below in more detail with reference to the drawings.
<a> and <b> of FIG. 1 are a cross-sectional view showing an embodiment of the decaborane evaporation device of the present invention and a cross-sectional view illustrating the usage thereof, respectively.
【００１１】たとえばこの図１＜ａ＞に示した例におい
ては、開閉自在な出入口用のハッチ（１）を有する蒸発
容器（２）の内部に、デカボランの入った試料瓶（３）
を逆さに固定する固定具（４）を配設している。また、
試料瓶（３）のキャップ部に対向する位置には、試料瓶
（３）に設けたフィルムパッキンを突き破るためのカッ
ター（５）を上下動自在に設けている。カッター（５）
はベロー（６）を介してシリンダー（７）に接続されて
いる。このシリンダー（７）の駆動によりカッター
（５）の上下動が得られる。シリンダー（７）の駆動方
式は任意とすることができ、エアー駆動、電磁駆動等の
自動駆動、あるいは手動式の適宜なものを採用すること
ができる。また、カッター（５）を上下動させるための
手段としては、このシリンダー（７）の他、スプリング
等による方式としてもよい。For example, in the example shown in FIG. 1A, a sample bottle (3) containing decaborane is placed inside an evaporation container (2) having a hatch (1) for opening and closing.
A fixture (4) for fixing the upside down is provided. Also,
A cutter (5) for breaking through the film packing provided on the sample bottle (3) is provided at a position facing the cap portion of the sample bottle (3) so as to be vertically movable. Cutter (5)
Are connected to the cylinder (7) via the bellows (6). By driving the cylinder (7), the vertical movement of the cutter (5) can be obtained. The driving method of the cylinder (7) can be arbitrary, and an automatic driving method such as air driving or electromagnetic driving or a manual driving method can be adopted. Further, as a means for moving the cutter (5) up and down, other than this cylinder (7), a method using a spring or the like may be used.
【００１２】蒸発容器（２）にはヒータ（８）が配備さ
れており、蒸発容器（２）を加熱することができるよう
にしている。蒸発容器（２）の内壁部および外壁部に
は、各々、デカボランのガス化処理時の温度をモニタリ
ングするための内面温度計（９）および外面温度計（１
０）を設けている。また、蒸発容器（２）の外壁部には
強制冷却を行う冷却器（１１）を配設してもいる。冷却
器（１１）の冷媒についても特に制限はなく、低温水、
低温ガス等の任意のものとすることができる。この図１
＜ａ＞の例のように、冷却器（１１）を蒸発容器（２）
の外側に設けることにより、リークが発生しても冷媒と
デカボランとの反応を防止することができる。A heater (8) is provided in the evaporation container (2) so that the evaporation container (2) can be heated. An inner surface thermometer (9) and an outer surface thermometer (1) for monitoring the temperature of decaborane during the gasification process are provided on the inner wall and the outer wall of the evaporation container (2), respectively.
0) is provided. A cooler (11) for forced cooling is provided on the outer wall of the evaporation container (2). The refrigerant of the cooler (11) is also not particularly limited, and low temperature water,
It can be any such as cold gas. This Figure 1
As in the example of <a>, the cooler (11) is attached to the evaporation container (2).
If it is provided on the outer side, the reaction between the refrigerant and decaborane can be prevented even if a leak occurs.
【００１３】このような蒸発容器（２）は、保温層（１
２）でその全体が被覆されている。またこの例において
は、ガス供給部および排気部への接続部としての継手
（１３）およびニューマッチクバルブ等のバルブ（１
４）を配設するとともに、蒸発容器（２）内部の圧力を
測定する圧力計（１５）を備えてもいる。継手（１３）
およびバルブ（１４）から構成される接続部には、図２
に例示したように、デカボランガスを使用設備に供給す
るためのデカボランガス供給部（１６）と、蒸発容器
（２）およびデカボランガス供給配管系の内部を排気す
るための除害装置等を有するガス排気部（１７）とを接
続することができる。これらのデカボランガス供給部
（１６）およびガス排気部（１７）にはガス漏洩検知器
等のガス漏洩センサ（１８）を設置することができる。Such an evaporation container (2) has a heat insulation layer (1
The whole is covered with 2). Further, in this example, a joint (13) as a connecting portion to the gas supply portion and the exhaust portion and a valve (1
4) is provided and a pressure gauge (15) for measuring the pressure inside the evaporation container (2) is also provided. Joint (13)
And the valve (14) connection is shown in FIG.
As illustrated in, the gas exhaust part (16) for supplying the decaborane gas to the facility to be used, and the gas exhaust part (16) for removing the inside of the evaporation container (2) and the decaborane gas supply piping system ( 17) and can be connected. A gas leak sensor (18) such as a gas leak detector can be installed in the decaborane gas supply unit (16) and the gas exhaust unit (17).
【００１４】また、前記の接続部には、デカボランガス
供給停止時に、蒸発容器（２）およびデカボランガス供
給配管系の内部に置換ガスとしての窒素ガスを供給する
窒素ガス供給部（１９）を接続することもできる。図３
は、この発明のデカボラン蒸発装置を用いたデカボラン
ガス使用設備への系統例を示したブロック図である。図
中の各記号は次のものを示している。Further, a nitrogen gas supply section (19) for supplying nitrogen gas as a replacement gas to the inside of the evaporation vessel (2) and the decaborane gas supply piping system when the decaborane gas supply is stopped is connected to the connection section. You can also Figure 3
FIG. 3 is a block diagram showing an example of a system for a facility using decaborane gas using the decaborane evaporation device of the present invention. Each symbol in the figure indicates the following.
【００１５】ＭＣ ：蒸発容器 ＴＭＰ：ターボ分子ポンプ ＲＰ ：油回転ポンプ ＦＣ ：マスフローコントローラ Ｖ ：ニューマチックバルブ Ｇ1 〜Ｇ3 ：ガス漏洩検知器 ＤＦＬ：除害装置 この図３の例においては、デカボラン蒸発装置からデカ
ボランガス使用設備（２０）までのデカボランガス供給
部（１６）の配管系も蒸発装置と同等に任意温度に加熱
することができるようにしている。図中の点線で囲まれ
た部分が、加熱される範囲を示している。このように、
デカボラン供給部（１６）の配管系をも加熱可能とする
ことにより、配管系内に低温部が形成されるのを防止
し、配管系内部でデカボランガスが固化するのを防止す
ることができる。なお、このデカボランガス供給部（１
６）の配管系には、緊急性がないことから図１に例示し
たような冷却器（１１）を配設しなくともよく、自然冷
却構造とすることが可能である。MC: Evaporation container TMP: Turbo molecular pump RP: Oil rotary pump FC: Mass flow controller V: Pneumatic valve G 1 to G 3 : Gas leak detector DFL: Detoxification device In the example of FIG. 3, decaborane The piping system of the decaborane gas supply unit (16) from the evaporator to the equipment for using decaborane gas (16) can also be heated to an arbitrary temperature in the same manner as the evaporator. The part surrounded by the dotted line in the figure shows the range to be heated. in this way,
By making the piping system of the decaborane supply unit (16) also heatable, it is possible to prevent the formation of a low temperature portion in the piping system and prevent the decaborane gas from solidifying inside the piping system. In addition, this decaborane gas supply unit (1
Since the piping system of 6) is not urgent, it is not necessary to dispose the cooler (11) illustrated in FIG. 1 and a natural cooling structure can be obtained.
【００１６】たとえば以上の構成を有するこの発明のデ
カボラン蒸発装置を用いてデカボランガス使用設備にデ
カボランガスを供給する場合には、図１＜ａ＞に例示し
たように、まず、蒸発容器（２）の出入口用ハッチ
（１）を開き、使用時間に対応した量のデカボランが入
った試料瓶（３）を固定具（４）により逆さにセットす
る。次いで、ハッチ（１）を閉め、バルブ（１４）を開
けて、デカボランガスの純度を高めるために、蒸発容器
（２）内部の空気等を、継手（１３）を介して接続した
図３に例示したガス排気部（１７）のターボ分子ポンプ
（ＴＭＰ）、油回転ポンプ（ＲＰ）等の真空排気装置で
排気し、清浄化する。この時の真空状態は、真空排気装
置の真空計と図１に例示した圧力計（１５）で確認する
ことができる。For example, when supplying decaborane gas to equipment using decaborane gas using the decaborane evaporation device of the present invention having the above-mentioned structure, first, as shown in FIG. The hatch (1) for use is opened, and the sample bottle (3) containing an amount of decaborane corresponding to the use time is set upside down by the fixture (4). Next, the hatch (1) is closed, the valve (14) is opened, and air or the like inside the evaporation container (2) is connected via a joint (13) in order to increase the purity of the decaborane gas. The gas exhaust unit (17) is evacuated by a vacuum evacuation device such as a turbo molecular pump (TMP) or an oil rotary pump (RP) to be cleaned. The vacuum state at this time can be confirmed by the vacuum gauge of the vacuum exhaust device and the pressure gauge (15) illustrated in FIG.
【００１７】真空排気後、バルブ（１４）を閉め、図１
＜ｂ＞に例示したように、シリンダー（７）を作動させ
てベロー（６）を伸ばし、カッター（５）で試料瓶
（３）のフィルムパッキンを突き破り、固体状のデカボ
ラン（２１）を飛散させる。図４＜ａ＞＜ｂ＞は、各
々、デカボラン試料瓶を例示した平面図および断面図で
ある。 たとえばこの図４＜ａ＞＜ｂ＞に示したよう
に、固体状のデカボラン（２１）は、その量に応じて茶
色のガラス瓶、石英ガラス瓶等の試料瓶（３）に充填さ
れている。試料瓶（３）の頂部開口部にはフィルムパッ
キン（２２）が設けられており、このフィルムパッキン
（２２）を介して、ステンレス製等のキャップ（２３）
を試料瓶（３）の上部に形成されたネジ部（２４）に螺
合させてシールしている。キャップ（２３）の中央部に
は、図１＜ａ＞＜ｂ＞に例示したカッター（５）を挿入
可能としたカッター挿入口（２５）が形成されている。
デカボラン蒸発装置のカッター（５）は、試料瓶（３）
をシールするキャップ（２３）のカッター挿入口（２
５）から進入し、フィルムパッキン（２２）を突き破
り、充填された固体状のデカボラン（２１）を蒸発容器
（２）内部に飛散させることができる。After evacuation, the valve (14) was closed, and FIG.
As illustrated in <b>, the cylinder (7) is operated to extend the bellows (6), the cutter (5) breaks through the film packing of the sample bottle (3), and the solid decaborane (21) is scattered. . 4A and 4B are a plan view and a sectional view, respectively, illustrating a decaborane sample bottle. For example, as shown in FIGS. 4A and 4B, solid decaborane (21) is filled in a sample bottle (3) such as a brown glass bottle or a quartz glass bottle depending on its amount. A film packing (22) is provided at the top opening of the sample bottle (3), and a cap (23) made of stainless steel or the like is provided through the film packing (22).
Is screwed into a threaded portion (24) formed on the upper portion of the sample bottle (3) to seal the sample bottle (3). A cutter insertion port (25) into which the cutter (5) illustrated in FIGS. 1A and 1B can be inserted is formed in the center of the cap (23).
The cutter (5) of the decaborane evaporator is the sample bottle (3)
Cutter insertion hole (2) of the cap (23) that seals the
5), the film packing (22) is pierced, and the filled solid decaborane (21) can be scattered inside the evaporation container (2).
【００１８】デカボラン（２１）を蒸発容器（２）内部
に飛散させた後には、ヒータ（８）に電流を供給し、蒸
発容器（２）を任意温度に加熱する。これと同時に、図
３に例示したデカボランガス供給部（１６）の配管系も
任意温度に加熱する。なお、このデカボランガス供給部
（１６）の配管系は、加熱前にガス排気部（１７）によ
りあらかじめ清浄排気しておく。このヒータ加熱によ
り、デカボラン（２１）は、固体→液体→気体と変化
し、図５に例示したように、温度に対応した蒸気圧が発
生する。たとえばデカボラン（２１）を100 ℃に加熱す
ると、約2.5KPaの蒸気圧が得られる。このように、デカ
ボラン蒸気圧は、加熱温度を変化させることにより制御
することができる。After the decaborane (21) is scattered inside the evaporation container (2), an electric current is supplied to the heater (8) to heat the evaporation container (2) to an arbitrary temperature. At the same time, the piping system of the decaborane gas supply unit (16) illustrated in FIG. 3 is also heated to an arbitrary temperature. The piping system of the decaborane gas supply unit (16) is previously clean-exhausted by the gas exhaust unit (17) before heating. By this heater heating, the decaborane (21) changes from solid to liquid to gas, and vapor pressure corresponding to the temperature is generated as illustrated in FIG. For example, heating decaborane (21) to 100 ° C gives a vapor pressure of about 2.5 KPa. In this way, the decaborane vapor pressure can be controlled by changing the heating temperature.
【００１９】次いで、蒸発容器（２）が所定圧力に達し
た時に、蒸発装置およびデカボランガス供給部（１６）
のバルブを開け、図３に例示したマスフローコントロー
ラ（ＦＣ）等によりガス量を制御して、デカボランガス
をデカボランガス使用設備（２０）に供給する。デカボ
ランガス使用設備（２０）の使用終了後には、安全のた
めに、デカボランガスをその蒸気圧がゼロになるまで使
用設備（２０）に供給排気するか、あるいは図３のガス
排気部（１７）により除害排気する。そして、図１の蒸
発容器（２）内部に図２および図３に例示した窒素ガス
供給部（１９）より窒素ガスを供給し、ガス排気部（１
７）で置換排気する。この窒素ガスパージ後、蒸発容器
（２）のハッチ（１）を開け、試料瓶（３）を回収す
る。Then, when the evaporation container (2) reaches a predetermined pressure, the evaporation device and the decaborane gas supply section (16).
The valve is opened, the amount of gas is controlled by the mass flow controller (FC) illustrated in FIG. 3, and the decaborane gas is supplied to the facility for using decaborane gas (20). After the use of the equipment for using decaborane gas (20) is finished, for safety, the decaborane gas is supplied to and exhausted from the equipment for use (20) until its vapor pressure becomes zero, or is removed by the gas exhaust section (17) of FIG. Harm exhaust. Then, nitrogen gas is supplied to the inside of the evaporation container (2) of FIG. 1 from the nitrogen gas supply unit (19) illustrated in FIG. 2 and FIG.
Replace and exhaust in 7). After purging with this nitrogen gas, the hatch (1) of the evaporation container (2) is opened and the sample bottle (3) is recovered.
【００２０】このようにして、試料瓶からデカボランを
直接取り出さずに、容器内で間接的に取り出してガス化
させることができ、デカボランガスを高純度でしかも安
定にガス使用設備へ供給することが可能となる。なお、
デカボランガスの発生を停止させる場合には、デカボラ
ン蒸発装置およびデカボランガス供給部（１６）のバル
ブを閉鎖し、ヒータ（８）による加熱を停止させる。緊
急停止時には、これとともに、冷却器（１１）により蒸
発容器（２）を強制冷却する。これによって、デカボラ
ンガスの発生が迅速に停止される。緊急時等にデカボラ
ンガスの供給を短時間で確実に停止させることができ
る。In this way, decaborane gas can be indirectly taken out and gasified in the container without directly taking out decaborane from the sample bottle, and the decaborane gas can be stably supplied to the gas use facility with high purity. Becomes In addition,
When the generation of decaborane gas is stopped, the valves of the decaborane vaporizer and the decaborane gas supply unit (16) are closed and the heating by the heater (8) is stopped. At the time of an emergency stop, the evaporator (2) is forcibly cooled by the cooler (11) along with this. As a result, the generation of decaborane gas is quickly stopped. The supply of decaborane gas can be reliably stopped in a short time in an emergency.
【００２１】もちろんこの発明は、以上の例によって限
定されるものではない。細部については様々な態様が可
能であることはいうまでもない。また、この発明の蒸発
装置はデカボランと同様の性質を有する物質にも使用可
能である。Of course, the present invention is not limited to the above examples. It goes without saying that various details are possible. The evaporator of the present invention can also be used for substances having the same properties as decaborane.
【００２２】[0022]
【発明の効果】以上詳しく説明した通り、この発明によ
って、任意の蒸気圧で純度の高いデカボランガスを簡便
かつ容易に、しかも確実に発生させることができ、使用
設備に安定にデカボランガスを供給することができる。
その供給の停止も確実かつ安定となる。また、デカボラ
ン取扱の安全性が向上し、しかもその取扱には重装備の
保護具が不要となる。As described above in detail, according to the present invention, decaborane gas having a high purity can be simply and easily and surely generated at any vapor pressure, and the decaborane gas can be stably supplied to the facility used. it can.
The supply will be stopped reliably and stably. In addition, the safety of handling decaborane is improved, and heavy equipment protection equipment is not required for the handling.
【図１】＜ａ＞＜ｂ＞は、各々、この発明のデカボラン
蒸発装置の一実施例を示した断面図およびその使用状態
を例示した断面図である。1A and 1B are a cross-sectional view showing an embodiment of a decaborane evaporation device of the present invention and a cross-sectional view illustrating its usage state, respectively.
【図２】図１に例示した蒸発装置とガス供給部および排
気部との接続関係について例示した構成図である。FIG. 2 is a configuration diagram illustrating a connection relationship between the evaporation device illustrated in FIG. 1 and a gas supply unit and an exhaust unit.
【図３】この発明のデカボラン蒸発装置を用いたデカボ
ランガス使用設備への系統例を示したブロック図であ
る。FIG. 3 is a block diagram showing an example of a system for a facility using decaborane gas using the decaborane evaporation device of the present invention.
【図４】＜ａ＞＜ｂ＞は、各々、デカボラン試料瓶を例
示した平面図および断面図である。4A and 4B are a plan view and a sectional view, respectively, illustrating a decaborane sample bottle.
【図５】デカボランの温度と蒸気圧についての相関図で
ある。FIG. 5 is a correlation diagram of decaborane temperature and vapor pressure.
【図６】従来のデカボランのガス化方法を例示した断面
図である。FIG. 6 is a cross-sectional view illustrating a conventional gasification method for decaborane.
１ ハッチ ２ 蒸発容器 ３ 試料瓶 ４ 固定具 ５ カッター ６ ベロー ７ シリンダー ８ ヒータ ９ 内面温度計 １０ 外面温度計 １１ 冷却器 １２ 保温層 １３ 継手 １４ バルブ １５ 圧力計 １６ デカボランガス供給部 １７ ガス排気部 １８ ガス漏洩センサ １９ 窒素ガス供給部 ２０ デカボランガス使用設備 ２１ デカボラン ２２ フィルムパッキン ２３ キャップ ２４ ネジ部 ２５ カッター挿入口 1 Hatch 2 Evaporation Container 3 Sample Bottle 4 Fixture 5 Cutter 6 Bellow 7 Cylinder 8 Heater 9 Inner Thermometer 10 External Thermometer 11 Cooler 12 Insulating Layer 13 Joint 14 Valve 15 Pressure Gauge 16 Decaborane Gas Supply 17 Gas Exhaust 18 Gas Leak sensor 19 Nitrogen gas supply unit 20 Decaborane gas equipment 21 Decaborane 22 Film packing 23 Cap 24 Screw part 25 Cutter insertion port
Claims (1)
瓶が挿入される蒸発容器において、この容器には、試料
瓶を蒸発容器内部で逆さに固定する固定具と、試料瓶の
フィルムパッキンを突き破り蒸発容器内にデカボランを
飛散させるカッターと、デカボランを気化させてデカボ
ランガスを発生させるヒータと、デカボランガスの発生
を停止させる冷却器と、ガス供給部および排気部との接
続部とを備えてなることを特徴とするデカボラン蒸発装
置。1. An evaporation container having a doorway into which a sample bottle containing decaborane is inserted, the container including a fixture for fixing the sample bottle upside down inside the evaporation container, and a film packing for the sample bottle. It must be equipped with a cutter that breaks decaborane into the breakthrough evaporation container, a heater that vaporizes decaborane to generate decaborane gas, a cooler that stops the generation of decaborane gas, and a connection part between the gas supply part and the exhaust part. Decaborane evaporation device characterized by.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4328052A JP2674930B2 (en) | 1992-12-08 | 1992-12-08 | Decaborane evaporator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4328052A JP2674930B2 (en) | 1992-12-08 | 1992-12-08 | Decaborane evaporator |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06171906A true JPH06171906A (en) | 1994-06-21 |
| JP2674930B2 JP2674930B2 (en) | 1997-11-12 |
Family
ID=18205978
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4328052A Expired - Lifetime JP2674930B2 (en) | 1992-12-08 | 1992-12-08 | Decaborane evaporator |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2674930B2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6452338B1 (en) | 1999-12-13 | 2002-09-17 | Semequip, Inc. | Electron beam ion source with integral low-temperature vaporizer |
-
1992
- 1992-12-08 JP JP4328052A patent/JP2674930B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6452338B1 (en) | 1999-12-13 | 2002-09-17 | Semequip, Inc. | Electron beam ion source with integral low-temperature vaporizer |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2674930B2 (en) | 1997-11-12 |
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